KR100537232B1 - 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법 - Google Patents

진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100537232B1
KR100537232B1 KR10-2003-0050014A KR20030050014A KR100537232B1 KR 100537232 B1 KR100537232 B1 KR 100537232B1 KR 20030050014 A KR20030050014 A KR 20030050014A KR 100537232 B1 KR100537232 B1 KR 100537232B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
washing
drying
liquid
vacuum
drying chamber
Prior art date
Application number
KR10-2003-0050014A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050010638A (ko
Inventor
김상범
Original Assignee
김상범
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김상범 filed Critical 김상범
Priority to KR10-2003-0050014A priority Critical patent/KR100537232B1/ko
Publication of KR20050010638A publication Critical patent/KR20050010638A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100537232B1 publication Critical patent/KR100537232B1/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/14Removing waste, e.g. labels, from cleaning liquid; Regenerating cleaning liquids
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 각종 부품을 세척 및 건조하기 위해 사용되는 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 내부에 부품(9)을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하기 위한 세척 건조실 유닛(10); 상기 세척 건조실 유닛(10)과 세척액 재생장치(21) 사이를 연결하여 세척제를 순환시키기 위한 세척제 순환 유닛(20); 그리고 상기 세척 건조실 유닛(10)의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위한 진공 유닛(30); 으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 진공세척 건조장치가 제공된다. 또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 상술한 바와 같은 진공세척 건조장치에 의해 부품을 진공상태에서 세척하여 건조시키기 위한 진공세척 건조방법이 제공된다.

Description

진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법{Apparatus and method for vacuum washing and drying}
본 발명은 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기계부품이나 전기 전자부품 또는 광학부품 등 여러 산업분야에 걸쳐 사용되는 각종 부품을 세척 및 건조하기 위해 사용되는 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법에 관한 것이다.
통상 열처리를 필요로 하는 부품들은 열처리 시작 전에 세척을 하여 부품 표면의 이물질을 제거한 다음 표면에 남아있는 수분까지 건조시킨 후 열처리를 행하게 된다. 종래에는 기공이 많거나 형상이 복잡한 부품 등을 세척한 후 건조하는 과정에서 세척 및 건조가 확실하게 이루어지지 않는 문제점이 있었다. 또한, 세척제의 온도가 높을수록 세척효율이 향상됨에도 불구하고 세척제로서 사용되는 석유계(탄화수소계) 용제의 온도를 상승시키는 데에 한계가 있어, 세척효율 향상이 어렵다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기된 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은, 세척에서 건조까지의 전체 공정을 진공상태에서 처리함에 따라 부품의 형상에 관계없이 완벽한 세척 및 건조를 행할 수 있는 동시에 세척효율을 향상시키기 위해서 세척제로서 사용되는 탄화수소계 용제의 온도를 상승시켜도 안전한 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법을 제공하고자 하는 것이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따라서, 내부에 부품을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하기 위한 세척 건조실 유닛; 상기 세척 건조실 유닛과 세척액 재생장치 사이를 연결하여 세척제를 순환시키기 위한 세척제 순환 유닛; 그리고 상기 세척 건조실 유닛의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위한 진공 유닛;으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 진공세척 건조장치가 제공된다.
또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따라서, 세척 대상물인 부품을 이동대차에 적재하여 세척 건조실 내로 투입하는 단계; 부품이 투입된 후 상기 세척 건조실의 도어를 폐쇄하고 저진공 펌프를 작동시켜 세척 건조실 내의 압력이 임의의 설정 진공도에 도달되도록 하는 단계; 세척액 저장실의 세척액을 1차 세척라인을 통하여 상기 세척 건조실로 공급하여 분무하는 단계; 상기 세척액 저장실의 세척액을 상기 세척 건조실로 다량 공급하여 부품을 침적시키는 단계; 상기 세척 건조실 내에 가득 채운 세척액을 세척 건조실로부터 배출시킨 다음 신액 공급통으로부터의 세척액을 부품에 분사하여 세척 및 헹구는 단계; 고진공 펌프를 작동시켜 부품을 진공건조시키는 단계; 그리고 세척 건조실의 압력을 대기압으로 환원시킨 다음 세척 및 건조가 완료된 부품을 배출시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공세척 건조방법이 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공세척 건조장치의 개략적인 설명도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공세척 건조장치는, 내부에 부품(9)을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하기 위한 세척 건조실 유닛(10), 상기 세척 건조실 유닛(10)과 세척액 재생장치(21) 사이를 연결하여 세척제를 순환시키기 위한 세척제 순환 유닛(20), 그리고 상기 세척 건조실 유닛(10)의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위한 진공 유닛(30)으로 이루어져 있다.
상기 세척 건조실 유닛(10)은, 부품의 투입 및 배출을 위한 도어(11a)가 구비된 세척 건조실(11), 1차 세척라인(13)을 통하여 상기 세척 건조실(11)로 공급될 세척액을 저장하고 있는 세척액 저장실(12), 그리고 상기 세척액 저장실(12)에 저장된 세척액을 일정 온도로 가열시키기 위하여 상기 세척액 저장실(12)에 설치되는 가열 코일(14)을 포함한다.
상기 세척 건조실(11)에는 세척액이 충전되었을 때 이 세척액을 교반시키기 위한 교반기(11b)가 설치되어 있으며, 상기 교반기(11b)는 드래프트(draft) 방식인 것이 바람직하다. 또한, 상기 가열 코일(14)에는 열매가 순환되어 소정의 온도를 유지할 수 있게 구성되는 것이 바람직하다.
상기 세척제 순환 유닛(20)은, 상기 세척 건조실(11)에서 사용된 세척액을 재생시키는 세척액 재생장치(21), 상기 세척액 재생장치(21)에서 재생된 신액을 신액 공급통(22)을 통하여 상기 세척 건조실(11)로 공급하는 신액 공급라인(23), 그리고 상기 세척 건조실(11) 및 상기 세척액 저장실(12)로부터 사용된 폐액을 폐액 공급통(24)으로 회수하여 상기 세척액 재생장치(21)로 공급하는 폐액 회수라인(25)을 포함한다.
상기 폐액 공급통(24)에서 상기 세척액 재생장치(21)로 폐액이 공급됨에 따라 폐액 공급통(24) 내부의 수위가 일정 수위 이하로 낮아지면, 상기 세척액 저장실(12)로부터 상기 폐액 공급통(24)으로 폐액이 공급되며, 이러한 수위 조절은 볼탑 방식 등 물리적인 수위조절방식을 이용하여도 좋다.
상기 진공 유닛(30)은, 상기 세척 건조실(11)과 세척액 저장실(12) 내부를 진공상태로 유지시키기 위한 저진공 펌프(31), 상기 세척 건조실(11) 내부를 진공 건조시키기 위한 고진공 펌프(32), 상기 저진공 펌프(31)와 고진공 펌프(32)에 의해 발생되는 부압을 상기 세척 건조실(11)과 세척액 저장실(12)로 전달하는 진공라인(33a, 33b), 상기 저진공 펌프(31)와 고진공 펌프(32)에 의해서 상기 세척 건조실(11)로부터 흡입되어 오는 세척액 증기를 액화시키기 위한 콘덴서 장치(34), 상기 콘덴서 장치(34)에서 액화된 세척액을 액 회수라인(35)을 통하여 회수하여 저장하는 응축 탱크(36), 그리고 상기 응축 탱크(36)에 회수되어 저장된 세척액을 상기 신액 공급통(22)으로 공급하는 신액 회수라인(37)을 포함한다.
상기 콘덴서 장치(34)는 냉각수 순환에 의한 1차 콘덴서(34a)와, 저온 냉매를 사용하는 냉동기(34c)에 의한 2차 콘덴서(34b)로 이루어지는 것이 바람직하다.
이하, 상기된 바와 같이 이루어진 본 발명의 진공세척 건조장치에 의하여 부품을 진공세척 및 진공건조하는 방법에 대하여 설명한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공세척 건조방법은, 세척 대상물인 부품(9)을 이동대차에 적재하여 세척 건조실(11) 내로 투입하는 단계, 부품(9)이 투입된 후 상기 세척 건조실(11)의 도어(11a)를 폐쇄하고 저진공 펌프(31)를 작동시켜 세척 건조실(11) 내의 압력이 임의의 설정 진공도에 도달되도록 하는 단계, 세척액 저장실(12)의 세척액을 1차 세척라인(13)을 통하여 상기 세척 건조실(11)로 공급하여 분무하는 단계, 세척액 저장실(12)의 세척액을 상기 세척 건조실(11)로 다량 공급하여 부품(9)을 침적시키는 단계, 세척 건조실(11) 내에 가득 채운 세척액을 세척 건조실(11)로부터 배출시킨 다음 신액 공급통(22)으로부터의 세척액을 부품에 분사하여 세척 및 헹구는 단계, 고진공 펌프(32)를 작동시켜 부품(9)을 진공건조시키는 단계, 그리고 세척 건조실(11)의 압력을 대기압으로 환원시킨 다음 세척 및 건조가 완료된 부품을 배출시키는 단계를 포함하여 이루어진다.
부품은 세척 건조실(11) 내로 투입된 후 배출될 때까지 진공 상태에 놓여지며, 세척제는 일절 대기로 노출되지 않는다. 따라서, 탄화수소계 세척액을 사용하는 세척장치에서는 불가능했던 세척제의 온도 상승이나 샤워 세척이 본 발명에 의해서 가능하게 된다.
부품이 적재된 후 상기 세척 건조실(11)의 진공도는 상기 세척액 저장실(12)의 진공도보다 높게 유지되기 때문에, 상기 세척액 저장실(12) 내부의 세척액은 진공차압에 의해서 상기 1차 세척라인(13)을 통하여 상기 세척 건조실(11)로 이동되어 분사된다.
또한, 세척 건조실(11)에 세척액이 가득 충전되었을 때 교반기(11b)가 작동되어 세척액의 와류를 발생시키고 순환시켜 세척효율을 향상시킬 수 있다.
진공 건조시 세척 건조실(11)로부터 흡입된 세척제의 연무나 증기는 콘덴서 장치(34)를 통과하면서 응축되므로, 대기 중으로 배기되는 가스농도는 0.1% 이하가 되어 대기오염이 방지되고 안전사고의 우려가 없다.
진공상태에서는 세척제의 비점이 낮아지므로, 세척 건조실(11)을 미리 승온시켜 두면 비점에 상당하는 진공도에서 건조가 가능하게 된다. 또한, 세척제가 요철 부위에 채워져 있더라도, 순간 비등 현상으로 인하여 요철 부위에 채워진 세척제는 비등하여 제거된다.
대기압 상태에서 건조를 행하면 세척 건조실 내부면이나 부품에 용제 가스가 흡착되어 잔존할 우려가 있지만, 진공 상태에서 건조를 행하면 용제가 흡착될 우려가 없고, 건조 후에 있어서의 접착, 도장 등과 같은 표면의 후처리가 용이하게 된다.
또한, 본 발명에 의하면 산소의 농도가 극히 낮은 진공 상태에서 세척작업이 이루어지기 때문에 녹이 발생하기 쉬은 부품을 세척하더라도 녹이 발생될 우려가 없다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 세척에서 건조까지의 전체 공정을 진공상태에서 처리함에 따라 부품의 형상에 관계없이 완벽한 세척 및 건조를 행할 수 있는 동시에 세척효율을 향상시키기 위해서 세척제로서 사용되는 탄화수소계 용제의 온도를 상승시켜도 안전한 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법이 제공된다.
또한, 본 발명에 의하면, 부품에 있는 구멍이나 홈에서 공기가 제거되어 세척제가 쉽게 침투함에 따라 세척성이 우수하고, 세척액의 온도를 상승시킬 수 있어 세척력이 향상된다.
또한, 본 발명에 의하면, 저진공 펌프와 고진공 펌프를 함께 구비하여 사용함에 따라 순간적인 비말 세척 건조가 이루어질 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 의하면, 진공 상태에서 모든 작업이 이루어지므로, 산소의 농도가 낮아 인화의 우려가 없으며, 누설이 발생되더라도 장치 외부에서 내부로 기체 및 액체의 이동이 발생되기 때문에 세척액이나 증기의 외부누설이 발생하지 않는다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공세척 건조장치의 개략적인 설명도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
9 : 부품 10 : 세척 건조실 유닛
11 : 세척 건조실 12 : 세척액 저장실
13 : 1차 세척라인 14 : 가열 코일
20 : 세척제 순환 유닛 21 : 세척액 재생장치
22 : 신액 공급통 23 : 신액 공급라인
24 : 폐액 공급통 25 : 폐액 회수라인
30 : 진공 유닛 31 : 저진공 펌프
32 : 고진공 펌프 33a, 33b : 진공라인
34 : 콘덴서 장치 35 : 액 회수라인
36 : 응축 탱크 37 : 신액 회수라인

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 내부에 부품(9)을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하기 위한 세척 건조실 유닛(10); 상기 세척 건조실 유닛(10)과 세척액 재생장치(21) 사이를 연결하여 세척제를 순환시키기 위한 세척제 순환 유닛(20); 그리고 상기 세척 건조실 유닛(10)의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위한 진공 유닛(30); 으로 이루어져 있으며,
    상기 세척 건조실 유닛(10)은,
    부품의 투입 및 배출을 위한 도어(11a)와 세척액이 충전되었을 때 이 세척액을 교반시키기 위한 교반기(11b)가 구비된 세척 건조실(11), 1차 세척라인(13)을 통하여 상기 세척 건조실(11)로 공급될 세척액을 저장하고 있는 세척액 저장실(12), 그리고 상기 세척액 저장실(12)에 저장된 세척액을 일정 온도로 가열시키기 위하여 상기 세척액 저장실(12)에 설치되며 열매가 순환되는 가열 코일(14)을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공세척 건조장치.
  3. 내부에 부품(9)을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하기 위한 세척 건조실 유닛(10); 상기 세척 건조실 유닛(10)과 세척액 재생장치(21) 사이를 연결하여 세척제를 순환시키기 위한 세척제 순환 유닛(20); 그리고 상기 세척 건조실 유닛(10)의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위한 진공 유닛(30); 으로 이루어져 있으며,
    상기 세척제 순환 유닛(20)은,
    상기 세척 건조실(11)에서 사용된 세척액을 재생시키는 세척액 재생장치(21), 상기 세척액 재생장치(21)에서 재생된 신액을 신액 공급통(22)을 통하여 상기 세척 건조실(11)로 공급하는 신액 공급라인(23), 그리고 상기 세척 건조실(11) 및 상기 세척액 저장실(12)로부터 사용된 폐액을 폐액 공급통(24)으로 회수하여 상기 세척액 재생장치(21)로 공급하는 폐액 회수라인(25)을 포함하며,
    상기 폐액 공급통(24)에서 상기 세척액 재생장치(21)로 폐액이 공급됨에 따라 폐액 공급통(24) 내부의 수위가 일정 수위 이하로 낮아지면 상기 세척액 저장실(12)로부터 상기 폐액 공급통(24)으로 폐액이 공급되는 것을 특징으로 하는 진공세척 건조장치.
  4. 내부에 부품(9)을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하기 위한 세척 건조실 유닛(10); 상기 세척 건조실 유닛(10)과 세척액 재생장치(21) 사이를 연결하여 세척제를 순환시키기 위한 세척제 순환 유닛(20); 그리고 상기 세척 건조실 유닛(10)의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위한 진공 유닛(30); 으로 이루어져 있으며,
    상기 진공 유닛(30)은,
    상기 세척 건조실(11)과 세척액 저장실(12) 내부를 진공상태로 유지시키기 위한 저진공 펌프(31), 상기 세척 건조실(11) 내부를 진공 건조시키기 위한 고진공 펌프(32), 상기 저진공 펌프(31)와 고진공 펌프(32)에 의해 발생되는 부압을 상기 세척 건조실(11)과 세척액 저장실(12)로 전달하는 진공라인(33a, 33b), 상기 저진공 펌프(31)와 고진공 펌프(32)에 의해서 상기 세척 건조실(11)로부터 흡입되어 오는 세척액 증기를 액화시키기 위한 콘덴서 장치(34), 상기 콘덴서 장치(34)에서 액화된 세척액을 액 회수라인(35)을 통하여 회수하여 저장하는 응축 탱크(36), 그리고 상기 응축 탱크(36)에 회수되어 저장된 세척액을 상기 신액 공급통(22)으로 공급하는 신액 회수라인(37)을 포함하며,
    상기 콘덴서 장치(34)는 냉각수 순환에 의한 1차 콘덴서(34a)와, 저온 냉매를 사용하는 냉동기(34c)에 의한 2차 콘덴서(34b)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공세척 건조장치.
  5. 세척 대상물인 부품(9)을 이동대차에 적재하여 세척 건조실(11) 내로 투입하는 단계;
    부품(9)이 투입된 후 상기 세척 건조실(11)의 도어(11a)를 폐쇄하고 저진공 펌프(31)를 작동시켜 세척 건조실(11) 내의 압력이 임의의 설정 진공도에 도달되도록 하는 단계;
    세척액 저장실(12)의 세척액을 1차 세척라인(13)을 통하여 상기 세척 건조실(11)로 공급하여 분무하는 단계;
    상기 세척액 저장실(12)의 세척액을 상기 세척 건조실(11)로 다량 공급하여 부품(9)을 침적시키는 단계;
    상기 세척 건조실(11) 내에 가득 채운 세척액을 세척 건조실(11)로부터 배출시킨 다음 신액 공급통(22)으로부터의 세척액을 부품에 분사하여 세척 및 헹구는 단계;
    고진공 펌프(32)를 작동시켜 부품(9)을 진공건조시키는 단계; 그리고
    세척 건조실(11)의 압력을 대기압으로 환원시킨 다음 세척 및 건조가 완료된 부품을 배출시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공세척 건조방법.
KR10-2003-0050014A 2003-07-22 2003-07-22 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법 KR100537232B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0050014A KR100537232B1 (ko) 2003-07-22 2003-07-22 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0050014A KR100537232B1 (ko) 2003-07-22 2003-07-22 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20-2003-0023580U Division KR200331888Y1 (ko) 2003-07-22 2003-07-22 진공세척 건조장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050010638A KR20050010638A (ko) 2005-01-28
KR100537232B1 true KR100537232B1 (ko) 2005-12-20

Family

ID=37223010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-0050014A KR100537232B1 (ko) 2003-07-22 2003-07-22 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100537232B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100963950B1 (ko) * 2009-09-15 2010-06-17 (주)범용테크놀러지 세척시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050010638A (ko) 2005-01-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100286880B1 (ko) 이산화탄소 세정 시스템에서 사용하기 위한 용매 재공급 방법
US5232476A (en) Solvent recovery and reclamation system
JP2002018372A (ja) 洗浄方法及び洗浄装置
JPH05261347A (ja) 洗浄装置
US6802137B1 (en) Solvent drying method
JP3307429B2 (ja) 真空洗浄・乾燥方法および装置
KR200331888Y1 (ko) 진공세척 건조장치
KR100537232B1 (ko) 진공세척 건조장치 및 진공세척 건조방법
JP4345044B2 (ja) 流体系クリーニング方法およびシステム
JP5977572B2 (ja) 真空洗浄装置
US20070107748A1 (en) Vacuum cavitational streaming
JPH07227581A (ja) 真空洗浄・乾燥方法及び装置
KR100963950B1 (ko) 세척시스템
JP3788588B2 (ja) 部品洗浄乾燥方法
JP5111091B2 (ja) インライン洗浄装置
JP2000237706A (ja) 単一の処理槽を用いた真空洗浄乾燥方法及び装置
KR101978690B1 (ko) 진공 세척기
JP3344014B2 (ja) 洗浄方法および洗浄装置
JP4328436B2 (ja) 脱脂洗浄方法及び洗浄装置
JP7120592B2 (ja) 真空蒸気洗浄方法
JP2651653B2 (ja) 真空乾燥装置及び真空乾燥方法
JPH06294578A (ja) 部品乾燥方法及び乾燥装置
JP3032938B2 (ja) 減圧洗浄・乾燥装置
JP6320969B2 (ja) 洗浄液蒸留再生装置、及び、部品洗浄装置
JPS60174889A (ja) 洗浄装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121029

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131028

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141125

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151208

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161205

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171201

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181203

Year of fee payment: 14

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191202

Year of fee payment: 15