TW201447150A - 閘閥及腔室 - Google Patents

Abstract

本發明的課題是提供一種能夠大幅度減少閘閥進行動作時產生的微粒和放出氣體的閘閥以及具備閘閥的腔室。為了解決上述課題，本發明的閘閥（1），透過在密封板（8）和背板（9）之間內置的直動式驅動器（10）使密封單元（4）進行動作而對開口部（7）進行開閉，當受到密封板（8）被按壓到密封面（12）上時的反作用力而使設置在背板（9）的上部的緩衝部件（17）與設置在腔室（6）中的上部止動件（14）接合時，透過與背板（9）連接的閥桿（2）彈性形變為弓狀，以減輕表面壓力和接合時的衝擊力。

Description

閘閥及腔室

本發明涉及一種閘閥及具備該閘閥的腔室，尤其涉及一種用於減少閘閥進行動作時產生的微粒和放出氣體的改進的結構。

近年來，從所謂的半導體處理規則的細微化、有機EL顯示器等的高精度化的現實情況出發，在其製造裝置中減少微粒和放出氣體的要求變得越來越嚴格。而且，伴隨著這種情況，在製造裝置中使用的閘閥也被要求低微粒化和低放出氣體化。

以往，作為在這種製造裝置中使用的閘閥的示例，已知有在下述的專利文獻1中公開的閘閥。該閘閥形成有在閥限位器的端部呈倒U字狀的彎曲部分，在閥座壁形成有嵌合在該彎曲部分的前端中的凹部。由此，當將閥板按壓在閥座上時，倒U字狀的彎曲部分被收容在凹部中，閥限位器能夠阻止向離開閥座的方向移動。

在這樣的閘閥中，例如在設置在閥板上的密封件和閥座的接觸部分、或在倒U字狀的彎曲部分和凹部的接觸部分，透過接觸時的摩擦會產生微粒，這成為產生放出氣體的主要原因。特別是，在專利文獻1的閘閥中，由於作為將閥板壓在閥座上的機構使用有銷槽和球體、或連桿等，因此密封件接合在閥座上時的軌道為圓形軌道，且與其軌道相應地密封件與閥座剮蹭而易於產生微粒。並且，即使在倒U字狀的彎曲部分和凹部的接觸部分中，透過相同的軌道，金屬之間也會摩擦而產生微粒。並且，在上述機構和滾珠軸承或滾軸、或者連桿機構等中使用有潤滑用的潤滑脂，也成為產生放出氣體的原因。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第3388439號公報

技術問題

本發明正是為了解決以上問題所做出的，其目的在於提供一種能夠大幅度降低閥進行動作時產生的微粒和放出的氣體的閘閥和具備閘閥的腔室。

技術方案

為了達到上述目的，根據本發明的閘閥，在透過在面對面的密封板和背板之間內置的直動式驅動器使密封單元進行動作而對開口部進行開閉的閘閥中，當受到密封板被按壓到開口部的密封面上時的反作用力，使得設置在背板的上部的緩衝部件與設置在腔室中的上部止動件接合時，或者，使得背板的上部與在設置於腔室中的上部止動件中設置的緩衝部件接合時，與背板連接的閥桿彈性形變為弓狀。

並且，在由結構構成的閘閥中，也可以在背板的下部設置有向開口部方向延伸的下部止動件，透過在密封面的密封法蘭下部形成的凸部透過緩衝部件嵌合在下部止動件中形成的凹部或孔中，或者，透過下部止動件中形成的凸部透過緩衝部件嵌合在密封面的密封法蘭下部形成的凹部或孔中，從而承受密封板被按壓到密封面上時的反作用力。

並且，在由結構構成的閘閥中，也可以將下部止動件設置為：固定在閥桿上且能夠從背板分離。

並且，在由結構構成的閘閥中，也可以是密封單元包括：開閉氣缸，具備透過空氣壓的供給和排放伸縮的活塞；背板，固定有開閉氣缸且具備傳遞打開動作壓力和關閉動作壓力的供給排出通道；密封板，與活塞的桿部結合；並且具備波紋管保護結構：在開閉氣缸上設置止逆閥，當在覆蓋桿部的波紋管中施加的內壓超過基準壓力時，透過止逆閥將該內壓排出到密封單元的外部。

並且，在由結構構成的閘閥中，也可以還包含透過閥桿將密封單元移動到密封面的引導裝置，引導裝置透過同一支柱構成引導閥桿的升降動作的引導機構以及支撐引導機構的支撐機構，並且該支柱為圓柱形狀。

並且，根據本發明的腔室，其特徵在於是安裝了以上述任意結構構成的閘閥的腔室，在該腔室中設置有用於將閘閥中的密封單元取出的維修孔。

並且，在由結構構成的腔室中，可以是堵塞維修孔的孔蓋兼具有與背板接合的上部止動件的功能。

發明效果

根據本發明，透過直動式驅動器驅動密封板，當將密封板按壓在密封面上時，背板的上部和上部止動件透過緩衝部件而接合，由此減輕表面壓力和接合時的衝擊力。並且，當密封時的反作用力使背板向非密封方向後退時，透過閥桿彈性形變為弓狀，其速度降低，因此緩和接合時的衝擊力。因此，能夠抑制背板和上部止動件的接合部分的損傷，並能夠防止微粒及放出氣體的產生。並且，由於透過組合直動式驅動器和緩衝部件使密封件不摩擦密封面，因此能夠防止摩擦引起的微粒和放出氣體的產生。

1．．．閘閥

2．．．閥桿

3．．．波紋管

4．．．密封單元

5．．．引導裝置

6．．．腔室

7．．．開口部

8．．．密封板

9．．．背板

10．．．直動式驅動器

11．．．密封法蘭

12．．．密封面

13．．．腔室側板

14．．．上部止動件

15．．．凹部

16．．．密封件

17．．．緩衝部件

18．．．維修孔

19．．．孔蓋

20．．．下部止動件

21．．．孔

22．．．凸部

23．．．緩衝部件

24．．．止動件兼孔蓋

25．．．腔室頂板

26．．．開閉氣缸

27．．．氣缸主體

28．．．氣缸蓋

29．．．活塞

30．．．桿部

31．．．波紋管

32．．．關閉動作壓力供給口

33．．．關閉動作壓力供給室

34．．．打開動作壓力供給口

35．．．打開動作壓力供給室

36．．．第一止逆閥

37．．．第二止逆閥

38．．．閥體

39．．．閥座

40．．．壓縮彈簧

41．．．羽子板(一種長方形帶柄的板)形狀的支柱

42．．．槽

43．．．滾軸

44．．．圓柱形狀的支柱

45．．．套筒

第1圖是表示本發明的閘閥的一個示例的截面圖。

第2圖中（a）是表示將在第1圖的閘閥中的密封單元上升至關閉位置的狀態的截面圖，（b）是表示根據同一密封單元的密封面的關閉狀態的截面圖。

第3圖中（a）是表示在本發明的閘閥中設置下部止動件的變型示例的截面圖，（b）是表示將同一閘閥中的密封單元上升至關閉位置的狀態的截面圖。

第4圖中（a）是表示第3圖的閘閥中的下部止動件的變型示例的截面圖，（b）是表示將同一閘閥中的密封單元上升至關閉位置的狀態的截面圖。

第5圖是表示安裝了本發明閘閥的腔室中的孔蓋的變型示例的截面圖。

第6圖中（a）是表示本發明的閘閥中的密封單元的波紋管保護結構的截面圖，（b）是同一保護結構中的止逆閥的放大圖。

第7圖中（a）是表示現有的閘閥的引導裝置的全圖，（b）是本圖（a）的箭頭方向截面圖。

第8圖中（a）是表示本發明的閘閥的引導裝置的全圖，（b）是本圖（a）的箭頭方向截面圖。

以下，參照附圖來說明本發明的實施方式。

如第1圖所示，本實施方式的閘閥1是使用於高真空的半導體製造裝置或平面顯示器（FPD）製造裝置等中的閘閥，包含有閥桿2、波紋管3、密封單元4以及引導裝置5而構成。在本實施方式中，採用有不透過閥箱而直接搭載在搬送室或反應室的腔室6中的直接安裝結構，由於透過這種結構不需要閥箱，因此得到降低成本、將裝置小型化、減少維護點等的效果。

閥桿2被焊接波紋管或沉積波紋管等的伸縮自如的金屬制波紋管3覆蓋，在將腔室6內部的真空空間和外部的大氣環境隔離的同時，透過引導裝置5的驅動使密封單元4在腔室6的內部進行升降移動。在此，根據設置在腔室6中的開口部7的寬度將閥桿2和波紋管3的數量設置為一組或多組。

密封單元4與閥桿2連接，並根據下述的引導裝置5被準確無晃動地引導至預定位置。即，密封時，首先透過引導裝置5的驅動使閥桿2上升，如第2圖（a）將密封單元4引導到腔室6的開口部7的高度位置（關閉位置）。接著，透過被固定在背板9上的直動式驅動器10的動作使與背板9面對面配置的密封板8擴張，並如第2圖（b）將密封板8按壓在密封法蘭11的密封面12上進行密封。

在如本實施方式不使用閥箱的直接安裝結構中，在密封單元4中具備直動式驅動器10的閘閥中，腔室6的內部需要一些限制裝置。因此，在本實施方式中，在腔室側板13可裝卸地安裝有一個或多個上部止動件14，透過設置在上部止動件上的凹部15來承受密封板8被按壓在密封面12上時的反作用力。

在此，在本實施方式的閘閥1中產生微粒的地方是，在密封板8中埋設的密封件（例如O型環等）16和密封面12的接觸部分、或者特別是在用於承受大型閘閥中較為顯著的施加到密封板8的表面壓力的止動機構等，另外產生放出氣體的地方是密封單元4中內置的直動式驅動器10。該放出氣體的產生源也是微粒的產生源。

因此，在本實施方式中，透過波紋管3覆蓋上述的放出氣體產生源，如此能夠將放出氣體的產生控制到最低限度的同時，還能夠將與放出氣體來自相同的產生源的微粒也封入波紋管3的內部。並且，特別是由於在大型閘閥中密封時施加的表面壓力非常大，因此在本實施方式中，在與上部止動件14接觸的背板9的上部設置有樹脂或橡膠等構成的緩衝部件17。因此，受到密封板8被按壓到密封面12上時的反作用力，背板9的上部對上部止動件14的凹部15透過緩衝部件17而接合，由此能夠減輕接合時的衝擊力，並能夠抑制因背板9的表面或上部止動件14發生剝離而引起的微粒的產生。

並且，在本實施方式中，如第2圖（a）當將密封單元4移動到關閉位置時，在背板9的上部和上部止動件14的凹部15之間形成用於吸收反作用力的空隙g。而且，如第2圖（b）密封板8受到被按壓到密封面12上時的反作用力，使設置在背板9的上部的緩衝部件17與上部止動件14的凹部15接合時，連接在背板9上的閥桿2向遠離密封面12的方向彎曲，並彈性形變為弓狀。

即，當透過直動式驅動器10驅動密封板8，背板9受到密封時的反作用力而向非密封方向後退時，由於透過閥桿2的彈力降低其速度並分散反作用力，因此緩和了接合時的衝擊力和施加在止動件上的密封板按壓力。因此，能夠抑制背板9上部的緩衝部件17和凹部15的接合部分的損傷且大幅度抑制微粒的產生，同時還具有延長緩衝部件的壽命且延長維修週期的效果。在這一方面，在採用了以往的連桿式或已有的對驅動器和桿不施加負荷的結構的密封單元中，難以控制接合時的速度，且無法避免接合部分的損傷和頻繁的維修。

並且，在連桿式的驅動器的情況下，由於密封板8的密封件16與密封面12接合時發生機械滑動動作而產生微粒。但是，在本實施方式中，透過波紋管31來保護直動式驅動器10的桿部30，與真空部分相隔離，因此沒有滑動部分，能夠抑制來自摩擦的微粒的產生。

並且，如果利用連桿式的驅動器會有行程的限制，在密封板8的密封件16由於老化引起的塑性變形或磨損而導致彈性形變量減少的情況下，密封性能相應變差。對此，如本實施方式透過使用直動式驅動器10，即使密封件16的彈性形變量減少，由於可以將密封件16進一步按壓到密封面12上以抵消彈性形變量的減少，因此還具有帶來密封性能的穩定化（產生相當於開閉氣缸的行程的跟蹤性能）的優點。

需要說明的是，針對這樣一種閘閥1，製造半導體或FPD等時在密封單元4或密封件16上附著的副產物也成為微粒產生的主要原因之一。因此，在本發明的實施方式中，在設置於腔室6中的閥裝置上部設置有維修孔18。如此，如果卸下塞住維修孔18的孔蓋19，並卸下安裝在腔室側板13上的上部止動件14，可以更換密封單元4。因此，能夠簡單地進行將附著在密封單元4或密封法蘭11上的副產物除去的維修作業。

本實施方式的閘閥1具有上述構成，但是也可以採用以下結構作為變型例。

例如，如第3圖所示的閘閥1其特徵在於，在上述的上部止動件的14的基礎上還設置一種止動件。即，如第3圖（a）所示，在背板9的下部一體式或分體式地設置有向開口部7的方向延伸的下部止動件20，在該下部止動件20的前端形成有圓形的孔21。並且，在位於其面對面位置的密封法蘭11的下部設置有嵌合上述孔21的銷子型凸部22，在該凸部22的開口部一側的外周面安裝有由樹脂或橡膠等構成的緩衝部件23。由於其他的結構與第1圖所示的結構相同，因此對同一部件標注相同的符號而省略詳細說明。

根據以上結構，如果透過引導裝置5的驅動如第3圖（b）將密封單元4引導到開口部7的關閉位置，那麼凸部22透過緩衝部件23嵌合在下部止動件20的孔21中。而且，當透過直動式驅動器10的動作將密封板8按壓在密封面12上時，下部止動件20透過經上述嵌合後的緩衝部件23吸收其反作用力，從而減輕作用於閥桿2上的壓力。因此，根據本實施方式的閘閥1，透過採用上部止動件14和下部止動件20這兩種止動件結構，能夠透過將衝擊力分散到承受衝擊的緩衝部件而力求閥桿2的低剛性化，並隨之實現降低成本、減輕重量、提高速度等。

並且，如第4圖所示的閘閥1雖然與第3圖一樣採用上部止動件14和下部止動件20這兩種止動件結構，但是其特徵在於將下部止動件20安裝固定在閥桿2的周圍，且設置下部止動件20以使其可以與背板9分離。由於其他的結構與第3圖所示的結構相同，因此對同一部件標注相同的符號而省略詳細說明。

根據以上結構，在進行如上的維修作業的情況下，當從維修孔18取出密封單元4時，透過從背板9分離下部止動件20而不受密封法蘭11的阻礙，能夠在使下部止動件20留在腔室6內的情況下僅取出密封單元4。因此，根據本實施方式的閘閥1，在上述效果的基礎上還具有能夠使密封單元4的更換作業高效地進行的效果。

並且，第5圖所示的閘閥1其特徵在於對上述孔蓋19的結構進行了變型。在本實施方式中，透過在孔蓋19的蓋部內面一體化地形成凹部15，使孔蓋19成為兼具以下功能：作為堵塞維修孔18的蓋子的功能、以及作為與背板9接合而承受密封時的反作用力的上部止動件14的功能。而且，該止動件兼孔蓋24並非連接固定在腔室側板13上，而是連接固定在設置維修孔18的腔室頂板25上。

根據以上結構，當從維修孔18取出密封單元4時，無需對上述的孔蓋19和上部止動件14這兩個部件進行取出作業，而僅透過對止動件兼孔蓋24進行取出作業即可。因此，能夠在維修時使密封單元4的更換作業更加簡單且耗時更少地進行。並且，由於能夠減少部件的件數，因此還可以使整體裝置的成本降低。並且，儘管圖中未示，還可以使孔蓋19和上部止動件14設置為可分解的結構。利用可分解的結構儘管增加了部件的件數，但是可以在諸如上部止動件14發生故障等時候以低成本進行更換。

接著，對上述閘閥1中的密封單元4的結構進行詳細說明。如第6圖（a）所示，將密封單元4構成為：在相互面對面配置的密封板8和背板9之間，作為直動式驅動器10具備使密封板8向圖中箭頭方向開閉的開閉氣缸26。開閉氣缸26具備有在由固定於背板9上的氣缸主體27和氣缸蓋28構成的密閉空間內透過空氣壓的供給和排放以伸縮的活塞29，活塞29的桿部30結合到密封板8上。並且，安裝有焊接波紋管或沉積波紋管等伸縮自如的金屬制波紋管31以覆蓋桿部30的周圍。

而且，透過開閉氣缸26進行打開動作時，將關閉動作壓力供給室33的內部的壓縮空氣（關閉動作壓力）從背板9的關閉動作壓力供給口32排出，同時，透過供給排出通道從背板9的打開動作壓力供給口34將壓縮空氣（打開動作壓力）供給到打開動作壓力供給室35。如此，使打開動作壓力供給室35的內部壓力增加，活塞29向背板9的方向被按壓而使桿部30後退，使得與桿部30結合的密封板8離開密封面12而開放開口部7。這種情況為閥的打開狀態。

另一方面，透過開閉氣缸26進行關閉動作時，將打開動作壓力供給室35的內部的壓縮空氣（打開動作壓力）從背板9的打開動作壓力供給口34排出，同時，透過供給排出通道從背板9的關閉動作壓力供給口32將壓縮空氣（關閉動作壓力）供給到關閉動作壓力供給室33。如此，使關閉動作壓力供給室33的內部壓力增加，活塞29向密封板8的方向被按壓而使桿部30前進，使得與桿部30結合的密封板8按壓在密封面12上而封閉開口部7。這種情況為閥的關閉狀態。

並且，一般搬送室或反應室的腔室6內部保持為真空狀態，為了使透過桿部30的滑動空隙從打開動作壓力供給室35微小量漏出的打開動作壓力不擴散到搬送室或反應室的腔室6，桿部30周圍被波紋管31所覆蓋。這樣，透過波紋管31將開閉氣缸26的內外空間完全分離，維持各自的氣密狀態，因此能夠防止大氣入侵到搬送室或反應室的腔室6內部。

進一步地，在本實施方式中，作為保護波紋管31的結構，採用有提升閥機構。即，在活塞29中內置有第一止逆閥36，其一端與波紋管31的內部連通，另一端與關閉動作壓力供給室33連通。並且，在氣缸蓋28中內置有第二止逆閥37，其一端與波紋管31的內部連通，另一端與打開動作壓力供給室35連通。如第6圖（b）所示，該第一止逆閥36和第二止逆閥37由具有密封部的閥體38、使閥體38貼附在閥座39上的壓縮彈簧40構成。

而且，如果在進行打開動作時（打開動作壓力供給室35內加壓時）施加到波紋管31的內壓超過基準壓力，則第二止逆閥37關閉，這時波紋管31內的超過基準壓力的壓縮空氣經由桿部30內的通路按壓閥體38使其對抗壓縮彈簧40而打開第一止逆閥36。如此，透過關閉動作壓力供給口32將壓縮空氣從關閉動作壓力供給室33排出到密封單元4的外部。

另一方面，如果在進行關閉動作時（關閉動作壓力供給室33內加壓時）施加到波紋管31的內壓超過基準壓力，則這次第一止逆閥36關閉，這時波紋管31內的超過基準壓力的壓縮空氣經由氣缸蓋28內的通路按壓閥體38使其對抗壓縮彈簧40而打開第二止逆閥37。如此，透過打開動作壓力供給口34將壓縮空氣從打開動作壓力供給室35排出到密封單元4的外部。

如此，根據本實施方式的閘閥1，透過兩個止逆閥36、37感知桿部30和波紋管31之間的壓力，如果施加在波紋管31的壓力超過預定壓力，則根據直動式驅動器10的內部的壓力狀況，止逆閥37和止逆閥36中的任意一個自動打開，將其壓縮空氣排出到密封單元4的外部，由此能夠對波紋管31的變形和損傷防範于未然。因此，能夠防止波紋管31的破裂造成的污染或真空破壞，力求提高包含密封單元4的閘閥1的壽命。

最後，對上述閘閥1中的引導裝置5的結構進行詳細說明。第7圖是表示已有的引導裝置5A的圖。該引導裝置5A內置有透過閥桿2使密封單元4移動的驅動機構，如第7圖（b）在羽子板形狀的支柱41中設置槽42，並構造為在該槽42和支柱41的外面抵接多個滾軸43、…、43。根據這種已有的引導裝置5A，在裝置內部需要另外的用於支撐引導機構的支撐機構，成為裝置大型化、重量增加、成本提高等的主要原因。

對此，第8圖是表示根據本發明的引導裝置5B的圖。該引導裝置5B中作為透過閥桿2使密封單元4移動的驅動機構，不使用滾軸43，透過同一支柱44構成引導閥桿2的升降動作的引導機構以及支撐引導機構的支撐機構。並且，支柱44形成為圓柱形狀，在支柱44的外徑設置有使用套筒45的滑動軸承。根據這種新穎的引導裝置5B，能夠透過一個支柱44兼用作以往分別設置的引導機構和支撐機構，極大地簡化引導裝置5B的結構，得到整體裝置的緊湊化、重量減輕、成本降低等的效果。

在此，以上說明的實施方式僅僅為示例，在不變更本發明要點的範圍內可以進行適宜的設計變更。例如，雖然閘閥1安裝在反應室的腔室6中，但是並不限定於此，也可以是安裝在搬送室的腔室6中。並且，雖然緩衝部件17設置在背板9的上部，但是也可以設計為將緩衝部件17設置在上部止動件14的凹部15內來取代以上設置。

進一步地，在第3圖和第4圖中，在下部止動件20的前端形成孔21且在密封法蘭11的下部形成凸部22，但是也可以與此相反，在下部止動件20的前端形成凸部22且在密封法蘭11的下部形成孔21，還可以不形成孔21而形成凹部。並且，在第4圖中，設置為將下部止動件20固定在閥桿2上而可以分離取出密封單元4，但是也可以透過使維修孔18向非密封方向擴張以避開密封法蘭11而容易地取出密封單元的結構來代替上述設置。

1．．．閘閥

2．．．閥桿

3．．．波紋管

4．．．密封單元

5．．．引導裝置

6．．．腔室

7．．．開口部

8．．．密封板

9．．．背板

10．．．直動式驅動器

11．．．密封法蘭

12．．．密封面

13．．．腔室側板

14．．．上部止動件

15．．．凹部

16．．．直動式驅動器

17．．．緩衝部件

Claims (8)

1. 一種閘閥，其特徵在於，在透過在面對面的一密封板和一背板之間內置的一直動式驅動器使一密封單元進行動作而對一開口部進行開閉的該閘閥中，
   當受到該密封板被按壓到該開口部的一密封面上時的反作用力，
   使得設置在該背板的上部的一緩衝部件與設置在一腔室中的一上部止動件接合時，或者，使得該背板的上部與在設置於該腔室中的該上部止動件中設置的該緩衝部件接合時，與該背板連接的閥桿彈性形變為弓狀。
2. 如申請專利範圍第1項所述的閘閥，其中在該背板的下部設置有向該開口部方向延伸的一下部止動件，透過在該密封面的一密封法蘭下部形成的凸部透過該緩衝部件嵌合在該下部止動件中形成的凹部或孔中，或者，透過該下部止動件中形成的一凸部透過該緩衝部件嵌合在該密封面的該密封法蘭下部形成的凹部或孔中，承受該密封板被按壓到該密封面上時的反作用力。
3. 如申請專利範圍第2項所述的閘閥，其中將該下部止動件設置為：固定在該閥桿上且能夠從該背板分離。
4. 如申請專利範圍第1～3項中的任意一項所述的閘閥，其中該密封單元包括：
   一開閉氣缸，具備透過空氣壓的供給和排放伸縮的活塞；
   該背板，固定有該開閉氣缸且具備傳遞打開動作壓力和關閉動作壓力的供給排出通道；
   該密封板，與該活塞的桿部結合；並且具備一波紋管保護結構：在該開閉氣缸上設置一止逆閥，當在覆蓋該桿部的該波紋管中施加的內壓超過基準壓力時，透過該止逆閥將該內壓排出到該密封單元的外部。
5. 如申請專利範圍第1～3項中的任意一項所述的閘閥，還包含透過該閥桿將該密封單元移動到該密封面的一引導裝置，該引導裝置透過同一支柱構成引導該閥桿的升降動作的一引導機構以及支撐該引導機構的支撐機構，並且該支柱為圓柱形狀。
6. 如申請專利範圍第4項所述的閘閥， 還包含透過該閥桿將該密封單元移動到該密封面的一引導裝置，該引導裝置透過同一支柱構成引導該閥桿的升降動作的一引導機構以及支撐該引導機構的支撐機構，並且該支柱為圓柱形狀。
7. 一種腔室，其特徵在於安裝了申請專利範圍第1～6項中的任意一項所述的閘閥，在該腔室中設置有用於將該閘閥中的一密封單元取出的維修孔。
8. 如申請專利範圍第7項所述的腔室，其中堵塞該維修孔的孔蓋兼具有與一背板接合的一上部止動件的功能。