TW201400201A - 真空洗淨裝置 - Google Patents

Abstract

本申請案之真空洗淨裝置(100)，其係具備有：蒸氣室(200)，生成烴系洗淨劑的蒸氣；冷凝室(120)；第1熱交換器(310)，在冷凝室中，以蒸氣與熱介質進行熱交換；洗淨室(102)，藉由在冷凝室(120)所生成之冷凝洗淨劑，可在減壓下洗淨工件；壓縮機(340)，將在第1熱交換器中被加熱之熱介質予以隔熱壓縮，並進一步加熱；第2熱交換器(320)，在蒸氣室中，以由壓縮機所加熱之熱介質與烴系洗淨劑進行熱交換；以及減壓部(350)，將在第2熱交換器中被冷卻之熱介質予以減壓膨脹，並進一步予以冷卻；由減壓部所冷卻之熱介質係被送回第1熱交換器，而使熱介質在第1熱交換器、壓縮機、第2熱交換器、及減壓部中循環。

Description

真空洗淨裝置

本發明係關於將烴系洗淨劑的蒸氣供給至減壓下的洗淨室以洗淨工件之真空洗淨裝置。

本申請案係根據2012年4月25日於日本提出申請之特願2012-100312號主張優先權，並在此援用該內容。

以往，為人所知者例如有專利文獻1所示之真空洗淨裝置。根據該真空洗淨裝置，首先進行：藉由真空泵浦對搬入有工件之蒸氣洗淨乾燥室進行減壓之減壓工序，然後進行：將烴系洗淨劑的蒸氣供給至蒸氣洗淨乾燥室以洗淨工件之蒸氣洗淨工序。接著進行：將烴系洗淨劑噴霧至工件或將工件浸漬在貯留於浸漬室之烴系洗淨劑，尤其是洗淨在蒸氣洗淨工序中未充分洗淨之工件的間隙等之噴霧浸漬洗淨工序。如此，當完成工件的洗淨時，再次將工件運送至蒸氣洗淨乾燥室後，進行：進一步對蒸氣洗淨乾燥室進行減壓，並使附著於工件表面之洗淨劑蒸發之乾燥工序。然後當結束乾燥工序後，使蒸氣洗淨乾燥室回到大氣壓後，搬出工件而結束一連串的工序。

在此般真空洗淨裝置中，使用過的烴系洗淨劑(附著於工件之污染物及烴系洗淨劑，以下稱為使用過的洗淨劑)，係被 送到蒸氣室以進行再生。具體而言，被送到蒸氣室之使用過的洗淨劑係藉由電熱器等來加熱，藉此成為實質上僅為烴系洗淨劑之蒸氣(蒸餾)。所生成之僅為烴系洗淨劑之蒸氣係再次被利用在蒸氣洗淨工序中，或是藉由利用冷卻水之冷卻器進行冷凝後，被利用在噴霧浸漬洗淨工序中。

然而，專利文獻1的技術中，蒸氣室中用以生成烴系洗淨劑的蒸氣所利用之熱係經由冷卻器回收而被捨棄。此外，為了冷卻蒸氣，需要有200L/min左右之大量的冷卻水，且必須準備貯水槽、潔淨塔等，而導致裝置的大型化。

因此，係揭示有下列技術，亦即在大氣壓的蒸氣洗淨裝置中，藉由以水(液體)為熱介質之第1熱交換部，將在蒸氣洗淨乾燥室中所產生之蒸氣狀態之使用過的洗淨劑予以冷卻，並利用第2熱交換部來間接地回收第1熱交換部所得之熱，藉此，經由該2階段來進行熱交換，將水(液體)所得到之顯熱供給至蒸氣室之技術(例如專利文獻2)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1日本國特開平7-166385號公報

專利文獻2日本國特公平3-31113號公報

然而，專利文獻2的技術中，第1熱交換部係利用水的顯熱來回收使用過的洗淨劑的熱，並利用第2熱交換部來間 接地回收第1熱交換部所得之熱，經由上述之2階段來進行熱交換，所以與利用熱介質的潛熱之情形相比，熱的回收效率係低達1/10至1/100。因此，為了在第1熱交換部充分地回收熱，必須增大第1熱交換部與第2熱交換部的接觸面積，而導致熱交換器的大型化。因此，當將專利文獻2的技術應用在真空洗淨裝置時，可能導致裝置本身的佔有體積增大。

本發明之目的在於提供一種不會導致裝置本身的大型化，而能夠有效率地回收蒸氣室中所利用之熱之真空洗淨裝置。

為了解決上述課題，本發明之真空洗淨裝置的第一型態係具備有：蒸氣室，生成烴系洗淨劑的蒸氣；冷凝室，連接於前述蒸氣室；第1熱交換器，在前述冷凝室中，使從前述蒸氣室所導入之蒸氣與熱介質進行熱交換，藉此使前述蒸氣冷凝而成為烴系洗淨劑，並加熱前述熱介質；洗淨室，可藉由從前述冷凝室所供給之冷凝後的烴系洗淨劑，在減壓下洗淨工件；壓縮機，將在前述第1熱交換器中被加熱之熱介質予以隔熱壓縮，而進一步加熱；第2熱交換器，在前述蒸氣室中，以由前述壓縮機所加熱之熱介質與前述烴系洗淨劑進行熱交換，藉此使前述烴系洗淨劑氣化而生成蒸氣，而冷卻前述熱介質；以及減壓部，將在前述第2熱交換器中被冷卻之熱介質予以減壓膨脹，並進一步予以冷卻；由前述減壓部所冷卻之熱介質係被送回前述第1熱交換器，而使前述熱介質在前述第1熱交換器、前述壓縮機、前述第2熱交換器、及前述減壓部中循環。

此外，在前述第一型態中，前述減壓部亦可由膨脹 閥所構成。

此外，在前述第一型態中，前述減壓部係以會藉由在前述第2熱交換器中被冷卻之熱介質而旋轉之渦輪所構成；前述壓縮機亦可藉由前述渦輪的旋轉動力而輔助驅動。

此外，在前述第一型態中，亦可具備有：使在前述第1熱交換器與前述壓縮機之間流通之熱介質、及在前述第2熱交換器與前述減壓部之間流通之熱介質進行熱交換之第3熱交換器。

此外，在前述第一型態中，前述烴系洗淨劑亦可為第3石油類的洗淨劑。

根據本發明，係不會導致裝置本身的大型化，而能夠有效率地回收蒸氣室中所利用之熱。

100、500‧‧‧真空洗淨裝置

102‧‧‧洗淨室

104‧‧‧真空容器

104a‧‧‧開口

106‧‧‧開閉門

108‧‧‧載置部

110‧‧‧沖淋部

114‧‧‧蒸氣供給管

120‧‧‧冷凝室

122、126、128‧‧‧冷凝洗淨劑供給管

124‧‧‧洗淨劑貯留部

130‧‧‧浸漬室

130a、202‧‧‧加熱器

140‧‧‧中間門

150‧‧‧洗淨劑導入管

200‧‧‧蒸氣室

300‧‧‧熱泵單元

310‧‧‧第1熱交換器

320‧‧‧第2熱交換器

330、330a至330f‧‧‧熱介質循環管線

340‧‧‧壓縮機

350、450‧‧‧減壓部

360‧‧‧第3熱交換器

452‧‧‧壓力調整閥

510‧‧‧配管

512‧‧‧閥

W‧‧‧工件

第1圖為用以說明本發明實施形態之真空洗淨裝置之概念圖。

第2圖為說明本發明實施形態之真空洗淨裝置的處理工序之流程圖。

第3圖為用以說明本發明的變形例之真空洗淨裝置之概念圖。

第4圖為用以說明本發明的變形例之真空洗淨裝置之概念圖。

以下參考附圖來詳細說明本發明之較佳實施形態。該實施形態所示之尺寸、材料、及其他具體數值等，僅用以更容易理解本發明而例示，除了特別說明者之外，本發明並不限定於此。在本說明書及圖式中，對於實質上具有同一功能、構成之要素，係附加同一元件符號並省略重複說明，此外，與本發明無直接關係之要素，亦省略該圖示。

(真空洗淨裝置100)

第1圖為用以說明真空洗淨裝置100之概念圖。如第1圖所示，真空洗淨裝置100係具備有在內部設置有洗淨室102之真空容器104。於該真空容器104形成有開口104a，並可藉由開閉門106使開口104a開閉。因此，於洗淨工件W時，開放開閉門106並從開口104a，將工件W搬入洗淨室102內並載置於載置部108，並且關閉開閉門106而洗淨工件W後，再次打開開閉門106，並從開口104a搬出工件W。

於上述洗淨室102設置有沖淋部110。沖淋部110係經由蒸氣供給管114、冷凝室120、冷凝洗淨劑供給管122、洗淨劑貯留部124、冷凝洗淨劑供給管126而連接於蒸氣室200。

蒸氣室200具備有加熱器202及第2熱交換器320，係將烴系洗淨劑(溶劑)加熱至例如80至140℃左右，較佳為120℃左右，而生成烴系洗淨劑的蒸氣(以下簡稱為蒸氣)。蒸氣室200中所生成之蒸氣，係經由蒸氣供給管114被導入至冷凝室120。

冷凝室120具備有第1熱交換器310，導入至冷凝室120之蒸氣係藉由第1熱交換器310所冷卻，而冷凝為液體的烴系洗淨劑(以下簡稱為冷凝洗淨劑)。冷凝洗淨劑係經由冷凝洗淨劑 供給管122被貯留於洗淨劑貯留部124後，經由冷凝洗淨劑供給管126及沖淋部110被供給至洗淨室102。關於第1熱交換器310的冷卻機構及第2熱交換器320的加熱機構，將於之後詳述。

此外，於真空容器104內，設置有配置在洗淨室102的下方之浸漬室130。於該浸漬室130，貯留有可完全浸漬工件W之量的烴系洗淨劑(液體)，並設置有用以加熱該烴系洗淨劑之加熱器130a。此外，於洗淨室102與浸漬室130之間設置有中間門140，藉由該中間門140，使洗淨室102與浸漬室130連通或是阻斷該連通。

貯留於浸漬室130之烴系洗淨劑，為從沖淋部110所供給之冷凝洗淨劑、及從洗淨劑貯留部124經由冷凝洗淨劑供給管128所供給之冷凝洗淨劑中的任一者或兩者。此外，本實施形態中，於載置部108設置有未圖示之升降裝置，而構成為可使載置部108在垂直方向移動。因此，藉由在開放中間門140使洗淨室102與浸漬室130連通之狀態下驅動升降裝置，如圖中虛線所示，可將工件W從洗淨室102移動至浸漬室130，或將工件W從浸漬室130移動至洗淨室102。

然後，從沖淋部110所供給並洗淨工件W後之冷凝洗淨劑，或在浸漬室130中洗淨工件W後之冷凝洗淨劑(以下簡稱為使用過的洗淨劑)，係經由使用過的洗淨劑導入管150，再次被導入至蒸氣室200，並藉由上述加熱器202或第2熱交換器320來加熱而成為蒸氣(再生)。

該烴系洗淨劑的種類並無特別限定，從安全性的觀點來看，較佳係使用第3石油類的洗淨劑，可列舉例如正烷烴系、 異烷烴系、環烷烴系、芳香族系之烴系洗淨劑。具體而言，較佳為可使用稱為洗淨溶劑之TECLEAN N20、CLEAN SOL G、Daphne Solvent等，作為第3石油類的洗淨劑。

此外，於洗淨室102及蒸氣室200，連接未圖示的真空泵。該真空泵係在開始工件W的洗淨前之減壓工序中，藉由對真空容器104及蒸氣室200內進行真空抽吸(初期真空)來減壓至例如6kPa左右。此外，於洗淨室102中，連接有用以使前述洗淨室102進行大氣開放之未圖示的配管。於該配管中，設置有阻斷大氣與洗淨室102之大氣開放閥。該大氣開放閥係在工件W洗淨工序及乾燥工序結束後的搬出工序中，使洗淨室102進行大氣開放而回復至大氣壓。

接著，使用第1圖及第2圖來說明上述真空洗淨裝置100中之工件W的真空洗淨方法。

第2圖為說明真空洗淨裝置100的處理工序之流程圖。利用真空洗淨裝置100時，首先進行1次準備工序(步驟S110)，然後對1個工件W進行搬入工序(步驟S120)、減壓工序(步驟S130)、蒸氣洗淨工序(步驟S140)、沖淋洗淨工序(步驟S150)、浸漬洗淨工序(步驟S160)、乾燥工序(步驟S170)、搬出工序(步驟S180)。之後對依序搬入之工件W進行步驟S120至步驟S180之工序。以下參考第1圖來說明上述各工序。

(準備工序：步驟S110)

首先，在使真空洗淨裝置100運轉時，關閉開閉門106以將真空容器104內從外部阻斷。然後打開中間門140以使浸漬室130連通於洗淨室102。接著驅動真空泵，對洗淨室102及浸漬室130 進行真空抽吸，藉此減壓至例如10kPa以下。如此，將洗淨室102及浸漬室130減壓至所期望之壓力後，關閉中間門140以將浸漬室130阻斷於洗淨室102。然後，在阻斷後開放大氣開放閥以對洗淨室102進行大氣開放。

然後，驅動加熱器202及後述之熱泵單元300(第2熱交換器320)，將貯留於蒸氣室200之烴系洗淨劑予以加溫而生成蒸氣。於蒸氣室200中所生成之蒸氣，係被導入至冷凝室120並藉由熱泵單元300(第1熱交換器310)所冷卻，且冷凝為冷凝洗淨劑並貯留於洗淨劑貯留部124。或是經由冷凝洗淨劑供給管128被貯留於浸漬室130。此外，驅動加熱器130a並將貯留於浸漬室130之烴系洗淨劑予以加溫而生成蒸氣。此時，由於中間門140被關閉，所以在浸漬室130所生成之蒸氣係充滿在浸漬室130內。藉此結束真空洗淨裝置100的準備工序，而能夠藉由真空洗淨裝置100來進行工件W的洗淨。

(搬入工序：步驟S120)

在藉由真空洗淨裝置100來進行工件W的洗淨時，首先打開開閉門106，從開口104a將工件W搬入洗淨室102內並載置於載置部108。一旦完成工件W的搬入，關閉開閉門106而使洗淨室102成為密閉狀態。此時，工件W的溫度為常溫(15至40度)左右。

(減壓工序：步驟S130)

接著驅動真空泵，藉由真空抽吸將洗淨室102及蒸氣室200減壓至10kPa以下。

(蒸氣洗淨工序：步驟S140)

接著打開中間門140而使洗淨室102與浸漬室130連通，並 將由浸漬室130所生成之蒸氣供給至洗淨室102。此時蒸氣的溫度係控制在80至140℃，高溫的蒸氣係充滿於洗淨室102。

如此，當供給至洗淨室102之蒸氣附著於工件W的表面時，由於工件W的溫度比蒸氣的溫度低，所以蒸氣會在工件W的表面冷凝，而附著於工件W的表面之油脂類會藉由該冷凝之烴系洗淨劑所溶解並流下，以洗淨工件W。該蒸氣洗淨工序，係進行至工件W的溫度到達蒸氣的溫度(烴系洗淨劑的沸點)之80至140℃，並且在工件W的溫度到達蒸氣的溫度時，結束蒸氣洗淨工序。

(沖淋洗淨工序：步驟S150)

當蒸氣洗淨工序結束時，沖淋部110係將貯留於洗淨劑貯留部124之冷凝洗淨劑噴射至工件W。如此，將在蒸氣洗淨工序中未被完全洗淨之附著於工件W的細部之油脂類等予以洗淨。

(浸漬洗淨工序：步驟S160)

當沖淋洗淨工序結束時，使載置部108降下，而將工件W浸漬在貯留於浸漬室130之烴系洗淨劑。此時，藉由未圖示之升降裝置使工件W在垂直方向重複升降複數次，而將在蒸氣洗淨工序和沖淋洗淨工序中未被完全洗淨之附著於工件W的細部之油脂類等予以洗淨。如此，在完成工件W的洗淨時，使載置部108上升並將工件W運送至洗淨室102，關閉中間門140以阻斷洗淨室102與浸漬室130。

(乾燥工序：步驟S170)

在上述步驟S160的浸漬洗淨工序結束後，接著進行使洗淨時附著於工件W之烴系洗淨劑乾燥之乾燥工序。該乾燥工序係藉由 驅動真空泵來進行。

(搬出工序：步驟S180)

如上述般，在完成洗淨室102及工件W的乾燥後，開放大氣開放閥以進行洗淨室102的大氣開放，使洗淨室102之壓力回復至大氣壓時，打開開閉門106並從開口104a將工件W搬出，而結束對工件W所進行之全部工序。或者是經過判斷工序並重複進行步驟S120至步驟S180之工序(步驟S190)。

如以上說明，本實施形態之真空洗淨裝置100係在蒸氣室200中藉由加熱烴系洗淨劑而生成蒸氣，並在冷凝室120中冷卻該蒸氣，藉此生成在沖淋部110或浸漬室130中所利用之冷凝洗淨劑。在此，該真空洗淨裝置100係藉由採用熱泵單元300，可在蒸氣室200中利用冷凝室120中所回收的熱，藉此顯著地降低熱損失。接著說明此般熱泵單元300的具體構成。

(熱泵單元300)

熱泵單元300係包含第1熱交換器310、第2熱交換器320、熱介質循環管線330(圖中以330a至330f表示)、壓縮機340、減壓部350、及第3熱交換器360而構成。熱泵單元300中，如第1圖中的虛線箭頭所示，熱介質係在熱介質循環管線330中循環，並經由設置在熱介質循環管線330之第1熱交換器310、第3熱交換器360、壓縮機340、第2熱交換器320、第3熱交換器360、減壓部350，再次被導入至第1熱交換器310。該熱介質的種類並無特別限定，較佳係使用可在第1熱交換器310中利用熱介質的潛熱之氟氯碳系的熱介質。

第1熱交換器310係在冷凝室120中以熱介質及從 蒸氣室200所導入之蒸氣來進行熱交換，藉此冷卻蒸氣而冷凝成為冷凝洗淨劑，並加熱熱介質。在此，藉由第1熱交換器310來加熱，使熱介質成為氣體(第1圖中以G表示)。然後，藉由第1熱交換器310所加熱之熱介質，係藉由第3熱交換器360來加熱。關於第3熱交換器360的加熱機構，將於之後詳述。

壓縮機340係將在第3熱交換器360中被加熱之熱介質予以隔熱壓縮，並進一步加熱。

第2熱交換器320係在蒸氣室200中，以由壓縮機340所加熱之熱介質及液體的烴系洗淨劑進行熱交換，藉此加熱烴系洗淨劑而生成蒸氣，並冷卻熱介質。在此，藉由第2熱交換器320來冷卻，使熱介質成為氣液混合狀態(第1圖中以G、L表示)。藉由第2熱交換器320所冷卻之熱介質，係藉由第3熱交換器360進一步被冷卻。關於第3熱交換器360的冷卻機構，將於之後詳述。

減壓部350係由使流體的壓力降低之閥的膨脹閥所構成，且將在第2熱交換器320中被冷卻之熱介質予以減壓膨脹，並進一步冷卻。在此，藉由減壓部350來冷卻，使熱介質成為液體(第1圖中以L表示)。然後，在減壓部350中被冷卻之熱介質係通過熱介質循環管線330f再次被導入至第1熱交換器310。

以往之大氣壓的蒸氣洗淨裝置中，必須在大氣壓下使洗淨劑成為蒸氣，所以係利用沸點約為30至80℃(大氣壓)的鹵素系洗淨劑(三氯乙烷或三氯乙烯)作為洗淨劑。此般鹵素系洗淨劑，由於在加熱時該成分中的氯會分解，所以腐蝕性高，當使蒸氣直接接觸於熱交換部時，可能會使熱交換部被立即腐蝕。因此， 以往為了容易地進行更換或維護，係藉由接觸於蒸氣之第1熱交換部、以及間接地回收第1熱交換部所得之熱之第2熱交換部的2階段來進行熱交換。因此，熱交換部的裝置構成變得複雜，並且與以單段來進行熱交換之情形相比，熱交換效率會降低。

然而，本實施形態之真空洗淨裝置100，由於可將洗淨室102予以減壓，所以可利用沸點約為80至140℃(6kPa)之不具有腐蝕性的洗淨劑。因此，可藉由同一熱介質循環管線330，來連通在蒸氣直接接觸之冷凝室120中回收熱之第1熱交換器310、以及在蒸氣室200中所利用之第2熱交換器320。亦即，在蒸氣室200中，第2熱交換器320可直接利用：在冷凝室120中藉由第1熱交換器310冷卻蒸氣所回收之熱(潛熱)，可將熱損失抑制在最低程度，並且有效率地進行蒸氣的冷凝與蒸氣的生成。因此可抑制蒸氣室200中之加熱器202的加熱量。

此外，如上所述，在大氣壓的蒸氣洗淨裝置中，係從沸點約為30至80℃的蒸氣中回收熱，但本實施形態之真空洗淨裝置100，係可從沸點約為80至140℃的高溫蒸氣中回收熱。因此，第1熱交換器310係與大氣壓的蒸氣洗淨裝置相比，可回收較高之熱量。

再者，如上所述，在大氣壓的蒸氣洗淨裝置中，係利用水的顯熱，來回收使用過的洗淨劑的熱，或是將所回收的熱賦予至第2熱交換器。然而，真空洗淨裝置100係藉由利用氟氯碳系物質作為熱介質，而可在第1熱交換器310中利用熱介質的潛熱來回收洗淨劑的熱。因此，可使第1熱交換器310、第2熱交換器320達到小型化，而縮小真空洗淨裝置100本身的佔有體 積。

第3熱交換器360係以在熱介質循環管線330a、330b(第1熱交換器310與壓縮機340之間)之間流通之熱介質、與在熱介質循環管線330d、330e(第2熱交換器320與減壓部350之間)流通之熱介質，來進行熱交換。藉由第1熱交換器310所加熱且在熱介質循環管線330a中流通之熱介質，有時未完全氣化而成為氣液混合流體。此時，當液體的熱介質被導入於壓縮機340時，會有使壓縮機340產生缺失之可能性。

因此，藉由具備有第3熱交換器360之構成，可加熱流通於熱介質循環管線330a中之熱介質而成為較飽和溫度更高之溫度，而能夠使被導入於壓縮機340之熱介質(在熱介質循環管線330b中流通之熱介質)確實地僅成為氣體。藉此可避免壓縮機340產生缺失之事態。

(實施例1)

探討在未具備第3熱交換器360之狀態下，在蒸氣室200生成120℃的蒸氣之情形(Case1)與生成110℃的蒸氣之情形(Case2)時之熱介質的溫度、壓縮機340的使用能量(kW)、第2熱交換器320對蒸氣室200之加熱量(kW)。

在未具備熱泵單元之以往的真空洗淨裝置中，當蒸氣室欲生成120℃的蒸氣時，加熱器必須準備35kW(恆常時，於初期運轉時為36kW)的容量。

如第1表所示，於Case1中，可得知在第1熱交換器310中，熱介質從92℃被加熱至95℃，並藉由壓縮機340從95℃被加熱至132℃，在第2熱交換器320中，熱介質從132℃被冷卻至128℃。此外，壓縮機340的使用能量為6.5kW，第2熱交換器320對蒸氣室200之加熱量為36.5kW。因此可得知：僅藉由壓縮機340所利用之6.5kW，即可在蒸氣室200中得到與習知之未具備熱泵單元之真空洗淨裝置為同等之加熱量。亦即，在蒸氣室200中生成120℃的蒸氣時，於以往的真空洗淨裝置中需耗費35kW，但根據本實施形態之真空洗淨裝置100，僅耗費6.5kW。亦即，得知可削減約80%的消耗能量。

此外，如第1表所示，於Case2中，可得知在第1熱交換器310中，熱介質從92℃被加熱至95℃，並藉由壓縮機340從95℃被加熱至122℃，在第2熱交換器320中，熱介質從122℃被冷卻至118℃。此外，壓縮機340的使用能量為4.2kW，第2熱交換器320對蒸氣室200之加熱量為34.2kW。因此可得知：於Case2中，亦僅藉由壓縮機340所利用之4.2kW，即可在蒸氣室200中得到與習知之未具備熱泵單元之真空洗淨裝置為同等之加熱量。

(實施例2)

探討在具備第3熱交換器360之狀態下，在蒸氣室200生成120℃的蒸氣之情形(Case3)與生成110℃的蒸氣之情形(Case4)時之熱介質的溫度、壓縮機340的使用能量(kW)、第2熱交換器320對蒸氣室200之加熱量(kW)。

如第2表所示，於Case3中，可得知在第1熱交換器310中，熱介質從92℃被加熱至95℃，在第3熱交換器360中，從95℃被加熱至103℃，並藉由壓縮機340從103℃被加熱至139℃，在第2熱交換器320中，熱介質從139℃被冷卻至128℃，在第3熱交換器360中，從128℃被冷卻至123℃。此外，壓縮機340的使用能量為6.2kW，第2熱交換器320對蒸氣室200之加熱量為36.2kW。

此外，如第2表所示，於Case4中，可得知在第1熱交換器310中，熱介質從92℃被加熱至95℃，在第3熱交換器360中，從95℃被加熱至101℃，並藉由壓縮機340從101℃被加熱至127℃，在第2熱交換器320中，熱介質從127℃被冷卻至118 ℃，在第3熱交換器360中，從118℃被冷卻至114℃。此外，壓縮機340的使用能量為4.1kW，第2熱交換器320對蒸氣室200之加熱量為34.1kW。

因此，藉由具備第3熱交換器360，可將在熱介質循環管線330b中流通之熱介質的溫度設為飽和溫度以上(Case3中的過熱溫度為8℃，Case4中的過熱溫度為6℃)，而能夠確實地使熱介質氣化。

(變形例)

上述實施形態中，係以藉由膨脹閥來構成減壓部350之情形為例來說明，但只要可冷卻熱介質者，則亦可採用其他構成。第3圖為用以說明變形例之真空洗淨裝置100之概念圖。變形例之真空洗淨裝置100中，關於洗淨室102、真空容器104、開口104a、開閉門106、載置部108、沖淋部110、蒸氣供給管114、冷凝室120、冷凝洗淨劑供給管122、126、128、洗淨劑貯留部124、浸漬室130、加熱器130a、202、蒸氣室200、熱泵單元300、第1熱交換器310、第2熱交換器320、熱介質循環管線330、壓縮機340、及第3熱交換器360，係與上述實施形態之真空洗淨裝置100實質上具有相同功能，故附加同一元件符號並省略該重複說明，在此僅詳細說明功能不同之減壓部450。

如第3圖所示，變形例之真空洗淨裝置100中，減壓部450是以藉由在第2熱交換器320中被冷卻之熱介質而旋轉之渦輪所構成，壓縮機340係藉由渦輪的旋轉動力而驅動。

藉由以渦輪來構成減壓部450，可利用熱介質的流動，來回收用以驅動壓縮機340之動力的一部分。因此，與由膨 脹閥所構成之情形相比，可進一步謀求消耗能量的降低。此時，可在渦輪的上游側具備有壓力調整閥452。

以上係參考附圖來說明本發明之較佳實施形態，但本發明並不限定於該實施形態。對相關業者而言，在申請專利範圍所記載之範圍內，當然可思考出各種變更例或修正例，並且可明瞭此等變更例或修正例當然亦屬於本發明之技術範圍。

例如，即使不具備加熱器202，若可藉由第1熱交換器310及第2熱交換器320在蒸氣室200內生成目的溫度(80℃至140℃，例如120℃)之蒸氣，則加熱器202亦可僅利用在初期運轉時。

此外，上述實施形態中，係說明在蒸氣室200中由第2熱交換器320所進行之蒸氣的生成、以及在冷凝室120中由第1熱交換器310所進行之冷凝洗淨劑的生成，僅在準備工序(步驟S110)中進行之構成，但亦可在步驟S120至步驟S180中進行。

再者，上述實施形態中，在進行蒸氣洗淨時，係利用浸漬室130所生成之蒸氣，但如第4圖所示，真空洗淨裝置500亦可預先設置有連通蒸氣室200與洗淨室102之配管510，並且在配管510設置閥512，而利用蒸氣室200中所生成之蒸氣。此外，此時浸漬室130並非必要構成，亦可不具備浸漬室130。

本說明書中之真空洗淨方法的各工序，並不一定需依照流程圖所記載之順序來進行時間序列性的處理，亦可包含並列性或是次程序性之處理。

[產業上之可利用性]

本發明係可利用在將烴系洗淨劑的蒸氣供給至減壓 下的洗淨室以洗淨工件之真空洗淨裝置。

100‧‧‧真空洗淨裝置

102‧‧‧洗淨室

104‧‧‧真空容器

104a‧‧‧開口

106‧‧‧開閉門

108‧‧‧載置部

110‧‧‧沖淋部

114‧‧‧蒸氣供給管

120‧‧‧冷凝室

122、126、128‧‧‧冷凝洗淨劑供給管

124‧‧‧洗淨劑貯留部

130‧‧‧浸漬室

130a、202‧‧‧加熱器

140‧‧‧中間門

150‧‧‧洗淨劑導入管

200‧‧‧蒸氣室

300‧‧‧熱泵單元

310‧‧‧第1熱交換器

320‧‧‧第2熱交換器

330a至330f‧‧‧熱介質循環管線

340‧‧‧壓縮機

350‧‧‧減壓部

360‧‧‧第3熱交換器

W‧‧‧工件

Claims (10)

1. 一種真空洗淨裝置，係具備有：蒸氣室，生成烴系洗淨劑的蒸氣；冷凝室，連接於前述蒸氣室；第1熱交換器，在前述冷凝室中，使從前述蒸氣室所導入之蒸氣與熱介質進行熱交換，藉此使前述蒸氣冷凝而成為烴系洗淨劑，並加熱前述熱介質；洗淨室，可藉由從前述冷凝室所供給之冷凝後的烴系洗淨劑，在減壓下洗淨工件；壓縮機，將在前述第1熱交換器中被加熱之熱介質予以隔熱壓縮，而進一步加熱；第2熱交換器，在前述蒸氣室中，使由前述壓縮機所加熱之熱介質與前述烴系洗淨劑進行熱交換，藉此使前述烴系洗淨劑氣化而生成蒸氣，並冷卻前述熱介質；以及減壓部，將在前述第2熱交換器中被冷卻之熱介質予以減壓膨脹，而進一步予以冷卻；由前述減壓部所冷卻之熱介質係被送回前述第1熱交換器，而使前述熱介質在前述第1熱交換器、前述壓縮機、前述第2熱交換器、及前述減壓部中循環。
2. 如申請專利範圍第1項所述之真空洗淨裝置，其中，前述減壓部係由膨脹閥所構成。
3. 如申請專利範圍第1項所述之真空洗淨裝置，其中，前述減壓部係以會藉由在前述第2熱交換器中被冷卻之熱介質而旋轉之渦輪所構成；前述壓縮機係藉由前述渦輪的旋轉動力而輔助驅動。
4. 如申請專利範圍第1項所述之真空洗淨裝置，具備有：使在前述第1熱交換器與前述壓縮機之間流通之熱介質、及在前述第 2熱交換器與前述減壓部之間流通之熱介質進行熱交換之第3熱交換器。
5. 如申請專利範圍第1項所述之真空洗淨裝置，其中，前述烴系洗淨劑係為第3石油類的洗淨劑。
6. 如申請專利範圍第2項所述之真空洗淨裝置，具備有：使在前述第1熱交換器與前述壓縮機之間流通之熱介質、及在前述第2熱交換器與前述減壓部之間流通之熱介質進行熱交換之第3熱交換器。
7. 如申請專利範圍第3項所述之真空洗淨裝置，具備有：使在前述第1熱交換器與前述壓縮機之間流通之熱介質、及在前述第2熱交換器與前述減壓部之間流通之熱介質進行熱交換之第3熱交換器。
8. 如申請專利範圍第2項所述之真空洗淨裝置，其中，前述烴系洗淨劑係為第3石油類的洗淨劑。
9. 如申請專利範圍第3項所述之真空洗淨裝置，其中，前述烴系洗淨劑係為第3石油類的洗淨劑。
10. 如申請專利範圍第4項所述之真空洗淨裝置，其中，前述烴系洗淨劑係為第3石油類的洗淨劑。