JP2000249466A - 部品の乾燥方法及び部品乾燥装置並びに乾燥に用いられるパレット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 洗浄後の光学素子などの部品の乾燥に適し、
特に、微小径の光学素子や異種形状の光学素子等の部品
に対応でき、光学部品の光学性能を低下させることなく
優れた性能を維持して洗浄液を確実に除去する。 【解決手段】 パレット１０に設けたすり鉢状貫通穴２
に部品を収納し、すり鉢状貫通穴２に対向して配置され
た開口を通じて気体流通手段からすり鉢状貫通穴２内へ
の気体の流通を行う。すり鉢状貫通穴２に流通する気体
によって洗浄液を乾燥する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光学素子等の部品から
なる被洗浄物を保持して洗浄する際の部品の乾燥方法及
び乾燥装置並びに乾燥に用いられるパレットに関する。

【０００２】

【従来の技術】光学素子等の光学部品の製造では、研磨
加工等の中間工程で光学素子表面に付着したワックス、
加工残渣などの汚れを除去するため洗浄が行われる。

【０００３】洗浄は、洗浄槽の中に界面活性剤、有機溶
剤あるいは水等の洗浄液を入れ、加工後の光学部品を洗
浄液に浸漬して行われる。洗浄槽は１槽から複数槽で構
成されており、要求される洗浄レベル（要求品質）に応
じて、洗浄液の種類、洗浄槽数、超音波発振器の有無及
び光学部品の揺動の有無などを決定している。

【０００４】洗浄液および乾燥液として使用されている
有機溶剤は、塩化メチレン、トリクロロエチレン、トリ
クロロエタン等の塩素化炭化水素系有機溶媒やフロン、
イソプロピルアルコールなどの低沸点の有機溶媒が選択
されている。これらの有機溶媒、特に塩素化炭化素水素
系有機溶媒およびフロンは、毒性や環境破壊の問題によ
り近年の規制が厳しくなり、使用困難となっている。ま
た、イソプロピルアルコールなどの低沸点溶媒は引火性
が高く、爆発、火災の危険性があり、取り扱い上での安
全性に問題がある。

【０００５】近年、これらの問題を改善するため、洗浄
液として用いた水を遠心乾燥装置によって乾燥させるこ
とがなされているが、洗浄に際して被洗浄物を収納して
保持する洗浄治具と被洗浄物との接触部に付着した水が
乾燥しきれないなどの問題が発生している。特に、光学
素子の洗浄において、水が完全に除去できない場合に
は、シミが発生し、このシミが光学性能を低下させるた
め、光学素子として使用できない原因となっている。

【０００６】これらの問題点を改善するため、特開平６
−２０８０９３号公報や特開平９−２２５０５号公報が
提案されている。

【０００７】特開平６−２０８０９３号公報では、複数
の光学素子を整列して保持する洗浄用パレットをそのま
ま遠心乾燥機のキャリアホルダに載置して乾燥してい
る。図８はこの公報に記載された乾燥装置を示し、乾燥
機２００の内部には、乾燥を行う乾燥室２１０と、隔壁
２２０によって乾燥室２１０と仕切られた駆動室２３０
とが設けられている。

【０００８】駆動室２３０内には、モータ２４０及びモ
ータ２４０の駆動によって回転するプーリ２５０が配置
されており、プーリ２５０から延びる回転軸２６０が隔
壁２２０を貫通して乾燥室２１０内に進入している。回
転軸２６０の上部には、一対のアーム２７０が取り付け
られており、各アーム２７０にキャリヤホルダ２８０が
取り付けられている。各キャリヤホルダ２８０は図９に
示す洗浄用パレット２９０を保持するものである。洗浄
パレット２９０は図９に示すように、矩形枠状に形成さ
れていると共に、レンズ３００を起立した状態で保持す
る複数の保持爪２９１を有しており、レンズ３００を２
列の並列状で保持する。

【０００９】この乾燥機２００では、洗浄後のレンズ３
００が並べられた洗浄パレット２９０を乾燥室２１０内
のキャリヤホルダ２８０に保持させる。このとき、一対
のキャリヤホルダ２８０のそれぞれに洗浄パレット２９
０を保持させて回転バランスを保つようにする。そし
て、モータ２４０を駆動して回転軸２６０、アーム２７
０を介してキャリヤホルダ２８０を高速回転させ、洗浄
パレット２９０内のレンズ３００を高速回転により水切
りを行って乾燥する。

【００１０】特開平９−２２５０５号公報では、洗浄液
として水を用いずに有機溶媒を用いるものであり、光学
素子の洗浄として同様に用いることが可能である。図１
０はこの公報記載された洗浄乾燥装置を示し、洗浄槽３
３０，スピン槽３６０及び乾燥槽３７０を有している。

【００１１】洗浄槽３３０では洗浄パレットに被洗浄物
を収納した状態で洗浄を行うものであり、洗浄槽３３０
には炭化水素系有機溶媒３２０が充填されると共に、そ
の底面には超音波振動子３４０が設けられている。洗浄
槽３３０はヒータ３５１を備えた予備槽３５０とポンプ
３５２によって接続されており、常に一定温度の有機溶
媒３２０が供給されるようになっている。この洗浄槽３
３０では、引火点が７０℃以上の炭化水素系有機溶媒３
２０を少なくとも５０℃以上に加熱し、この状態の有機
溶媒３２０内に洗浄パレット３１０を浸漬して超音波洗
浄を行う。

【００１２】スピン槽３６０内には洗浄パレット３１０
を傾斜状態で保持する受け台３６１が設けられ、この受
け台３６１がモータ３６２に連結されている。このスピ
ン槽３６０では、洗浄槽３３０から引き上げられた洗浄
パレット３１０を傾けた状態とし、この状態で回転モー
タ３６２が駆動することにより洗浄パレット３１０を５
００〜２０００ｒｐｍの回転速度で回転させ、排気口３
６３から有機溶媒を排気する。

【００１３】乾燥槽３７０では、受け台３７１によって
洗浄パレット３１０を保持した状態で、ファン３７２及
びヒータ３７３が駆動することにより、５０℃以上の温
風を吹き付けて乾燥し、この乾燥によって有機溶媒を除
去するようになっている。

【００１４】なお、上記特開平６−２０８０９３号公報
では、キャリアホルダ２８０は回転軸２６０に接続され
た支持棒両端部のアーム２７０に固着されている。この
装置では、特に乾燥時の高速回転での安定性を保つた
め、また両端のキャリア重量のバランスをとるため、必
ず２つの洗浄用パレット２９０をキャリアホルダ２８０
に同重量になるように載置しなければならない。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
６−２０８０９３号公報の乾燥装置は、装置が大型であ
り、装置自体の構造も複雑なため、重量物を回転させる
ときの安全性や設備コスト面で問題を有している。ま
た、回転乾燥時には、洗浄用パレット２９０の重量バラ
ンスを調整する必要があるため作業面での煩雑さがあ
る。

【００１６】特開平９−２２５０５号公報の装置では、
引火点が７０℃以上の炭化水素系有機溶媒を少なくとも
５０℃以上に加熱した状態で洗浄パレット３１０を浸漬
し超音波洗浄を行っている。この加熱温度は可燃性液体
の引火点以下であるものの、可燃性液体を用いることは
安全性の点で問題となる。また、加熱用のヒータ及び乾
燥槽が必要となるため、装置の構成が複雑でコストが高
くなる。特に、この公報の技術を光学素子の洗浄・乾燥
に用いる場合には、光学素子に対して温風を吹き付ける
乾燥を行うため、液残りおよび汚れなどの光学素子の表
面への焼き付きが生じ、光学素子としての性能を低下さ
せる問題が発生する。

【００１７】本発明は、このような従来の問題点を解決
するためなされたもので、光学素子などの部品の乾燥に
適し、特に、微小径の光学素子や異種形状の光学素子等
の部品に対応でき、光学部品の光学性能を低下させるこ
となく優れた性能を維持できる乾燥方法及び乾燥装置を
提供することを目的とする。また、上記光学部品等の部
品を効率よく乾燥できるパレットを提供することを目的
とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の部品乾燥方法は、表面に液体が付着した
部品の乾燥方法において、パレットに設けられたすり鉢
状貫通穴に前記部品を収納し、すり鉢状貫通穴に対向し
て配置された開口を通じてすり鉢状貫通穴内への気体の
流通を行うことを特徴とする。

【００１９】この発明では、部品を収納したすり鉢状貫
通穴内に対し、開口を通じて気体を流通させることによ
り、部品に付着している液体を除去する。気体の流通前
においては、部品を収納したパレットを回転させ、回転
の遠心力によって液体を振り切って除去し、乾燥させる
ことも可能である。この回転による乾燥時において、部
品が微小径の光学素子の場合には、自重が小さいため、
すり鉢状貫通穴の斜面に貼り付き易く、部品とすり鉢状
貫通穴の斜面との隙間に薄膜状に液体が残留することが
ある。これに対し、すり鉢状貫通穴内に気体を流通させ
ることにより、隙間部分に残留している液体の蒸発を促
進するため、良好に乾燥することができる。従って、短
時間で確実に液体を除去でき、シミの発生のない乾燥を
行うことができる。

【００２０】この発明における気体の流通は、開口を通
じてすり鉢状貫通穴内に気体を吹き出しあるいはすり鉢
状貫通穴から気体を吸引することにより行うことがで
き、簡単に気体を流通させることができる。気体の吹き
出しは圧縮空気、ブロアガス、あるいは窒素ガスなどの
不活性気体を用い、２〜４ｋｇ／ｃｍ² 程度の圧力で吹
き付けることにより可能である。気体の吸引は、例えば
排気ブロアを５〜２０リットル／分排気させる吸引力に
よって行うことができる。

【００２１】請求項２の発明の部品乾燥装置は、表面に
液体が付着した部品の乾燥を行う乾燥槽と、前記部品を
収納するすり鉢状貫通穴を有したパレットと、このパレ
ットを保持して回転する回転手段と、前記すり鉢状貫通
穴に対向するように前記パレットに面して設けられた開
口と、この開口を通じてすり鉢状貫通穴内への気体の流
通を行う気体流通手段とを具備したことを特徴とする。

【００２２】この発明では、回転手段によるパレットの
回転によって遠心力が作用し、この遠心力によって部品
に付着している液体が振り切られるため、液体を除去す
ることができる。又、気体流通手段は開口を通じてすり
鉢状貫通穴内に気体を流通させるため、回転によっても
部品に残留している液体を確実に除去する。従って、微
小径の部品であっても、シミの発生なく確実に乾燥する
ことができる。

【００２３】この乾燥を確実に行うため、気体を流通さ
せる開口は、必ず洗浄用パレットのすり鉢状貫通穴に対
向して配置される。又、この開口は、すり鉢状貫通穴に
おける小径側の開口部に比べて、０．５〜１ｍｍ大きく
することにより吹き付けもしくは吸引された気体を効率
良く部品に当てることができる。

【００２４】請求項３の発明のパレットは、板状に形成
された本体と、この本体の上面から下面に向かって貫通
するように設けられ、部品が収納されるすり鉢状貫通穴
と、このすり鉢状貫通穴の大径側の開口部を被うように
設けられた通気性の蓋体とを具備したことを特徴とす
る。

【００２５】この発明では、本体に設けたすり鉢状貫通
穴内に光学素子などの部品を収納して乾燥を行う。すり
鉢状となっているため、パレットと接触する部分は部品
の外周部であり、部品の外周面以外（例えば、研磨面）
がパレットに直接接触することがない。また、収納され
た部品は、すり鉢状貫通穴内で自由に動くことができる
ため、固定した場所に液溜まりがなく、乾燥後のシミの
発生がない。さらに、すり鉢状のため、洗浄完了後に洗
浄槽から引き上げた時の液切り性を向上させることがで
きる。

【００２６】蓋体はすり鉢状貫通穴の大径側の開口部を
被うため、大径側の開口部から部品が脱落したり、落下
することがない。この蓋体は通気性を有しているため、
すり鉢状貫通穴内への気体の流通を妨げることがなく、
気体流通による部品の乾燥を行うことができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示する実施の形
態により具体的に説明する。なお、各実施の形態におい
て同一の要素は同一の符号を付して対応させてある。

【００２８】（実施の形態１）図１〜図６は本発明の実
施の形態１であり、図１及び図２は、この実施の形態に
用いられるパレット１０を示す。パレット１０は本体１
と、本体１に設けられたすり鉢状貫通穴２と、本体１に
取り付けられる蓋体３とを備えている。

【００２９】本体１はテフロン（商標名）などのフッ素
系樹脂によって円盤形状の板状に形成されている。この
本体１の側面の対向する少なくとも２箇所にはアーム係
止溝４が形成されており、このアーム係止溝４を介して
パレット１０が回転モータ８の一対のアーム７に保持さ
れる（図５参照）。

【００３０】すり鉢状貫通穴２は本体１の厚さ方向に貫
通するように複数が形成されている。複数のすり鉢状貫
通穴２は本体１の円周方向に対し等間隔で設けられてお
り、これによりパレット１０がバランス良く安定して回
転することができる。なお、本体１の中央には、すり鉢
状貫通穴２ではない中心穴１１が貫通している。本体１
の中央部分にすり鉢状貫通穴２を設けても、回転によっ
て部品５から液体を除去しにくいためであり、又、回転
時のパレット１０のバランスを取り易くするためであ
る。

【００３１】すり鉢状貫通穴２は本体１の上面１ａ側の
開口部２ａが大径となっており、本体１の下面１ｂ側の
開口部２ｂが小径となるように形成されている。上面側
１ａにおける大径の開口部２ａは部品５の外径よりも大
きく設定されており、この大径の開口部２ａから部品５
がすり鉢状貫通穴２内に落とし込まれる。下面１ｂ側の
小径の開口部２ｂは部品５の外径よりも小さく設定され
ており、これにより、部品５が落下することを防止して
いる。

【００３２】蓋体３は本体１と同一径の薄い円盤状に形
成されている。この蓋体３は本体１と同様な樹脂によっ
て形成されるものである。又、蓋体３は網目状あるいは
格子状に成形されており、これにより通気性が付与され
ている。かかる蓋体３は本体１の上面１ａ側に被せら
れ、これによりすり鉢状貫通穴２内の部品５が大径の開
口部２ａから抜け出ることを防止している。

【００３３】このようなパレット１０では、大径の開口
部２ａからレンズなどの部品５がすり鉢状貫通穴２に落
とし込まれる。このとき、部品５は向きを特定すること
なく適当に落とし込まれ、図３（ａ）及び（ｂ）で示す
ように、すり鉢状貫通穴２内では部品５の向きが任意と
なっている。

【００３４】図４は部品の洗浄及び乾燥を行う処理装置
を示す。この装置は第１の洗浄槽２１と、第２の洗浄槽
２２と、乾燥槽２３とを備えており、これらの槽２１，
２２，２３を回転モータ８が順次、移動する。

【００３５】回転モータ８はパレット１０を回転させる
回転手段となっており、回転軸９が垂下している。図５
に示すように、回転軸９の下端には開閉自在の２股状の
アーム７が取り付けられており、このアーム７がパレッ
ト１０の本体１に設けられているアーム係止溝４に係止
することによりパレット１０が回転モータ８に連結され
る。

【００３６】第１及び第２の洗浄槽２１，２２には、洗
浄液２４が充填されており、パレット１０を洗浄液２４
に浸漬した状態で、５０ｒｐｍ以上の回転速度でパレッ
ト１０を回転させながら洗浄を行う。乾燥槽２３では、
５００ｒｐｍ以上の高速回転速度でパレット１０を回転
させて液切り乾燥を行う。この乾燥槽２３の底部には、
気体流通手段としての載置台２０が設けられている。

【００３７】図６は載置台２０を示し、複数の開口２１
が貫通するように形成されている。開口２１はパレット
１０のすり鉢状貫通穴２と対応するように形成されてい
る。又、載置台２０の開口２１は図示を省略した送風機
に接続されており、送風機からの清浄な乾燥空気をすり
鉢状貫通穴２に吹き出すことができる。

【００３８】乾燥槽２３では、まず、回転モータ８によ
ってパレット１０を高速回転させて洗浄液の液切りを行
う。この回転乾燥による液切りの後、パレット１０の回
転を止め、パレット１０のすり鉢状貫通穴２と、載置台
２０の開口２１とを一致させるようにパレット１０を載
置台２０上に載置させる（図６参照）。この状態で送風
機からの清浄な空気を開口２１から各すり鉢状貫通穴２
に吹き付ける。この吹き付けによって、すり鉢状貫通穴
２内の部品５の表面に付着している残留洗浄液を除去
し、完全に乾燥を行う。

【００３９】この実施の形態では、洗浄される部品５と
して、研磨された直径（φ）３ｍｍの凸レンズを用い
た。この凸レンズをパレット１０のすり鉢状貫通穴２に
入れ、パレット１０を回転モータ８の回転軸９に固定し
て、回転洗浄を行った。洗浄液としては、ＩＰＡ（イソ
プロピルアルコール）、非水系シリコーン系洗浄液（商
品名「ＥＥ−３１１０」、オリンパス光学工業（株）
製）及び純水の３種類を用いた。

【００４０】回転洗浄の後、パレット１０を乾燥槽２３
に移動させ、回転速度を５００ｒｐｍ、１０００ｒｐ
ｍ、２０００ｒｐｍのそれぞれに変えて回転乾燥した。
この回転乾燥は、回転速度５００ｒｐｍ及び１０００ｒ
ｐｍで２分間、２０００ｒｐｍで１分間の回転時間とし
て行った。この回転乾燥の終了後、乾燥槽２３内での乾
燥空気の吹き付けにより、回転乾燥のみでは完全乾燥で
きないＩＰＡ、ＥＥ−３１１０、純水を１０秒程度で容
易に除去した。結果を表１に示す。

【００４１】比較例として、上述した各回転速度で３分
間の回転時間とし、乾燥空気の吹き付けを行わない、す
なわち回転乾燥による乾燥のみにおける乾燥性を評価
し、結果を表２に示す。これらの表において、「○」は
レンズ、パレット共に液残りがないものを、「×」は液
残りがあるものを示す。

【００４２】

【表１】

【００４３】

【表２】

【００４４】乾燥性の良いＩＰＡとＥＥ−３１１０は、
１０００ｒｐｍ以上での回転時間３分の条件で乾燥する
ことができたが、純水は２０００ｒｐｍの回転速度でも
レンズとパレット１０の隙間に液残りが確認された。そ
こで回転時間を５分に延長したが、レンズとパレット１
０の隙間に存在する純水は、レンズが貼りついた状態に
なっているため、完全には乾燥できなかった。

【００４５】（実施の形態２）図７は実施の形態２を示
す。この実施の形態では、図７で示す載置台２５を乾燥
槽２３内に設置するものである。載置台２５はこの実施
の形態の気体流通手段を構成するものであり、すり鉢状
貫通穴２に対応した開口２６が形成されている。この載
置台２５は排気モータ（図示省略）に接続されており、
排気モータの駆動によって矢印で示すように、開口２６
から各すり鉢状貫通穴２を通じて空気が吸引され、この
吸引される空気によって部品を乾燥する。

【００４６】この実施の形態では、実施の形態１と同様
に、研磨されたφ３ｍｍの凸レンズを洗浄される部品と
して用いた。レンズはパレット１０のすり鉢状貫通穴２
に入れて洗浄及び乾燥に供した。洗浄液は実施の形態１
と同様に、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、非水系
シリコーン系洗浄液（商品名「ＥＥ−３１１０」オリン
パス光学工業（株）製）及び純水の３種とした。

【００４７】洗浄後には、乾燥槽内で回転乾燥を行っ
た。回転乾燥は、５００，１０００，２０００ｒｐｍの
３種の回転速度で行った。回転時間を５００ｒｐｍおよ
び１０００ｒｐｍは２分間、２０００ｒｐｍは１分間と
した。この回転乾燥後、吸引乾燥したときの乾燥性の評
価結果を表３に示す。

【００４８】

【表３】

【００４９】吸引乾燥により、回転乾燥のみでは完全乾
燥できない純水及び回転速度５００ｒｐｍでの回転乾燥
では完全乾燥できないＩＰＡ、ＥＥ−３１１０において
も、２０秒程度で容易に液残りを除去することができ
た。

【００５０】以上の説明から明らかなように、本発明は
次の発明を包含するものである。

【００５１】（１）表面に液体が付着した光学部品の乾
燥方法において、パレットに設けられたすり鉢状貫通穴
に前記光学部品を収納し、すり鉢状貫通穴に対向して配
置された開口を通じてすり鉢状貫通穴内への気体の流通
を行うことを特徴とする光学部品乾燥方法。

【００５２】この発明では、光学部品に付着している洗
浄液などの液体をすり鉢状貫通穴への気体の流通によっ
て除去することができ、良好な乾燥を行うことができ
る。

【００５３】（２）表面に液体が付着した光学部品の乾
燥を行う乾燥槽と、前記光学部品を収納するすり鉢状貫
通穴を有したパレットと、このパレットを保持して回転
する回転手段と、前記すり鉢状貫通穴に対向するように
前記パレットに面して設けられた開口と、この開口を通
じてすり鉢状貫通穴内への気体の流通を行う気体流通手
段とを具備したことを特徴とする部品乾燥装置。

【００５４】この発明では、回転手段によるパレットの
回転によって遠心力が作用し、この遠心力によって光学
部品に付着している液体が振り切られるため、液体を除
去することができると共に、気体流通手段は開口を通じ
てすり鉢状貫通穴内に気体を流通させるため、部品に残
留している液体を確実に除去し、このため、微小径の光
学部品であっても、シミの発生なく確実に乾燥すること
ができる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、部品を収納したすり鉢状貫通穴内に対して開口
を通じて気体を流通させるため、部品に付着している液
体を確実に除去することができる。従って、直径が１０
ｍｍ以下の光学部品などの部品を短時間で良好に乾燥す
ることができる。また、純水を用いた洗浄が可能である
ため、環境対策や安全性に優れている。

【００５６】請求項２の発明によれば、回転手段による
パレットの回転によって遠心力が作用し、この遠心力に
よって部品に付着している液体が振り切られると共に、
気体流通手段が開口を通じてすり鉢状貫通穴内に気体を
流通させるため、部品に残留している液体を確実に除去
することができる。

【００５７】請求項３の発明によれば、すり鉢状貫通穴
に部品を収納するため、部品の外周面以外がパレットに
直接接触することがなく、部品がすり鉢状貫通穴内で自
由に動くことができるため、固定した場所に液溜まりが
なく、乾燥後のシミの発生がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１のパレットの本体の平面
図である。

【図２】図１におけるパレットの本体に蓋体を備えたと
きのＡ−Ａ線断面図である。

【図３】（ａ）及び（ｂ）はすり鉢状貫通穴内での部品
の挙動を示す斜視図である。

【図４】洗浄及び乾燥を行う処理装置の断面図である。

【図５】回転モータの正面図である。

【図６】実施の形態１におけるパレットと開口との関係
を示す相関図である。

【図７】実施の形態２におけるパレットと開口との関係
を示す相関図である。

【図８】従来の乾燥装置の部分破断斜視図である。

【図９】図８の乾燥装置に用いられる洗浄パレットの斜
視図である。

【図１０】洗浄及び乾燥を行う従来の処理装置の断面図
である。

【符号の説明】

１ パレット ２ すり鉢状貫通穴 ３ 蓋体 ５ 部品

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B201 AA03 AB38 AB44 BB02 BB82 BB83 BB93 BB94 BB95 CA01 CA03 CB15 CC12 CC13 3L113 AA04 AB02 AB08 AC28 AC74 BA01 DA10 DA21 DA24 DA26

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に液体が付着した部品の乾燥方法に
   おいて、パレットに設けられたすり鉢状貫通穴に前記部
   品を収納し、すり鉢状貫通穴に対向して配置された開口
   を通じてすり鉢状貫通穴内への気体の流通を行うことを
   特徴とする部品乾燥方法。
2. 【請求項２】 表面に液体が付着した部品の乾燥を行う
   乾燥槽と、前記部品を収納するすり鉢状貫通穴を有した
   パレットと、このパレットを保持して回転する回転手段
   と、前記すり鉢状貫通穴に対向するように前記パレット
   に面して設けられた開口と、この開口を通じてすり鉢状
   貫通穴内への気体の流通を行う気体流通手段とを具備し
   たことを特徴とする部品乾燥装置。
3. 【請求項３】 板状に形成された本体と、この本体の上
   面から下面に向かって貫通するように設けられ、部品が
   収納されるすり鉢状貫通穴と、このすり鉢状貫通穴の大
   径側の開口部を被うように設けられた通気性の蓋体とを
   具備したことを特徴とする乾燥に用いられるパレット。