TW201524118A - 振動片及振動器 - Google Patents

振動片及振動器 Download PDF

Info

Publication number
TW201524118A
TW201524118A TW104101409A TW104101409A TW201524118A TW 201524118 A TW201524118 A TW 201524118A TW 104101409 A TW104101409 A TW 104101409A TW 104101409 A TW104101409 A TW 104101409A TW 201524118 A TW201524118 A TW 201524118A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
tapered portion
arm
width
vibrating
base
Prior art date
Application number
TW104101409A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Inventor
Akinori Yamada
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of TW201524118A publication Critical patent/TW201524118A/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21—Crystal tuning forks
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21—Crystal tuning forks
    • H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
TW104101409A 2010-04-08 2011-04-01 振動片及振動器 TW201524118A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010089259A JP5499852B2 (ja) 2010-04-08 2010-04-08 振動片、振動子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201524118A true TW201524118A (zh) 2015-06-16

Family

ID=44746187

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104101409A TW201524118A (zh) 2010-04-08 2011-04-01 振動片及振動器
TW100111696A TWI474618B (zh) 2010-04-08 2011-04-01 Vibration plate, vibrator and sensor

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW100111696A TWI474618B (zh) 2010-04-08 2011-04-01 Vibration plate, vibrator and sensor

Country Status (5)

Country Link
US (3) US8816572B2 (enExample)
JP (1) JP5499852B2 (enExample)
KR (1) KR20110113144A (enExample)
CN (3) CN104506160B (enExample)
TW (2) TW201524118A (enExample)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5565154B2 (ja) * 2009-09-11 2014-08-06 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、および電子機器
US20110227458A1 (en) * 2010-03-17 2011-09-22 Seiko Epson Corporation Piezoelectric resonator element, piezoelectric device, and electronic apparatus
JP5499852B2 (ja) * 2010-04-08 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子
JP6160027B2 (ja) * 2012-04-27 2017-07-12 セイコーエプソン株式会社 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体
JP5974629B2 (ja) * 2012-05-23 2016-08-23 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動片の製造方法、角速度センサー、電子機器、移動体
JP6340774B2 (ja) * 2013-11-16 2018-06-13 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
TWI634742B (zh) * 2013-11-16 2018-09-01 精工愛普生股份有限公司 振動片、振動子、振盪器、電子機器及移動體
JP6450551B2 (ja) * 2014-09-30 2019-01-09 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
JP6552225B2 (ja) 2015-03-12 2019-07-31 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
US10170684B2 (en) * 2015-09-30 2019-01-01 Kyocera Corporation Tuning fork type crystal blank, tuning fork type crystal element, and crystal device
CN117767910B (zh) * 2023-12-29 2025-09-12 天津大学 一种音叉型压电振动片及振荡器

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2224159B (en) * 1988-09-09 1992-07-08 Seiko Electronic Components Resonator
TW427059B (en) * 1998-08-07 2001-03-21 Tdk Corp Resonator, piezoelectric resonator and the manufacturing method thereof
WO2000044092A1 (en) * 1999-01-20 2000-07-27 Seiko Epson Corporation Vibrator and electronic device with vibrator
JP2002319838A (ja) * 2001-02-19 2002-10-31 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及びそのパッケージ
JP4281348B2 (ja) * 2002-12-17 2009-06-17 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP4356366B2 (ja) 2003-06-10 2009-11-04 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器
JP2005151423A (ja) * 2003-11-19 2005-06-09 Seiko Epson Corp 圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP2005184767A (ja) 2003-11-27 2005-07-07 Seiko Epson Corp 音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子の製造方法
JP4409979B2 (ja) 2004-02-10 2010-02-03 シチズンホールディングス株式会社 振動子
KR100712758B1 (ko) * 2004-09-24 2007-04-30 세이코 엡슨 가부시키가이샤 압전 진동편 및 압전 디바이스
JP4591035B2 (ja) * 2004-10-21 2010-12-01 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片ならびに圧電デバイスの製造方法
JP4277818B2 (ja) 2005-03-22 2009-06-10 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4609196B2 (ja) * 2005-06-20 2011-01-12 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイスならびに電子機器および携帯電話装置
JP2007258918A (ja) * 2006-03-22 2007-10-04 Epson Toyocom Corp 圧電デバイス
US20080211350A1 (en) * 2006-08-18 2008-09-04 Epson Toyocom Corporation Piezoelectric resonator element and piezoelectric device
JP4985960B2 (ja) 2007-06-07 2012-07-25 セイコーエプソン株式会社 振動片及び振動子
EP2017960B1 (fr) * 2007-07-19 2009-12-30 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Résonateur piézo-électrique ayant des capacités motionnelles optimisées
CN101803188B (zh) * 2007-09-13 2014-07-09 西铁城控股株式会社 水晶振子片及其制造方法
WO2009143492A1 (en) * 2008-05-23 2009-11-26 Statek Corporation Piezoelectric resonator
US8067880B2 (en) 2008-12-27 2011-11-29 Seiko Epson Corporation Flexural vibration element and electronic component
JP2010157933A (ja) 2008-12-27 2010-07-15 Epson Toyocom Corp 屈曲振動片及び電子部品
JP5454134B2 (ja) 2008-12-27 2014-03-26 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、センサー及び電子部品
JP5445114B2 (ja) * 2009-03-02 2014-03-19 セイコーエプソン株式会社 振動片および発振器
JP2010252302A (ja) 2009-03-25 2010-11-04 Seiko Epson Corp 屈曲振動片およびそれを用いた発振器
JP2010226610A (ja) 2009-03-25 2010-10-07 Seiko Epson Corp 屈曲振動片およびそれを用いた発振器
JP2010226608A (ja) 2009-03-25 2010-10-07 Seiko Epson Corp 屈曲振動片およびそれを用いた発振器
JP5499852B2 (ja) * 2010-04-08 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子
JP2012120014A (ja) * 2010-12-02 2012-06-21 Seiko Epson Corp 圧電振動素子、その製造方法、圧電振動子及び圧電発振器
JP5912557B2 (ja) * 2011-03-29 2016-04-27 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
JP5499852B2 (ja) 2014-05-21
US8816572B2 (en) 2014-08-26
US20110248600A1 (en) 2011-10-13
JP2011223230A (ja) 2011-11-04
US20140327342A1 (en) 2014-11-06
TW201203855A (en) 2012-01-16
US9252741B2 (en) 2016-02-02
KR20110113144A (ko) 2011-10-14
US9257961B2 (en) 2016-02-09
CN104506160A (zh) 2015-04-08
US20140225480A1 (en) 2014-08-14
TWI474618B (zh) 2015-02-21
CN102215031A (zh) 2011-10-12
CN103812471A (zh) 2014-05-21
CN104506160B (zh) 2017-08-25
CN102215031B (zh) 2014-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI474618B (zh) Vibration plate, vibrator and sensor
JP4324811B2 (ja) 圧電振動子及びその製造方法
US11368140B2 (en) Resonator and resonance device
JP4407845B2 (ja) 圧電振動子及びその製造方法並びに圧電振動子用の蓋
JP4647677B2 (ja) 圧電デバイス
KR20130010896A (ko) 광학 반사 소자
JP2018110292A (ja) 圧電振動子
JP2013098813A (ja) 圧電振動片及び圧電デバイス
JP2008178022A (ja) 音叉型圧電振動片
JP2008193581A (ja) 圧電振動子及びその製造方法
JP2014112960A (ja) 振動片、振動子
JP5585240B2 (ja) 振動片及び振動デバイス
JP2007163200A (ja) 振動片、角速度センサ
JP2014165767A (ja) 圧電振動デバイス
JP5950087B2 (ja) 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器
JP5494175B2 (ja) 圧電振動片及び圧電デバイス
JP2009017005A (ja) 圧電振動子及びその製造方法
WO2017221609A1 (ja) 水晶振動片及び水晶振動子
JP4978220B2 (ja) 圧電振動子及びその製造方法
WO2022130668A1 (ja) 圧電振動子
JP2008193400A (ja) 圧電振動子及びその製造方法
JP2009243983A (ja) 弾性表面波センサ及び弾性表面波センサ素子
JP2013181799A (ja) 物理量検出デバイス、電子機器
JP2018113611A (ja) 圧電振動子
JP2012235364A (ja) 圧電振動片及び圧電デバイス