JPH06294578A - 部品乾燥方法及び乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ワークを吸引により表面に付着した洗浄剤を
除去する方法を採用することにより、金属、プラスチッ
ク部品などを複数個一度に乾燥する際に残さが少なく、
効率よく乾燥させる乾燥方法を提供する。 【構成】 洗浄液の付着したワークを乾燥チャンバー１
に設置して、下方から吸引ブロア１１により吸引する。
吸引された気体はワークの隙間を通る際に、ワーク表面
の洗浄液を脱離するので、ワークが必要以上動くことが
なくワークに傷をつけることなく、完全に乾燥すること
ができる。さらに循環系で乾燥を行うので、蒸発した洗
浄液が外に漏れることなく外部環境に悪影響を与えるこ
とがない。また温風発生器、液切り／乾燥・切替用バル
ブ２０によりさらに高い乾燥品質を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワークを吸引により表
面に付着した洗浄剤を除去する方法を採用することによ
り、金属、プラスチック部品などを複数個一度に乾燥す
る際に残さが少なく、効率よく乾燥させる乾燥方法を提
供するものである。また本発明は、このような乾燥方法
を採用した乾燥装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】金属、プラスチック部品は、様々な用途
において用いられ、その形状も多種多様である。従来は
このような部品の洗浄剤としては、フロン、トリエタン
が万能な洗浄剤として用いられてきた。しかしながら近
年、フロン、トリエタンはその中に含まれる塩素が成層
圏のオゾンを破壊するものとして国際的に使用が制限、
禁止されてきている。このために近年オゾンを破壊する
恐れのない水洗浄、炭化水素系溶剤による洗浄がフロ
ン、トリエタンの代替洗浄方法として注目されはじめて
いる。これらの洗浄剤の問題点の一つは、沸点がフロ
ン、トリエタンに比べて高いために乾燥性が悪いという
ことである。この問題は、乾燥時間が長くなるというこ
とばかりでなく、被乾燥物の表面に乾燥中に大気中のほ
こりを付着し、乾燥後にしみとして残存するという問題
を生じさせる。このような問題を解決するために従来エ
アーブローが行われてきた。この方法は、圧縮された空
気または窒素を被乾燥物に吹き付け被乾燥物の表面に付
着した洗浄液を吹き飛ばし、液切りするものである。即
ち、被乾燥物の表面に残った洗浄液の量が少なければそ
の後の乾燥時間が短縮できるというものである。しかし
ながらこの方法では、小物部品はエアーブローの風圧に
より吹き飛ばされていまい、充分に乾燥されないか、部
品同士の衝突により、部品が傷ついてしまい信頼性を著
しく低下させるという問題を有していた。さらに熱によ
る加熱乾燥は引火点を有する洗浄液が付着している場合
には発火の危険があり、また部品の形状により、洗浄液
が部品表面に液だまりとして残っている場合にはシミの
原因となり、後工程に悪影響を与える。

【０００３】さらに遠心力を利用した乾燥方法も提案さ
れているが、この方法も乾燥室内に回転・駆動系を有す
るため、摩擦により発火する可能性が高く、引火性のあ
る洗浄液が付着した部品を乾燥することは安全上問題で
ある。また部品を高速で回転させ液切りをするので、部
品が傷つき易いという問題点を有する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、これ
らの問題点を鑑み、引火性を有する溶剤、例えば石油系
溶剤を洗浄液として洗浄された部品を安全でしかも効率
よく乾燥することができる乾燥方法を提供することにあ
る。更にこのような方法を適用した乾燥装置を提供する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、洗浄液の付着
した部品を、気体が通る程度の穴を有する容器に搭載
し、前記容器をチャンバーに設置し、前記部品を前記チ
ャンバーの下方より吸引することにより、前記ワーク表
面に付着した前記洗浄剤を脱離・蒸発させ乾燥すること
を特徴とする。また吸引された気体を圧縮し、圧縮熱に
より加温して、再び前記チャンバーに戻す機構を有す
る。更に吸引された気体中の洗浄剤ミストを分離する工
程を経て、前記気体を前記チャンバーに戻すことを特徴
とする。

【０００６】吸引された気体の一部を排気口より外部に
排気する工程と、給気口より新たに給気する工程を経
て、再び前記チャンバーに戻すことも特徴とする。この
際に外部より給気する際に加温してもよい。

【０００７】また、吸引すると共に、前記部品の姿勢を
代えてもよい。更に姿勢を代える手段が、前記容器を回
転させることであることを特徴とする。また前記部品を
吸引することにより前記部品の表面の前記洗浄剤を脱離
し、ミストを分離した後に外部に排気する工程と、給気
口より気体を導入し、導入した前記気体を前記チャンバ
ーを経て吸引し、排気口より排出する工程を有すること
を特徴とする。

【０００８】複数の部品を搭載した気体が通る程度の穴
を有する容器、前記容器をチャンバー内に前記容器と支
持体の間に実質的に隙間を有さないように設置する支持
体、前記チャンバーの下に設けられた吸引口、前記吸引
口と吸引装置の間に設けられたミスト除去装置、前記吸
引装置で吸引された気体が再び前記チャンバーに戻すた
めの配管と前記配管が前記チャンバーの前記支持体より
上方の側壁に接続している構成を有している。この時、
前記吸引装置の出口側に接続した前記配管に排気をする
ための排気弁と給気をするための給気弁とを有してもよ
い。

【０００９】

【実施例】以下に本発明の実施例を示す。

【００１１】図１には本発明を適用した乾燥装置の概略
を示している。図において、１は乾燥するための乾燥チ
ャンバーであり、密閉可能な蓋１ａが設けられている。
乾燥チャンバー内には乾燥対象のワークＷをいれるカゴ
２があり、このカゴ２を支えるとともに吸引気体の流路
を制限するための仕切り板３がある。乾燥チャンバーの
底には吸引口４が設けられており、配管５によりミスト
セパレーター６に接続している。このミストセパレータ
６は気体中の固形物や液滴を回収するものであり、その
回収された液滴等を外部に排出する排出口７と排出され
た液滴等を回収する溶剤回収タンク９が設けられてお
り、排出口７と溶剤回収タンク９との間にドレインバル
ブ８が設けられている。ミストセパレーター６から配管
１０を通じて吸引ブロア１１に接続しており、この吸引
ブロア１１は風量が１０〜１５０立方ｍ／分、静圧が１
００ｍｍＡｑ以上程度の性能を有しているものである。
吸引ブロア１１のミストセパレーター６側から吸引され
た気体は配管１２側に排出される。配管１２の途中に
は、気体の流れる方向に対してほぼ同方向に開口された
排気口１３が設けられ、排気量調整弁１４により排気量
を任意に調整することができる。更に配管１２の途中に
気体の流れる方向に対してほぼ垂直方向に開口された給
気口１５が設けられ、給気量調整弁１６により給気量を
任意に調整することができるようになっている。配管１
２はフィルター１７に接続し、仕切り板３より上部の乾
燥チャンバー１の側壁に接続している。このフィルター
１７は気体中に含まれるゴミや固形物を取り除くもの
で、２０〜３００ミクロン程度のメッシュを用いる。

【００１２】このように構成された本例の乾燥装置にお
いては、石油系溶剤等の可燃性溶剤によって洗浄され、
溶剤が付着している小物部品等のワークＷを搭載したカ
ゴ２を仕切り板３に設置する。このとき仕切り板３とカ
ゴ２との間に隙間ができないようにする。カゴ２を設置
したのち、蓋１ａを閉じ吸引ブロア１１を稼働する。ワ
ークＷに付着した溶剤は吸引ブロア１１の吸引力により
ワークＷより引き離される。このとき吸引力を効果的に
利用するために、ワークＷの量は、仕切り板３によって
支持されている線より上方まで搭載されている方がよ
い。ワークＷより引き離された溶剤のミストは、吸引口
４を通ってミストセパレーター６によりミストの９８〜
９９％が回収され、溶剤回収タンク９に回収される。ミ
ストセパレーター６の出口での気体中の溶剤濃度は、
０．１％以下であるので爆発の危険性はない。すなわち
通常、吸引ブロア１１は回転系を有しているので、摩擦
により火花等が発生することも考えられるが、吸引ブロ
ア１１に吸気される気体は、爆発下限をはるかに下まわ
っているので、安全である。吸引ブロア１１は多段式タ
ーボブローを用いているが、この吐出口では圧縮熱によ
り若干昇温するので、循環しているうちに循環系内は３
０〜４０℃まで特に加熱源を設けなくても昇温し、乾燥
性向上に寄与することができる。吸引ブロア１１から排
出された気体中には蒸発した溶剤ガスが含まれているの
でこのままクローズドで循環していると溶剤濃度が上昇
し、乾燥性、安全性に悪影響を与える可能性がある。そ
のために、排気口１４から溶剤を含む気体を少量排出
し、給気口１５から外気を注入するようにする。排気及
び給気の量は、排気調整弁１４と給気調整弁１６とを調
整することにより決定される。排気量は０．５〜４立方
ｍ／分程度がよい。この一連の給排気により、循環ガス
濃度の上昇は抑えられ、乾燥品質の向上と乾燥品質の安
定性が図れられると共に、乾燥装置の安全性も向上す
る。

【００１３】その後に、フィルター１７により、ゴミ等
が捕獲され、乾燥チャンバー１に再び導入される。一連
の気体の循環によって、ワークＷの表面の溶剤は、物理
的に除去され（以下液切りという）、しかる後に蒸発に
より完全に除去される。乾燥終了後、蓋１ａを開けて、
カゴ２を取り出すようにする。

【００１４】このように本例は吸引により乾燥を行うも
のであり、気体が系内を循環することによって、乾燥装
置外部には、最小限の溶剤ガスしか放出されず、外部環
境の保全には最適である。また排出される気体の溶剤濃
度も０．１％以下であるので特別な排出設備を設ける必
要がなくコスト的にも安価である。さらにエアーブロー
と違って、カゴの下側から吸引するので、乾燥中に必要
以上のワークの移動や摩擦がないので、打痕や傷がつき
にくい。また、排気口１３は、配管１２の途中の気体の
流れる方向に対してほぼ同方向に開口して設け、給気口
１５は、配管１２の途中の気体の流れる方向に対してほ
ぼ垂直方向に開口して設けることにより、特にポンプ等
を設けることなく給排気を行うことができる。

【００１５】本例のミストセパレーター６は遠心セパレ
ーターを用いたが、特にこれに限定されるものではな
く、例えばベーンセパレーター、フィルタレーター、サ
イクロンセパレーターでもよい。

【００１６】また吸引ブロア１１についても、多段式タ
ーボブロアに限られるものではなく、要は風量が１０〜
１５０立方ｍ／分、静圧が１００ｍｍＡｑ以上程度の性
能を有しているもの、さらに言えば、カゴ２を設置した
部分での風速が４〜１０ｍ／ｓｅｃ程度になるものであ
ればよい。

【００１７】図２に図１の変形例を示す。図２は、図１
の給気口１５に温風発生器１８を設置したものである。
この温風発生器１８は内部に加熱源として、シーズヒー
ターがあり（不図示）、このヒーターにより、空気取入
れ口１９より取り入れた外気を加温して、吸引乾燥器内
部の配管に送り込むものである。

【００１８】図２のような構成をとることにより、図１
で説明した吸引ブロア１１の圧縮熱に加えて、温風発生
器による熱も加えられるので、吸引乾燥機内の温度を上
げることが可能となり、乾燥時間を短縮することができ
る。

【００１９】図３は図２の変形例を示す。図２の吸引乾
燥装置の排気口１３と給気口１５との間の配管１２に切
り替え用バルブ２０を設けた構成になっている。このよ
うに構成された本例の乾燥装置においては、石油系溶剤
等の可燃性溶剤によって洗浄され、溶剤が付着している
小物部品等のワークＷを搭載したカゴ２を仕切り板３に
設置する。このとき仕切り板３とカゴ２との間に必要以
上の隙間ができないようにする。カゴ２を設置したの
ち、蓋１ａを閉じ吸引ブロア１１を稼働する。このとき
切り替え用バルブ２０は開にする。ワークＷに付着した
溶剤は吸引ブロア１１の吸引力によりワークＷより引き
離される。このとき吸引力を効果的に利用するために、
ワークＷの量は、仕切り板３によって支持されている線
より上方まで搭載されている方がよい。ワークＷより引
き離された溶剤のミストは、吸引口４を通ってミストセ
パレーター６によりミストの９８〜９９％が回収され、
溶剤回収タンク９に回収される。ミストセパレーターの
出口での気体中の溶剤濃度は、０．１％以下であるので
爆発の危険性はない。吸引ブロア１１は多段式ターボブ
ローを用いているが、この吐出口では、圧縮熱により若
干昇温するので、循環しているうちに循環系内は３０〜
４０℃まで特に加熱源を設けなくても昇温し、乾燥性向
上に寄与することができる。吸引ブロア１１から排出さ
れた気体中には蒸発した溶剤ガスが含まれているのでこ
のままクローズドで循環していると溶剤濃度が上昇し、
乾燥性、安全性に悪影響を与える可能性がある。そのた
めに、排気口１４から溶剤を含む気体を少量排出し、給
気口１５から外気を注入するようにする。排気及び給気
の量は、排気調整弁１４と給気調整弁１６とを調整する
ことにより決定される。排気量は０．５〜４．０立方ｍ
／分程度がよい。この一連の給排気により、循環ガス濃
度の上昇は抑えられ、乾燥品質の向上と乾燥品質の安定
性が図れられると共に、乾燥装置の安全性も向上する。

【００２０】その後に、フィルター１７により、ゴミ等
が捕獲され、乾燥チャンバー１に再び導入される。一連
の気体の循環によって、ワークＷの表面の溶剤は、物理
的に除去される（以下液切りという）。この状態でほぼ
完全に乾燥をすることはできるが、部品の形状もしくは
乾燥品質の水準によっては、単分子レベルの吸着層をも
除去する必要がある場合、更に切り替え用バルブ２０を
閉にして温風発生器より加温された空気を乾燥チャンバ
ー１に送風し、ミストセパレーター６、吸引ブロア１１
を通って排気口１３より排出される。このワークＷには
温風発生器により加温され、溶剤ガスを含まない外気か
ら取り入れられた空気が吹き付けられるので、完全に乾
燥することが可能である。

【００２１】図４は図１の変形例を示す。図において２
１は回転カゴを示し、ワークＷを搭載する。このワーク
Ｗを搭載した回転カゴ２１をモーター２３に連結された
プーリ２２上に設置する。モーター２３はスピードコン
トロールが可能なものである。そのほかの構成は図１と
同様である。このような構成により、回転カゴ２１を回
転させながら吸引乾燥を行うことにより、ワークの姿勢
及びカゴまたは他のワークとの接点が変わるので、ワー
ク全面が均一にしかも効率よく液切り・乾燥することが
できるものである。特に液だまりの出来易いワークは、
部品を静置したままで吸引してもワークの姿勢によって
は、十分に液切り出来ない場合があるが、カゴを回転さ
せながら吸引乾燥する方法を採用すると、ワークの姿勢
が刻々と変わるので、確実に液切り・乾燥が出来る。こ
の時の回転速度は１〜１０ｒｐｍがよい。

【００２２】この場合において効率よく液切り乾燥する
ためには、回転カゴ２１の外面と仕切り板３との距離が
１０ｍｍ以下、好ましくは２〜５ｍｍ程度の隙間を有し
ている必要がある。すなわち、本発明における吸引乾燥
は、吸引された空気の流れがワーク同士の隙間を通って
流れることにより、ワークに付着した溶剤を引き離すこ
とにより、効率よく液切り乾燥するものである。従っ
て、カゴと仕切り板の間に多大な隙間があるとその間を
空気が流れてしまうために十分に液切りすることができ
なくなってしまう恐れがある。このためカゴと仕切り板
との間はできるだけ隙間がない方が好ましいが、余り隙
間が狭すぎるとカゴと仕切り板とが接触し、発塵の原因
になる。したがって、１０ｍｍ以下、好ましくは２〜５
ｍｍ程度の隙間を有していればよい。

【００２３】更に図５に図４で用いる回転カゴ２１の回
転時のワークの動きを模式的に示す。図５（ａ）は回転
カゴにワークＷを搭載して静止している状態、図５
（ｂ）は回転しているときのワークＷの状態を示す。図
５（ａ）のように静止している場合には、仕切り板３よ
り上方までワークＷが充填されているので、吸引乾燥時
に気体はワーク間の隙間を通る。しかしながら回転カゴ
２１を回転させると、ワークＷは回転方向の内壁に沿っ
て移動し、図５（ｂ）のような片寄りが生じる。このよ
うな片寄りが生じると仕切り板３とワークＷとの間にＲ
という隙間が生じるために、吸引時の気体の流れがこの
部分に集中し、十分に液切り乾燥ができなくなる。この
Ｒの大きさはカゴの形状及び大きさ、ワークの形状及び
量、カゴの回転速度により様々であるが、以下のような
範囲になることが実験的にわかっている。図５（ｂ）を
用いて説明すると、Ｏは回転中心、Ｈは回転軸を通る水
平線、Ｌは回転時におけるワークＷの位置を示す。回転
カゴの中心における角度、∠ＬＯＨ＝Ｙとすると、Ｙの
値は３０〜９０°の範囲にはいる。従って、回転中心を
通る水平線から３０〜９０°の位置まで何等かの遮蔽手
段を設けることにより、図５（ｂ）のＲという隙間が生
じなくなる。この遮蔽の角度は、ワークの形状、量、回
転カゴの回転速度等によって左右される。この遮蔽手段
の一例を図６（ａ）、（ｂ）に示す。

【００２４】図６（ａ）は、少なくとも回転方向との仕
切り板３に遮蔽板２４を取り付け、隙間をなくすように
したものである。また、図６（ｂ）は同様の仕切り板３
を左右対称ではなく、図５（ｂ）のＬの位置までずらし
て取り付けたものである。いずれの場合も回転カゴ２１
と仕切り板３もしくは遮蔽板２４との距離は、１０ｍｍ
以下、好ましくは２〜５ｍｍ程度であればよい。

【００２５】また回転カゴは図８のようにカゴの内壁に
羽３０をつけることにより、単にワークがずれるだけで
なく、ワークの姿勢が変わり易くなるので、液切り・乾
燥時間の短縮を図ることが出来る。この羽３０は高さが
５〜３０ｍｍ程度がよい。また羽の数は２〜８個程度が
よい。更にこの回転カゴは、回転させなくても単にスイ
ングや揺動させる方式を採用してもよい。要はワークの
姿勢が変わればよいのである。

【００２６】図７に図４の変形例を示す。図７では、図
４の給気口１５に温風発生器１８を設け、更に排気口１
３と給気口１５との間の配管１２に切り替え用バルブ２
０を設けた構成である。温風発生器１８と切り替え用バ
ルブ２０の両方もしくは片方の構成を付設してもよい。
動作は図１〜図４に示したものと同様である。

【００２７】また図９に図７に示した乾燥装置に付随す
る装置についての概略図を示す。図７中の排気口１３に
図９のチューブ２５を水２８が貯留されたバブリング槽
２６に浸漬する。浸漬されたチューブ２５の先端には多
孔質材２７が取り付けられている。また水２８はバブリ
ング槽内に設けられた冷却チラー３０により、冷却され
ている。排気口１３から排出されバブリングされた溶剤
ガスを含む気体はバブリング槽２６に貯留された冷水に
触れて凝縮し、水中に分散し、さらに溶剤の含有量の少
ない空気として出口２９より外部に排出される。またバ
ブリング槽２６に貯留する液体は、水に限らず酸あるい
は有機溶剤系水溶液でもよい。このような構成をとるこ
とにより、更に排気中の溶剤ガス濃度を低減することが
でき、外部環境、作業環境の保持に良好である。また図
９に示した乾燥装置の付随装置は図７以外にも図１〜４
にも当然適用可能である。

【００２８】また図７に示した回転カゴを図１０に示し
たようなｎ角形の回転カゴを採用してもよい。この場合
には、図１０のような遮蔽板となる流路制御板３１を採
用すると効率よく液切りすることが出来る。流路制御板
３１の長さは、ｎ角形の場合、少なくとも中心角が３６
０／ｎ度分だけ回転カゴを覆うように設ければよい。こ
のような構成を採用することにより、回転カゴと流路制
御板３１との隙間が１０ｍｍ以下に保つことが出来るの
で、効率よく液切り・乾燥することが出来る。

【００２９】上述の例では可燃性溶剤により洗浄したワ
ークの乾燥方法及び装置について述べたが、当然のこと
ながら、他の洗浄剤、水に適用することが可能である。
本発明の特徴は、このような吸引乾燥を採用することに
より、複数のワークを一度に乾燥する際に、短時間にか
つ傷等の発生の少ない乾燥方法が提供できることにあ
る。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法及び
装置においては、石油系溶剤等の可燃性溶剤を洗浄液と
して洗浄した後の乾燥性の問題を解決するために、吸引
乾燥を行うようにしている。このように吸引乾燥するこ
とにより、ワークに付着している溶剤が効率的に液切り
され、従来に比べ大幅な乾燥時間の短縮を図ることがで
きる。すなわち比較的大きな静圧と風量により液切りを
行うので、ワーク表面の溶剤を均一に除去することがで
きる。

【００３１】吸引ブロアの圧縮熱により、吸引乾燥機系
内の循環している気体は３０℃程度の温風になるので、
乾燥時間の更なる短縮を図ることができる。また、吸引
ブロアの前段にミストセパレーターを配置しているの
で、吸引ブロアにミストが混入しないので安全性、メン
テナンス性が非常に高い。また系内の循環気体及び排気
のガス濃度が非常に低いので安全性に何等問題がなく、
更に排気しても外部環境に悪影響を与えることはない。

【００３２】また乾燥動作中に循環気体の数％〜１０数
％が排気され、新たに新鮮な外気が給気することができ
るので、連続して稼働させても循環気体中の溶剤濃度は
上昇せず、安定した乾燥品質を得ることができる。更に
循環気体により吸引乾燥した後に温風発生器から外気を
取り入れることによって、ワーク表面の単分子レベルの
溶剤の吸着層までの完全に乾燥することができる。その
ため精密洗浄乾燥にも適用可能である。

【００３３】回転カゴ２１を回転させながら吸引乾燥を
行うことにより、ワークの姿勢及びカゴまたは他のワー
クとの接点が変わるので、ワーク全面が均一にしかも効
率よく液切り・乾燥することができるものである。特に
液だまりの出来易いワークは、部品を静置したままで吸
引してもワークの姿勢によっては、十分に液切り出来な
い場合があるが、カゴを回転させながら吸引乾燥する方
法を採用すると、ワークの姿勢が刻々と変わるので、確
実に液切り・乾燥が出来るという効果を有するものであ
る。

【００３４】本願発明はこのような乾燥性に優れた乾燥
方法を大がかりな装置ではなく、簡易装置によって実現
することができるので、乾燥コストの増大を防止するこ
とができるという商業的効果も大きいことも特徴であ
る。。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法を適用した吸引乾燥装置を示す概
略構成図である。

【図２】図１の装置の変形例であり、温風発生器を付設
した例を示す概略構成図である。

【図３】図２の装置の変形例であり、切り替え用バルブ
を付設した例を示す概略構成図である。

【図４】図１の装置の変形例であり、通常のカゴの代わ
りに回転カゴを採用した場合の構成を示す概略構成図で
ある。

【図５】回転カゴ中のワークの動きを示す模式図であ
る。

【図６】遮蔽手段を模式的に示す概略構成図である。

【図７】図４の装置の変形例であり、温風発生器と切り
替えバルブを付設した例を示す概略構成図である。

【図８】回転カゴの一例を示す概略構成図である。

【図９】排気された空気をバブリングする付随装置を示
す概略構成図である。

【図１０】回転カゴの一例を示す概略構成図である。

【符号の説明】

１… 乾燥チャンバー １ａ…蓋 Ｗ…ワーク ２…カゴ ３…仕切り板 ４…吸引口 ５…配管 ６…ミストセパレーター ７…排出口 ８…ドレインバルブ ９…溶剤回収タンク １０…配管 １１…吸引ブロア １２…配管 １３…排気口 １４…排気量調整弁 １５…給気口 １６…給気量調整弁 １７…フィルター １８…温風発生器 １９…空気取入れ口 ２０…切り替え用バルブ ２１…回転カゴ Ｒ…隙間 ２２…プーリ ２３…モーター ２４…遮蔽板 ２５…チューブ ２６…バブリング槽 ２７…多孔質材 ２８…水 ２９…出口 ３０…冷却チラー ３１…流路制御板

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄液の付着した部品を、気体が通る程
   度の穴を有する容器に搭載し、前記容器をチャンバーに
   設置し、前記部品を前記チャンバーの下方より吸引する
   ことにより、前記ワーク表面に付着した前記洗浄剤を脱
   離・蒸発させ乾燥することを特徴とする部品乾燥方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、吸引された気体を圧
   縮し、圧縮熱により加温して、再び前記チャンバーに戻
   すことを特徴とする部品乾燥方法。
3. 【請求項３】 請求項１において、吸引された気体中の
   洗浄剤ミストを分離する工程を経て、前記気体を前記チ
   ャンバーに戻すことを特徴とする部品乾燥方法。
4. 【請求項４】 請求項３において、吸引された気体の一
   部を排気口より外部に排気する工程と、給気口より新た
   に給気する工程を経て、再び前記チャンバーに戻すこと
   を特徴とする部品乾燥方法。
5. 【請求項５】 請求項４において、外部より給気する際
   に加温することを特徴とする部品乾燥方法。
6. 【請求項６】 請求項１において、吸引すると共に、前
   記部品の姿勢を代えることを特徴とする部品乾燥方法。
7. 【請求項７】 請求項６において、姿勢を代える手段
   が、前記容器を回転させることであることを特徴とする
   部品乾燥方法。
8. 【請求項８】 請求項４において、前記部品を吸引する
   ことにより前記部品の表面の前記洗浄剤を脱離し、ミス
   トを分離した後に外部に排気する工程と、給気口より気
   体を導入し、導入した前記気体を前記チャンバーを経て
   吸引し、排気口より排出する工程を有することを特徴と
   する部品乾燥方法。
9. 【請求項９】 乾燥対象の部品を設置するチャンバー、
   前記部品と部品との間を通るように前記チャンバー内の
   気体を吸引する手段、吸引された前記気体中のミストを
   分離する手段、ミストを分離した前記気体のすくなくと
   も一部を前記チャンバーに戻す手段とを有することを特
   徴とする乾燥装置。
10. 【請求項１０】 洗浄剤、水等の蒸発可能な液体が付着
    する部品を複数個一度に乾燥する乾燥装置において、複
    数の前記部品を搭載し、少なくともその下面に気体が通
    る程度の複数の穴を有する容器、前記容器を前記チャン
    バー内の前記容器と支持体の間に実質的に隙間を有さな
    いように設置する支持体、前記チャンバーの下に設けら
    れた吸引口、前記吸引口と吸引装置の間に設けられたミ
    スト除去装置、前記吸引装置で吸引された気体が再び前
    記チャンバーに戻るために前記チャンバーの前記支持体
    より上方の側壁に接続している配管、前記配管の一部に
    設けられた前記気体の一部を放出する気体放出手段、前
    記放出する手段と前記チャンバーとの間の前記配管の一
    部に設けられた大気を給気する大気導入手段を有するこ
    とを特徴とする乾燥装置。
11. 【請求項１１】 請求項１０において、前記気体放出手
    段が前記吸引装置の出口側の前記配管に設けられた排気
    弁であり、前記大気導入手段が前記配管に設けられた給
    気弁であることを特徴とする乾燥装置。
12. 【請求項１２】 請求項１１において、前記給気弁が空
    気を加温する装置と接続していることを特徴とする乾燥
    装置。
13. 【請求項１３】 請求項１１において、前記吸引装置
    は、気体を圧縮させることにより、圧縮熱を発生させる
    ことを特徴とする乾燥装置。
14. 【請求項１４】 請求項１１において、前記容器を回転
    させる機構を有することを特徴とする乾燥装置。
15. 【請求項１５】 請求項１４において、前記部品と前記
    支持体との隙間を遮蔽する手段を有することを特徴とす
    る乾燥装置。
16. 【請求項１６】 前記遮蔽する手段が前記容器に沿っ
    て、前記容器を覆うように設けられていることを特徴と
    する乾燥装置。
17. 【請求項１７】 請求項１０において、前記吸引装置と
    前記気体放出手段との間の配管に開閉可能なバルブを有
    することを特徴とする乾燥装置。
18. 【請求項１８】 洗浄剤、水等の蒸発可能な液体が付着
    する部品を複数個一度にその下面に気体が通る程度の複
    数の穴を有する容器に搭載する工程、前記容器を前記チ
    ャンバー内の前記容器と支持体の間に実質的に隙間を有
    さないように設置する工程、前記チャンバーの下に設け
    られた吸引口より吸引し、前記吸引口と吸引装置の間に
    設けられたミスト除去装置により吸引気体中に含まれる
    液体及び固体を除去する工程、及び前記吸引気体を前記
    チャンバーの前記支持体より上方の側壁に設けられた接
    続口から前記チャンバーに戻す工程を繰り返すことによ
    り前記部品の表面の前記液体を脱離除去する第１工程、
    前記第１工程に引き続いて前記吸引装置と前記接続口と
    の配管の一部を遮断する工程、前記吸引気体を大気に放
    出する放出工程、前記放出工程と同時に前記接続口から
    大気を導入する工程をとにより乾燥する第２工程とを有
    することを特徴とする乾燥装置。