JP2651654B2 - 真空乾燥装置及び真空乾燥方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気部品、電子部品、
機械部品等の主として工業部品を乾燥する真空乾燥装置
及び真空乾燥方法に関し、特にこれらの部品を温風及び
真空状態を利用して乾燥するとともに、蒸発気化した溶
剤を冷却して凝縮回収するものである。

【０００２】

【従来の技術】工業部品、電気部品、電子部品等は、製
造工程において加工油，加工屑等や微細なゴミ等の汚れ
が付着してしまう。これらの汚れをそのままにしておく
と、製品の品質を低下させるばかりでなく、部品を組み
込んだ装置等の故障の原因ともなる。そこで、従来か
ら、これらの汚れを除去するため、水系または非水系の
溶剤を用いて部品を洗浄していた。また、部品に残留し
た溶剤は乾燥除去しなければならないが、蒸発させた溶
剤をそのまま大気中に放散したのでは、大気汚染の原因
となる。また、被乾燥物に溶剤が残ると、残った溶剤に
より錆が発生したり、輪どり模様等が現れるなど品質を
損なう問題もある。このため、本出願人は、溶剤を用い
て洗浄した部品の乾燥処理を行うとともに、蒸発気化し
た溶剤を回収するための真空乾燥装置を開発し、出願し
た（特願平4-212669号）。この真空乾燥装置は、単一の
乾燥室と、この乾燥室の排気口に連通された送風機を有
する排気路と、乾燥室の吸気口に連通された加熱室を有
する吸気路と、排気路と吸気路との間に連通接続されか
つ溶剤回収路を連通させた冷却室とを設けて、乾燥室と
排気路と吸気路とにより空気循環路を形成するととも
に、空気循環路に切換バルブを介して連通接続された真
空ポンプを設けてある。そして、乾燥室内に加熱室で加
熱した空気を送り込むことにより乾燥室内の被乾燥物の
温度を上昇させて溶剤を蒸発気化させた後、冷却室で溶
剤ガスを凝縮回収する。次に、切換弁を切り替えて、真
空ポンプにより乾燥室内を減圧して被乾燥物に付着して
いる溶剤の蒸発気化を促している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記した真空乾燥装置
では、真空乾燥の１工程が終了する毎に、乾燥室内の被
乾燥物の冷却を待って、被乾燥物を乾燥室内から取り出
した後、次の真空乾燥工程に備えて、乾燥室内に被乾燥
物を装入している。このため、実際の真空乾燥に要する
時間の他に、被乾燥物の装入や取り出しのための時間
や、被乾燥物の冷却待ち時間が必要であり、作業の効率
が悪いという問題があった。また、大量の被乾燥物を同
時に処理するためには、複数の真空乾燥装置を設置しな
ければならず、広いスペースを必要とするとともに、設
備費用も嵩むという問題があった。また、空気循環路は
閉鎖した循環路であるため、溶剤が蒸発気化することに
より空気循環路内の溶剤ガスの圧力が異常に高まるおそ
れがあった。また、この真空乾燥装置では、乾燥室下部
から乾燥室内に加熱した空気を送り込むとともに、乾燥
室上部から排気を行っている。しかし、溶剤が大量に付
着した状態の部品では、重力により溶剤が下方に向かっ
て滴り落ちるため、乾燥室の底部に溶剤が溜まり、効率
よく乾燥を行うことができないという問題があった。ま
た、乾燥室内は加熱した空気により高温となっており、
乾燥終了直後には乾燥室の扉も高温となっているため、
被乾燥物を取り出す際に作業者が火傷を負う等の危険が
あった。そこで、本発明は上記した従来の技術の有する
問題点に鑑み提案されたもので、その目的とするところ
は、水系または非水系溶剤により洗浄した被乾燥物を効
率よくかつ安全に乾燥することができる、コンパクトな
真空乾燥装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、請求項１記載の発明では、水系または非水系の溶
剤により洗浄した被乾燥物を真空乾燥する真空乾燥装置
であって、複数個並設され、被乾燥物を内部に格納する
格納容器と、複数の格納容器のうちの一つを択一的に閉
鎖する蓋部材と、各格納容器の下部にそれぞれ設けた加
熱槽と、各格納容器にそれぞれ第１開閉弁を介して連通
接続し、加熱された空気を格納容器内に送風する送風管
と、加熱槽に循環させる難燃性オイルを加熱するオイル
加熱器と、オイルをオイル加熱器の出口側から加熱槽の
入口側に供給するとともに、加熱槽の出口側からオイル
加熱器の入口側にオイルを戻すオイル循環路と、オイル
循環路にオイルを循環させるオイル循環ポンプと、各格
納容器に連通接続して、各格納容器内で蒸発気化した溶
剤ガスを排出する排気管と、各排気管を集合した集合排
気管に連通接続して、集合排気管内の溶剤ガスを冷却し
凝縮回収する冷却装置と、冷却装置の下流側の集合排気
管から分岐した、第２開閉弁を有する大気開放管と、集
合排気管の先端側に第３開閉弁を介して連通接続して、
格納容器内を減圧する真空発生装置とから真空乾燥装置
を構成したことを特徴とする。また、請求項２記載の発
明では、上記送風管は各格納容器の上部に連通接続する
とともに、上記排気管は各格納容器の下部に連通接続し
たことを特徴とする。また、請求項３記載の発明では、
上記各格納容器に蓋部材を冷却するための蓋部材冷却装
置を設けたことを特徴とする。また、請求項４記載の発
明では、上記オイル加熱器には、オイル温度を予め定め
た一定温度に保つための温度調節器を設けたことを特徴
とする。また、請求項５記載の発明では、上記難燃性オ
イルが循環する熱交換器を集合送風管の途中に設け、オ
イル循環路には、熱交換器と加熱槽との間に三方切替弁
を設けるとともに、三方切替弁から加熱槽を経由せずに
オイル加熱装置にオイルを戻すためのオイルバイパス路
を設け、加熱槽に設けた温度検出器からの検出出力に基
づいて三方切替弁を選択的に切り替え、オイル循環経路
を変更することにより加熱槽の温度調節を行うことを特
徴とする。また、被乾燥物を真空乾燥するための方法と
して、請求項６記載の発明では、複数並設された格納容
器のうちのどれか一つの格納容器内に水系または非水系
溶剤により洗浄した被乾燥物を格納して、該格納容器を
蓋部材により択一的に閉塞し、上記被乾燥物を格納した
格納容器の下部に設けた加熱槽に加熱した難燃性オイル
をオイル循環ポンプを用いて循環させるとともに、送風
管から熱風を送風して当該格納容器内を加熱し、上記被
乾燥物を格納した格納容器内で蒸発気化した溶剤ガスを
当該格納容器に連通接続した排気管を介して格納容器外
に導いて、該排気管に連通した冷却装置を用いて溶剤を
凝縮回収し、溶剤ガスを回収後の排気を冷却装置下流側
の集合排気管から分岐した大気開放管により大気中に放
散する第１工程と、送風管に設けた第１開閉弁を閉塞し
て上記被乾燥物を格納した格納容器の吸気側を閉塞し、
大気開放管に設けた第２開閉弁を閉塞して集合排気管の
大気連通状態を封鎖し、集合排気管の先端側に連通接続
した真空発生装置を用いて上記被乾燥物を格納した格納
容器内を減圧し、当該格納容器内に残存した溶剤を蒸発
気化させて排気管に排出し、集合排気管に連通接続した
冷却装置を用いて溶剤を凝縮回収する第２工程とにより
被洗浄物の真空乾燥を行い、上記両工程が終了した後、
他の格納容器のうちどれか一つを選択して、順次上記両
工程を行うことを特徴とする。また、請求項７記載の発
明では、前記第１工程と第２工程を行なうことを１サイ
クルと知、このサイクルを繰り返して当該格納容器での
加熱真空乾燥を行なうことを特徴とする。

【０００５】

【作用】上記した発明では、まず、複数並設された格納
容器のうちのどれか一つの格納容器内に水系または非水
系溶剤により洗浄した被乾燥物を格納し、該格納容器を
蓋部材により択一的に閉鎖する。そして、上記被乾燥物
を格納した格納容器の下部に設けた加熱槽にオイル加熱
器により加熱した難燃性オイルをオイル循環ポンプを用
いて循環させるとともに、集合送風管の先端側に接続し
た送風機により上記被乾燥物を格納した格納容器内に熱
風を送風して、当該格納容器内の被乾燥物を加熱し、上
記被乾燥物を格納した格納容器内で蒸発気化した溶剤ガ
スを当該格納容器に連通接続した排気管を介して格納容
器外に導いて、排気管が集合した集合排気管に連通接続
した冷却装置を用いて溶剤を凝縮回収し、溶剤ガスを回
収後の排気を冷却装置下流側の集合排気管から分岐した
大気開放管により大気中に放散する第１工程を行う。そ
の後、送風管に設けた第１開閉弁を閉塞して上記被乾燥
物を格納した格納容器の吸気側を閉塞し、大気開放管に
設けた第２開閉弁を閉塞して集合排気管の大気連通状態
を封鎖し、集合排気管の先端側に連通接続した真空発生
装置を用いて上記被乾燥物を格納した格納容器内を減圧
し、当該格納容器内に残存した溶剤を蒸発気化させて排
気管に排出し、集合排気管に連通接続した冷却装置を用
いて溶剤を凝縮回収する第２工程を行う。そして、上記
両工程が終了した後、他の格納容器のうちどれか一つを
選択して、順次上記両工程を行う（請求項１、請求項
６）。したがって、複数並設した格納容器のうちの一つ
で被乾燥物の真空乾燥作業を行っているときに、他の格
納容器内に被乾燥物の装入作業を行うことができるの
で、被乾燥物の真空乾燥作業が終了した後、直ちに準備
が終了した他の格納容器により真空乾燥作業を行うこと
ができる。また、次の真空乾燥作業を行っているとき
に、真空乾燥作業が終了した格納容器内から被乾燥物を
取り出したり、さらに次の真空乾燥作業を行うために格
納容器内に被乾燥物の装入作業を行うことができる。こ
のため、複数の格納容器により連続して真空乾燥を行う
ためのコンパクトな真空乾燥装置を提供することができ
るとともに、真空乾燥作業の効率を向上できる。また、
格納容器内に送風する熱風は、格納容器の上部から送風
され、格納容器内からの排気は格納容器の下部から行わ
れる（請求項２）。したがって、被乾燥物に付着した溶
剤が格納容器の下方に向かって滴り落ちることが促進さ
れ、この滴り落ちた溶剤が格納容器内に残留することな
く速やかに排出されるので、乾燥効率を高めることがで
きる。また、格納容器に設けた蓋部材は、蓋部材冷却装
置により冷却される（請求項３）。したがって、格納容
器の蓋部材の温度上昇が抑えられ、被乾燥物の乾燥処理
が終了した直後であっても、安全に格納容器内から被乾
燥物を取り出すことができる。また、加熱に用いられる
オイルは、オイル加熱器に設けた温度調整装置により、
予め定めた一定温度に保たれる（請求項４）。したがっ
て、被乾燥物の乾燥処理を効率よく行うことができる。
また、加熱槽に設けた温度検出器からの検出出力に基づ
いて、オイル循環路の熱交換器と加熱槽との間に設けた
三方切替弁を切り替え、加熱槽の温度が予め定めた一定
温度以下である場合には、オイルを加熱槽に循環させ、
加熱槽の温度が予め定めた一定温度以上である場合に
は、オイルを加熱槽に循環させることなくオイルバイパ
ス路を経由してオイル加熱装置に戻す（請求項５）。し
たがって、被乾燥物の乾燥処理をさらに効率よく行うこ
とができる。

【０００６】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。図１は本発明に係る真空乾燥装置の概略構成
図、図２は格納容器と蓋部材の側面図、図３は蓋部材の
上面図である。

【０００７】この真空乾燥装置１は、被乾燥物Ａを内部
に格納する複数の格納容器２…、複数の格納容器２…を
択一的に閉鎖する蓋部材３、各格納容器２の下部に設け
た加熱槽４、各格納容器２に連通接続した送風管５、送
風管５が集合した集合送風管６の途中に設けた熱交換器
７、集合送風管６の基端側に連通接続した送風機８、加
熱槽４及び熱交換器７に循環させる難燃性オイルを加熱
するオイル加熱器９、オイルを加熱槽４及び熱交換器７
に循環させるオイル循環路１０、オイル循環路１０にオ
イルを循環させるオイル循環ポンプ１１、各格納容器２
に連通接続した排気管１２、排気管１２を集合した第１
集合排気管１３に連通接続した冷却装置１４、冷却装置
１４の下流側の第２集合排気管１５から分岐した大気開
放管１６、第２集合排気管１５の先端側に連通接続した
真空発生装置１７等を主な構成要素とする。

【０００８】各格納容器２は、上部が開放した円筒状の
金属製容器で、同一円周上に２個並設されている。各格
納容器２の内部の下方には、被乾燥物Ａを載置する有孔
棚板状載置部１８を設け、上部側壁には送風管５を連通
接続するための送風口１９と、外気連通管２０を連通接
続するための外気連通口２１とを設け、底部中央には排
気管１２を連通接続するための排気口２２が設けてあ
る。そして、上部開口縁からは格納容器２の外周に向か
ってフランジ部２３が延設してあり、このフランジ部２
３上に蓋部材３を載置して格納容器２の開口部を閉塞す
る。なお、フランジ部２３と蓋部材３の間には、ゴム等
からなるシール材２４を介在させて、蓋部材３による格
納容器２の開口部の気密性を高めている。また、蓋部材
３を格納容器２に係止するための係止手段（図示せず）
を設ければ、蓋部材３を格納容器２にさらに強固に取り
付けることができる。

【０００９】蓋部材３は、縦方向の回動軸２５の上部か
ら水平方向に延設した支持腕２６に取り付けてあり、回
動軸２５の下部には回動軸２５を回動するための駆動装
置であるモータ２７が設けてある。上記した格納容器２
…は、この蓋部材３の回動半径上に設けてある。したが
って、モータ２７を駆動して回動軸２５を回動すること
により、蓋部材３の回動半径上に設けた格納容器２…
を、蓋部材３により択一的に閉塞することができる。

【００１０】なお、本実施例では、２個の格納容器２
ａ，２ｂを並設してあるが、格納容器２の数は２個に限
られず、スペースが許せば３個以上を設置することもで
きる。

【００１１】また、各格納容器２の上部外周には、格納
容器２の上部及び蓋部材３を冷却保護するための蓋部材
冷却装置２８が設けてある。この蓋部材冷却装置２８
は、格納容器２の上部外周を囲うように設けてあり、内
部に冷却水を流すことにより冷却を行っている。この冷
却水は、冷却水取入口２９から蓋部材冷却装置２８の内
部に取り込まれ、冷却水取出口３０から外部に導かれて
いる。

【００１２】各格納容器２の送風口１９には、第１開閉
弁３１を介して送風管５が連通接続してあり、各送風管
５は集合して集合送風管６となり、集合送風管６の基端
側には送風管５及び集合送風管６内に空気を送り込むた
めの送風機８が連通接続してある。また、集合送風管６
の途中には、集合送風管６内の空気を加熱するための熱
交換器７が設けてある。

【００１３】また、各格納容器２の外気連通口２１に
は、外気開閉弁３２を介して外気連通管２０が連通接続
してある。この外気連通管２０は、真空乾燥が終了した
後に当該格納容器２内へ外気を取り込む際に使用するも
のである。

【００１４】各格納容器２の外側下部には、格納容器２
の底部と側壁を囲むように加熱槽４が設けてある。この
加熱槽４は、内部に循環させる難燃性オイルにより格納
容器２の下部を加熱するためのもので、底部にオイル取
入口３３が設けてあり、側面上部にオイル排出口３４が
設けてある。また、加熱槽４の外壁には加熱槽４の温度
を検出するための温度検出器３５が設けてある。

【００１５】上記したように、送風管５は１本の集合送
風管６に集合されており、この集合送風管６に設けた熱
交換器７と各加熱槽４とを加熱する難燃性オイルは、オ
イル加熱器９のオイル出口３６側に連通接続されたオイ
ル循環ポンプ１１により、熱交換器７を経て加熱槽４に
送られ、再びオイル加熱器９のオイル入口３７に戻るオ
イル循環路１０内を循環する。このオイル循環路１０
は、各加熱槽４に至る手前で分岐しており、それぞれの
分岐オイル循環路３８には、オイル循環路開閉弁３９が
設けてある。

【００１６】また、オイル循環路１０の熱交換器７と加
熱槽４との間には三方切替弁４０が設けてあり、三方切
替弁４０の一側はオイル加熱器９のオイル入口３７に向
かうオイルバイパス路４１に連通接続されている。この
三方切替弁４０を切り替えることにより、オイル循環経
路を選択的に切り替えて、熱交換器７からのオイルを加
熱槽４に送るか、熱交換器７からのオイルを加熱槽４を
経ることなく直接オイル加熱器９に戻すかを選択するこ
とができる。

【００１７】オイル加熱器９は、電気ヒーター４２によ
り難燃性オイルを加熱するための装置で、内部にはオイ
ル温度を検出して電気ヒーター４２のオン・オフを行う
ための温度調節器４３が設けてある。また、オイル加熱
器９の上部にはエアー抜口４４が設けてあり、オイル加
熱器９内にオイル蒸気が充満した場合であっても、オイ
ル加熱器９が破損することを防止している。

【００１８】各格納容器２の底部中央に設けた排気口２
２には排気管１２が連通接続してあり、この排気管１２
は集合して集合排気管１３となり、集合排気管１３には
冷却装置１４が連通接続してある。なお、それぞれの排
気管１３には、排気管開閉弁４５が設けてある。

【００１９】この冷却装置１４は、冷却水入口４６から
取り入れた冷却水により排気管１２を介して集合排気管
１３内を送られてきた溶剤ガスを冷却凝縮するための装
置で、集合排気管１３を二重に取り囲むように設けた冷
却部４７と、冷却凝縮した溶剤を取り出す溶剤取出口４
８とを設けてある。冷却装置１４内部を通過した冷却水
は冷却水出口４９から取り出され、上記した蓋部材冷却
装置２８の冷却水取入口２９に導かれている。

【００２０】冷却装置１４の下流側の第２集合排気管１
５には、第２開閉弁５０を有する大気開放管１６を分岐
してあり、冷却装置１４で溶剤が凝縮回収された後の排
気が、この大気開放管１６から大気中に排出される。

【００２１】また、第２集合排気管１５の先端側には、
第３開閉弁５１を介して真空発生装置１７が連通接続し
てある。この真空発生装置１７は、格納容器２内を減圧
するための装置で、本実施例では真空ポンプからなる。
また、真空発生装置１７の排気側にはオイルミスト除去
装置５２が設けてあり、大気中にオイルミストが拡散す
ることを防止している。

【００２２】上記した真空発生装置１７を使用して、水
系または非水系溶剤で洗浄した被乾燥物Ａを真空乾燥す
る手順を説明する。

【００２３】工業部品等の被乾燥物Ａは、例えば石油等
の炭化水素系の溶剤等により洗浄される。この洗浄後の
被乾燥物Ａを、並設した格納容器のうちの一方の格納容
器２ａ内に装入し、載置部１８上に載置する。そして、
モータ２７を駆動して、蓋部材３をこの格納容器２ａの
開口部上に回動し、蓋部材３により格納容器２ａの上面
開口部を密閉し、外気開閉弁３２を閉塞して外気連通口
２１を塞ぐとともに、第１開閉弁３１を開いて送風口１
９を送風管５に連通させる。

【００２４】オイル加熱器９では、電気ヒーター４２に
よりオイルを加熱し、オイル循環路１０に設けた三方切
替弁４０を熱交換器７と加熱槽４側に開いた状態とす
る。そして、オイル循環ポンプ１１を作動してオイル循
環路１０内にオイルを循環させて、熱交換器７により集
合送風管６内の空気を加熱するとともに、加熱槽４によ
り格納容器２ａの底部及び側壁を加熱する。このとき、
温度調節器４３によりオイル加熱器９内のオイル温度を
検出して、電気ヒーター４２のオン・オフ制御を行い、
オイル温度を予め定めた一定温度、例えば８０℃に保
つ。

【００２５】集合送風管６内には送風機８から空気が送
り込まれているので、熱交換器７で熱せられた空気は熱
風となって格納容器２ａ上部に設けた送風口１９から格
納容器２ａ内に送られ、格納容器２ａ内の被乾燥物Ａを
加熱する。本実施例では、加熱された空気の温度は８０
℃となっている。

【００２６】加熱槽４の温度は、加熱槽４外壁に設けた
温度検出器３５により検出されている。そして、加熱槽
４の温度が予め定めた一定温度以下の場合、例えば８０
℃以下の場合には、三方切替弁４０は上記したように熱
交換器７と加熱槽４側に開いており、加熱槽４がオイル
により加熱される。一方、加熱槽４の温度が予め定めた
一定温度以上となった場合、例えば８０℃を超えた場合
には、三方切替弁４０を熱交換器７とオイルバイパス路
４１側に開いて、熱交換器７からのオイルを加熱槽４に
は循環させずにオイル加熱器９へ戻す。このようにし
て、加熱槽４は予め定めた一定温度、例えば８０℃に保
たれる。

【００２７】格納容器２ａ内に吹き込まれた熱風は、被
乾燥物Ａを加熱した後、蒸発した溶剤ガスとともに格納
容器２ａの底部に設けた排気口２２から排気管１２内に
導かれる。排気管１２が集合した集合排気管１３には冷
却装置１４が連通接続してあるので、溶剤ガスは、この
冷却装置１４により冷却凝縮されて回収される。このと
き、冷却装置１４の下流側の第２集合排気管１５に設け
た第３開閉弁５１は閉塞されているとともに、第２集合
排気管１５から分岐した大気開放管１６の第２開閉弁５
０は開いた状態となっている。したがって、溶剤が回収
された後の排気は、大気開放管１６を通って大気中に排
出される。

【００２８】上記した第１工程を所定時間行った後、第
１開閉弁３１を閉塞して格納容器２ａの送風口１９を塞
ぐとともに、大気開放管１６の第２開閉弁５０を閉塞し
て大気連通状態を封鎖し、第３開閉弁５１を開いて真空
発生装置１７を稼働させ、格納容器２ａ内を減圧して第
２工程を実施する。

【００２９】真空乾燥を効率良く行なうための条件とし
ては、真空度を高めることと、乾燥温度を高めることと
がある。しかし、真空乾燥装置１、真空ポンプの能力等
から真空度を極端に高めることはできない。また、乾燥
温度を極端に高めると、溶剤が引火するおそれがある
し、被乾燥物が熱による悪影響を受けこともある。した
がって、使用される溶剤の特性と被乾燥物の材質などを
考慮して乾燥温度及び真空度を適宜に設定する。

【００３０】例えば、石油系溶剤（商品名「ナフテゾー
ル」（登録商標））を用いた場合、加熱温度を引火点以
下に下げるとともに真空乾燥装置１の強度を考慮して、
格納容器２ａ内の温度は８０℃、真空度は０．５〜０．
７ｔｏｒｒであることが望ましい。

【００３１】上記した第２工程においても、集合排気管
１３に連通接続した冷却装置１４は冷水により冷却され
ているので、溶剤ガスは冷却装置１４により冷却凝縮さ
れて回収される。

【００３２】上記した第１工程及び第２工程に要する時
間は、乾燥する被乾燥物Ａの大きさや数量等により異な
るが、例えば、５ｍｍ程度の接点端子を乾燥する場合に
は、第１工程に２分間、第２工程に２．５分間を要し、
両工程により溶剤を完全に蒸発乾燥させることができ
た。一方、本発明にかかる真空乾燥装置１を使用しなか
った場合、例えば８０℃の熱風のみで乾燥した場合には
２０分間の時間を要し、また複雑な構造をした被乾燥物
Ａでは、エアーガンによる乾燥に５分間を要し、熱風乾
燥に４０分間の時間を要していた。すなわち、本発明に
係る真空乾燥装置１を使用すれば、乾燥時間を著しく短
縮することが可能であるとともに、細部に入り込んだ溶
剤をも確実に乾燥除去することができる。

【００３３】また、全工程を通じて、格納容器２ａの上
部に設けた蓋部材冷却装置２８により蓋部材３が冷却さ
れている。したがって、乾燥処理が終了した直後であっ
ても、蓋部材３の温度は上昇しておらず、作業員が蓋部
材３の熱により火傷を負うという危険がない。

【００３４】また、真空乾燥を行うことにより、被乾燥
物Ａは潜熱を奪われて温度が下降し、例えば乾燥開始当
初は約８０℃あった被乾燥物Ａの温度が、真空乾燥終了
後は約４０℃となる。このため、乾燥直後の被乾燥物Ａ
の取り扱いが容易となり、作業性を向上することができ
る。

【００３５】上記した一方の格納容器２ａによる被乾燥
物Ａの真空乾燥作業を行っているときに、他方の格納容
器２ｂ内に被乾燥物Ａを装入する。そして、一方の格納
容器２ａによる真空乾燥作業が終了すると、この格納容
器２ａの外気連通管２０の外気開閉弁３２を開いて格納
容器２ａ内を大気圧とした後、モータ２７を駆動して蓋
部材３を回動し、真空乾燥作業が終了した格納容器２ａ
を開放するとともに、次の真空乾燥作業のための準備が
完了した他方の格納容器２ｂ上に蓋部材３を回動して格
納容器２ｂを閉じる。そして、他方の格納容器２ｂによ
り被乾燥物Ａの真空乾燥作業を行うとともに、真空乾燥
作業が終了した一方の格納容器２ａ内から被乾燥物Ａを
取り出す。このように、２個の格納容器２ａ，２ｂによ
り交互に被乾燥物Ａ，Ａの真空乾燥作業を行うのであ
る。

【００３６】なお、前記した各実施例では、難燃性オイ
ルを通す熱交換器５を送風管４に設けて熱風を作り出し
たが、熱交換器の代わりに電気ヒータを設けてもよい。

【００３７】また、被乾燥物を効率良く乾燥するために
はその被乾燥物の特性に適合した条件の下で行なうこと
が大切である。即ち、その部品の材質や形状や構造に適
合した条件で乾燥する。例えば、単純な形状で耐熱性に
優れた部品にあっては前記した第１工程のみで十分に乾
燥できる場合もある。

【００３８】また、前記した熱風乾燥による第１工程と
真空乾燥による第２工程を行なうことを１サイクルと
し、このサイクルを同一の格納容器２について繰り返し
て行なう。そして、当該格納容器２での乾燥が終了した
後に、前記と同様に次の格納容器での乾燥を行なう。熱
風乾燥と真空乾燥を繰り返し行なうことにより被乾燥物
を乾燥すると、例えば被乾燥物が熱に弱くて温度をそれ
程高められない場合でも第１，第２工程の繰り返しによ
り効率良く乾燥することができ、また、被乾燥物の形状
が複雑形状であったり、細かな孔や溝等があったりして
内部に毛細管現象等で溶剤が複雑に入り込んでいる場合
に、第１，第２工程を１サイクルとして複数サイクル繰
り返すと、細部に入り込んだ溶剤まで効率良く確実に乾
燥させることができる。

【００３９】

【発明の効果】本発明は、上記した構成からなるので、
以下に説明する効果を奏することができる。請求項１記
載の発明及び請求項６記載の発明では、複数の格納容器
を並設した真空乾燥装置において、格納容器を加熱する
ための加熱媒体のオイル加熱器や、格納容器を減圧する
ための真空装置等を共有させている。このため、複数並
設した格納容器のうちの一つで被乾燥物の真空乾燥作業
を行っているときに、他の格納容器内に被乾燥物の装入
作業を行い、被乾燥物の真空乾燥作業が終了した後、直
ちに準備が終了した他の格納容器により真空乾燥作業を
行うことができる。また、次の真空乾燥作業を行ってい
るときに、真空乾燥作業が終了した格納容器内から被乾
燥物を取り出したり、さらに次の真空乾燥作業を行うた
めに格納容器内に被乾燥物の装入作業を行うことができ
る。したがって、複数の格納容器により連続して真空乾
燥を行うためのコンパクトな真空乾燥装置を提供するこ
とができるとともに、真空乾燥作業の効率を大幅に向上
させることができる。そして、本発明によれば、表面に
付着した溶剤を蒸発させ、かつ複雑形状をしたり、被乾
燥物に細かな孔，溝等があったりして内部に毛細管現象
等で複雑に入り込んでいても、この入り込んだ溶剤を速
やかに効率良く乾燥させることができる。また、請求項
２記載の発明では、格納容器の上部から熱風が送風され
るとともに、格納容器の下部から排気が行われている。
したがって、被乾燥物に付着した溶剤が、重力と熱風と
により格納容器の下方に向かって滴り落ち易く、また、
滴り落ちた溶剤が格納容器内に残留することなく、排気
口より速やかに排出されるので、乾燥効率を高めること
ができる。また、請求項３記載の発明では、格納容器に
設けた蓋部材は、蓋部材冷却装置により冷却されてい
る。したがって、格納容器の蓋部材は高温となることが
なく、被乾燥物の乾燥処理が終了した直後であっても、
安全に格納容器内から被乾燥物を取り出すことができ、
作業員が火傷を負う等の危険がない。また、請求項４記
載の発明では、加熱に用いられるオイルは、オイル加熱
器に設けた温度調整器により、予め定めた一定温度に保
たれている。したがって、加熱エネルギーに無駄がな
く、被乾燥物の乾燥処理を効率よく行うことができると
ともに、オイル温度の異常上昇による爆発等の事故を防
止することができる。また、請求項５記載の発明では、
加熱槽に設けた温度検出器からの検出出力に基づいて、
オイル循環路の熱交換器と加熱槽との間に設けた三方切
替弁を切り替え、加熱槽の温度が予め定めた一定温度以
下である場合には、オイルを加熱槽に循環させ、加熱槽
の温度が予め定めた一定温度以上である場合には、オイ
ルを加熱槽に循環させることなくオイルバイパス路を経
由してオイル加熱器に戻している。したがって、加熱エ
ネルギーの無駄を省くことができ、被乾燥物の乾燥処理
をさらに効率よく行うことができるとともに、格納容器
を加熱し過ぎることがなく、被乾燥物の破損を防止する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る真空乾燥装置の概略構成図であ
る。

【図２】格納容器と蓋部材の側面図である。

【図３】蓋部材の上面図である。

【符号の説明】

１ 真空乾燥装置 ２ 格納容器 ３ 蓋部材 ４ 加熱槽 ５ 送風管 ６ 集合送風管 ７ 熱交換器 ８ 送風機 ９ オイル加熱器 １０ オイル循環路 １１ オイル循環ポンプ １２ 排気管 １３ 集合排気管 １４ 冷却装置 １５ 第２集合排気管 １６ 大気開放管 １７ 真空発生装置 １８ 載置部 １９ 送風口 ２０ 外気連通管 ２１ 外気連通口 ２２ 排気口 ２３ フランジ部 ２４ Ｏリング ２５ 回動軸 ２６ 支持腕 ２７ モータ ２８ 蓋部材冷却装置 ２９ 冷却水取入口 ３０ 冷却水取出口 ３１ 第１開閉弁 ３２ 外気開閉弁 ３３ オイル取入口 ３４ オイル取出口 ３５ 温度検出器 ３６ オイル出口 ３７ オイル入口 ３８ 分岐オイル循環路 ３９ オイル循環路閉鎖弁 ４０ 三方切替弁 ４１ オイルバイパス路 ４２ 電気ヒーター ４３ 温度調節器 ４４ エアー抜口 ４５ 排気管開閉弁 ４６ 冷却水入口 ４７ 冷却部 ４８ 溶剤取出口 ４９ 冷却水出口 ５０ 第２開閉弁 ５１ 第３開閉弁 ５２ オイルミスト除去装置

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水系または非水系の溶剤により洗浄した
   被乾燥物を真空乾燥する真空乾燥装置であって、 複数個並設され、被乾燥物を内部に格納する格納容器
   と、 複数の格納容器のうちの一つを択一的に閉鎖する蓋部材
   と、 各格納容器の下部にそれぞれ設けた加熱槽と、 各格納容器にそれぞれ第１開閉弁を介して連通接続し、
   加熱された熱風を格納容器内に送風する送風管と、 加熱槽に循環させる難燃性オイルを加熱するオイル加熱
   器と、 オイルをオイル加熱器の出口側から加熱槽の入口側に供
   給するとともに、加熱槽の出口側からオイル加熱器の入
   口側にオイルを戻すオイル循環路と、 オイル循環路にオイルを循環させるオイル循環ポンプ
   と、 各格納容器に連通接続して、各格納容器内で蒸発気化し
   た溶剤ガスを排出する排気管と、 各排気管を集合した集合排気管に連通接続して、集合排
   気管内の溶剤ガスを冷却し凝縮回収する冷却装置と、 冷却装置の下流側の集合排気管から分岐した、第２開閉
   弁を有する大気開放管と、 集合排気管の先端側に第３開閉弁を介して連通接続し
   て、格納容器内を減圧する真空発生装置と、 からなることを特徴とする真空乾燥装置。
2. 【請求項２】 上記送風管は各格納容器の上部に連通接
   続するとともに、上記排気管は各格納容器の下部に連通
   接続し、各送風管を集合した集合送風管の基端に送風機
   を連通接続したことを特徴とする請求項１記載の真空乾
   燥装置。
3. 【請求項３】 上記各格納容器に蓋部材を冷却するため
   の蓋部材冷却装置を設けたことを特徴とする請求項１ま
   たは請求項２記載の真空乾燥装置。
4. 【請求項４】 上記オイル加熱器には、オイル温度を予
   め定めた一定温度に保つための温度調節器を設けたこと
   を特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の
   真空乾燥装置。
5. 【請求項５】 上記難燃性オイルが循環する熱交換器を
   集合送風管の途中に設け、オイル循環路には、熱交換器
   と加熱槽との間に三方切替弁を設けるとともに、三方切
   替弁から加熱槽を経由せずにオイル加熱装置にオイルを
   戻すためのオイルバイパス路を設け、加熱槽に設けた温
   度検出器からの検出出力に基づいて三方切替弁を選択的
   に切り替え、オイル循環経路を変更することにより加熱
   槽の温度調節を行うことを特徴とする請求項１乃至請求
   項４のいずれかに記載の真空乾燥装置。
6. 【請求項６】 複数並設された格納容器のうちのどれか
   一つの格納容器内に水系または非水系溶剤により洗浄し
   た被乾燥物を格納して、該格納容器を蓋部材により択一
   的に閉塞し、上記被乾燥物を格納した格納容器の下部に
   設けた加熱槽に加熱した難燃性オイルをオイル循環ポン
   プを用いて循環させるとともに、送風管から熱風を送風
   して、当該格納容器内を加熱し、上記被乾燥物を格納し
   た格納容器内で蒸発気化した溶剤ガスを当該格納容器に
   連通接続した排気管を介して格納容器外に導いて、該排
   気管に連通した冷却装置を用いて溶剤を凝縮回収し、溶
   剤ガスを回収後の排気を冷却装置下流側の大気開放管に
   より大気中に放散する第１工程と、 送風管に設けた第１開閉弁を閉塞して上記被乾燥物を格
   納した格納容器の吸気側を閉塞し、大気開放管に設けた
   第２開閉弁を閉塞して大気連通状態を封鎖し、排気管に
   連通した真空発生装置を用いて上記被乾燥物を格納した
   格納容器内を減圧し、当該格納容器内に残存した溶剤を
   蒸発気化させて排気管に排出し、該排気管に連通した冷
   却装置を用いて溶剤を凝縮回収する第２工程とにより被
   乾燥物の真空乾燥を行い、 上記両工程が終了した後、他の格納容器のうちどれか一
   つを選択して、順次上記両工程を行うことを特徴とする
   真空乾燥方法。
7. 【請求項７】 複数並設された格納容器のうちのどれか
   一つの格納容器内に水系または非水系溶剤により洗浄し
   た被乾燥物を格納して、該格納容器を蓋部材により択一
   的に閉塞し、上記被乾燥物を格納した格納容器の下部に
   設けた加熱槽に加熱した難燃性オイルをオイル循環ポン
   プを用いて循環させるとともに、送風管から熱風を送風
   して、当該格納容器内を加熱し、上記被乾燥物を格納し
   た格納容器内で蒸発気化した溶剤ガスを当該格納容器に
   連通接続した排気管を介して格納容器外に導いて、該排
   気管に連通した冷却装置を用いて溶剤を凝縮回収し、溶
   剤ガスを回収後の排気を冷却装置下流側の大気開放管に
   より大気中に放散する第１工程と、 送風管に設けた第１開閉弁を閉塞して上記被乾燥物を格
   納した格納容器の吸気側を閉塞し、大気開放管に設けた
   第２開閉弁を閉塞して大気連通状態を封鎖し、排気管に
   連通した真空発生装置を用いて上記被乾燥物を格納した
   格納容器内を減圧し、当該格納容器内に残存した溶剤を
   蒸発気化させて排気管に排出し、該排気管に連通した冷
   却装置を用いて溶剤を凝縮回収する第２工程と、 を行なうことを１サイクルとし、このサイクルを繰り返
   して当該格納容器内の被乾燥物の加熱真空乾燥を行い、 当該格納容器内での加熱乾燥が終了した後、他の格納容
   器のうちどれか一つを選択して、順次上記加熱真空乾燥
   を行うことを特徴とする真空乾燥方法。