JP3344014B2 - 洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば各種金属部品を
熱処理するに先立ってその表面に付着している切削油等
の汚れ成分を除去する場合に採用して好適な洗浄方法、
およびその洗浄方法を実施するための洗浄装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の洗浄を行う場合には、汚れの主
成分である炭化水素系の油脂を溶解させて除去すること
によって優れた洗浄効果を得るべく、例えばトリクロロ
エタン等の塩素化炭化水素系の溶剤を用いることが従来
一般的であった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、前記
のような溶剤は環境汚染を引起こす懸念があるという指
摘があり、このため、そのような溶剤を取り扱ったり処
理するに際しては環境汚染防止の観点から種々の対策が
不可欠であって、設備費や運転費の増大を招いているば
かりか、そのような溶剤自体が使用できなくなる懸念も
生じてきている。

【０００４】本発明は前記事情に鑑み、環境を汚染する
おそれのある溶剤を用いずとも優れた洗浄効果が得られ
る洗浄方法およびそのための洗浄装置を提供することを
目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の請求項１の洗浄方法は、洗浄容器に収納さ
れた被洗浄物を洗浄液により洗浄した後、前記洗浄容器
内を負圧とすることにより被洗浄物表面に付着している
洗浄液を蒸発させて除去して前記被洗浄物を真空乾燥さ
せる。また請求項２の洗浄方法は、まず被洗浄物が収納
された洗浄容器内を負圧とすることにより、被洗浄物表
面に付着している汚れ成分を蒸発させて除去し、その後
に被洗浄物を洗浄して真空乾燥させる。さらに請求項３
の洗浄方法は、被洗浄物を加熱した後に洗浄容器内を負
圧として汚れ成分を蒸発させて除去し、その後に被洗浄
物を洗浄して真空乾燥させる。

【０００６】また、請求項４の洗浄方法では、洗浄容器
内に収納された被洗浄物に予備洗浄液を吹き掛けること
によって予備洗浄を行い、次いで前記被洗浄物を主洗浄
液に浸漬することによって主洗浄を行い、さらに前記被
洗浄物に仕上げ洗浄液を吹き掛けることによって仕上げ
洗浄を行った後に、前記洗浄容器内を負圧とすることに
より被洗浄物表面に付着している洗浄液を蒸発させて除
去して被洗浄物を真空乾燥させる。そして、これら請求
項１〜４の洗浄方法では、こうして被洗浄物を真空乾燥
させることにより蒸発して除去された洗浄液の蒸気を、
被洗浄物を洗浄するために保持された洗浄液中に導入し
て冷却することにより大気圧にて復液させることを特徴
とする。

【０００７】一方、本発明の請求項５の洗浄装置は、被
洗浄物が収納されるとともに内部を真空に保持可能な洗
浄容器と、その洗浄容器内を負圧とするための真空排気
手段と、洗浄液を前記洗浄容器に供給するとともにその
洗浄液を洗浄容器から回収して再び供給する洗浄液の循
環手段とを具備してなるものである。また、請求項６の
洗浄装置ではこれに加えて、被洗浄物が収納されるとと
もに加熱される加熱室を具備している。

【０００８】次に、請求項７の洗浄装置は、被洗浄物が
収納されるとともに加熱される加熱室と、被洗浄物が収
納されるとともに内部を真空に保持可能な第一真空乾燥
室と、第一真空乾燥室内を負圧とするための真空排気手
段と、被洗浄物が収納されるとともに洗浄される洗浄容
器と、洗浄液を洗浄容器に供給するとともにその洗浄液
を洗浄容器から回収して再び供給する洗浄液の循環手段
と、被洗浄物が収納されるとともに内部を真空に保持可
能な第二真空乾燥室と、第二真空乾燥室内を負圧とする
ための真空排気手段とを具備してなる。

【０００９】

【００１０】

【００１１】また、請求項８の洗浄装置は、被洗浄物が
収納されるとともに加熱される加熱室と、被洗浄物が収
納されるとともに内部を真空に保持可能な第一真空乾燥
室と、第一真空乾燥室内を負圧とするための真空排気手
段と、被洗浄物が収納されるとともに被洗浄物を浸漬し
て洗浄するべく洗浄液が貯溜される洗浄容器と、被洗浄
物が収納されるとともに内部を真空に保持可能な第二真
空乾燥室と、第二真空乾燥室内を負圧とするための真空
排気手段とを具備してなるものである。

【００１２】そして、これら請求項５〜８の洗浄装置で
は、前記真空排気手段に、洗浄容器内を洗浄液を気化さ
せるに十分な低圧力に維持し得る少なくとも一の真空ポ
ンプと、その真空ポンプの下流側に設置されて、その排
気中に含まれる洗浄液の蒸気を、前記被洗浄物を洗浄す
べく保持される洗浄液中に導入して冷却液化するための
吹き込みノズルとを備えたことを特徴としている。

【００１３】

【作用】本発明では、洗浄液を洗浄容器に供給して洗浄
ノズルを通して被洗浄物に吹き掛けたり、あるいは洗浄
液を洗浄容器内の洗浄槽に貯留して被洗浄物を浸漬した
りすることで、被洗浄物に付着していた汚れ成分を洗い
流したり溶解させて洗浄し、洗浄後には洗浄容器内を負
圧とすることにより、被洗浄物に付着している洗浄液を
蒸発させて短時間で真空乾燥させる。ここで、洗浄液と
しては、油脂等の汚れ成分を溶解し得るとともに環境汚
染の懸念のない灯油や軽油等の石油系の溶剤、あるいは
軟質油から精製した炭化水素系の溶剤を用いるのが好ま
しい。また、このように洗浄液に灯油や軟質油から精製
した炭化水素系の溶剤を用いる場合には、洗浄容器に不
活性ガス導入手段を設けて洗浄中の容器内の空気を置換
して不活性ガス雰囲気とすることにより、爆発などの危
険を回避することができる。

【００１４】なお、洗浄ノズルによる洗浄では残留液回
収手段を用いることにより、ノズル内の残留液がそのま
ま留まったり、洗浄容器内に流出してしまうことがな
く、洗浄終了後に速やかに真空乾燥工程に移行でき、か
つ、排気時間が短縮される。一方、洗浄槽による洗浄で
は攪拌ノズルを用いることにより、洗浄槽中の洗浄液に
旋回流を生じせしめて効率的な洗浄を行うことができ
る。また、特に洗浄ノズルを用いる場合には、洗浄液の
循環手段に貯液装置を設けることにより、洗浄液が被洗
浄物に激しく吹き掛けられるので優れた洗浄効果が得ら
れるとともに、循環使用する洗浄液量を少なくして経済
的な洗浄を行うことができる。

【００１５】一方、被洗浄物を洗浄液で洗浄する前に被
洗浄物が収納されている洗浄容器内を負圧とすることに
より、被洗浄物表面の油脂等の汚れ成分が蒸発されて除
去されるため、予備脱脂を行うことができる。そして、
予備脱脂を行った後、被洗浄物を洗浄液で洗浄するの
で、洗浄液で簡単に洗浄するだけでよく、洗浄時間が短
縮できる。さらに、予備脱脂を行う前に被洗浄物を加熱
することにより、脱脂速度が速くなるとともに被洗浄物
に付着する油脂を充分に脱脂できる。この場合には、洗
浄容器内に加熱用のヒーターおよび流気用のファンを設
けることにより、洗浄容器自体を予備脱脂を行うための
加熱室とすることができる一方、予備脱脂を行わないと
しても洗浄液の溶解能力の増大と、洗浄後の洗浄液の減
圧蒸発時間の短縮とが図られるため、一層効率的に洗浄
および洗浄後の洗浄液の除去ができるようになる。ま
た、洗浄容器と加熱室とを別にしてもよく、さらに被洗
浄物の真空乾燥を行う室をも別としてもよい。これらの
場合には、各室毎に洗浄を行う機能が分けられるので、
効率的かつ連続的に洗浄を行うことができる。なお、２
室以上の多室型の洗浄装置の床面に被洗浄物を移送する
ハースローラを配設すれば、各室間の被洗浄物の移送が
容易に行えて、さらに洗浄作業を効率化できる。

【００１６】さらにまた、洗浄容器内や各真空乾燥室内
に、気化した洗浄液が再液化する温度に冷却されるコー
ルドパネルを配設することにより、予備脱脂時にも一旦
気化された汚れ成分の油脂がコールドパネルに凝着され
るので、予備脱脂の脱脂速度を速めることができるとと
もに、油脂等の汚れ成分が真空排気手段へ流入すること
を防止することができる。さらに、洗浄容器内にコール
ドパネルを設ける場合には、隔壁を配設することによ
り、コールドパネルへ洗浄液が飛散することを阻止する
とともに気化した洗浄液が通過できるので、コールドパ
ネルに汚れ成分が付着されるとともに、コールドパネル
に付着した汚れ成分が洗浄液により洗い流されることを
防止することができる。なお、洗浄容器の機能を他の室
の機能と分離して洗浄容器では洗浄のみを行うことと
し、かつ、この洗浄容器を被洗浄物を浸漬して洗浄する
べく洗浄液が貯溜されるものとした場合には、洗浄液の
循環手段を省くことが可能となる。

【００１７】一方、洗浄容器内において真空乾燥を行う
場合には、洗浄時に洗浄容器に供給された洗浄液は回収
管を通して回収タンクに回収され、回収管の途中に設け
られた閉止弁が閉じられた後に、洗浄容器内から真空引
きがなされるが、この際、閉止弁が異物を噛み込んだり
あるいは何等かの理由によりその閉塞状態が完全でない
と、回収管を通してタンク内からも真空引きがなされて
しまう。そこで、回収管を回収タンク内の最高液面位置
より高い位置に接続することにより、そのような事態に
なっても、回収タンク内の洗浄液が回収管を通して洗浄
容器に逆流してしまうことを回避することができる。ま
た、かかる場合には回収タンク内も負圧となるので、タ
ンク内が負圧となったことを検知する負圧検知手段を設
けることにより、閉止弁の閉塞状態が不完全であること
が早期にかつ確実に検知されて迅速な対処が可能とな
る。

【００１８】また一方、前記循環手段に加熱器を設ける
などして洗浄液を加熱して洗浄することにより、洗浄液
の溶解能力の増大が図られて被洗浄物表面の汚れ成分を
洗浄液に溶解し易くすることができるとともに、これに
よって被洗浄物も加熱されることとなるので、真空排気
の際の洗浄液の蒸発を促進することが可能となる。必要
に応じて、この加熱洗浄の後に新たな洗浄液を冷却しつ
つ循環させて仕上げ洗浄を行うとともに被洗浄物を強制
冷却するようにしてもよい。なお、このように洗浄液を
加熱して循環させる場合に、循環手段がポンプである
と、ポンプ内部で洗浄液が蒸発してしまってキャビテー
ションを生じ、洗浄液の圧送が不能となる場合がある。
そこで、このような場合には、ポンプに吸引される前に
洗浄液を冷却器により冷却し、その冷却された洗浄液を
ポンプにより圧送した後に加熱器により再び加熱するこ
とで、キャビテーションの発生を防止しつつ洗浄液を所
望温度まで自由に加熱することができる。

【００１９】他方、洗浄液の循環経路に洗浄液を貯留す
る洗浄液タンクを設け、この洗浄液タンク内の洗浄液を
加圧して洗浄液を圧送することにより、ポンプを使用せ
ずに洗浄液の供給を行うことが可能となるので、前述の
ように洗浄液を加熱する場合などにポンプにキャビテー
ションが生じて洗浄液の供給が阻害されるような事態を
防止することができる。ここで、前記洗浄液タンク内の
洗浄液を加圧する加圧手段としては、一つには加圧ガス
を前記洗浄タンク内に供給して洗浄液を加圧する手段が
挙げられる。そして、このような構成を採った場合に
は、洗浄容器を加圧ガス供給手段と接続可能とすること
により、洗浄終了後に洗浄液を洗浄容器から洗浄液タン
クに回収する際に、加圧ガスの圧力を洗浄容器内の洗浄
液に作用させて洗浄容器からの洗浄液の回収を促進する
ことができる。また、洗浄液タンクの内部を真空に保持
可能とすることにより、洗浄終了後に洗浄液を洗浄容器
から洗浄液タンクに回収する際に、洗浄液タンク内を真
空引きすることができる。

【００２０】さらに、洗浄液タンクの出口に閉止弁を備
えるとともに、加圧ガス供給手段には、加圧ガスを放出
する放出弁と加圧ガスの入出を行う閉止弁とを備えるこ
とにより、洗浄液の漏出等の異常が発生した場合には、
前記の二つの閉止弁を閉じるとともに放出弁を開いて、
洗浄装置の操作を停止することができる。また、洗浄液
の漏出等の使用時における異常を検出する異常検出手段
を設けるとともに、この異常検出手段の検出結果に従っ
て洗浄液タンクの出口の閉止弁の開閉と、加圧ガス供給
手段の放出弁および閉止弁の開閉とを制御する制御部と
を設けることにより、使用時における異常が発生した場
合に自動的に洗浄装置の操作を停止することができる。

【００２１】一方、前記洗浄液タンクに加圧シリンダー
装置を設けることによっても洗浄液タンク内の洗浄液の
加圧を行うことができる。この場合には、加圧シリンダ
ー装置を押し下げることにより洗浄液を洗浄容器内に圧
送できるとともに、加圧シリンダー装置を引き上げるこ
とにより洗浄液の回収を行うことができる。なお、これ
ら洗浄液の循環を加圧手段により行う場合には、洗浄液
タンクの洗浄液の入出口を洗浄容器の底面位置より高く
設定し、循環経路を洗浄容器の底壁と洗浄液タンクとの
間に設け、洗浄容器の底壁から延び出る循環経路の一部
を、洗浄容器の底壁から鉛直方向に延びる一定寸法の鉛
直部として、この鉛直部の途中に閉止弁を設けることに
より、洗浄液を洗浄容器から落下し易くし、かつ閉止弁
上部に残留する洗浄液も少なくし得て、洗浄液タンクに
洗浄液を回収し易くすることができる。

【００２２】また洗浄液を循環させて繰り返し使用する
場合には、循環させる洗浄液の一部を蒸留することによ
って洗浄液中に溶解した汚れ成分を除去する清浄化処理
を行うことにより、洗浄液を常に所定の清浄度に維持し
て洗浄を行うことができる。そして、このような構成を
採った場合には、循環手段に、洗浄容器に供給する洗浄
液を貯溜する供給タンクと、洗浄容器から回収した洗浄
液を貯溜する回収タンクと、その回収タンクから供給タ
ンクに洗浄液を返送するための返送ポンプとを具備し、
清浄化するべき洗浄液を回収タンクから前記蒸留手段に
送るとともにそこで清浄化された洗浄液を蒸留手段から
前記供給タンクに送るようにし、かつ、蒸留手段で清浄
化する一定量の洗浄液を常に回収タンクに貯溜しておく
べく前記返送ポンプの作動を制御することにより、洗浄
工程終了後に後工程の蒸留工程で蒸留するべき洗浄液を
常に回収タンクに残しておくことができるので、蒸留す
るべき洗浄液の量をそのつど計量するような必要がな
く、容易に自動運転を行うことが可能となる。なお、こ
のように洗浄液を蒸留して清浄化する場合でも、ポンプ
による循環手段を採らずに、前述のように回収タンク等
の洗浄液タンク内の洗浄液を加圧することにより、循環
を行うようにしてもよい。

【００２３】さらにまた、より高い洗浄度を得るために
は、被洗浄物に予備洗浄液を吹き掛けることによって予
備洗浄を行い、次いで前記被洗浄物を主洗浄液に浸漬す
ることによって主洗浄を行い、さらに前記被洗浄物に仕
上げ洗浄液を吹き掛けることによって仕上げ洗浄を行っ
て、３段階洗浄を行うようにしてもよい。しかして、こ
のような構成を採った場合に、前述のように洗浄液を蒸
留して清浄化するには、被洗浄物を洗浄した仕上げ洗浄
液を回収して主洗浄液として用いるとともに、被洗浄物
を洗浄した主洗浄液の一部を蒸留することにより清浄化
して仕上げ洗浄液として用いることにより、洗浄液の効
率的な利用を図ることができる。また、被洗浄物を洗浄
した後の予備洗浄液と、主洗浄液の一部を蒸留すること
により生じる残液とを、さらに蒸留することにより清浄
化して再び予備洗浄液として用いるようにしてもよい。

【００２４】また、真空排気手段については、第１の真
空ポンプと第２の真空ポンプおよびそれらの間に配置さ
れたコンデンサーとを用いることにより、上流側の第１
の真空ポンプによって洗浄容器内を洗浄液を気化させる
に十分な低圧力に維持して真空乾燥を効率的に行わしめ
るとともに、下流側の第２の真空ポンプによってコンデ
ンサー内の圧力を洗浄容器内よりも高く維持し、それに
よって、コンデンサー内における洗浄液の蒸発温度（液
化温度）を洗浄容器内における蒸発温度よりも高め、そ
の液化除去を効率的に行わしめることができる。すなわ
ち、洗浄液の蒸発温度（液化温度）はその圧力によって
大きく変動し、圧力が低いほど蒸発温度も低下するもの
であるから、真空乾燥時には洗浄容器内を低圧力として
洗浄容器内における蒸発温度を十分に低下させることで
洗浄容器内における洗浄液の蒸発を促進する一方、コン
デンサー内は相対的に高圧力とすることでコンデンサー
内における液化温度を相対的に高めることにより、そこ
では洗浄液の蒸気を過度に冷却せずとも容易に再液化を
なすことが可能となるのである。

【００２５】そして、本発明では、この真空排気手段と
して、少なくとも一の真空ポンプと吹き込みノズルとを
具備せしめ、被洗浄物を真空乾燥させることにより蒸発
して除去された洗浄液の蒸気を、被洗浄物を洗浄するた
めに回収タンクや洗浄槽等に保持された洗浄液中に導入
することにより冷却して、大気圧にて復液させるように
している。従って、このような構成を採ることにより、
真空乾燥時に排気される洗浄液の蒸気の排出量の大小に
拘らず、容易かつ経済的に排気された蒸気の復液が可能
となる。さらに、このような構成を採った場合には、前
記吹き込みノズルに多数の金属製の柱状部材を束ねてな
る冷却装置を設け、導入された蒸気を各柱状部材間の空
間に通過させることにより、冷却効果の向上を図って速
やかな液化を促すことが可能となる。また、洗浄液中に
導入された洗浄液の蒸気の泡沫を細分する多数の網目を
備えたフィルターを吹き込みノズルに設けることによ
り、かかる泡沫中の蒸気をも効果的に冷却し得て、その
液化を促進することができる。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
するのに先立って、まず本発明に係わる参考例について
説明する。図１ないし図４は、第１参考例を示すもの
で、図１は本第１参考例の洗浄装置Ａの系統図、図２は
その外観を示す正面図、図３は同じく側面図、図４は洗
浄容器の内部を示す部分側断面図である。本第１参考例
の洗浄装置Ａは金属部品等の被洗浄物１を熱処理するに
先立ってその表面に付着している切削油等を洗浄するた
めのものであり、被洗浄物１が収納される洗浄容器２、
洗浄容器２内を負圧とするための真空排気手段３、洗浄
液を循環させる循環手段４を主要構成要素とし、洗浄液
としては灯油を用いるものとされている。

【００２７】洗浄容器２は、内部を真空に保持可能な横
置き円筒状の真空容器であって、その一端側にエアシリ
ンダ５による昇降式の扉６が設けられ、被洗浄物１はバ
スケット７に収納されて洗浄容器２内の架台８上に支持
されるようになっている。真空排気手段３は洗浄後に洗
浄容器２内を負圧とすることで真空乾燥を行うためのも
ので、真空ポンプ１０、コールドトラップ等の凝縮器１
１、真空弁１２、および排気管１３から構成されてい
る。凝縮器１１は、排気中に含まれる洗浄液の蒸気を冷
却することにより液化し、ドレーン弁１４および回収管
１５（図２参照）を通して洗浄液の回収タンク２０（後
述）に回収するためのものである。真空ポンプ１０とし
ては最も一般的な油回転ポンプを用いれば良いが、要求
される真空度によってはルーツポンプ等の他の型式の真
空ポンプを適宜採用すれば良い。なお、洗浄容器２内の
真空度は、後述するように洗浄液の加熱温度との関連に
より設定される。

【００２８】循環手段４は、本参考例では洗浄液を加熱
しつつ循環させることで洗浄を行うためのもので、洗浄
容器２の底部から回収した洗浄液を貯溜する回収タンク
２０、回収タンク２０内から洗浄液を吸引して圧送する
ための循環ポンプ２１、圧送された洗浄液を噴出して被
洗浄物１に吹き掛けるべく洗浄容器２内のワークゾーン
の周囲に設置されている洗浄ノズル２２、循環ポンプ２
１と洗浄ノズル２２との間に配置されていて洗浄ノズル
２２に圧送される洗浄液を加熱する加熱器（熱交換器）
２３、および循環経路を形成している管路２４とその途
中に設けられている入側の閉止弁２５、出側の閉止弁２
６、洗浄液に混入した切屑等の固形物を分離除去するた
めのフィルタ２７により構成されている。

【００２９】なお、加熱器２３による洗浄液の加熱温度
は、常圧（大気圧）のもとでの蒸発温度以下、かつ、洗
浄後に負圧とされる洗浄容器２内の真空度のもとでの蒸
発温度以上に設定する。換言すれば、洗浄時においては
洗浄液は蒸発しないが、洗浄後に洗浄容器２内が負圧と
されたときには洗浄容器２内に残留している洗浄液が自
ずと蒸発してしまうように、加熱温度と真空度とを相互
に関連させて設定するのであり、洗浄液として灯油を用
いる場合には洗浄液の温度を５０℃ないし１００℃程
度、真空度を１Ｐａ程度とすると良い。

【００３０】前記構成の第１参考例の洗浄装置Ａによる
洗浄作業手順を説明する。まず、被洗浄物１をバスケッ
ト７内に収納し、そのバスケット７を洗浄容器２内に収
納したら、扉６を閉じ、真空排気手段３により洗浄容器
２内を一旦真空とした後、窒素ガスを大気圧となるまで
導入して、洗浄容器２内を窒素ガス等の不活性ガスに置
換する。なお、ガス置換が不要の場合はそれを省略し、
洗浄容器２内を空気雰囲気のままで以降の作業を行って
も良い。次に、循環ポンプ２１および加熱器２３を作動
させて洗浄液を加熱しつつ循環させることで洗浄を行
う。すなわち、洗浄液を加熱器２３により所定温度（例
えば前述のように５０℃ないし１００℃程度）に加熱し
て洗浄ノズル２２に圧送することにより、洗浄ノズル２
２から洗浄液を被洗浄物１に吹き掛け、それによって被
洗浄物１に付着していた切屑の如き固形物を洗い落とす
とともに、切削油のような油脂分は洗浄液により溶解さ
せてしまうのである。そして、洗浄容器２の底部から洗
浄液を回収し、その洗浄液に混入した固形物をフィルタ
２７により分離除去した後、回収タンク２０を経て再び
圧送するのである。

【００３１】前記のようにして所定時間洗浄を継続し、
被洗浄物１が十分に洗浄され、かつ、被洗浄物１が洗浄
液により加熱されてその温度が洗浄液の温度と同等程度
になったら、循環ポンプ２１を停止するとともに入側閉
止弁２５を閉じ、洗浄容器２内の洗浄液が殆ど回収され
るまでの時間を待って出側閉止弁２６も閉じ、続いて真
空乾燥を行う。すなわち、真空弁１２を開き、真空ポン
プ１０を作動させて洗浄容器２内から真空引きを行い、
洗浄容器２内を所定の真空度（例えば前述のように１Ｐ
ａ程度）とし、その状態を所定時間（例えば１０分間程
度）維持する。このように洗浄容器２内を真空とするこ
とにより、洗浄容器２内における洗浄液の蒸発温度は、
洗浄液や被洗浄物１の温度より低くなってしまい、した
がって、被洗浄物１に付着していた洗浄液は容易に蒸発
して真空ポンプ１０により速やかに排気されてしまうこ
とになる。なお、排気中の洗浄液の蒸気は凝縮器１１に
より回収されて回収管１５（図２参照）により回収タン
ク２０に戻される。真空乾燥が完了した後、所定の自然
冷却時間を確保して被洗浄物１をバスケット７ごと自然
冷却し、被洗浄物１を洗浄容器２内から取り出して作業
が完了する。

【００３２】以上で説明したように、前記の洗浄装置Ａ
では、加熱した洗浄液を洗浄ノズル２２から被洗浄物１
に吹き掛けることで洗浄を行い、洗浄後は洗浄容器２内
を真空として真空乾燥させる構成であるから、被洗浄物
１を効率的に洗浄でき、かつ、速やかに乾燥させること
ができることはもとより、洗浄液として環境汚染の懸念
がなく、取り扱いが容易で、しかも安価な灯油を用いる
ので、格別な環境汚染防止対策が不要であり、したがっ
て特殊な溶剤を用いて洗浄を行う従来の場合に比して設
備費や運転費を大きく節約できるものである。

【００３３】なお、洗浄液を循環させていくうちには、
溶解した汚れ成分の濃度が漸次増大していって洗浄効果
が漸次低下していくことになるが、灯油を洗浄液として
用いる場合には、後工程の処理の方法にもよるが、必要
とする洗浄効果が得られなくなる限界の濃度は２０％程
度であり、そのような限界濃度になるまでは洗浄液を交
換することなく何度でも繰り返し使用できる。今、洗浄
液の使用量が５０リットルであり、１回の洗浄で溶解さ
れる汚れ成分が５０ｃｃであるとすると、１回の洗浄を
行うことで汚れ成分の濃度は０．１％上昇することにな
るから、限界濃度が２０％であるとすると、洗浄液を交
換することなく２００回の洗浄を繰り返すことができる
ことになる。

【００３４】図５は、第２参考例の洗浄装置Ｂの系統図
である。本第２参考例の洗浄装置Ｂは、前記第１参考例
の洗浄装置Ａに対し、循環ポンプ２１の入側に洗浄液を
冷却するための冷却器２８を備え、その冷却器２８によ
り洗浄液を冷却してから循環ポンプ２１に吸入させるよ
うにしたものであり、それによって、循環ポンプ２１が
キャビテーションを生じることを防止するようにしたも
のである。すなわち、前記第１参考例の洗浄装置Ａで
は、洗浄容器２から回収された洗浄液の温度は例えば５
０℃ないし１００℃程度の高温のままであるが、そのよ
うな高温の洗浄液が循環ポンプ２１に吸引されると循環
ポンプ２１内部で洗浄液が蒸発してしまってキャビテー
ションを生じ、洗浄液の圧送が不能となる場合がある。
そこで、本第２参考例の洗浄装置Ｂでは、循環ポンプ２
１に吸引される前に洗浄液を冷却器２８により冷却し、
その冷却された洗浄液を循環ポンプ２１により圧送した
後に加熱器２３により再び加熱することで、キャビテー
ションの発生を防止しつつ洗浄液を所望温度まで自由に
加熱できるようにしたのである。

【００３５】次に、図６は、第３参考例の洗浄装置Ｃの
系統図である。本第３参考例の洗浄装置Ｃは、第１参考
例の洗浄装置Ａに対し、被洗浄物１を仕上げ洗浄すると
とともに強制冷却するべく、新たな洗浄液を冷却循環さ
せるための冷却循環手段３０を付加した構成のものであ
る。その冷却循環手段３０は、洗浄容器２の底部から回
収した洗浄液を貯溜する回収タンク３１、回収タンク３
１内から洗浄液を吸引して前記洗浄ノズル２２に圧送す
るための循環ポンプ３２、循環ポンプ３２の出側に配置
されていて洗浄ノズル２２に圧送される洗浄液を冷却す
る冷却器（熱交換器）３３、および前記の加熱循環手段
４を形成している管路２４から分岐接続されて別の循環
経路を形成している管路３４と、その途中に設けられて
いる入側閉止弁３５、出側閉止弁３６、フィルタ３７に
より構成されている。そして、この冷却循環手段３０に
おいて循環使用する新たな洗浄液としては、第１参考例
の洗浄装置Ａと同様に灯油を用いるようにしている。

【００３６】この第３参考例の洗浄装置Ｃでは、第１参
考例の洗浄装置Ａと全く同様に加熱循環手段４により洗
浄液を加熱循環させることによって被洗浄物１を洗浄
（主洗浄）し、真空排気手段３により洗浄容器２内を真
空として真空乾燥を行った後に、洗浄容器２内を不活性
ガス（もしくは空気）により大気圧まで復圧する。その
後、閉止弁３５，３６を開いて循環ポンプ３２および冷
却器３３を作動させることにより、冷却循環手段３０に
よって新たな洗浄液を冷却しながら循環させる。これに
より、新たな洗浄液は洗浄ノズル２２から被洗浄物１に
吹き掛けられて被洗浄物１はより高清浄度にまで仕上げ
洗浄されるとともに、先の洗浄の際に加熱されて高温と
なっていた被洗浄物１は洗浄液により強制冷却され、そ
の温度は速やかに低下していく。そして、十分な仕上げ
洗浄がなされ、かつ被洗浄物１が必要温度まで冷却され
たら、真空排気手段３により洗浄容器２内を負圧として
再び真空乾燥を行い、その後、被洗浄物１をバスケット
７ごと洗浄容器２内から取り出して作業が完了する。な
お、仕上げ洗浄による冷却温度は一般には４０℃程度が
最適である。過度に冷却すると、その後の真空乾燥時に
洗浄液が蒸発し難くなり、乾燥が困難となる。

【００３７】本第３参考例によれば、新たな洗浄液によ
る仕上げ洗浄を行うことで被洗浄物１をより清浄な状態
にまで洗浄できるとともに、その洗浄液を冷却循環する
ことで被洗浄物１を強制冷却するので、洗浄後には被洗
浄物１を自然冷却させるようにしていた第１参考例の洗
浄装置Ａに比して冷却時間を大幅に短縮でき、洗浄作業
終了後には被洗浄物１を速やかに取り出すことができる
ものである。なお、仕上げ洗浄に用いる新たな洗浄液と
しては、その前段での洗浄に用いる洗浄液とは別のも
の、例えば防錆材を含む溶剤を用いても良い。また、前
述のように、それら洗浄液として同じものを用いる場合
には、前段での洗浄において用いる洗浄液の方が仕上げ
洗浄において用いる洗浄液に比して早期に交換する必要
が生じるので、その前段での洗浄液を交換するに当たっ
ては、仕上げ洗浄に用いる洗浄液を新たなものに交換
し、それまで仕上げ洗浄に用いていた洗浄液を前段での
洗浄液に転用することが良い。

【００３８】さらに、図７および図８は、第４参考例の
洗浄装置Ｄを示すものである。前記第１〜第３参考例の
洗浄装置Ａ〜Ｃにおける洗浄容器２は、いずれも、内部
に配置した洗浄ノズル２２から洗浄液を被洗浄物１に対
して吹き掛けるものであったのに対し、本第４参考例の
洗浄装置Ｄにおける洗浄容器４０は、被洗浄物１を浸漬
するべく洗浄液（本第４参考例においても灯油）が貯溜
される縦型円筒状（ドラム状）のものとされ、かつ、こ
の洗浄容器４０内には、循環ポンプ２１から圧送された
洗浄液を周方向に噴出することで貯溜されている洗浄液
に旋回流を生ぜしめる２本の攪拌ノズル４１が洗浄容器
４０の中心を挟んで対向位置に備えられたものとなって
いる。この洗浄容器４０も真空容器であって、その上部
の開口部が水平方向にスライドする扉４２によって真空
保持可能に閉じられるようになっている。また、洗浄容
器４０の上部には内部に貯溜される洗浄液のオーバーフ
ロー管４３が接続され、そのオーバーフロー管４３は閉
止弁４４を介して回収用の管路２４に接続されている。
その他の構成は図１に示した第１参考例の洗浄装置Ａと
同様である。

【００３９】本第４参考例の洗浄装置Ｄでは、被洗浄物
１を収納したバスケット４５を洗浄容器４０の中心部に
配置して、被洗浄物１を洗浄液中に浸漬させることで油
脂分等の汚れ成分が溶解し、かつ、攪拌ノズル４１から
洗浄液を噴出させて旋回流を生ぜしめることで被洗浄物
１に付着していた切屑等の固形物は洗い流されるから、
効率的な洗浄を行えるとともに、洗浄後には洗浄液の全
てを回収タンク２０に回収してから洗浄容器４０内を真
空排気手段３により真空として真空乾燥を行うことによ
り、速やかな乾燥を行い得るものである。

【００４０】なお、第４参考例の変形例として、図９に
示すように、洗浄液を互いに逆方向に噴射する２組４本
の攪拌ノズル４１ａ，４１ａ，４１ｂ，４１ｂを備える
とともに、各組の攪拌ノズルに対応させて２台の閉止弁
２５，２５を設け、それら閉止弁２５，２５を一定時間
間隔ごとに交互に開閉することにより、図中の実線矢印
および破線矢印で示すように旋回流の向きを一定時間ご
とに逆方向に変化させるようにしても良い。また、洗浄
容器４０の周方向に沿うような旋回流のみならず、上下
方向の旋回流を生ぜしめるような攪拌ノズルを設置して
も良いし、攪拌ノズル４１により旋回流を生ぜしめるこ
とに加えて、もしくはそれに代えて、例えばバスケット
４５を回転させたり揺動させることによって洗浄液を攪
拌するように構成することも可能である。

【００４１】次に、図１０は、第５参考例の洗浄装置Ｅ
を示すものである。本第５参考例の洗浄装置Ｅは、第１
参考例の洗浄装置Ａの循環手段４に、洗浄液を加圧状態
で貯溜して間欠的に洗浄容器に供給するための貯液装置
（アキュムレータ）５０を付加した構成のものである。
この貯液装置５０は、逆止弁５１を介して加熱器２３の
出側に接続されているとともに前記の閉止弁２５を介し
て洗浄ノズル２２に接続されている貯液タンク５２と、
この貯液タンク５２に加圧ガスを供給して所定のガス圧
に維持するためのガスタンク５３とを主要構成とし、貯
液タンク５２には内部の洗浄液の液面の上限位置および
下限位置を検知するための液面計５４，５５が付設さ
れ、ガスタンク５３にはガス供給管５６、供給ガス圧を
一定に保持するための減圧弁５７、安全弁５８、圧力計
５９が付設されている。

【００４２】本第５参考例の洗浄装置Ｅでは、循環ポン
プ２１を連続運転することによって洗浄液を加熱器２３
により加熱して貯液タンク５２に連続的に供給するが、
貯液タンク５２の出側に設けられている閉止弁２５を間
欠的に開閉することによって、貯液タンク５２から洗浄
ノズル２２への洗浄液の供給を間欠的に行うものであ
る。すなわち、閉止弁２５を閉じている間は洗浄液を貯
液タンク５２内に加圧状態で貯めていき、貯液タンク５
２内の液面が上限位置に達した時点で閉止弁２５を開く
ことにより、加圧状態で貯められていた多量の洗浄液を
一気に洗浄ノズル２２に供給して噴射させるのである。
そして、貯液タンク５２内の液面が下限位置になったら
閉止弁２５を閉じて再び貯液を行うのである。

【００４３】前記のように、洗浄液を加圧状態で貯溜し
ては一気に供給することにより、洗浄液は被洗浄物１に
対して激しく吹き掛けられるので、洗浄は間欠的にはな
るものの優れた洗浄効果が得られることはもとより、循
環使用する洗浄液の量を少なくすることが可能であり、
より経済的である。

【００４４】なお、必ずしも前記のように貯液タンク５
２内の洗浄液の全てを一気に供給することはなく、洗浄
液の液面が上限位置から下限位置になるまでの間に閉止
弁２５を繰り返し開閉させることで、洗浄ノズル２２へ
の供給と停止とを繰り返し行うようにしても勿論良い。
また、本第５参考例の洗浄装置Ｅにおいては、洗浄液の
循環量が少なくて済むことにより循環ポンプ２１や加熱
器２３の容量を小さくできることはもとより、貯液タン
ク５２にタンク２０の機能を兼用させてタンク２０を省
略したりその容量を小さくすることも可能であり、さら
に、貯液タンク５２内の洗浄液を加熱するように構成す
れば加熱器２３を省略することも可能である。さらに、
貯液タンク５２内の洗浄液を加圧する手段としては前記
のようなガス加圧によるもののみならず、油圧や空気
圧、ばね、重錘等により作動するアクチュエータのごと
き加圧手段を採用することもできる。

【００４５】さらに、図１１は、第６参考例である洗浄
装置Ｆの系統図である。この第６参考例の洗浄装置Ｆで
は、洗浄容器２は内部を真空に保持可能な竪型筒状の真
空容器であって、洗浄ノズル２２は、洗浄容器２の底面
を貫通してその内周面に沿って複数立設されていて、そ
の基端部（下端部）に、洗浄液が循環する管路２４のう
ち回収タンク２０から洗浄容器２へ向かう供給管２４Ａ
が入側閉止弁２５を介して接続され、循環ポンプ２１に
より圧送されてきた洗浄液を被洗浄物１に対してその周
囲から噴霧状態で吹き掛けるようにされている。また、
洗浄後にこの洗浄ノズル２２内に残留している洗浄液を
回収タンク２０に回収するためのドレン管６１（破線で
示す）が、洗浄ノズル２２の下端にドレン弁６２を介し
て接続されている。これらのドレン管６１とドレン弁６
２とにより残留液回収手段６３が構成されている。

【００４６】このような構成の洗浄装置Ｆでは、入側閉
止弁２５と出側閉止弁２６は開、ドレン弁６２は閉の状
態で、洗浄液を加熱器２３により加熱しつつ循環ポンプ
２１によって洗浄ノズル２２に圧送することにより、被
洗浄物１を洗浄する。そして所定時間洗浄を継続し、被
洗浄物１が十分に洗浄され、かつ、被洗浄物１が洗浄液
により加熱されてその温度が洗浄液の温度と同等程度に
なったら、循環ポンプ２１を停止するとともに入側閉止
弁２５を閉じ、同時にドレン弁６２を開く。すると、洗
浄容器２内の残留洗浄液は、洗浄液の循環する管路２４
のうち洗浄容器２から回収タンク２０に向かう回収管２
４Ｂを通して回収タンク２０に回収されるとともに、洗
浄ノズル２２内に残留していた洗浄液も洗浄ノズル２２
内を自然流下し、その下端からドレン弁６２を経てドレ
ン管６１により回収タンク２０に速やかに回収されてし
まうので、しかる後、出側閉止弁２６、ドレン弁６２を
再び閉じ、続いて真空乾燥を行う。

【００４７】このように、前記の洗浄装置Ｆでは、洗浄
ノズル２２内に残留している洗浄液を自然流下させるこ
とでその洗浄ノズル２２内から直接的に回収する残留液
回収手段６３を有しているので、洗浄終了時点で洗浄ノ
ズル２２内に残留していた洗浄液が速やかにかつ完全に
回収され、したがって真空排気時間が短時間で済み、洗
浄作業を効率的に行い得るものである。すなわち、前記
のような回収手段６３がないと、洗浄ノズル２２内から
洗浄液を完全に回収することができないので、洗浄ノズ
ル２２内に洗浄液が残留した状態のままで真空排気が開
始されてしまうことになるが、その場合には、洗浄ノズ
ル２２内の残留液の全てが蒸発して排気されてしまうま
でに長時間を要し、したがって所望の真空度とするまで
の真空排気時間が徒に長くなってしまうとともに、排気
中には洗浄液の蒸気が多量に含まれることになるから、
それを凝縮器１１により回収せねばならず、きわめて非
効率的なことになってしまう。しかるに、前記参考例の
洗浄装置Ｆでは、残留液回収手段６３を設けることでそ
のような不具合が生じることが有効に回避されている。

【００４８】なお、前記参考例の洗浄装置Ｆでは、洗浄
ノズル２２を洗浄容器２の底面を貫通させた形態で立設
して、その下端にドレン弁６２を介してドレン管６１を
接続するようにしたので、洗浄ノズル２２内の残留液の
自然流下を最も効率的に行い得るものとなっているが、
残留液が洗浄容器２内に流出することなく洗浄ノズル２
２内から直接的に回収されるように構成する限りにおい
ては、例えば洗浄ノズル２２を傾斜状態で設置する等の
変更は可能である。

【００４９】次いで、図１２は、第７参考例の洗浄装置
Ｇの系統図である。本参考例の洗浄装置Ｇでは、真空排
気手段３は、直列に設置された第１の真空ポンプ７１と
第２の真空ポンプ７２、それらの間に設置されたコンデ
ンサー７３、および真空閉止弁７４、圧力計７５、コン
ダクタンスバルブ７６、オイルミストトラップ７７から
構成されている。

【００５０】上流側の第１の真空ポンプ７１としては、
洗浄容器２内を例えば１Ｐａ程度の低圧力に維持し得る
高性能なルーツポンプが採用され、下流側の第２の真空
ポンプ７２としてはコンデンサー７３内を例えば２００
Ｐａ程度の高圧力に維持し得る通常の油回転真空ポンプ
が採用されている。コンデンサー７３は、排気中に含ま
れる洗浄液の蒸気を冷却水等の冷却媒体により冷却する
ことにより液化させて分離除去するためのものである。
コンダクタンスバルブ７６は、コンデンサー７３内を前
記のような高圧力に維持するべく、コンデンサー７３の
上流側に設置されている圧力計７５の検出値に応じてそ
の開度が調節されるようになっている。また、オイルミ
ストトラップ７７は第２の真空ポンプ７２である油回転
真空ポンプから発生するオイルミストを除去するための
ものである。なお、コンデンサー７３内の圧力は排気中
に含まれる洗浄液の蒸気を液化させるために必要な冷却
温度（液化温度）との関連において設定される。

【００５１】このような構成の洗浄装置Ｇにおいて、洗
浄液により洗浄された被洗浄物１の真空乾燥を行うに
は、まず真空閉止弁７４を開き、第１、第２の真空ポン
プ７１，７２を作動させて洗浄容器２内を真空引きし、
洗浄容器２内を所定の低圧力、例えば前述のように１Ｐ
ａ程度とするとともに、コンダクタンスバルブ７６の開
度を適宜設定してコンデンサー７３内をそれより高い圧
力例えば前述のように５０〜１００Ｐａ程度とし、その
状態を所定時間例えば１０分間程度維持する。このよう
に洗浄容器２内を低圧力とすることにより、洗浄容器２
内における洗浄液の蒸発温度は常圧下の場合より大きく
低下する。例えば洗浄液が灯油の場合にあっては、大気
圧のもとでの蒸発温度は１５０〜２５０℃程度である
が、圧力が１０Ｐａ程度の低圧力のもとでは蒸発温度は
マイナス３０℃程度にも低下してしまう。したがって、
洗浄容器２内を１Ｐａ程度の低圧力とすると、被洗浄物
１に付着していた５０℃程度の洗浄液は速やかに蒸発し
て排気されてしまうことになる。

【００５２】そして、洗浄液の蒸気を含む排気は第１の
真空ポンプ７１からコンデンサー７３に導かれ、そこで
洗浄液の蒸気は冷却されて再液化し、排気中から分離除
去される。この場合、コンデンサー７３内が洗浄容器２
内と同等の低圧力とされていると、洗浄液の蒸気を液化
させるためには前記のようにマイナス３０℃にも冷却し
なければならないが、コンデンサー７３内は２００Ｐａ
程度の高圧力に維持されているので、そこでの液化温度
は洗浄容器２内の蒸発温度に比して十分に高くなり、５
℃程度となる。したがって、このコンデンサー７３で
は、その冷却媒体として冷却水を用いることで十分であ
り、このコンデンサー７３によって排気中の洗浄液の蒸
気は容易にかつ確実に再液化させられて分離除去されて
しまい、洗浄液の蒸気が大気中に放出されてしまうこと
がない。なお、再液化して分離除去した洗浄液は、回収
タンク２０に回収して再利用するか、適宜処分すれば良
い。以上のようにして排気中の蒸気をコンデンサー７３
により分離除去しつつ真空乾燥を行い、それが完了した
ら、被洗浄物１が冷却されるまでの時間を待って洗浄容
器２内から取り出せば、作業が完了する。

【００５３】このように、前記構成の洗浄装置Ｇでは、
真空排気手段３が第１および第２の真空ポンプ７１，７
２と、それらの間に設置されたコンデンサー７３を有し
ていて、真空乾燥時には第１の真空ポンプ７１により洗
浄容器２内を低圧力に維持するとともに、第２の真空ポ
ンプ７２によりコンデンサー７３内をそれより高圧力に
維持する構成であるので、洗浄容器２内の洗浄液を速や
かに蒸発させ得て真空乾燥を極めて効率的に行えること
はもとより、排気中の蒸気をコンデンサー７３により確
実に分離除去でき、しかも、そのコンデンサー７３は冷
却水を用いる簡略な構造のもので十分である。このこと
は、仮にコンデンサー７３内を洗浄容器２内と同等の低
圧力とする場合、例えばコンデンサー７３を第１の真空
ポンプ７１の上流側に設置したような場合には、既に述
べたように排気中の蒸気を再液化するために必要な冷却
温度はマイナス３０℃以下にもなってしまい、当然なが
ら通常の冷却水によってはそのような低温が得られない
ので冷媒ガスを用いる極低温用のコンデンサーと冷凍機
等の格別の冷却手段が必要となることを考慮すると、優
れた利点である。

【００５４】なお、コンデンサー７３内の圧力は可能な
限り高く設定した方が液化温度が高められて液化効率上
は有利となるが、それを過度に高く設定すると第１の真
空ポンプ７１の作動に支障を来して洗浄容器２内を低圧
力に維持することができなくなることもあるので、第１
の真空ポンプ７１の型式や能力を勘案してそのようなこ
とのない範囲内で最適値に設定する必要がある。また、
前記参考例の洗浄装置Ｇでは、コンデンサー７３の真空
度をコンダクタンスバルブ７６の開度を調節することで
維持するようにしたが、第２の真空ポンプ７２の型式や
能力によっては、その回転数をインバータ制御すること
でコンデンサー７３の圧力を制御するような構成も可能
である。

【００５５】さらに、図１３は、第８参考例の洗浄装置
Ｈの系統図である。本参考例の洗浄装置Ｈでは、回収タ
ンク２０は気密保持可能な密閉構造のものとされてお
り、この回収タンク２０の側面の最上部に、洗浄液が循
環する管路２４の回収管２４Ｂが接続されているが、そ
の接続位置は回収タンク２０内の最高液面位置よりさら
に高い位置となるように設定されている。そして、この
回収タンク２０には、回収タンク２０内の負圧（真空
度）を計測するとともに計測値が所定の許容限度に達す
ると警報を発する真空計（負圧検知手段）８１と、回収
タンク２０内の負圧がその許容限度を超えると作動して
負圧を解除するための安全弁８２がそれぞれ付設されて
いる。

【００５６】このような構成の洗浄装置Ｈにおいては、
万一回収管２４Ｂの途中に設けられている出側の閉止弁
２６が切屑等の異物を噛み込むなどしてその閉塞度が不
完全となり、この結果仮にこの閉止弁２６が閉塞不良の
ままで真空引きを開始したとしても、回収管２４Ｂは回
収タンク２０の最高液面位置より高い位置に接続されて
いるので、回収管２４Ｂが回収タンク２０内の洗浄液を
吸引してしまうようなことはなく、したがって回収管２
４Ｂを通して回収タンク２０内の洗浄液が洗浄容器２に
逆流してしまうようなことが確実に防止される。

【００５７】また、閉止弁２６が閉塞不良となっている
ままで真空引きを開始した場合には、回収管２４Ｂを通
して回収タンク２０内からも真空引きがなされるが、そ
の回収タンク２０は気密保持可能な密閉構造とされてい
るので回収タンク２０内は負圧となる。そして、回収タ
ンク２０内の真空度が予め設定されている許容限度に達
すると、回収タンク２０内の真空度を計測している真空
計８１が警報を発し、これによって異常事態が生じてい
ることが速やかに検知される。したがって、その時点で
真空ポンプ１０を停止し、閉止弁２６を点検して正常状
態に回復させてから作業を再開すれば、無駄な真空引き
を長時間にわたって継続してしまうようなことを防止で
きる。また、警報が発せられているにも拘らずなおも真
空引きを継続した場合には、安全弁８２が自ずと作動し
て回収タンク２０内の負圧を解消させ、重大事故に至る
ことが未然に防止される。

【００５８】なお、入側の閉止弁２５の閉塞状態が不完
全となった場合には、供給管２４Ａを通して回収タンク
２０内の洗浄液が洗浄容器２内に逆流してしまう事態も
考えられるが、入側の閉止弁２５には切屑等の異物が噛
み込むような余地が殆どないので、そのような事態が生
じる懸念は殆どない。また、本参考例の洗浄装置Ｈで
は、負圧検出手段として真空計８１を設けたが、この真
空計８１に代えて安全弁８２を負圧検出手段として機能
させるように構成することもできる。すなわち、回収タ
ンク２０内の真空度が許容限度に達した時点で安全弁８
２が作動するようにしておき、それが作動した時点で警
報を発するようにしておくのである。また、真空計８１
が警報を発した時点で、あるいは、安全弁８２が作動し
た時点で、真空ポンプ１０を自動的に強制停止させるよ
うなインターロックを設けても良い。

【００５９】次に、図１４ないし図１８は、第９参考例
の洗浄装置Ｉを示すものである。この第９参考例の洗浄
装置Ｉでは、洗浄容器２は内部を真空に保持可能な横置
き円筒状の真空容器であって、その内部の背面部および
側面部には、図１４および図１５に示すように隔壁９１
を隔てて、気化した洗浄液が再液化する温度に冷却され
るコールドパネル９２が配設されており、真空排気手段
３への導管が背面部のコールドパネル９２の後方に位置
する構成である。また、コールドパネル９２の下方に
は、図１４に示すように、廃液タンク９３が配置されて
おり、コールドパネル９２に凝着した油脂等がこの廃液
タンク９３に溜められる。また、隔壁９１は、図１８に
示すように、コールドパネル９２へ洗浄液が飛散するこ
とを阻止するとともに気化した洗浄液が通過できる構造
のもので、Ｖ字型の各金属板の配置方向を交互にして形
成されており、この隔壁９１は定位置に固定されてい
る。

【００６０】なお、コールドパネル９２は冷媒で冷却さ
れるが、その温度は洗浄容器２内で気化した洗浄液が再
液化する温度以下、即ち、被洗浄物１表面に付着した汚
れ成分の油脂や洗浄液が洗浄容器２内における真空度の
もとで蒸発する温度以下に保持する。洗浄液として灯油
を用いる場合には、洗浄容器２内の真空度を１Ｐａ程度
とすると−６０℃以下に保持すると良い。

【００６１】前記構成の第９参考例の洗浄装置Ｉによる
洗浄作業手順を説明する。まず、被洗浄物１をバスケッ
ト７内に収納し、そのバスケット７を洗浄容器２内に収
納したら、扉６を閉じ、真空排気手段３により洗浄容器
２内を所定の圧力になるまで真空引きする。そして、被
洗浄物１の表面に付着した汚れ成分である切削油等の油
脂を蒸発させて除去することにより予備脱脂が行われ、
予備脱脂により蒸発され除去された油脂の殆どがコール
ドパネル９２に凝着される。この真空引きを所定の時間
行った後、真空弁１２を閉じて窒素ガスを大気圧となる
まで導入して、洗浄容器２内を窒素ガス等の不活性ガス
に置換する。なお、予備脱脂の際の真空度および時間
は、被洗浄物１に付着した油脂によって異なるので、初
回の予備脱脂の際にこれらを確認しておき、２回目以降
は同様に設定して行う。

【００６２】次に、循環ポンプ２１および加熱器２３を
作動させて洗浄液を加熱しつつ循環させることで洗浄を
行い、被洗浄物１が十分に洗浄されたら続いて真空乾燥
を行い、被洗浄物１に付着していた洗浄液を蒸発させて
真空ポンプ１０により排気するが、蒸発された洗浄液は
コールドパネル９２に凝着されることになる。なお、コ
ールドパネル９２の作動は、真空弁１２と連動させる。
即ち、被洗浄物１を真空乾燥させるときは、コールドパ
ネル９２に冷媒を流して冷却し、真空乾燥以外のときは
冷媒の供給を停止してコールドパネル９２の表面温度を
上げる。このようにすると、コールドパネル９２の表面
に付着した油脂分が流れ落ちて廃液タンク９３に溜ま
る。廃液タンク９３に溜まった廃液類は図示しない弁を
開いて定期的に除去する。

【００６３】このように、前記の洗浄装置Ｉでは、洗浄
容器２内を負圧として被洗浄物１表面の汚れ成分を予備
脱脂した後、加熱した洗浄液を洗浄ノズル２２から被洗
浄物１に吹き掛けることで洗浄を行うので、被洗浄物１
を効率的に洗浄できる。すなわち、前述したように洗浄
液を循環させていくうちには、溶解した汚れ成分の濃度
が漸次増大していって洗浄効果が漸次低下していくこと
になるが、本第９参考例の洗浄装置Ｉでは、洗浄液の使
用量が前記第１参考例の洗浄装置Ａと同じく５０リット
ルであったとし、また灯油を洗浄液として用いる場合に
十分な洗浄効果が得られなくなる限界の濃度を低く見積
って５％程度であるとしても、予備脱脂を行うことによ
って例えば１回の洗浄で溶解される汚れ成分を５ｃｃ程
度にまで低減させることが可能となり、従って１回の洗
浄を行うことで汚れ成分の濃度の上昇を０．０１％に抑
えることができるから、洗浄液を交換することなく５０
０回の洗浄を繰り返すことができることになる。

【００６４】また、洗浄容器２内を真空引きする際に一
旦気化した油脂や洗浄液がコールドパネル９２に凝着す
るために、このコールドパネル９２がソープション式の
真空ポンプとして働き、予備脱脂および真空乾燥の時間
を短縮することができるとともに、真空排気手段３への
汚れ成分の流入を減少させる。なお、この第９参考例で
は隔壁９１を固定式としたが、洗浄容器２内を真空引き
するときのみ開く可動式の隔壁としてもよい。また、被
洗浄物１に付着している汚れ成分である油脂の種類やそ
の量によっては、この隔壁９１を設けずにコールドパネ
ル９２のみを設けておく方が好ましい。被洗浄物１を洗
浄液で洗浄する際に、コールドパネル９２の表面も洗い
流せるためである。

【００６５】次に、図１９ないし図２１は、第１０参考
例の洗浄装置Ｊを示すものである。この洗浄装置Ｊは、
被洗浄物１が収納され加熱される加熱室１０１と、被洗
浄物１が収納され洗浄される洗浄容器２と、その洗浄容
器２内を負圧とするための真空排気手段３と、洗浄容器
２内に供給する洗浄液を循環させる循環手段４とが主要
構成要素とされており、図１９に示すように、加熱室１
０１と洗浄容器２とが隣接して配置され、加熱室１０１
および洗浄容器２はそれぞれ前面部および背面部に入出
口を有し、加熱室１０１の出口が洗浄容器２の入口とな
る構成で、各入出口にはエアシリンダ５による昇降式の
扉１０２、１０３、１０４が設けられている。そして、
加熱室１０１の入口側および出口側には架台１０５、１
０６がそれぞれ配置されている。なお、架台１０５、加
熱室１０１、洗浄容器２、架台１０６の各床面には、被
洗浄物１を移送するハースローラ１０７が配設されてお
り、前記の順に被洗浄物１が移送されて洗浄が行われる
ようになっている。

【００６６】加熱室１０１内には、入口側および出口側
を除いた内壁面に沿った周辺にヒータ１０８が配設され
ており、加熱室１０１の天井とヒータ１０８との間には
ファン１０９が配設され、ファン１０９は加熱室１０１
の上側に配設されたモータ１１０により駆動される構成
である。洗浄容器２は、入口および出口の扉１０３、１
０４が真空シール機能を有し、内部を真空に保持可能と
なっている。第９参考例の洗浄装置Ｉと比較すると、図
２０に示すように洗浄容器２内部の隔壁９１およびコー
ルドパネル９２が洗浄容器２の側面部のみに配設され、
真空排気手段３への導管が側面部に接続されており、そ
れ以外は第９参考例と同様である。また、真空排気手段
３、循環手段４についても同様である。

【００６７】架台１０５、１０６、加熱室１０１、およ
び洗浄容器２の床面にそれぞれ配設されたハースローラ
１０７は、図２０に示すように、被洗浄物１の移送方向
に対して直交する方向に、中心軸１０７ａに挿通された
細長い円筒１０７ｂが多数配列されて形成されたもので
ある。各ハースローラ１０７の一端側にはスプロケット
１１１が取り付けられ、このスプロケット１１１にチェ
ーンが係合されて駆動される構成である。

【００６８】前記構成の第１０参考例の洗浄装置Ｊによ
る洗浄作業手順を説明する。まず、架台１０５上におい
て被洗浄物１をバスケット７内に収納し、そのバスケッ
ト７を架台１０５および加熱室１０１のハースローラ１
０７を駆動して加熱室１０１内に移送する。加熱室１０
１内に被洗浄物１を収納して扉１０２を閉じ、ヒータ１
０８を加熱するとともにファン１０９により加熱室１０
１の内部の空気を攪拌すると、加熱された空気により、
被洗浄物１が加熱される。被洗浄物１の加熱温度及び加
熱時間は、被洗浄物１に付着する油脂により異なるが、
一般に１００℃〜１５０℃程度、１０分間程度でよい。
被洗浄物１の加熱が終了すると、扉１０３を開いて被洗
浄物１を加熱室１０１および洗浄容器２のハースローラ
１０７を駆動して洗浄容器２へ移送する。そして、扉１
０３を閉じて洗浄容器２内を真空排気手段３により真空
引きして予備脱脂を行うが、予備脱脂、洗浄液による洗
浄および真空乾燥の操作は第９参考例と同様である。真
空乾燥終了後、真空弁１２を閉じて窒素ガスを大気圧と
なるまで導入し、扉１０４を開けて洗浄容器２および架
台１０６のハースローラ１０７を駆動してバスケット７
を架台１０６上に取り出すと、洗浄作業が完了する。な
お、コールドパネル９２の作動を真空弁１２と連動させ
て行うことについては、第９参考例と同様である。

【００６９】この第１０参考例においては、予備脱脂の
前に被洗浄物１を加熱しているが、このように被洗浄物
１を加熱した後で予備脱脂を行うと、脱脂速度が速くな
るとともに被洗浄物１に付着する油脂が充分に脱脂でき
る。一般の鉱物油では、温度が２０℃から５０℃に上昇
すると蒸気圧力が５〜１０倍になるからである。さら
に、予備脱脂において充分に汚れ成分の油脂を除去でき
るので、その後の洗浄液による洗浄において洗浄液があ
まり汚れないため、洗浄液を交換せずに長く使用でき
る。また、被洗浄物１はハースローラ１０７により移送
されるので、２室での洗浄操作が連続して効率的に行え
る。さらに、加熱室１０１における被洗浄物１の加熱
は、ファン１０９による温風対流加熱であり、被洗浄物
１の形状に関係なく均一に効率よく加熱できる。

【００７０】また、図２２および図２３は、第１１参考
例の洗浄装置Ｋを示すものである。この洗浄装置Ｋは、
被洗浄物１が収納され加熱される加熱室１０１と、被洗
浄物１が収納され真空乾燥される第一真空乾燥室１２１
と、その第一真空乾燥室１２１を負圧とするための真空
排気手段３Ａと、被洗浄物１が収納され洗浄液で洗浄さ
れる洗浄容器２と、その洗浄液を循環させる循環手段４
と、被洗浄物１が収納され真空乾燥される第二真空乾燥
室１２２と、その第二真空乾燥室１２２を負圧とするた
めの真空排気手段３Ｂとを主要構成要素としている。

【００７１】洗浄装置Ｋは、図２２に示すように、加熱
室１０１と、第一真空乾燥室１２１と、洗浄容器２と、
第二真空乾燥室１２２とがこの順に隣接して配置された
４室からなる構成である。各室はそれぞれ前面部および
背面部に入出口を有し、加熱室１０１の出口が第一真空
乾燥室１２１の入口、第一真空乾燥室１２１の出口が洗
浄容器２の入口、洗浄容器２の出口が第二真空乾燥室１
２２の入口となる構成であり、各入出口にはエアシリン
ダ５による昇降式の扉１２３、１２４、１２５、１２
６、１２７が設けられている。そして、加熱室１０１の
入口側および第二真空乾燥室１２２の出口側には架台１
０５、１０６がそれぞれ配置されている。架台１０５、
加熱室１０１、第一真空乾燥室１２１、洗浄容器２、第
二真空乾燥室１２２、架台１０６の床面には、被洗浄物
１を移送するハースローラ１０７が配設されており、前
記の順に被洗浄物１が移送されて洗浄が行われるように
なっている。

【００７２】加熱室１０１は第９参考例と同様であり、
また洗浄容器２も真空排気手段３が接続されず、また隔
壁９１およびコールドパネル９２が配設されていない他
は第１０参考例と同様である。第一真空乾燥室１２１お
よび真空排気手段３Ａと、第二真空乾燥室１２２および
真空排気手段３Ｂについて、以下に説明する。第一真空
乾燥室１２１は入出口の扉１２４、１２５が真空シール
機能を有しており、内部を真空に保持可能である。第一
真空乾燥室１２１内部は、天井部を除いた両側面部およ
び底面部にコールドパネル９２Ａが隔壁を隔てずに配設
されている。そして、真空排気手段３Ａは、第一真空乾
燥室１２１内を負圧とすることで真空度を高めるための
もので、真空ポンプ１０Ａ、真空弁１２Ａ、および排気
管１３Ａから構成されている。これらは第１参考例の真
空排気手段３で使用するものと同様である。第二真空乾
燥室１２２および真空排気手段３Ｂも、前記の第一真空
乾燥室１２１および真空排気手段３Ａと同様であり、第
二真空乾燥室１２２内部にはコールドパネル９２Ｂが配
設され、真空排気手段３Ｂは真空ポンプ１０Ｂ、真空弁
１２Ｂ、および排気管１３Ｂから構成されている。ま
た、コールドパネル９２Ａ、９２Ｂの下方には図示しな
い廃液タンクが配設されている。

【００７３】前記構成の第１１参考例の洗浄装置Ｋによ
る洗浄作業手順を説明する。まず、架台１０５上におい
て被洗浄物１をバスケット７内に収納し、そのバスケッ
ト７を架台１０５および加熱室１０１のハースローラ１
０７を駆動して加熱室１０１内に移送する。加熱室１０
１内で第１０参考例と同様にして被洗浄物１を加熱す
る。加熱終了後、扉１２４を開けて加熱室１０１および
第一真空乾燥室１２１のハースローラ１０７を駆動して
バスケット７を第一真空乾燥室１２１に移送する。第一
真空乾燥室１２１内部にバスケット７を収納したら扉１
２４を閉じ、真空排気手段３Ａにより第一真空乾燥室１
２１内を所定の圧力になるまで真空引きして予備脱脂を
行う。このとき、被洗浄物１に付着した汚れ成分の油脂
がコールドパネル９２Ａに凝着される。そして、予備脱
脂が終了したら、真空弁１２Ａを閉じて窒素ガスを大気
圧となるまで導入して第一真空乾燥室１２１内を窒素ガ
スに置換する。

【００７４】次に、扉１２５を開けてバスケット７を第
一真空乾燥室１２１および洗浄容器２のハースローラ１
０７を駆動して洗浄容器２内に移送して収納する。洗浄
容器２においては第１０参考例と同様にして洗浄液で被
洗浄物１の洗浄を行う。洗浄液による洗浄が終了した
ら、扉１２６を開けて洗浄容器２および第二真空乾燥室
１２２のハースローラ１０７を駆動してバスケット７を
第二真空乾燥室１２２に移送する。第二真空乾燥室１２
２では、第一真空乾燥室１２１と同様に真空引きして被
洗浄物１に付着する洗浄液を真空乾燥させる。真空乾燥
終了後、真空弁１２Ｂを閉じて窒素ガスを大気圧となる
まで導入し、扉１２７を開けてバスケット７を第二真空
乾燥室１２２および架台１０６のハースローラ１０７を
駆動して架台１０６上に移送すると、洗浄作業が完了す
る。なお、この洗浄装置Ｋのコールドパネル９２Ａ、９
２Ｂを作動させるときも第１０参考例と同様に、真空弁
１２Ａ、１２Ｂと連動させる。

【００７５】第１１参考例の洗浄装置Ｋは４室から成
り、各室はそれぞれ単独の機能、即ち加熱室１０１では
加熱機能を、第一真空乾燥室１２１では予備脱脂機能
を、洗浄容器２では洗浄液による洗浄機能を、第二真空
乾燥室１２２では洗浄液の真空乾燥機能を持たせてい
る。従って、被洗浄物１の洗浄が連続して効率良く行わ
れるとともに、各室への移送がハースローラ１０７によ
り行われるために作業が容易である。また、第一真空乾
燥室１２１および第二真空乾燥室１２２に配設されたコ
ールドパネル９２Ａ、９２Ｂは、第９参考例および第１
０参考例の場合とは異なり、洗浄液が飛散することがな
いため隔壁で隔てる必要はない。そして、これらコール
ドパネル９２Ａ、９２Ｂにより予備脱脂時間および真空
乾燥の時間が短縮される。

【００７６】図２４は、第１２参考例の洗浄装置Ｌを示
すものであり、第９参考例ないし第１１参考例と共通な
箇所には同一符号で示す。洗浄装置Ｌは、その洗浄容器
２Ｂが第１１参考例の洗浄装置Ｋにおける洗浄容器２の
構成と異なり、かつ循環手段４を有さない以外は同様の
構成である。洗浄装置Ｌの洗浄容器２Ｂは、下部に洗浄
液が貯溜された洗浄槽（タンク）１３１が設置され、上
部にハースローラ１０７が配設された矩形の昇降台１３
２が設けられ、昇降台１３２は四隅にチェーン１３３が
取り付けられて洗浄容器２Ｂの天井から吊り下げされて
いる。このチェーン１３３は図示しない駆動源により駆
動されることにより、昇降台１３２が上部の定位置と洗
浄槽１３１の底部位置との間を上下動可能に構成されて
いる。また、ハースローラ１０７は昇降台１３２上だけ
でなく、洗浄容器２Ｂ上部の定位置の昇降台１３２の前
後にも配設されており、被洗浄物１を連続して移送でき
る構成である。

【００７７】この洗浄装置Ｌによる洗浄作業手順は、洗
浄容器２Ｂにおける操作以外は第１１参考例の洗浄装置
Ｋでの手順と同様である。洗浄容器２Ｂにおける操作
は、第一真空乾燥室１２１における予備脱脂終了後、第
一真空乾燥室１２１および洗浄容器２Ｂのハースローラ
１０７を駆動して洗浄容器２Ｂ内にバスケット７に収納
された被洗浄物１を移送して昇降台１３２上に配置す
る。そして、昇降台１３２のチェーン１３３を駆動して
昇降台１３２およびバスケット７を洗浄槽１３１内の洗
浄液に浸漬する。所定の時間、被洗浄物１を洗浄液に浸
漬することにより表面に付着する汚れを除去した後、昇
降台１３２を上部の定位置にまで引き上げる。被洗浄物
１から洗浄液が滴下しなくなれば、洗浄容器２Ｂおよび
第二真空乾燥室１２２のハースローラ１０７を駆動して
バスケット７を第二真空乾燥室１２２内に収納する。そ
の後の操作は第１０参考例と同様である。

【００７８】この第１２参考例の洗浄装置Ｌにおいて
は、洗浄容器２Ｂが洗浄槽１３１を備えた浸漬型である
ため、被洗浄物１全体に洗浄液が行き渡って洗浄が確実
に行われるとともに、複雑な形状の被洗浄物１であって
も洗浄されずに汚れが残ることがない。また、洗浄容器
に洗浄液を循環させる循環手段が不要であるので、装置
が簡単である。なお、被洗浄物１を洗浄槽１３１内の洗
浄液に浸漬するだけでなく、洗浄液内部での上下動の繰
返し、洗浄液の攪拌、または洗浄液内部での超音波洗浄
を行うと、さらに効果的な洗浄が可能である。

【００７９】次に図２５は、第１３参考例である洗浄装
置Ｍの系統図である。本第１３参考例の洗浄装置Ｍで
は、被洗浄物１が収納される洗浄容器２と、洗浄容器２
内を真空とするための真空排気手段３と、洗浄液を循環
させて洗浄容器２に供給するための循環手段４とに、洗
浄液の一部を蒸留することによって洗浄液中の汚れ成分
を除去する清浄化処理を行うための蒸留手段１４１を備
えたことを特徴とするものである。

【００８０】循環手段４は、洗浄液を被洗浄物１に吹き
掛けるべく洗浄容器２内のワークゾーンの周囲に設けら
れている洗浄ノズル２２、その洗浄ノズル２２に供給す
る洗浄液を貯溜しておく供給タンク１４２、供給タンク
１４２内の洗浄液を洗浄ノズル２２に圧送するための供
給ポンプ２１Ａ、洗浄容器２の底部から回収した洗浄液
を貯溜する回収タンク２０、回収タンク２０内の洗浄液
を前記供給タンク１４２に返送するための返送ポンプ２
１Ｂ、および循環経路を構成している供給管２４Ａ、回
収管２４Ｂ、返送管２４Ｃと、それらの途中に設けられ
ている入側の閉止弁２５、フィルター２７、出側の閉止
弁２６、閉止弁１４３、逆止弁１４４からなる。また、
前記の供給タンク１４２には洗浄液が減少した際に新た
な洗浄液を補給するための補給タンク１４５が補給管１
４６、閉止弁１４７を介して接続されている。さらに、
供給タンク１４２と補給タンク１４５、回収タンク２０
にはそれぞれ窒素ガス供給管１４８を通して窒素ガスが
導入されるようになっていて、それらタンク１４２，１
４５，２０内は所定圧力（大気圧程度）の窒素ガスに置
換されるようになっている。このようにタンク１４２，
１４５，２０内をガス置換するのは、洗浄液が可燃性を
有する灯油であるため、万一の発火を防ぐためである。
なお、符号１４９は流量調節弁、１５０は安全弁であ
る。

【００８１】蒸留手段１４１は前記循環手段４に対して
並列に設けられていて、回収タンク２０に回収された洗
浄液の一部を蒸留して前記供給タンク１４２に返送する
ためのものである。この蒸留手段１４１は、回収タンク
２０から導かれた洗浄液を加熱して蒸発させるための蒸
留器１５１、蒸留器１５１で蒸発させた洗浄液の蒸気を
冷却して液化させるための凝縮器１５２、液化した洗浄
液を溜める液溜まり１５３、液溜まり１５３から前記供
給タンク１４２に洗浄液を圧送するためのポンプ２１Ｃ
からなる。符号１５４は前記返送管２４Ｃの途中から分
岐されて洗浄液を回収タンク２０から蒸留器１５１に導
入するための導入管、１５５，１５６はその途中に設け
られている閉止弁とニードル弁、１５７は蒸留器１５１
と凝縮器１５２を接続している蒸気管、１５８は液溜ま
り１５３と供給タンク１４２とを接続している返送管、
１５９はその途中の前記ポンプ２１Ｃの入側に設けられ
ている逆止弁、１６０は供給タンク１４２の入側に設け
られている閉止弁である。

【００８２】蒸留器１５１には、その底部に洗浄液を加
熱して蒸発させるための加熱器１６１と、蒸発残留物で
ある汚れ成分（残液）を排出するための排出管１６２お
よび排出弁１６３とが備えられている。また、本参考例
における蒸留手段１４１は、蒸留を低温で行うべく真空
雰囲気下で蒸留および液化を行うものとされ、そのため
の真空排気手段１６４が凝縮器１５２に付設されてい
る。この真空排気手段１６４は真空ポンプ１６５、排気
管１６６、その途中に設けられた真空弁１６７からな
り、前記導入管１５４の途中の閉止弁１５５から蒸留器
１５１、蒸気管１５７、凝縮器１５２、液溜まり１５
３、返送管１５８の途中の逆止弁１５９までの範囲を例
えば３０〜６０Ｔｏｒｒ程度の真空に保持するようにさ
れている。

【００８３】前記構成の洗浄装置Ｍによる洗浄作業手順
を説明する。まず、被洗浄物１をバスケット７に収納
し、そのバスケット７を洗浄容器２内に収納したら、真
空排気手段３により洗浄容器２内を一旦真空とした後、
窒素ガスを大気圧になるまで導入して洗浄容器２内を窒
素ガスに置換する。また、各タンク２０，１４２，１４
５内もガス置換しておく。次に、供給ポンプ２１Ａを運
転して供給タンク１４２に貯溜しておいた洗浄液を洗浄
ノズル２２に圧送して被洗浄物１に吹き掛け、被洗浄物
１に付着していた切屑の如き固形物を洗い落とすととも
に、切削油のような油脂分は洗浄液に溶解させてしま
う。そして、被洗浄物１に吹き掛けた洗浄液を洗浄容器
２の底部から回収管２４Ｂを通して回収タンク２０に回
収する。

【００８４】供給タンク１４２内に貯溜されていた洗浄
液の全てもしくは一部を吹き掛けることのみで十分な洗
浄がなされる場合は、以上で洗浄工程が終了する。一
方、被洗浄物１が多量であったり、あるいはその形状が
複雑であって汚れが落ちにくいような場合には、返送ポ
ンプ２１Ｂを運転して洗浄液を回収タンク２０から供給
タンク１４２に返送し、さらに洗浄を継続する。なお、
いずれにしても、洗浄工程が終了した時点では、回収タ
ンク２０には後工程の蒸留工程において蒸留する分の洗
浄液だけを残し、他の洗浄液は供給タンク１４２に返送
しておく。そのためには、回収タンク２０内の液面レベ
ルを予め設定したレベルに維持するように返送ポンプ２
１Ｂの作動を制御し、常に一定量の洗浄液を回収タンク
２０内に残しておくようにすると良い。回収タンク２０
に残しておくべき洗浄液の量については後述する。洗浄
工程が終了したら、真空排気工程に移行する。この真空
排気工程は、例えば第１参考例の洗浄装置Ａの場合と同
様である。この際、排気中に含まれる洗浄液の蒸気は凝
縮器１１により再液化させられ、回収管１５を通して回
収タンク２０に戻される。

【００８５】真空排気工程が終了したら蒸留工程に移行
する。蒸留工程は被洗浄物１を洗浄することで汚れた洗
浄液の一部を蒸留して清浄化するために行うもので、洗
浄工程終了時に回収タンク２０に残しておいた洗浄液を
蒸留器１５１に導き、そこで加熱することにより洗浄液
を蒸発させ、その蒸気を凝縮器１５２により再液化させ
て液溜まり１５３に溜め、さらにポンプ２１Ｃにより供
給タンク１４２に返送することにより、十分に清浄化し
た洗浄液を供給タンク１４２に貯溜されている汚れたま
まの洗浄液と混合させるのである。洗浄液中に含まれて
いた切削油等の汚れ成分は蒸発残留物として蒸留器１４
１に残されるから、これは排出弁１６３を開いて排出
し、適宜処理すれば良い。なお、前述したように、蒸留
工程を低温下で行うべく蒸留器１５１内や凝縮器１５２
内は真空排気手段１６４によって真空に維持しておく。
また、蒸留器１５１内が真空とされているので、回収タ
ンク２０から蒸留器１５１への洗浄液の導入は閉止弁１
５５、ニードル弁１５６を開くことのみで真空吸引によ
り行われる。

【００８６】ここで、蒸留するべき洗浄液の量、すなわ
ち洗浄工程終了時に回収タンク２０に残しておくべき洗
浄液の量は、洗浄液の全体量、洗浄液中の汚れ成分（切
削油等）の許容濃度、被洗浄物１の汚れの程度、蒸留に
よって得られる洗浄液の清浄度、等を考慮して適宜設定
するのであるが、例えば洗浄液の全量の半分程度とする
と良い。つまり、洗浄工程終了時に洗浄液のほぼ半分程
度は汚れたままで供給タンク１４２に戻すが、他の半分
程度は回収タンク２０に残しておく。そして、回収タン
ク２０内の洗浄液を蒸留器１５１により蒸留して十分に
清浄化したうえで供給タンク１４２に戻し、そこで両者
を混合させることにより、洗浄液全体を洗浄前の当初の
清浄度に戻すのである。

【００８７】具体的な数値を挙げてさらに説明する。い
ま、洗浄液の全体量が１００リットル、洗浄液中の汚れ
成分の許容限界濃度をより低く見積って０.５％とし、
実際に使用する洗浄液中の汚れ成分の濃度が０.２％、
蒸留によって清浄化された洗浄液中の残留汚れ成分の濃
度は０.０５％であるとする。そして、汚れ成分濃度が
０.２％である１００リットルの洗浄液を供給タンク１
４２から被洗浄物１に吹き掛けて洗浄を行うと、１００
ｃｃの汚れ成分が溶解され、したがって洗浄液中の汚れ
成分濃度が０.２％から０.３％に高まるとする。

【００８８】このような条件のもとで、１００リットル
の洗浄液の半分弱である４０％（４０リットル）を回収
タンク２０に残して蒸留を行い、残りの半分強である６
０％（６０リットル）はそのまま供給タンク１４２に戻
すようにすれば、蒸留される４０リットルの洗浄液中の
汚れ成分は０.３％から０.０５％に低下するので（つま
り、蒸留器１５１において１００ｃｃの汚れ成分が除去
されることになる）、それが供給タンク１４２内の濃度
が０.３％である汚れたままの６０リットルの洗浄液と
混合されると、供給タンク１４２には濃度が０.２％で
ある１００リットルの洗浄液が再び確保され、当初の状
態に戻ることになる。したがって、前記のような条件の
もとでは、清浄化する洗浄液の割合は多少の安全率を見
込んで全量の半分程度と設定することで十分である。

【００８９】なお、蒸留工程においては、蒸留器１５１
において蒸発した洗浄液のごく一部が再液化されずに真
空排気手段１６４により排出されてしまうことが避けら
れず、また、真空乾燥工程においても洗浄容器２からの
排気中の洗浄液の蒸気が凝縮器１３に回収されずに排出
されてしまうので、洗浄を継続していくうちには洗浄液
がわずかずつ減少していくことになるが、減少した分の
洗浄液は補給タンク１４５から供給タンク１４２に自動
的にもしくは手動により補給するようにしておくと良
い。

【００９０】以上で説明したように、本第１３参考例の
洗浄装置Ｍでは、洗浄液の全量を蒸留せずともその半分
程度を蒸留することのみで、洗浄液中の汚れ成分の濃度
を洗浄に支障のない程度に常に維持することができるも
のであり、したがって、洗浄液の全量を蒸留する場合に
比して蒸留手段１４１の各装置すなわち蒸留器１５１や
凝縮器１５２、液溜まり１５３、ポンプ２１Ｃの容量お
よび能力を半分程度にまで削減でき、設備費や運転費の
点で有利である。さらに、この洗浄装置Ｍでは、洗浄工
程終了時に後工程の蒸留工程で蒸留するべき洗浄液を常
に回収タンク２０に残しておくように返送ポンプ２１Ｂ
の作動を制御することにより、蒸留するべき洗浄液の量
をそのつど計量するような必要がなく、容易に自動運転
を行うことが可能である。

【００９１】なお、前記第１３参考例の作業手順では、
蒸留工程を真空排気工程終了後に行うように説明した
が、蒸留工程と真空排気工程は同時に行うことができる
し、また、蒸留工程を行っている間に残りの洗浄液によ
って洗浄工程を同時に行うこともでき、そのようにすれ
ばサイクルタイムの短縮を図ることができる。また、こ
の第１３参考例では、回収タンク２０に溜めておいた洗
浄液をバッチ式で間欠的に蒸留手段１４１に送って蒸留
するように説明したが、洗浄工程に並行させて蒸留工程
を連続式に行うことも可能である。

【００９２】次に、図２６ないし図２９は、第１４参考
例の洗浄装置Ｎを示すものであり、図２６は洗浄容器２
０の縦断面図、図２７は横断面図、図２８は全体配置図
（系統図）である。この洗浄装置Ｎは、前記第１３参考
例の洗浄装置Ｍと同様の洗浄容器２、真空排気手段３、
洗浄液の循環手段４、および洗浄液の蒸留手段１４１に
加えて、洗浄容器２内を不活性ガス雰囲気にする不活性
ガス導入手段１１７１が備えられた構成とされている。

【００９３】洗浄容器２は横置き円筒状とされてその中
心軸が僅かに下がるように傾斜して設置されており、そ
の内部には架台８が設けられて被洗浄物１を載せるトレ
ー１７２が水平に支持されるようになっている。そし
て、この洗浄容器２内には、前記第１０参考例の洗浄装
置Ｊの加熱室１０１と同様に、トレー１７２に載せられ
る被洗浄物１の両側にヒータ１０８が配置されるととも
に、洗浄容器２の頂部にはファン１０９が取付けられて
モータ１１０で駆動されるようになっている。なお、洗
浄容器２の傾斜した底部分の最も低いところには、洗浄
液排出口１７３が設けられてフィルタ２７を介して洗浄
液を排出できるようになっている。また、洗浄容器２内
のトレー１７２の上方および両側に洗浄ノズル２２が配
置されており、洗浄液の供給タンク１４２の洗浄液を循
環ポンプ２１Ａで加圧してボールバルブ等の閉止弁２
５，２５を介して洗浄ノズル２２から噴射するようにな
っている。さらに、この洗浄液の供給タンク１４２に
は、内部圧力を調整できるようボールバルブ等の閉止弁
１６７を介して油回転真空ポンプ１６５が接続してあ
る。さらにまた、真空排気手段３は洗浄容器２内を真空
排気するためのものであり、洗浄容器２の側方の排気口
に真空弁１２、凝縮器１１、真空弁１２、ルーツ式の第
一の真空ポンプ７１および油回転式の第二の真空ポンプ
７２が順に接続されて構成されている。

【００９４】洗浄液の蒸留手段１４１では、循環手段４
の洗浄液の回収タンク２０に大小流量用の２つのボール
バルブ等の閉止弁１７４，１７５を介して蒸留器１５１
が接続されている。そして、蒸留器１５１で蒸留された
蒸気は凝縮器１５２に送られ、ボールバルブ等の閉止弁
１６０を介して洗浄液の供給タンク１４２に戻される一
方、蒸留器１５１に残留する廃液は廃液ポンプ２４Ｄ、
廃液冷却器１７６を介してボールバルブ等の排出弁１６
３から排出されるようになっている。また、凝縮器１５
２と閉止弁１６０との中間で、ボールバルブ等の閉止弁
１７７を介して前記油回転真空ポンプ１６５と接続され
ている。

【００９５】一方、不活性ガス導入手段１７１は、主と
して洗浄容器２内を不活性ガス雰囲気にするために使用
されるが、他の部分にも供給されて洗浄液の排出などに
利用される。すなわち、洗浄容器２内を不活性ガス雰囲
気にするため、ソレノイドバルブ等の調節弁１７８Ａが
あり、また他のソレノイドバルブ等の調節弁１７８Ｂ，
１７８Ｃを介して閉止弁２５，２５の下流の洗浄ノズル
２２に、例えば窒素ガスを供給できるようにしてある。
また、洗浄液の供給タンク１４２や洗浄液の回収タンク
２０にもそれぞれ調節弁１４９を介して、例えば窒素ガ
スを供給できるようにしてある。さらに本参考例では、
蒸留器１５１と凝縮器１５２との間にも圧力コントロー
ラ１７９を備えたソレノイドバルブ等の調節弁１７８Ｄ
を介して、例えば窒素ガスを圧力を制御しながら供給で
きるようにしてある。

【００９６】次に、このような構成の洗浄装置Ｎによる
洗浄工程について説明する。まず、洗浄容器２の扉６を
開け、被洗浄物１をトレー１７２上に載せて扉６を閉め
た後、真空排気手段３の２つの真空弁１２，１２を開
き、洗浄容器２内をルーツ式の第一の真空ホンプ７１お
よび油回転式の第二の真空ポンプ７２によって１３ｐａ
以下の圧力に排気して真空弁１２，１２を閉じる。この
後、不活性ガス導入手段１７１の調節弁１７８Ａを開
き、窒素ガス等の不活性ガスを大気圧まで封入する。こ
の状態で、洗浄容器２に設けたヒータ１０８を運転する
とともに、ファン１０９をモータ１１０で駆動して被洗
浄物１を４０〜５０℃に加熱する。この加熱の目的は、
洗浄液として用いる灯油の溶解能力の増大と、灯油によ
るススプレー洗浄後の付着する灯油の減圧蒸発の時間短
縮のためであり、必ずしもヒータ１０８およびファン１
０９による被洗浄物１の加熱を行わなくとも良いが、こ
の加熱により洗浄サイクルの短縮を図ることができる。

【００９７】加熱終了後、循環手段４の洗浄液噴射によ
る脱脂洗浄を行うため、２つの閉止弁２５，２５を開
き、洗浄液の供給タンク１４２内の洗浄液を供給ポンプ
２１Ａで加圧して洗浄ノズル２２より常温（最高温度４
０℃）の灯油を被洗浄物１に噴射する。すると、洗浄ノ
ズル２２が被洗浄物１が載せられるトレー１７２の上方
および両側に取付けてあるので、上方の洗浄ノズル２２
だけによる噴射や、両側の洗浄ノズル２２による噴射か
を予め設定したり、これらの任意の組み合わせにより灯
油の噴射を行うとともに、噴射自体も連続して噴射した
り、パルス的に噴射することを選択して行う。なお、こ
れら洗浄ノズル２２の選択や噴射形態は、被洗浄物１の
形状や被洗浄物１に付着している油脂類（被洗浄液）に
より選択するようにすれば良い。また、本参考例では洗
浄液の噴射を洗浄容器２の不活性ガス雰囲気中で実施す
るようにしており、これにより洗浄液として灯油等を用
いた場合でも、爆発などの危険を回避するようになされ
ている。

【００９８】一方、噴射終了後、洗浄ノズル２２のパイ
プライン内に残留する洗浄液は、不活性ガス導入手段１
７１の２つのソレノイドバルブ等の調節弁１７８Ｂ，１
７８Ｃを開くことにより、窒素ガスに押し出されて除去
される。洗浄中に噴射される洗浄液および噴射終了後に
押出される洗浄液は、洗浄容器２が後方に傾けてあり、
その最も下方に洗浄液排出口１７３が形成してあるの
で、循環手段４の閉止弁２６を開いておくことで、フィ
ルター２７で切り粉等の異物を除去してこの洗浄液排出
口１７３から落差により汚れた洗浄液が洗浄液回収タン
ク２０に回収される。

【００９９】こうして脱脂洗浄および汚れた洗浄液の回
収が終了した後、循環手段４の閉止弁２６が閉じられる
一方、真空排気手段３の２つの閉止弁１２，１２が再び
開かれて洗浄容器２内をルーツ式の第一の真空ポンプ７
１および油回転式の第２の真空ポンプ７２で排気し１３
ｐａ以下の圧力に排気する。ここで、特に洗浄液として
灯油を用いた場合には、図２９に示す蒸気圧と温度の関
係を示すグラフから明らかなように、灯油は例えば軽油
に比べて蒸気圧が高いので真空減圧状態では容易に蒸発
することになり、被処理品の表面から取り除かれ、これ
によって被処理品が清浄化される。こうして被洗浄物１
に付着して蒸発した洗浄液は、洗浄容器２内の真空排気
とともに真空排気手段３によって排出され、この真空排
気手段３に設けた凝縮器１１で凝縮されて洗浄液回収タ
ンク２０に回収される。次いで、真空排気手段３により
被洗浄物１に付着した洗浄液が蒸発除去された後、洗浄
容器２内に不活性ガス導入手段１７１によりソレノイド
バルブ等の調節弁１７８Ａを開いて窒素ガス等の不活性
ガスを大気圧まで充満し、扉６を開いて被洗浄物１を取
り出して一連の洗浄および脱脂作業が完了する。

【０１００】一方、洗浄液回収タンク２０に回収された
汚れた洗浄液は洗浄液の蒸留手段１４１で再生されて再
使用されるが、その再生工程について説明する。洗浄液
の循環手段４における回収タンク２０は不活性ガス導入
手段１７１の調節弁１４９から窒素ガス等の不活性ガス
が供給され、常に窒素ガス雰囲気で、しかも大気圧より
僅かに高い圧力となるように圧力制御が行われており、
外部からの空気の侵入を防止しながら、洗浄後の汚れた
洗浄液が落差で回収されるようにしてある。そして、こ
の回収タンク２０に回収された切削油などの油脂類が溶
解した洗浄液は、大小流量用の２つの閉止弁１７４，１
７５を介して蒸留器１５１に送られる。

【０１０１】この蒸留器１５１は、油回転真空ポンプ１
６５により閉止弁１７７Ｄを介して図示しない圧力制御
機構で常に８Ｋｐａに圧力制御されるとともに、蒸留下
限レベルまでは常に分留温度１８０℃まで図示しないヒ
ーターで加熱されるように温度制御されている。したが
って、大小流量用の閉止弁１７４，１７５を開くと、差
圧により蒸留器１５１に洗浄液回収タンク２０の下限レ
ベルまで灯油（洗浄液）が移送されることになる。ま
た、この汚れた洗浄液の蒸留器１５１への移送の際、蒸
留器１５１に設置したヒーターによる加熱は停止する
が、残留液温は１８０℃近くあり、この中に常温の洗浄
液を一気に移送すると、洗浄液が灯油等の場合には突沸
のおそれがあるので、液温が一定温度以下に低下するま
では、小流量用の閉止弁１７４のみを開いて少量づつ洗
浄液を移送し、液温が低下してから大流量用の閉止弁１
７５を開いて多量の洗浄液を移送するように操作するの
が望ましい。

【０１０２】蒸留器１５１に移送された汚れた洗浄液
は、ヒーターで１８０℃に加熱され、分留された清浄な
洗浄液の蒸気は凝縮器１５２に送られて凝縮された後、
洗浄液の供給タンク１４２に戻されて貯えられる。この
供給タンク１４２の内部圧力は、洗浄液の再生中は蒸留
器１５１の分留圧力である８Ｋｐａになり、この状態の
まま循環手段４の閉止弁２５，２５を用いて供給ポンプ
２１Ａを動作させて大気圧状態の洗浄容器２内に噴射し
ようとすると、キャビテーションを起こし、洗浄液の噴
射が不可能になる。そこで、循環手段４の運転終了後に
閉止弁１６０を閉じ、次いで洗浄液の噴射前に不活性ガ
ス導入手段１７１の調節弁１４９を開いて窒素ガス等の
不活性ガスを供給タンク１４２に供給し、キャビテーシ
ョンが起こらない圧力（８０〜８７Ｋｐａ）まで復圧す
る一方、洗浄液の噴射終了後、閉止弁１６７を開き、油
回転真空ポンプ１６５で供給タンク１４２内を８Ｋｐａ
まで排気した後、蒸留手段１４１の閉止弁１６０を開け
て分留可能な状態にするように圧力の切替えを行う。ま
た、蒸留器１５１で分留されて濃縮された廃液は廃液ポ
ンプ２４Ｄで廃液冷却器１７６を介して常温まで冷却さ
れて排出される。なお、これらの洗浄脱脂工程および洗
浄後の洗浄液の再生工程は、図示しない制御手段により
制御することで運転の自動化ができるようになってい
る。

【０１０３】このように前記構成の第１４参考例の洗浄
装置Ｎによれば、不活性ガス導入手段１７１によって洗
浄容器２内を不活性ガス雰囲気とすることにより、洗浄
液として灯油等を用いた場合でも爆発等の危険を回避し
て安全な洗浄作業を行うことができる。また、洗浄容器
２内に加熱用のヒータ１０８および流気用のファン１０
９を設けたので、洗浄および洗浄後の洗浄液の除去を一
層効率的に行うことが可能となる。

【０１０４】さらに図３０および図３１は、第１５参考
例の洗浄装置Ｏを示すものである。この第１５参考例の
洗浄装置Ｏでは、洗浄液を循環させるための循環手段４
に洗浄容器２に対して供給、回収する洗浄液を貯溜する
洗浄液タンク１８１と、この洗浄液タンク１８１内に加
圧ガスを供給する加圧ガス供給手段１８２とが備えられ
ていることを特徴とするものである。

【０１０５】前記洗浄液タンク１８１は、耐圧性を有す
るとともに、内部を真空に保持可能な構造であり、その
容量は１回の洗浄に必要な洗浄液を貯溜できる容量以上
であればよい。図３０に示すように、洗浄液タンク１８
１は排気管１８３により真空ポンプ１０に接続され、排
気管１８３の途中には閉止弁１８４が設けられている。
また、洗浄液タンク１８１上部には洗浄液タンク１８１
内部の圧力を検出する圧力検知器１８５が設けられてい
る。また前記加圧ガス供給手段１８２は、窒素ガス源１
８６と、管路１８７と、その途中に設けられている窒素
ガスの供給量を規定量に調節する絞り弁１８８と、洗浄
液タンク１８１への窒素ガスの入出を行う閉止弁１８９
と、窒素ガスの圧力を一定に保つ減圧弁１９０と、窒素
ガスの圧力が一定以上になると開く安全弁１９１と、排
気管１８３の途中に設けられて洗浄液タンク１８１内部
のガスを放出する放出弁１９２とにより構成され、窒素
ガスを洗浄液タンク１８１内部に供給して洗浄液に圧力
を加えるようになっている。

【０１０６】さらに、管路２４とその途中に設けられて
いる入側閉止弁２５、出側閉止弁２６、洗浄液に混入し
た切屑等の固形物を分離除去するためのフィルタ２７、
洗浄液タンク１８１の出口に設けられた閉止弁１９３
は、循環手段４における洗浄液の循環経路を構成し、灯
油等の洗浄液はこの循環経路に沿って洗浄容器２と洗浄
液タンク１８１との間を循環される。なお、この洗浄装
置Ｏにおいては洗浄液が漏出した場合、洗浄液タンク１
８１内部の圧力を検出する圧力検知器１８５（異常検出
手段）が規定値以下になるが、圧力検知器１８５が規定
値以下になるとインターロック（制御部）が作動して、
洗浄液タンク１８１の閉止弁１９３および窒素ガスの閉
止弁１８９が閉じられるとともに放出弁１９２が開かれ
る構成となっている。

【０１０７】このような構成の洗浄装置Ｏにおいて洗浄
液を循環させるには、まず洗浄液タンク１８１内に必要
量の洗浄液を保持し、次に、閉止弁１８９を開き、窒素
ガス源１８６から窒素ガスを洗浄液タンク１８１内に供
給して、洗浄液タンク１８１内の洗浄液の液面に圧力を
加える。洗浄液タンク１８１内の圧力が所定の圧力に達
したことを圧力検知器１８５で確認した後、閉止弁１９
３および入側閉止弁２５を開いて洗浄液タンク１８１か
ら洗浄液を洗浄容器２内に圧送するとともに、洗浄ノズ
ル２２で洗浄液を被洗浄物１に噴射して被洗浄物１を洗
浄する。こうして洗浄容器２内に供給されて被洗浄物１
に噴射された洗浄液は、図３０に示すように洗浄容器２
内の下部に溜まる。そして、１回の洗浄が終了するか、
または洗浄液タンク１８１内の洗浄液がなくなれば、閉
止弁１９３および入側閉止弁２５を閉じるとともに、窒
素ガスの閉止弁１８９も閉じる。

【０１０８】次に、放出弁１９２を開いて洗浄液タンク
１８１内の窒素ガスを放出して大気圧と等しくするが、
放出弁１９２はそのまま開いた状態にしておく。圧力検
知器１８５により、洗浄液タンク１８１内の圧力が大気
圧になったことを確認した後、出側閉止弁２６を開いて
洗浄容器２内に溜まっている洗浄液を洗浄液タンク１８
１に回収する。洗浄容器２から排出された洗浄液は、そ
の洗浄液に混入した固形物がフィルタ２７により分離除
去された後、洗浄液タンク１８１内に貯溜される。この
とき、洗浄液の回収時間を短縮するために、洗浄液タン
ク１８１内を真空引きしてもよい。すなわち、放出弁１
９２を閉じて閉止弁１８４を開くとともに、真空ポンプ
１０を作動させる。前記のようにして洗浄液による洗浄
が終了して洗浄液を回収した後、真空排気手段３によっ
て洗浄容器２内を負圧とすることにより、被洗浄物１の
表面に付着する洗浄液を蒸発させて除去し、乾燥させ
る。

【０１０９】このように、前記の洗浄装置Ｏでは、洗浄
液タンク１８１内の洗浄液に窒素ガスにより圧力を加え
て洗浄液を洗浄容器２内に圧送するので、洗浄液の圧送
のためのポンプを必要としない。従って、例えば第１参
考例の洗浄装置Ａのように洗浄液を加熱して洗浄を行う
ような場合にも、ポンプを使用した場合のようにキャビ
テーションが生じるおそれがない。また、加圧ガス供給
手段１８２による加圧力によって、洗浄容器２内に配設
された洗浄ノズル２２から被洗浄物１に洗浄液を吹き付
けるので、被洗浄物１全体に満遍なく洗浄液が吹き付け
られるとともに表面の汚れ成分も除去しやすい。また、
洗浄装置Ｏにおいて洗浄液が漏出した場合には、規定値
以下になった洗浄液タンク１８１内の圧力が圧力検知器
１８５により検出され、インターロックが作動して洗浄
液タンク１８１の閉止弁１９３および窒素ガスの閉止弁
１８９が閉じられるとともに放出弁１９２が開かれるこ
とにより洗浄液の圧送が停止されるので、安全な管理が
行える洗浄装置である。

【０１１０】なお、この第１５参考例の洗浄装置Ｏにお
いても第１参考例の洗浄装置Ａのような加熱器を設け、
この加熱器により洗浄容器２内に圧送される洗浄液を加
熱すると洗浄効果がよい。加熱器の配置位置は系全体の
配置構成を考慮して決めることが好ましく、例えば洗浄
液の循環経路において洗浄タンク１８１と入側閉止弁２
５との間か、または洗浄液タンク１８１内に加熱器を設
けるとよい。また、窒素ガス源１８６を洗浄容器２に接
続する管路および閉止弁を設けておき、洗浄容器２内の
洗浄液を洗浄液タンク１８１に回収する際に、洗浄容器
２内を窒素ガスにより加圧することにより、洗浄液の回
収時間を短縮することができる。

【０１１１】さらに、この洗浄装置Ｏにおいて洗浄液が
漏出した場合にこれを検知する手段として、装置全体を
ユニットカバーで覆うとともに床面の油溜まりに溜まっ
た漏出した洗浄液をフロートスイッチで検出するように
してもよい。この場合、フロートスイッチが洗浄液を検
出すればインターロック（制御部）が作動して、洗浄液
タンク１８１の閉止弁１９３および窒素ガスの閉止弁１
８９が閉じられるとともに放出弁１９２が開かれる。さ
らに、この洗浄装置Ｏにおいて洗浄液が漏出した場合、
作業者（異常検出手段）がこれを検知して非常停止ボタ
ン（制御部）を押すと洗浄液タンク１８１の閉止弁１９
３および窒素ガスの閉止弁１８９が閉じられるとともに
放出弁１９２が開かれるようにしてもよい。

【０１１２】また、図３１に示すように、前記洗浄装置
Ｏにおいて、洗浄液タンク１８１の洗浄液の入出口が、
洗浄容器２の底面位置より高く設定されて洗浄容器２か
ら洗浄液タンク１８１へ洗浄液が自然落下できない場合
は、以下のように循環経路を形成するとともに、洗浄液
タンク１８１内を真空引きして洗浄液の回収を行うこと
ができる。すなわち、前記循環経路を洗浄容器２の底壁
２ａと洗浄液タンク１８１との間に設けるとともに、洗
浄容器２の底壁２ａから延び出る管路２４を洗浄容器２
の底壁２ａに対して鉛直に形成して鉛直部２４ａとし、
この鉛直部２４ａの途中に出側閉止弁２６を設けるとよ
い。

【０１１３】次に、図３２および図３３は、第１６参考
例の洗浄装置Ｐを示すものであり、第１５参考例と共通
な箇所には同じ符号を用いるものとする。本第１６参考
例の洗浄装置Ｐは、前記加圧手段が、洗浄液を洗浄容器
２内に供給するとともにその洗浄液を洗浄容器２から回
収する加圧シリンダ装置２０１であることを特徴とする
ものである。すなわち本参考例では、加圧手段としての
加圧シリンダー装置２０１は、洗浄液を貯溜するととも
に洗浄容器２内へ供給して回収する洗浄液シリンダ２０
２、この洗浄液シリンダ２０２を駆動する駆動シリンダ
２０３、駆動シリンダ２０３への加圧空気の入出を行う
加圧空気供給弁２０４、管路２０５，２０６より構成さ
れ、洗浄液シリンダ２０２および駆動シリンダ２０３が
一体型として形成されている。

【０１１４】この洗浄液シリンダ２０２は、本参考例で
は竪型で使用するものであり、洗浄液の入出口２０７は
洗浄液シリンダ２０２の最下部に設けられている。洗浄
液シリンダ２０２の上部は駆動シリンダ２０３を介して
大気に開放されて、常時、大気圧と等しくなっている。
この洗浄液シリンダ２０２は、その上部に設けられた駆
動シリンダ２０３により駆動される。なお、洗浄液シリ
ンダ２０２の容量は、１回の洗浄に必要な洗浄液の容量
程度でよい。また駆動シリンダ２０３は、管路２０５，
２０６により加圧空気供給弁２０４に接続され、加圧空
気により駆動される構成である。この加圧空気供給弁２
０４は、図３２に示すように４方向弁であり、加圧空気
源に接続されるとともに、大気に開放される構成であ
る。

【０１１５】このような構成の第１６参考例の洗浄装置
Ｐでは、洗浄液シリンダ２０２内に貯溜されている洗浄
液を、該洗浄液シリンダ２０２を駆動することにより洗
浄容器２内に圧送して循環させる。すなわち、加圧空気
供給弁２０４を図３２に示すように設定して、加圧空気
を矢印に示す管路２０５から駆動シリンダ２０３に供給
すると、駆動シリンダ２０３のピストン２０８が押し下
げられるとともに洗浄液シリンダ２０２のピストン２０
９が押し下げられる。そして、ピストン２０９が押し下
げられることにより、洗浄液シリンダ２０２内の洗浄液
が管路２４を通って洗浄容器２内に圧送されるととも
に、洗浄ノズル２２で洗浄液が被洗浄物１に噴射され
る。そして、１回の洗浄が終了して洗浄液シリンダ２０
２内の洗浄液がなくなれば、入側閉止弁２５を閉じる。

【０１１６】次に、出側閉止弁２６を開いて洗浄容器２
内に溜まっている洗浄液を洗浄液シリンダ２０２に回収
する。すなわち、加圧空気供給弁２０４を図３３に示す
ように切換えて、加圧空気を矢印に示す管路２０６から
駆動シリンダ２０３に供給すると、駆動シリンダ２０３
のピストン２０８が押し上げられるとともに洗浄液シリ
ンダ２０２のピストン２０９が押し上げられる。そし
て、ピストン２０９が押し上げられることにより洗浄液
シリンダ２０２内が負圧とされ、洗浄容器２内の洗浄液
が管路２４を通って洗浄液シリンダ２０２内に回収され
る。洗浄容器２内の洗浄液の回収が終了したら出側閉止
弁２６を閉じる。こうして洗浄液が回収されたなら、次
いで真空排気手段３により洗浄容器２内を負圧として、
被洗浄物１の表面に付着する洗浄液を蒸発させて除去し
て乾燥させる。

【０１１７】このように、前記の洗浄装置Ｐでは、洗浄
液シリンダ２０２により洗浄容器２内に洗浄液を圧送す
るとともに、洗浄容器２内から洗浄液を回収することが
できる。そのため、洗浄液の圧送のためのポンプを必要
としないので、洗浄液を加熱しても容易に圧送できる。
従って、この第１６参考例の洗浄装置Ｐにおいても前記
第１５参考例と同様に、その循環経路において洗浄液シ
リンダ２０２と入側閉止弁２５との間に加熱器を設ける
などすることによって洗浄容器２内に圧送される洗浄液
を加熱し、優れた洗浄効果を得ることができる。なお、
本参考例でも前記第１５参考例と同様に、洗浄液シリン
ダ２０２の洗浄液の入出口２０７が洗浄容器２の底面位
置より高く設定されて洗浄容器２から洗浄液が自然落下
できない場合は、前記と同様に循環経路を形成するとよ
い。この場合は、洗浄容器２内の洗浄液を洗浄液シリン
ダ２０２に回収するときの駆動シリンダ２０３の駆動速
度は、大きくし過ぎると空気を吸込むので、適切な速度
で駆動するようにする。

【０１１８】次に、図３４は、第１７参考例の洗浄装置
Ｑを示すものであり、洗浄液の循環手段４に蒸留手段１
４１と加圧ガス供給手段１８２とが備えられていること
を特徴としている。すなわち本第１７参考例では、循環
手段４において洗浄液を洗浄容器に供給する手段とし
て、図２５に示した第１３参考例の洗浄装置Ｍに用いら
れたポンプ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃに代えて、洗浄液の
回収タンク（洗浄液タンク）２０に窒素ガス供給源（図
示略）に接続された管路１８７Ａ、閉止弁１８９Ａ、減
圧弁１９０Ａ、安全弁１９１Ａ、および放出弁１９２Ａ
等からなる加圧ガス供給手段１８２Ａが設けられる一
方、この循環手段４に並列に、蒸留器１５１、減縮器１
５２、液溜まり（溶剤タンク）１５３等からなる洗浄液
の蒸留手段１４１が設けられている。なお、符号２１１
で示すのは、この蒸留手段１３１の減縮器１４２と液溜
まり１４３との間に設けられる閉止弁である。

【０１１９】ここで本参考例では、この液溜まり１５３
にも、窒素ガス供給管１８７Ｂ、閉止弁１８９Ｂ、減圧
弁１９０Ｂ、安全弁１９１Ｂ、および放出弁１９２Ｂ等
からなる加圧ガス供給手段１８２Ｂが設けられており、
蒸留器１５１によって蒸留されて液溜まり１５３に貯留
された清浄な洗浄液を、ポンプを用いることなく洗浄容
器２に給送することが可能とされている。なお、前記回
収タンク２０および蒸留した洗浄液を貯めておく液溜ま
り１５３は、洗浄液を加圧する際に圧力が掛かり、また
真空となることもあるため、耐圧耐真空の圧力容器とさ
れている。

【０１２０】また、この第１７参考例の洗浄装置Ｑで
は、洗浄容器２に、内部の雰囲気ガスを強制循環させる
とともに予熱のための加熱源を兼ねる循環ファン２１２
が備えられている。この循環ファン２１２はラジアルフ
ァン型式のもので、洗浄容器２の頂部に設けられたケー
シング２１３内に配置されたインペラ２１４が、ファン
モータ２１５により動力伝達機構２１６を介して回転さ
れる構成とされている。また、ケーシング２１３の下部
は、外周側が吹き出しダクトとされ、中心側が吸い込み
ダクトとされた二重構造のダクト部２１７とされてお
り、その下端部が洗浄容器２内に突出していて、外周側
の吹き出しダクトの下端部がベルマウス状に形成される
一方、中心側の吸い込みダクトの下端部には吸い込み口
が設けられている。さらにケーシング２１３内のインペ
ラ２１４の直下には環状のガイド板および短管状の吸い
込みダクトが配設され、この吸い込みダクトと前記ダク
ト部２１７の吸い込みダクトとの間にバイパス路となる
間隙が確保されている。

【０１２１】このような構成の洗浄装置Ｑでは、回収タ
ンク２０に貯留された洗浄液によって被洗浄物１を前洗
浄した後に、蒸留手段１４１により蒸留された清浄な洗
浄液によって仕上げ洗浄を行うことができる。すなわ
ち、循環手段４、蒸留手段１４１、および加圧ガス供給
手段１８２Ａ，１８２Ｂの各閉止弁２５，２６，１５
５，２１１，１８９Ａ，１９２Ａ，１８９Ｂ，１９２Ｂ
等を閉止した状態から、加圧ガス供給手段１８２Ａの閉
止弁１８９Ａを開いて回収タンク２０内を洗浄液の給送
に必要な所定圧力に加圧し、次いで供給管２４Ａの入側
閉止弁２５を開くことにより、回収タンク２０内の洗浄
液を管路２４Ｃ、供給管２４Ａを通して洗浄ノズル２２
から噴射し、被洗浄物１を洗浄する。なお、この洗浄液
の噴射は図示されないタイマー等によって制御すること
もできるが、例えば回収タンク２０の下限にレベルスイ
ッチを設けるなどして、このレベルスイッチが作動した
場合には洗浄液の給送が停止されるように設定するのが
望ましい。１回の洗浄によって洗浄容器２に供給された
洗浄液は、図３４に示されるように洗浄容器２の底部に
溜るので、閉止弁１８９Ａを閉じるとともに放出弁１９
２Ａを開いて回収タンク２０内のガスを排出し、次いで
この放出１９２Ａを閉じた後に回収管２４Ｂの出側閉止
弁２６を開いて、前記洗浄液を回収タンク２０に回収す
る。なお、必要があれば、このような洗浄工程を繰り返
してもよい。

【０１２２】一方、回収タンク２０に回収された洗浄液
の一部（標準的には、その半分とするのが好ましい。）
は、導入管１５４から蒸留器１５１に送られて蒸留され
て清浄化され、減縮器１５２を経て液溜まり１５３に貯
留される。そこで、前述のように回収タンク２０からの
洗浄液による被洗浄物１の洗浄が終了した後に、この液
溜まり１５３に貯留されている清浄化された洗浄液を加
圧ガス供給手段１８２Ｂによって洗浄容器２に給送して
仕上げ洗浄を行う。すなわち、前記洗浄工程（前洗浄）
が終了した状態で、液溜まり１５３の入側の閉止弁２１
１を閉じ、次いで加圧ガス供給手段１８２Ｂの閉止弁１
８９Ｂを開いて液溜まり１５３内の清浄化された洗浄液
を加圧し、仕上げ洗浄可能な状態とする。次いで、供給
管２４Ａの閉止弁２５を開いて液溜まり１５３内の洗浄
液を洗浄ノズル２２から噴射して、清浄化された洗浄液
によって被洗浄物１を仕上げ洗浄する。ここで、回収管
２４Ｂの閉止弁２６は開いたままであるので、噴射され
た洗浄液は洗浄容器２内に溜ることなく、回収タンク２
０に回収されて前洗浄に用いられた洗浄液と混ざり合
う。

【０１２３】こうして液溜まり１５３内の洗浄液が給送
されて仕上げ洗浄が終了したなら、加圧ガス供給手段１
８２Ｂの放出弁１９２Ｂを開いて液溜まり１５３内の加
圧ガスを放出し、次いでこの放出弁１９２Ｂを閉じた後
に前記閉止弁２１１を開いて、新たな清浄化された洗浄
液を液溜まり１５３に貯留する。なお、この閉止弁２１
１が閉じている間も蒸留器１５１による蒸留が継続され
る場合には、蒸留された洗浄液を減縮器１５２の底部に
貯めておけばよい。

【０１２４】このように前記第１７参考例の洗浄装置Ｑ
では、洗浄液の循環手段４に洗浄液の蒸留手段１５１と
加圧ガス供給手段１８２Ａ，１８２Ｂとが備えられたも
のであるので、各手段１５１および１８２が奏する効果
を同時に得ることができる。すなわち、ポンプを用いる
ことなく洗浄液の循環が可能であるので、洗浄液を加熱
して洗浄を行う場合でもキャビテーションの発生を防止
できるとともに、蒸留されて清浄化された洗浄液によっ
て、より高い清浄度に被洗浄物１を洗浄することが可能
となる。また、特に前記洗浄装置Ｑにおいては、回収タ
ンク２０に貯留された洗浄液よって被洗浄物１に前洗
浄、あるいは予備洗浄を施し、しかる後に液溜まり１５
３に貯留された清浄な洗浄液によって仕上げ洗浄、ある
いは本洗浄を行うことができるので、前洗浄によって被
洗浄物１に付着した汚れ成分を殆ど除去してから仕上げ
洗浄を行うことにより、一層高い洗浄度を得ることがで
きる。なお、この洗浄装置Ｑにおいては、仕上げ洗浄に
供された後の比較的清浄度の高い洗浄液は回収タンク２
０に回収されて前洗浄に使用されるので、蒸留により清
浄化された洗浄液を効率的に利用できるという利点も得
られる。

【０１２５】さらに、この第１７参考例の洗浄装置Ｑで
は、洗浄容器２に内部の雰囲気ガスを強制循環させると
ともに予熱のための加熱源を兼ねる循環ファン２１２が
備えられており、これによって洗浄効果の向上や被洗浄
物に付着した洗浄液の液切り時間の短縮が図られるとと
もに、循環ファン２１２を駆動するための電気エネルギ
が雰囲気ガスの温度上昇に変換され、こうして加熱され
た雰囲気ガスによって被洗浄物１も予熱されることとな
るので、さらに優れた洗浄効果を得ることができる。

【０１２６】そして、このような第１〜１７参考例をふ
まえて、次に、本発明の実施形態について説明する。図
３５ないし図４１は、本発明の第１実施例の洗浄装置Ｒ
を示すものであり、被洗浄物１を真空乾燥させることに
より蒸発して除去された洗浄液の蒸気を、洗浄容器２か
ら回収されて回収タンク２０内に保持された洗浄液中に
導入して冷却することにより、大気圧にて復液させるこ
とを特徴とするものである。すなわち、この第１実施例
の洗浄装置Ｒでは、真空排気手段３が真空弁１２、真空
ポンプ２２１，２２２、３方向弁２２３、およびこの３
方向弁２２３から分岐して接続されるサイレンサー２２
４と吹き込みノズル２２５とから構成されている。そし
て、この吹き込みノズル２２５は図３５に示すように、
前記３方向弁２２３から延びる吹き込み管２２６を介し
て、洗浄液の循環手段４中で洗浄液が保持される回収タ
ンク２０内に設置されている。

【０１２７】この洗浄装置Ｒにおいて真空排気手段３に
用いられる真空ポンプ２２１、２２２としては、洗浄液
の蒸気を大気圧で液化するため、液化する性質のある蒸
気を取扱い可能な真空ポンプを使用するのが好ましく、
本実施例では真空ポンプ２１２としてはルーツ式真空ポ
ンプが、また真空ポンプ２１３としてはドライ式真空ポ
ンプが使用されている。さらに本実施例では、洗浄液の
回収タンク２０に窒素ガスの吹き込み配管２２７が設け
られていて、常時少量の窒素ガスが送り込まれて回収タ
ンク２０内の上部に充満している。また、この回収タン
ク２０には、ガスクーラー２２８およびオイルミストト
ラップ２２９が付設されている。

【０１２８】吹き込みノズル２２５は図３６ないし図４
１に示されるように、吹き込み管２２６の先端に下面が
開放された箱状のカバー２３１が設けられ、このカバー
２３１内に銅製の多数の円柱状部材２３２…が束ねられ
て収納された構成となっていて、これらの円柱状部材２
３２…によって、導入される蒸気を冷却する冷却装置が
形成されている。ここで、この円柱状部材２３２は例え
ば直径３mm、長さ５０mm程度のもので、その下端がカバ
ー２３１の下端から僅かに突出するように、カバー２３
１内一杯に並べられて配置されている。なお、前記吹き
込み管２２６は、本実施例では鋼管製であって、内部の
ガス流速が最大でも２０m／sec程度になるように、その
径などが選定されている。また前記円柱状部材２３２…
群の上下面には、該円柱状部材２３２…群を保持する５
０メッシュの金網２３３が配置されている。さらに、カ
バー２３１の天板部と円柱状部材２３２…群の上面との
間には間隙が確保されており、また円柱状部材２３２…
群の上面直上には、前記間隙に導入された蒸気がカバー
２３１内の周辺部から短絡して排出されるのを防ぐた
め、カバー２３１の内周縁を周回するようにしてフラン
ジ板２３４が設けられている。さらにまた、この吹き込
みノズル２２５は、そのカバー２３１の上面が回収タン
ク２０内において、貯留される洗浄液の液面から１００
mm程度の深さに位置するように配設されている。

【０１２９】さらに、この吹き込みノズル２２５の周り
には、回収タンク２０内の洗浄液中に導入されて泡沫と
なった前記蒸気を細分するためのフィルター２３５が設
けられている。このフィルター２３５は、例えば１００
メッシュ程度のメッシュの小さな金網２３６を図４０に
示すように多数積層して成るものであり、吹き込みノズ
ル２２５の側部の周囲を取り囲むように配設されてい
る。なお、本実施例ではこのように多数の金網２３６…
を積層してフィルター２３５を形成したが、排気された
蒸気の泡沫が細分可能な網目を備えたものであるなら、
例えばスチールウールをまとめたものや、これに準じた
各種のフィルターを用いることができる。ただし、その
材質は、金属等の熱伝導率の高い材質とされるのが望ま
しい。

【０１３０】前記構成の洗浄装置Ｒでは、前記３方向弁
２２３は洗浄前に洗浄容器２内の空気を排気する場合
や、洗浄後における真空排気初期の、洗浄容器２内の圧
力が高く、多量の雰囲気ガスが排気されるような場合に
は、排気をサイレンサー２２４に導くように設定され
る。一方、洗浄後の真空乾燥の際に洗浄容器２の内圧が
例えば１５Ｔｏｒｒ程度になって、洗浄液の蒸気圧力に
近づいた場合には切り替わり、排気を吹き込み管２２６
に導くように設定されている。そして、この吹き込み管
２２６に導かれた洗浄液の蒸気を含む高温の排気は、吹
き込みノズル２２５から回収タンク２０内に貯留された
洗浄液中に吹き込まれる。この吹き込みノズル２２５
は、前述のように回収タンク２０内の洗浄液中に没する
ように配置されているため、排気が導入されない間は内
部が洗浄液で満たされている。ところが排気が導入され
ると、この排気は直ちに吹き込みノズル２２５内上部の
前記間隙に広がり、次いで図３８に示すような円柱状部
材２３２…どうしがなす１辺約０.７mm程度の三角形断
面の多数の隙間２３７…を通って、吹き込みノズル２２
５の下面から洗浄液中に吹き込まれる。

【０１３１】ここで、前記円柱状部材２３２…はその下
部が洗浄液中に突出しており、かつ熱伝導のよい銅製で
あるから、全体的にその温度は回収タンク２０内の洗浄
液と略等しく保たれているから、前記隙間２３７…を通
る排気はこのような円柱状部材２３２…の表面に接触し
て冷却され、その中に含まれる洗浄液の蒸気の大部分が
洗浄液中に排出される前に液化されることとなる。一
方、吹き込みノズル２２５に送り込まれた排気のうち、
液化しなかった残りの洗浄液の蒸気成分と窒素ガス等の
少量の雰囲気ガスとは、回収タンク２０内の洗浄液中に
排出されて小さな泡沫となる。この泡沫は、吹き込みノ
ズル２２５から排出された後に洗浄液中を上昇し、その
間に熱を放出して前記洗浄液の蒸気成分がさらに液化さ
れた後、吹き込みノズル２２５の周囲に配置されたフィ
ルター２３５に収集されて該フィルター２３５内をさら
に上昇する。このフィルター２３５を上昇するうちに前
記泡沫は、図４１に示すようにフィルター２３５の金網
２３６…の網目により細かな泡沫へと分断されて洗浄液
との接触面積が大幅に増大し、かつこの分断の際に金網
２３６の金属線に接触して効率的に冷却されるため、そ
の中に含まれる洗浄液の蒸気成分は略完全に液化されて
しまう。

【０１３２】なお、吹き込みノズル２２５から導入され
る蒸気には、前述のように洗浄容器２内の雰囲気ガスで
ある窒素ガス等が少量ながら含まれている。そして、こ
のような窒素ガスは冷却されても液化することなく、小
さな泡沫のままフィルター２３５を通って上昇し、吹き
込み配管２２７から吹き込まれて回収タンク２０の上部
に充満する窒素ガス中に排出される。また、真空排気さ
れた蒸気の大半は前述のように洗浄液中で再液化する
が、一部の蒸気圧の高い分子等のガスは前記窒素ガスと
同様、液化せずに排出される。しかるに、こうして回収
タンク２０内上部に排出されたガスは、ガスクーラー２
２８を通ってさらに冷却され、しかる後オイルミストト
ラップ２２９で捕らえられるようになっている。

【０１３３】このように、前記構成の洗浄装置Ｒでは、
真空排気手段３によって排気された洗浄液の蒸気は、循
環手段４の回収タンク２０に貯留される洗浄液中に導入
されて冷却、液化されるため、装置の構成を比較的簡略
化しながらも、真空乾燥時の排気の排出速度に関わりな
く、容易に、かつ経済的に洗浄液の蒸気を復液して確実
に回収することが可能となる。すなわち、真空乾燥時に
排出される洗浄液の蒸気は、その総量についてはある程
度に限られているものの、被洗浄物１の形状、洗浄液の
種別、あるいは温度等によって排出速度については大幅
な差が生じ、この結果単位時間あたりの排出量にも大き
なばらつきを生じるため、単位時間あたりに冷却に必要
とされる熱量を定量化することはきわめて困難となる
が、これに対して本実施例の洗浄装置Ｒでは、排気され
た洗浄液の蒸気を、該蒸気の液化に必要な熱量の総量を
吸収可能な回収タンク２０中の洗浄液に導入して、この
洗浄液のエンタルピーを利用して蒸気を冷却、復液する
ことにより、単位時間あたりの蒸気排出量の変動に関わ
らずこれに対応することが可能となるのである。しか
も、再液化した洗浄液は、回収タンク２０中の洗浄液と
混じり合って即時に回収されることとなる。

【０１３４】また、真空排気手段３に用いられる真空ポ
ンプは容積排出型のポンプであってその実排出量は入口
の圧力に応じて変動し、入り口の圧力が低くなると排出
されるガスの質量も小さくなるため、洗浄液のガス化が
どの圧力で起こるかによっても単位時間あたりの排出量
は異なる。例えば蒸気圧が０.１Ｔｏｒｒである場合
は、排気量を大気圧に換算すると０.１／７６０にな
り、一方、蒸気圧が１０Ｔｏｒｒの場合では、排出され
る洗浄液の蒸気の量の大気圧換算値は１０／７６０とな
って、両者の間には１００倍の差が生じることとなる。
従って、蒸気の復液装置の能力を前者に合わせると、後
者の場合には蒸気の一部を復液回収できなくなり、逆に
後者に合わせて安全側で設備すると、復液装置の容量等
が必要以上に大きくなることが避けられず、きわめて不
経済な設備を要することとなる。しかるに、このような
問題に対しても本実施例の洗浄装置Ｒでは、前述のよう
に単位時間あたりの蒸気排出量に関わらず蒸気の再液化
を行うことができるので、不経済な設備を要することな
く、安定した蒸気の復液、回収を行うことが可能であ
る。

【０１３５】ここで、回収タンク２０に洗浄液の蒸気を
導入して冷却液化した際に、回収タンク２０内の洗浄液
の温度上昇がどの程度となるかを試算する。一般的に、
被洗浄物１の洗浄後に回収タンク２０に回収される洗浄
液の量は洗浄容器２内に残る洗浄液の量の５０〜１００
倍であるが、回収タンク２０内にはこれに加えて元々残
っている洗浄液があるから、これを加えて回収タンク２
０内に貯留される洗浄液の量を洗浄容器２内に残る洗浄
液の量の１００倍とする。また、洗浄液として灯油等の
軟質油か軽油を用いるものとすると、蒸発した洗浄液を
冷却、液化して元の温度にするのにおよそ１１０kcal／
kgの熱の放出が必要であり、洗浄液の比熱がおよそ０.
５kcal／kg℃であることから、回収タンク２０内の洗浄
液の温度は２℃強程しか上昇しないことになる。しかる
に、この程度の温度の上昇は全く問題となることはな
く、従って本実施例によれば前述のように安定した洗浄
液の蒸気の復液を行うことが可能となるのが分かる。な
お、仮にたとえ洗浄容器２内に残って蒸発する洗浄液の
量が前記の量の２倍であったとしても、温度上昇は十分
に許容される範囲であり、問題となることはない。

【０１３６】さらに、前記構成の洗浄装置Ｒでは、真空
排気された蒸気を貯留されている洗浄液中に導入して冷
却する構成であるから、例えば第１参考例の洗浄装置Ａ
の真空排気手段３におけるコールドトラップのような凝
縮器や冷却器、あるいは減縮器等の蒸気の復液装置を必
要とせず、また再液化した洗浄液をさらに冷却するよう
な装置も不要である。また、前記第１参考例の洗浄装置
Ａ等では、真空排気手段３における最下流側の真空ポン
プ１０として油回転真空ポンプが用いられているが、か
かる油回転真空ポンプでは液化した洗浄液が入るのを防
止する必要があるため、復液装置は最下流の真空ポンプ
よりも上流側に配置せざるを得ない。このため、排気さ
れた洗浄液の蒸気は低圧力下で液化されることとなり、
圧力が低い分だけ蒸気容積が大きくとともに液化する温
度が低くなってしまい、結果的に復液に要する装置が大
きくなり、かつ余分なエネルギーを必要とすることとな
るが、本実施例の洗浄装置Ｒでは、真空ポンプとして液
化する性質のあるガスを取扱い可能なものを使用すると
ともに、前述のように元々十分な容量を備えた回収タン
ク２０内で蒸気を冷却、液化するため、このような問題
が生じることもない。

【０１３７】さらにまた、回収タンク２０内に貯留され
る洗浄液の温度は、洗浄効果を高めるためには蒸発した
洗浄液を液化するのに適した温度よりも若干高めになる
ように設定されるのが好ましいが、このような構成を採
った場合には、液化しきれなかった洗浄液の蒸気が大気
中に排出されるのを防ぐために、前述したようなガスク
ーラー２２８や、ミストトラップ２２９あるいは吸着装
置（デミスター）を回収タンク２０に設ける必要があ
る。しかしながら、前記構成の洗浄装置Ｒでは、回収タ
ンク２０に導入された蒸気は、吹き込みノズル２２５に
設けられた円柱状部材２３２…の隙間２３７…から泡沫
状となって貯留された洗浄液中に排出されるため、排出
蒸気量に関わらず冷却効率が高く、液化しきれない蒸気
量をきわめて微量に抑えることができる。例えば、大気
圧状態においては、ポンプの排出能力の０.０１％程度
のごく僅かなものであり、このため前記ガスクーラー２
２８やミストトラップ２２９としては、洗浄液による臭
気の発生防止などのための、きわめて小さなもので十分
となる。このように、前記構成の洗浄装置Ｒによれば、
装置の構造をきわめて簡略化することが可能となるので
ある。

【０１３８】また、本実施例の洗浄装置Ｒでは、洗浄液
の蒸気を回収タンク２０に貯留された洗浄液中に導入す
る吹き込みノズル２２５が、前述のように多数の円柱状
部材２３２…を備えており、前記蒸気はこれらの円柱状
部材２３２…間の隙間２３７…から前記洗浄液中に泡沫
状となって排出される。このため、洗浄液中への吹き込
み時の圧力損失を小さく抑えることができ、例えば一般
的な液中への吹き込みに用いられる小孔ノズル群による
吹き込みなどに比べて、より小さな圧力差でも均一な吹
き込みを行うことが可能となる。また、この円柱状部材
２３２…は金属製であって熱伝導性が高く、すなわち吹
き込みノズル２２５そのものにも冷却能力があるので、
蒸気の排出量等の変動にもいっそう幅広く対応すること
が可能である。この点、例えば一般的な多管式の熱交換
器などでは、ガス量が小さくなると熱伝達率が大幅に小
さくなり、また偏流もあって、却って冷却が阻害される
ことがある。さらに、前記洗浄装置Ｒでは、この吹き込
みノズル２２５の周囲に金網２３６…を積層して成るフ
ィルター２３５が配設されており、これによって泡沫状
に排出された蒸気をより効率的に冷却して速やかな液化
を図ることが可能となる。

【０１３９】次に、図４２は本発明の第２実施例の洗浄
装置Ｓを示すものであって、前記第１実施例の洗浄装置
Ｒに用いた真空排気手段３を、被洗浄物１を浸漬するべ
く洗浄液が貯留される洗浄槽２４１が洗浄容器２に備え
られた洗浄装置に適用し、真空排気された洗浄液の蒸気
をこの洗浄槽２４１に貯留される洗浄液中に導入して冷
却、液化することを特徴とするものである。本第２実施
例の洗浄装置Ｓでは、真空排気手段３を備えた真空乾燥
室２４２と洗浄容器２とが隣接して配置され、真空乾燥
室２４２はその前面部および背面部に入出口を有し、こ
の真空乾燥室２４２の出口が洗浄容器２の入口となる構
成であり、これらの入出口にはそれぞれ、内部を真空に
保持可能な扉２４３，２４４が設けられている。また、
真空乾燥室２４２の入口側には架台等の装入装置２４５
が配置されている。さらに洗浄容器２内には、前記第１
２参考例の洗浄装置Ｌと同様昇降台等を備えたリフター
２４６が配設されており、このリフター２４６の下方
に、被洗浄物１を浸漬するべく洗浄液が貯留される前記
洗浄槽２４１が設けられている。

【０１４０】そして、本実施例では、真空排気手段３の
３方向弁２２３から延びる吹き込み管２２６が前記洗浄
槽２４１にまで達し、この洗浄槽２４１内に貯留される
洗浄液中に吹き込みノズル２２５が配置された構成とな
っている。ここで、この吹き込みノズル２２５は、前記
第１実施例の洗浄装置Ｒと同様の構成を備えており、ま
た図示は略するがその周囲には、多数の網目を備えたフ
ィルター２３５が配設されている。なお、この洗浄装置
Ｓでは、洗浄容器２と真空乾燥室２４２との双方に、窒
素ガス等の不活性ガスの吹き込み配管２２７がそれぞれ
設けられている。

【０１４１】一方、この第２実施例の洗浄装置Ｓには、
洗浄槽２４１に貯留される洗浄液を清浄化すべく蒸留す
るための第１の蒸留手段１４１Ａと第２の蒸留手段１４
１Ｂとが設けられている。第１の蒸留手段１４１Ａは、
洗浄槽２４１から導入管１５４Ａ、流量調節弁２４７
Ａ、および予熱器２４８を介して第１の蒸留器１５１Ａ
に至り、さらに凝縮器１５２Ａ、流量調節弁２４９Ａ、
およびポンプ２１Ｄを介して返送管１５８から再び洗浄
槽２４１に至る循環経路を備えている。また、第２の蒸
留手段１４１Ｂは、第１の蒸留器１５１Ａから導入管１
５４Ｂ、流量調節弁２４７Ｂ、およびポンプ２１Ｅを介
して第２の蒸留器１５１Ｂに至り、さらに凝縮器１５２
Ｂ、流量調節弁２４９Ｂ、およびポンプ２１Ｆを介して
前記返送管１５８から洗浄槽２４１に至る循環経路を備
えている。さらに、この第２の蒸留器１５１Ｂには、排
出管１６２、冷却器２５０、流量調節弁２５１、ポンプ
２１Ｇを介して廃液タンク２５２に至る排出経路が備え
られている。

【０１４２】このような構成の洗浄装置Ｓでは、被洗浄
物１は装入装置２４５上に載置されてまず真空乾燥室２
４２に送られる。次いで、この真空乾燥室２４２内の雰
囲気を窒素ガスに置換した後、被洗浄物１は洗浄容器２
内に送り込まれ、リフター２４６によって洗浄槽２４１
内の洗浄液に浸漬されて洗浄される。洗浄が終了して引
き上げられた被洗浄物１は真空乾燥室２４２に戻され、
ここで真空排気手段３によって付着した洗浄液が気化さ
れて真空乾燥される。この真空乾燥が終了したなら、真
空乾燥室２４２内を窒素ガスで大気圧に復圧してから、
被洗浄物１を装入装置２４５に取り出す。なお、洗浄槽
２４１内に貯留される洗浄液は、６０℃程度の真空乾燥
し易い温度に予熱しておくことが望ましい。そして、真
空乾燥室２４２から真空排気された洗浄液の蒸気は、前
記第１実施例の洗浄装置Ｒと同じく真空ポンプ２２１、
２２２、３方向弁２２４、および吹き込み管２２６を経
て、吹き込みノズル２２５から洗浄液中に導入されて冷
却、液化されるが、本第２実施例の洗浄装置Ｓではこの
吹き出しノズル２２５は前記洗浄容器２の洗浄槽２４１
内に配置されており、排気された洗浄液の蒸気は該洗浄
槽２４１内の洗浄液によって冷却されて液化されること
となる。

【０１４３】このように、本第２実施例の洗浄装置Ｓに
おいても、真空排気された洗浄液の蒸気は被洗浄物１を
洗浄するべく貯留される洗浄液中に導入されることによ
って冷却、液化されるため、前記第１実施例の洗浄装置
Ｒと同様の効果を得ることができる。すなわち、真空乾
燥時の洗浄液の蒸気の排出速度に関わりなく、かつ簡略
な装置構造で経済的に復液、回収を行うことが可能であ
る。ところで前記洗浄装置Ｒでは、前記蒸気を導入した
際の回収タンク２０内に貯留される洗浄液の温度上昇
を、回収タンク２０内に貯留される洗浄液の量を被洗浄
物１に付着して蒸発、回収される洗浄液の量の１００倍
として試算したが、本第２実施例のように被洗浄物１を
洗浄するべく洗浄槽２４１に貯留される洗浄液の量は、
被洗浄物１に付着して蒸発、回収される洗浄液の量より
も比較にならないほど大きい。従って、この被洗浄物１
に付着していた洗浄液が蒸発して再液化する際に必要と
される冷却熱量を洗浄槽２４１内の洗浄液の温度上昇で
まかなうとしても、その上昇値は無視し得る程度に抑え
ることが可能である。

【０１４４】なお、本第２実施例の洗浄装置Ｓでは、洗
浄槽２４１に貯留される洗浄液を清浄化するべく蒸留す
るための第１および第２の蒸留手段１４１Ａ、１４１Ｂ
が設けられているが、以下にこれらの蒸留手段１４１
Ａ、１４１Ｂの作用を説明する。まず、洗浄槽２４１に
貯留される洗浄液は、常時予熱器２４８を経て第１の蒸
留器１５１Ａ内の洗浄液と略同一温度に予熱されてか
ら、この第１の蒸留器１５１Ａに送られている。この第
１の蒸留器１５１Ａは真空蒸留式のもので、常時所定の
蒸留温度および圧力に維持されており、洗浄槽２４１内
の洗浄液はこの蒸留器１５１Ａ内との圧力差によって該
第１の蒸留器１５１Ａに送り込まれる。そして、この第
１の蒸留器１５１Ａにおいて加熱されて蒸発した洗浄液
は凝縮器１５２Ａにおいて再液化され、清浄化されてポ
ンプ２１Ｄによって洗浄槽２４１に送り返される。

【０１４５】一方、第１の蒸留器１５１Ａに残留した残
液はポンプ２１Ｅによって第２の蒸留器１５１Ｂに送ら
れ、ここで再び加熱されて蒸発し、凝縮器１５２Ｂにお
いて再液化されて清浄化された後にポンプ２１Ｆによっ
て返送管１４８から洗浄槽２４１に送り返される。ま
た、この第２の蒸留器１５１Ｂにおいて残留した残液
は、冷却器２５０、ポンプ２１Ｇを経て廃液タンク２５
２に排出される。なお、第２の蒸留器１５１Ｂにおいて
は、第１の蒸留器１５１Ａに比べて蒸留する洗浄液の量
が少なく、かつ汚れ成分の濃度が高いので、蒸留器の大
きさは小さくなる反面、蒸留温度は高くなる。このよう
に、本第２実施例の洗浄装置Ｓによれば、第１および第
２の蒸留手段１４１Ａ、１４１Ｂによって洗浄槽２４１
に貯留されるべき洗浄液をその汚れの度合に応じて複数
の段階で清浄化することにより、被洗浄物１を洗浄する
べく洗浄槽２４１に貯留される洗浄液を清浄に保ちつつ
もその効率的な利用を図り、廃液とされる洗浄液の量を
最小限とすることが可能となる。なお、この第２実施例
の洗浄装置Ｓでは蒸留手段１４１を２段としたが、被洗
浄物１に付着する汚れ成分の蒸気圧が洗浄液の蒸気圧に
近く、両者を蒸留分離し難い場合などには、さらに多段
の蒸留手段を用いようにしてもよい。

【０１４６】次に、図４３ないし図４５は、本発明の第
３実施例の洗浄装置Ｔを示すものである。この洗浄装置
Ｔでは被洗浄物１の洗浄を、洗浄液を洗浄ノズル２２か
ら吹き掛けることによって被洗浄部１に付着した汚れ成
分の大半を除去する予備洗浄と、次いで被洗浄物１を洗
浄液中に浸漬してさらに洗浄する主洗浄と、最後に清浄
度の高い洗浄液を被洗浄物１に吹き掛けることによって
被洗浄物１のさらに清浄にする仕上げ洗浄とにより行う
一方、主洗浄に用いられた洗浄液を清浄化するべく第１
の蒸留手段１４１Ａにより蒸留して仕上げ洗浄に用いる
とともに、予備洗浄に用いられた比較的汚れ濃度の高い
洗浄液と、第１の蒸留手段１４１Ａにより生じた残液と
を第２の蒸留手段１４１Ｂによって蒸留して再び予備洗
浄液として使用することを特徴としている。

【０１４７】図４３は本第３実施例の洗浄装置Ｔの系統
図を示すものであるが、この図に示されるように当該洗
浄装置Ｔは、洗浄容器２に予備洗浄用の洗浄液を循環供
給する予備洗浄手段２６１と、主洗浄用の洗浄液を供給
する主洗浄手段２６２と、仕上げ洗浄用の洗浄液を供給
する仕上げ洗浄手段２６３とを備えており、主洗浄手段
２６２および仕上げ洗浄手段２６３には第１の蒸留手段
１４１Ａが、また予備洗浄手段２６１には第２の蒸留手
段１４１Ｂがそれぞれ設けられている。なお、本実施例
では、洗浄容器２内を負圧とするための真空排気手段３
は、前記第１実施例および第２実施例の洗浄装置Ｒ，Ｓ
と同様、真空排気された洗浄液の蒸気を被洗浄物１を洗
浄すべく保持される洗浄液中に導入可能な構成とされて
いる。

【０１４８】本第３実施例における洗浄容器２は、図４
４に示すように被洗浄物１を浸漬するべく洗浄液（主洗
浄液）が貯留可能な縦型の箱状のものとされるととも
に、その内部上縁には被洗浄物１に洗浄液（予備洗浄液
および仕上げ洗浄液）を吹き掛けるための洗浄ノズル２
２が配設されており、また洗浄容器２の上部には図示し
ないエアシリンダにより水平方向に開閉可能な扉６が設
けられている。さらに、洗浄容器２内の底部には、被洗
浄物１に付着する切屑等を捕集するためのフィルター２
６４が設けられている。なお、洗浄容器２は、このよう
な縦型に限るものではないが、被洗浄物１を主洗浄液に
よって浸漬した際に、万一何らかの異常によって扉６が
開いても洗浄液が漏れるおそれがないことなどから、縦
型が好ましい。

【０１４９】さらに、この洗浄容器２の下部には排出・
導入配管２６５が接続されており、この配管２６５は途
中で２方向に分岐して、一方が予備洗浄手段２６１に接
続されるとともに、他方は主洗浄手段２６２に接続され
る。前記予備洗浄手段２６１には、前記配管２６５から
予備洗浄液の回収タンク２０Ａを介し導入管１５４Ｂを
通って第２の蒸留手段１４１Ｂの蒸留器１５１Ｂに至
り、次いで凝縮器１５２Ｂから予備洗浄液の供給タンク
１４２Ａを経て洗浄液の供給配管２６６から洗浄ノズル
２２に至る予備洗浄液の循環経路が備えられている。一
方、前記主洗浄手段２６２には、前記配管２６５から分
岐して洗浄液（主洗浄液および仕上げ洗浄液）の回収・
供給タンク２０Ｂ内に延びる洗浄液の回収・供給配管２
６７が備えられている。さらに、この回収・供給タンク
２０Ｂには、導入管１１５４Ａを介して第１の蒸留手段
１４１Ａの蒸留器１５１Ａに至り、次いで凝縮器１５２
Ａから仕上げ洗浄液の供給タンク１４２Ｂを経て前記供
給配管２６６に統合されて洗浄ノズル２２に至る仕上げ
洗浄液の循環経路が備えられている。

【０１５０】なお、前記真空排気手段３は前述の通り真
空排気された洗浄液の蒸気を洗浄液中に導入可能な構成
となっているが、この洗浄液の蒸気は吹き込み管２６６
および吹き込みノズル２２５を介して前記洗浄液の回収
・供給タンク２０Ｂ内に貯留される洗浄液中に導入され
るようになっている。また、第１および第２の蒸留手段
１４１Ａ、１４１Ｂの凝縮器１５２Ａ、１５２Ｂも、こ
の回収・供給タンク２０Ｂ内に配置されて、この回収・
供給タンク２０Ｂ内に貯留される洗浄液によって蒸留さ
れた洗浄液の蒸気が冷却されるようになっている。さら
に、前記予備洗浄液および仕上げ洗浄液の供給タンク１
４２Ａ、１４２Ｂには真空ポンプ２６８が配設されて真
空排気手段１６４を構成しており、各供給タンク１４２
Ａ、１４２Ｂおよび凝縮器１５２Ｂ、１５２Ａを介して
蒸留器１５１Ｂ、１５１Ａ内を真空引きすることによ
り、回収タンク２０Ａおよび回収・供給タンク２０Ｂ内
に回収された洗浄液がそれぞれ蒸留器１５１Ｂ、１５１
Ａに導入されるようになっている。さらにまた、各供給
タンク１４２Ａ、１４２Ｂには窒素ガス等の加圧ガス供
給手段１８２が設けられていて、供給タンク１４２Ａ、
１４２Ｂ内に貯留された洗浄液を加圧することにより、
予備洗浄液および仕上げ洗浄液がそれぞれ洗浄容器２に
供給されるようになっている。

【０１５１】これに加えて本第３実施例の洗浄装置Ｔで
は、第１の蒸留手段１４１Ａの蒸留器１５１Ａにおける
残液の排出管１６２Ａが排出弁１６３Ａを介して第２の
蒸留手段１４１Ｂの導入管１５４Ｂに接続されており、
前記第１の蒸留手段１４１Ａの残液を第２の蒸留手段１
４１Ｂによって蒸留可能な構成となっている。さらに、
第１の蒸留手段１４１Ａの導入管１５４Ａと第２の蒸留
手段１４１Ｂの導入管１５４Ｂとは、閉止弁２６８を備
えた接続配管２６９を介して接続されており、これによ
って前記回収・供給タンク２０Ｂ内の洗浄液は導入管１
５４Ｂから第２の蒸留手段１４１Ｂに導入可能とされて
いる。また、第２の蒸留手段１４１Ｂの蒸留器１５１Ｂ
における残液は、排出管１６２Ｂを経て廃液タンク２５
２に回収される。なお、符号２７０Ａ、２７０Ｂで示す
のは、予備洗浄液および仕上げ洗浄液の供給タンク１４
２Ａ、１４２Ｂから供給配管２６６に至る途中にそれぞ
れ設けられる電磁弁である。

【０１５２】次に、このような構成の洗浄装置Ｔによっ
て被洗浄物１を洗浄する場合について、図４５をまじえ
て説明する。本第３実施例の洗浄装置Ｔにおいては、被
洗浄物１はバスケット７に入れられるなどして図示しな
い装入装置により洗浄容器２内に収納される。ここで洗
浄開始前は、図４５（ニ）に示すように予備洗浄液の供
給タンク１４２Ａは蒸留された洗浄液で略満たされ、ま
た供給タンク１４２Ｂはその１／３程度が蒸留された洗
浄液で満たされている。そして、電磁弁２７０Ａおよび
閉止弁２６Ａを開くとともに閉止弁２６Ｂを閉じ、加圧
ガス供給手段１８２によって供給タンク１４２Ａ内の洗
浄液のみを加圧することにより、図４５（イ）に示すよ
うに予備洗浄液を供給配管２６６から洗浄ノズル２２に
供給して洗浄容器２内の被洗浄物１に吹き掛け、予備洗
浄を施す。なお、予備洗浄終了後の洗浄液は、除去され
た切屑等の付着物がフィルター２６４により捕集され
て、排出・導入配管２６５から予備洗浄液の回収タンク
２０Ａに回収される。

【０１５３】次いで、回収・供給タンク２０Ｂから洗浄
容器２に洗浄液を供給して被洗浄物１を浸漬することに
より主洗浄を行うが、本実施例ではこの回収・供給タン
ク２０Ｂからの洗浄液の供給を、排出・導入配管２６５
を通して洗浄容器２に洗浄液を吸い上げることによって
行う。すなわち、予備洗浄が終了して洗浄液が回収タン
ク２０Ａに回収されたなら閉止弁２６Ａを閉じ、次いで
真空排気手段３によって洗浄容器２内を負圧とする。し
かる後、閉止弁２６Ｂを開くことにより、図４５（ロ）
に示すように、回収・供給タンク２０Ｂ内に貯留された
洗浄液を回収・供給配管２６７および排出・導入配管２
６５を通して洗浄容器２内に吸い込み、被洗浄物１を浸
漬するのである。こうして、主洗浄が終了した後の洗浄
液は、再び排出・導入配管２６５および回収・供給配管
２６７を通って回収・供給タンク２０Ｂに回収される。
なお、この主洗浄における洗浄効果を向上させるため
に、被洗浄物１を洗浄容器２内で揺動しつつ主洗浄を行
うようにしてもよい。また、同様の効果を得るために、
洗浄液を回収・供給タンク２０Ｂに回収し、再び洗浄容
器２内に吸い込むという操作を繰り返し、洗浄容器２内
の洗浄液の液面を昇降させるようにしてもよい。

【０１５４】このように主洗浄が終了して洗浄液が回収
・供給タンク２０Ｂに回収されたなら、閉止弁２６Ａを
閉じ、かつ閉止弁２６Ｂは開いた状態のまま、仕上げ洗
浄液の供給タンク１４２Ｂのみに加圧ガス供給手段１８
２から加圧ガスを供給することにより、図４５（ハ）に
示すように供給配管２６６を通して洗浄ノズル２２から
仕上げ洗浄液を被洗浄物１に吹き掛けて仕上げ洗浄を行
う。なお仕上げ洗浄が終了した後の洗浄液は、排出・導
入配管２６５および回収・供給配管２６７を通って回収
・供給タンク２０Ｂに回収され、前記主洗浄が終了した
後の洗浄液に混同される。被洗浄物１の洗浄が終了した
なら、閉止弁２６Ｂも閉じ、真空排気手段３によって洗
浄容器２内を真空排気して、被洗浄物１に付着した洗浄
液（仕上げ洗浄液）を蒸発させて被洗浄物１を真空乾燥
する。なお、排気された洗浄液の蒸気は、吹き込み管２
２６を通って吹き込みノズル２２５から回収・供給タン
ク２０Ｂ内に貯留される洗浄液中に導入され、冷却、液
化される。

【０１５５】一方、前記回収・供給タンク２０Ｂに回収
された洗浄後の主洗浄液および仕上げ洗浄液は、第１の
蒸留手段１４１Ａによって蒸留されて清浄化された後、
仕上げ洗浄液として供給タンク１４２Ｂに送られる。な
お、本第３実施例の洗浄装置Ｔでは、後述する第２の蒸
留手段１４１Ｂによる蒸留も含めて、蒸留作業は回分式
（バッチ式）単蒸留により行われる。この第１の蒸留手
段１４１Ａによる蒸留の前には、第１の蒸留器１５１Ａ
内は洗浄液が残っていない状態となっている。そこで、
この状態から真空排気手段１６４により仕上げ洗浄液の
供給タンク１４２Ｂおよび凝縮器１５２Ａを介して第１
の蒸留器１５１Ａ内を真空引きするとともに、導入管１
５４Ａの閉止弁１５５Ａを開いて回収・供給タンク２０
Ｂ内の洗浄液を蒸留器１５１Ａ内に導入する。そして、
この蒸留器１５１Ａ内で洗浄液が所定の液面レベルに達
したなら、これを図示しない液面計によって検知してそ
の検知信号により閉止弁１５５Ａを閉じ、さらに所定の
圧力（例えば３０Ｔｏｒｒ）に到達したならその圧力で
圧力制御する。なお、本実施例ではＯＮ−ＯＦＦ制御が
採用されている。

【０１５６】蒸留器１５１Ａ内に所定量の洗浄液が貯留
されたなら、この蒸留器１５１Ａの底部に配置された図
示されない電気加熱装置により蒸留を行う。なお、この
加熱は蒸気加熱によって行うようにしてもよい。前述の
ように圧力を制御しながら洗浄液を加熱してゆくと、洗
浄液の沸点および洗浄液中の汚れ成分の濃度により決定
される特定の温度（例えば９０℃）で蒸留が始まる。そ
して、これにより蒸発した洗浄液の蒸気は凝縮器１５２
Ａによって冷却されて再液化され、仕上げ洗浄液の供給
タンク１４２Ｂに貯留される。なお、前記真空排気手段
１６４による蒸留器１５１Ａ内の真空引きは、この供給
タンク１４２Ｂを介して行われるため、供給タンク１４
２Ｂ内の圧力は蒸留器１５１Ａ内の圧力と略同一となっ
ている。

【０１５７】こうして蒸留が進行し、蒸留器１５１Ａ内
に貯留された洗浄液が所定の量にまで減少して洗浄液の
液面が所定の液面レベルにまで低下すると、これを図示
しない他の液面計によって検知して、その検知信号によ
り蒸留を停止する。ここで本実施例では、蒸留器１５１
Ａ内に最初に貯留された洗浄液の量の９０％が蒸留され
たところで蒸留が停止されるようになっているが、この
蒸留の比率は蒸留された洗浄液に要求される純度によっ
て決定され、より高い純度が必要とされる場合には、前
記比率は低く抑えられるのが望ましい。蒸留が終了する
と、加熱を停止し、次いで蒸留器１５１Ａ内に大気圧と
なるまで窒素ガスを導入する。なお、蒸留器１５１Ａ内
に残留した蒸留後の残液は、後述するように蒸留器１５
１Ａの排出管１５２Ａの排出弁１６３Ａを開くことによ
り、第２の蒸留手段１４１Ｂの蒸留器１５１Ｂに導入さ
れる。

【０１５８】一方、第２の蒸留手段１４１Ｂの蒸留器１
５１Ｂは、構成は第１の蒸留手段１４１Ａの蒸留器１５
１Ａと略同一であるが、容量等の蒸留能力はおよそ半分
程度とされている。これは、予備洗浄に用いられる洗浄
液の量は、予備洗浄ができなくなったり洗浄後の予備洗
浄液の濃度が著しく高くならない限りは、できるだけ少
ない方が望ましいからである。この蒸留器１５１Ｂへの
洗浄液の導入も、前記真空排気手段１６４により供給タ
ンク１４２Ａおよび凝縮器１５２Ｂを介して蒸留器１５
１Ｂ内を真空引きすることにより行われる。すなわち、
この真空引きと同時に第２の蒸留手段１４１Ｂの導入管
１５４Ｂの閉止弁１５５Ｂを開き、回収タンク２０Ａ内
に貯留された洗浄後の予備洗浄液を吸引し、蒸留器１５
１Ｂに導入する。なお、この蒸留器１５１Ｂにも所定の
液面レベルに合わせて図示しない液面計が設置されてい
る。また前記回収タンク２０Ａにも、内部に貯留される
洗浄液の液面が最低となったことを検知する液面計が設
置されていて、この回収タンク２０Ａの液面計からの信
号によって前記閉止弁１５５Ｂが閉じて、回収タンク２
０Ａからの洗浄液の導入が停止するように設定されてい
る。

【０１５９】ところで、予備洗浄において洗浄液は被洗
浄物１や洗浄容器２の内壁などに付着してしまうため、
回収タンク２０Ａに回収される予備洗浄液の量は、洗浄
容器２に供給される供給される量に対して減少すること
となる。この付着した洗浄液は主洗浄において主洗浄液
とともに回収・供給タンク２０Ｂに回収されるが、この
減少分だけ、予備洗浄液として循環する洗浄液に不足が
生じることとなる。そこで、前記回収タンク２０Ａから
の洗浄液の導入が終了した状態で、蒸留器１５１Ｂの液
面計により所定の液面レベルにまで洗浄液が貯留されて
いないことが検知されたなら、閉止弁２６８を開いて前
記回収・供給タンク２０Ｂから接続配管２６９を通して
蒸留器１５１Ｂに洗浄液を導入し、不足分を補う。ただ
し、この蒸留器１５１Ｂの液面レベルは、後述する第１
の蒸留手段１４１Ａからの残液の量を考慮したものとな
っている。蒸留器１５１Ｂ内の洗浄液が液面レベルに達
したなら閉止弁２６８を閉じ、しかる後第１の蒸留手段
１４１Ａの蒸留器１５１Ａと同様、圧力制御して加熱を
行う。この加熱の段階において第１の蒸留手段１４１Ａ
における蒸留が終了して排出弁１６３Ａが開かれ、両蒸
留器１５１Ａと１４１Ｂとの間の圧力差により蒸留器１
５１Ａの残液が蒸留器１５１Ｂに導入される。

【０１６０】この第２の蒸留手段によって清浄化された
洗浄液は、凝縮器１５２Ｂによって再液化された後に供
給タンク１４２Ａに貯留され、再び予備洗浄液として使
用される。この蒸留は、蒸留器１５１Ｂに導入された洗
浄液の９５％程度が蒸留されたところで終了し、残った
残液は該蒸留器１５１Ｂ内に窒素ガスを吹き込むことに
より排出管１６２Ｂから廃液タンク２５２に排出され
る。なお本実施例では、この第２の蒸留手段１４１Ｂに
おける蒸留の比率は、前述した第１の蒸留手段１４１Ａ
における比率よりも高く設定されているが、これは予備
洗浄液として用いるには他の主洗浄液や仕上げ洗浄液ほ
どの純度は必ずしも要求されないことや、廃液タンク２
５２に排出される残液の量を少なくして洗浄液の利用効
率を高めること、あるいは蒸留器１５１Ｂの蒸留能力を
小さくして設備の簡略化を図ることなどの理由による。

【０１６１】このように前記構成の洗浄装置Ｔによれ
ば、予備洗浄によって被洗浄物１に付着する汚れ成分の
大半を除去した後、被洗浄物１を洗浄液に浸漬する主洗
浄を施し、さらに清浄な洗浄液によって仕上げ洗浄を行
うことにより、きわめて高い清浄度に被洗浄物１を洗浄
することが可能となる。また、洗浄が終了した後の仕上
げ洗浄液を主洗浄液として使用するとともに、この主洗
浄液を蒸留して仕上げ洗浄液として使用することによ
り、きわめて効率的かつ経済的な洗浄液の利用を図るこ
とができる一方、汚れ成分濃度が高くなりがちな予備洗
浄液は単独で蒸留、再利用することにより、主洗浄液や
仕上げ洗浄液の純度が低下するのを防いで高い洗浄効果
を維持することが可能である。さらに、本実施例では第
１および第２の蒸留手段１４１Ａ、１４１Ｂが回分式の
蒸留手段を採っているから、蒸留器１５１Ａ、１５１Ｂ
内に残留する残液の汚れ成分濃度が著しく高くなるのを
防ぐことができ、これによって循環する洗浄液の平均汚
れ成分濃度を低く抑えて洗浄効率の劣化を防止すること
が可能である。また、回分式蒸留を採ることによって洗
浄液の循環を圧力差によって行うことができ、設備の単
純化を図ることができるという利点も得られる。

【０１６２】次に図４６および図４７は、本発明の第４
実施例の洗浄装置Ｕを示すものであり、洗浄容器２が、
洗浄ノズル２２を備えた第１の洗浄容器２Ａと、洗浄槽
２４１を備えた第２の洗浄容器２Ｂとから構成され、第
１の洗浄容器２Ａにおいて予備洗浄および仕上げ洗浄を
行うとともに、第２の洗浄容器２Ｂにおいて主洗浄を行
うようにしたことを特徴とするものである。すなわち、
本実施例における洗浄容器２は、図４２に示した第２実
施例の洗浄装置Ｓと同様、真空排気手段３を備えて真空
乾燥室を兼ねる第１の洗浄容器２Ａ（第２実施例では真
空乾燥室２４２）と第２の洗浄容器２Ｂとが隣接して配
置され、第１の洗浄容器２Ａはその前面部および背面部
に入出口を有し、この第１の洗浄容器２Ａの出口が第２
の洗浄容器２Ｂの入口となる構成とされている。また、
第１の洗浄容器２Ａの入口側には架台等の装入装置２４
５が配置されており、一方第２の洗浄容器２Ｂ内には上
下動自在にリフター２４６が配設されていて、このリフ
ター２４６の下方に、被洗浄物１を浸漬するべく洗浄液
が貯留される前記洗浄槽２４１が設けられている。

【０１６３】そして、前記第１の洗浄容器２Ａ内上部に
は、洗浄液（予備洗浄液および仕上げ洗浄液）を被洗浄
物１に吹き掛けるための洗浄ノズル２２が配設され、ま
たこの第１の洗浄容器２Ａの底部には、洗浄後の予備洗
浄液を回収するための回収管２４Ｂが設けられて、予備
洗浄液の回収タンク２０Ａに接続されている。一方、第
２の洗浄容器２Ｂの洗浄槽２４１には、循環ポンプ２１
およびフィルター２７備えた導入管１５４Ａが設けられ
て洗浄槽２４１内の主洗浄液を循環させるとともに、そ
の一部を第１の蒸留手段１４１Ａに供給して清浄化し、
仕上げ洗浄液の供給タンク１４２Ｂに貯留するようにな
されている。また、第２の蒸留手段１４１Ｂは前記第３
実施例と同様、回収タンク２０Ａから導入された洗浄後
の予備洗浄液と第１の蒸留手段１４１Ａの蒸留器１５１
Ａの残液とを清浄化して、予備洗浄液の供給タンク１４
２Ａに貯留するようになされている。

【０１６４】このような構成の洗浄装置Ｕでは、まず図
４７（ニ）の待機状態から装入装置２４５によって第１
の洗浄容器２Ａに被洗浄物１を装入し、次いで図４７
（イ）に示すように予備洗浄液の供給タンク１４２Ａか
ら洗浄ノズル２２に洗浄液を供給して被洗浄物１に吹き
掛け、予備洗浄を行う。この予備洗浄終了後の洗浄液は
回収管２４Ｂから回収タンク２０Ａに回収される。次に
被洗浄物１を第２の洗浄容器２Ｂに移し、リフター２４
６により降下させて、図４７（ロ）に示すように洗浄槽
２４１内に貯留された主洗浄液に浸漬することによって
主洗浄を行う。さらに、こうして主洗浄が終了した被洗
浄物を再び第１の洗浄容器２Ａに戻し、図４７（ハ）に
示すように供給タンク１４２Ｂから洗浄ノズル２２に仕
上げ洗浄液を供給して仕上げ洗浄を行い、しかる後この
第１の洗浄容器２Ａ内を真空排気手段３により真空排気
して被洗浄物１を真空乾燥させ、洗浄が終了する。な
お、仕上げ洗浄が終了した後の洗浄液は、第１の洗浄容
器２Ａから第２の洗浄容器２Ｂへと流下して洗浄槽２４
１内に回収される。また、真空排気された洗浄液の蒸気
は、吹き込み管２２６を通って吹き込みノズル２２５か
ら洗浄槽２４１内に導入されて再液化される。

【０１６５】このように本第４実施例の洗浄装置Ｕにお
いても、予備洗浄によって被洗浄物１に付着する汚れ成
分の大半を除去した後、主洗浄によって被洗浄物１を洗
浄液に浸漬し、さらに清浄な仕上げ洗浄液によって仕上
げ洗浄を施すことにより、きわめて高い清浄度に被洗浄
物１を洗浄することができる。また、洗浄終了後の仕上
げ洗浄液は第２の洗浄容器２Ｂの洗浄槽２４１に回収さ
れて主洗浄に供され、かつ主洗浄液は第１の蒸留手段１
４１Ａによって清浄化されて仕上げ洗浄液として使用さ
れるので、洗浄液の効率的な利用を図れるとともに、汚
れ成分濃度の高い予備洗浄液はこれとは独立して循環、
蒸留されるため、主洗浄液および仕上げ洗浄液の純度を
維持することができる。さらに、本第４実施例において
は、予備洗浄を行う第１の洗浄容器２Ａと主洗浄を行う
第２の洗浄容器２Ｂとが分かれているので、予備洗浄後
に第１の洗浄容器２Ａの内壁に付着した汚れ成分濃度の
高い洗浄液が第２の洗浄容器２Ｂの洗浄槽２４１に混入
するのを防ぐことができ、洗浄槽２４１に貯留される仕
上げ洗浄液を常に清浄に保つことができるという利点が
得られる。

【０１６６】次に図４８は、本発明の第５実施例の洗浄
装置Ｖを示すものであり、前記第３実施例の洗浄装置Ｔ
が洗浄液の蒸留を回分式単蒸留により行っていたのに対
し、これを連続式蒸留によって行うことを特徴としてい
る。すなわち本第５実施例では、回収・供給タンク２０
Ｂの洗浄液を清浄化する第１の蒸留手段１４１Ａの蒸留
器１５１Ａに残留した残液は、前記第３実施例の洗浄装
置Ｔのように第２の蒸留手段１４１Ｂの蒸留器１５１Ｂ
に導入されることはなく、凝縮器１５２Ｃを経て予備洗
浄液の供給タンク１４２Ａに給送されるようになされて
いる。また、蒸留が連続的に行われるために、各凝縮器
１５２Ａ〜Ｃから供給タンク１４２Ａまたは１４２Ｂに
向かう管路には、それぞれポンプ２７１Ａ〜Ｃおよび逆
止弁２７２Ａ〜Ｃが設けられている。さらに各供給タン
ク１４２Ａ，１４２Ｂには、オーバーフローする洗浄液
を回収・供給タンク２０Ｂに導入するオーバーフロー管
２７３が設けられている。

【０１６７】このような構成の洗浄装置Ｖにおいても、
被洗浄物１は前記第３実施例の洗浄装置Ｔと同様に予備
洗浄、主洗浄、および仕上げ洗浄が施されることによ
り、高い清浄度に洗浄される。なお、この第５実施例の
洗浄装置Ｖにおいて第１の蒸留手段１４１Ａの残液を、
第２の蒸留手段１４１Ｂによって蒸留せずに予備洗浄液
の供給タンク１４２Ａに直接的に給送しているのは、こ
れを第２の蒸留手段１４１Ｂに給送して洗浄後の予備洗
浄液とともに蒸留しようとすると、蒸留方法が連続式で
あるために第２の蒸留手段１４１Ｂの蒸留能力を大きく
しなければならないからである。

【０１６８】以上で本発明の実施例を説明してきたが、
本発明は前記各実施例に限定されるものではなく、それ
ら各実施例や、これらと参考例の洗浄装置Ａ〜Ｑとを適
宜組み合わせるようにしても良い。例えば、第２参考例
の洗浄装置Ｂにおいて循環ポンプ２１の入側に設けた冷
却器２８は、洗浄液の循環にポンプを用いる他の実施例
のポンプの入側にも設置することが良く、第３参考例の
洗浄装置Ｃにおいて設けた冷却循環手段３０は、第３な
いし第５実施例の洗浄装置Ｔ，Ｕ，Ｖの仕上げ洗浄手段
２６３等にも付加することができる。さらに、例えば第
１および第２実施例の洗浄装置Ｒ，Ｓに設けた真空排気
手段３は、参考例の真空排気手段３に適用するようにし
てもよい。

【０１６９】また、前記各実施例では洗浄液として灯油
を用いるようにしたが、環境を汚染するおそれがなく、
取り扱いが容易なものであれば、被洗浄物の種類やその
汚れ成分に応じて例えば軽油等の他、洗浄剤として精製
された石油系の溶剤や、場合によっては単なる水を用い
ることでも良い。そして、使用する洗浄液に応じてその
加熱温度や真空乾燥時における洗浄容器内の真空度を最
適に設定すれば良いことはいうまでもない。

【０１７０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
の洗浄方法によれば、洗浄容器に収納された被洗浄物を
洗浄液により洗浄した後、洗浄容器内を負圧とすること
により被洗浄物表面に付着している洗浄液を蒸発させて
除去して被洗浄物を真空乾燥させるから、洗浄液として
環境を汚染するおそれのある溶剤を用いずとも優れた洗
浄効果を奏することができる。また、請求項２の洗浄方
法では、まず洗浄容器内を負圧として予備脱脂した後に
洗浄を行うことにより、洗浄が効率よく行えて洗浄時間
が短縮できるとともに、洗浄液が汚れないため長時間に
わたって使用できる。さらに、請求項３の洗浄方法によ
れば、被洗浄物を加熱した後に予備脱脂を行うため、予
備脱脂が容易に行えて効率的な洗浄ができる。

【０１７１】

【０１７２】また請求項４の洗浄方法では、予備洗浄に
よって汚れ成分の大半を除去した後に主洗浄を施し、さ
らに清浄度の高い洗浄液により仕上げ洗浄を行うもので
あるから、きわめて清浄に被洗浄物を洗浄することがで
きる。そして、これら請求項１〜４の洗浄方法によれ
ば、真空排気の際の洗浄液の蒸気の排出速度に関わら
ず、簡略な装置構造で経済的に蒸気の復液、回収を行う
ことが可能である。

【０１７３】一方、請求項５の洗浄装置によれば、前記
請求項１または２の洗浄方法を効率的に実施でき、容易
に洗浄を行うことができる。また、この洗浄装置は、被
洗浄物の汚れが少ない場合には予備脱脂を行わずに洗浄
液による洗浄から始める装置として好ましく、従ってケ
ースバイケースでの洗浄を行う装置として好ましい。ま
た請求項６の洗浄装置によれば、前記請求項３の洗浄方
法を効率的に実施でき、容易に洗浄を行うことができ
る。

【０１７４】また請求項７の洗浄装置では、各室毎に洗
浄を行う機能が分かれており、前記請求項３の洗浄方法
をさらに効率的に実施することができる。

【０１７５】

【０１７６】

【０１７７】

【０１７８】さらに請求項８の洗浄装置では、各室毎に
洗浄を行う機能が分けられ、洗浄容器で被洗浄物を浸漬
して洗浄できるので、請求項３の洗浄方法をさらに効率
的に実施できるとともに、洗浄液の循環手段を必要とし
ない。

【０１７９】そして、これら請求項５〜８の洗浄装置で
は、排気中の洗浄液の蒸気を吹き込みノズルによって洗
浄液中に導入することにより、本発明の洗浄方法を容易
に実施して、蒸気の排出速度に関わらずその冷却液化を
行うことができる。ここで、請求項９の洗浄装置によれ
ば、洗浄液の蒸気の液化を効率的に促進することがで
き、さらに請求項１０の洗浄装置によれば、前記吹き込
みノズルから排出される蒸気の泡沫に含まれた洗浄液成
分をも、効率よく冷却液化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる第１参考例の洗浄装置Ａの系統
図である。

【図２】同装置Ａの正面図である。

【図３】同装置Ａの側面図である。

【図４】同装置Ａにおける洗浄容器２の側断面図であ
る。

【図５】本発明に係わる第２参考例の洗浄装置Ｂの系統
図である。

【図６】本発明に係わる第３参考例の洗浄装置Ｃの系統
図である。

【図７】本発明に係わる第４参考例の洗浄装置Ｄの系統
図である。

【図８】同装置Ｄにおける洗浄容器４０の平断面図であ
る。

【図９】同洗浄容器４０の他の例を示す平断面図であ
る。

【図１０】本発明に係わる第５参考例の洗浄装置Ｅの系
統図である。

【図１１】本発明に係わる第６参考例の洗浄装置Ｆの系
統図である。

【図１２】本発明に係わる第７参考例の洗浄装置Ｇの系
統図である。

【図１３】本発明に係わる第８参考例の洗浄装置Ｈの系
統図である。

【図１４】本発明に係わる第９参考例の洗浄装置Ｉの系
統図である。

【図１５】同装置Ｉの正断面図である。

【図１６】同装置Ｉの側面図である。

【図１７】同装置Ｉにおける洗浄容器２の側断面図であ
る。

【図１８】同装置Ｉにおける洗浄容器２のコールドパネ
ル９２および隔壁９１部分の側断面図である。

【図１９】本発明に係わる第１０参考例の洗浄装置Ｊの
側断面図である。

【図２０】同装置Ｊの正断面図である。

【図２１】同装置Ｊの系統図である。

【図２２】本発明に係わる第１１参考例の洗浄装置Ｋの
側断面図である。

【図２３】同装置Ｋの系統図である。

【図２４】本発明に係わる第１２参考例の洗浄装置Ｌの
側断面図である。

【図２５】本発明に係わる第１３参考例の洗浄装置Ｍの
系統図である。

【図２６】本発明に係わる第１４参考例の洗浄装置Ｎに
おける洗浄容器２の側断面図である。

【図２７】同装置Ｎにおける洗浄容器２の正断面図であ
る。

【図２８】同装置Ｎの系統図である。

【図２９】第１４参考例に係わる洗浄液の蒸気圧と温度
の関係を示すグラフである。

【図３０】本発明に係わる第１５参考例の洗浄装置Ｏの
系統図である。

【図３１】同装置Ｏにおいて洗浄液タンク１８１の底面
が洗浄容器２の底面２ａより高い場合の模式図である。

【図３２】本発明に係わる第１６参考例の洗浄装置Ｐに
おいて、洗浄液が洗浄容器２に圧送された状態の系統図
である。

【図３３】同装置Ｐにおいて、洗浄液が加圧シリンダ装
置２０１内に回収された状態の系統図である。

【図３４】本発明に係わる第１７参考例の洗浄装置Ｑの
系統図である。

【図３５】本発明の第１実施例の洗浄装置Ｒの系統図で
ある。

【図３６】同装置Ｒにおける吹き込みノズル２２５を示
す斜視図である。

【図３７】図３６におけるＸ断面図である。

【図３８】図３７におけるＹ断面図である。

【図３９】同装置Ｒにおけるフィルター２３５を示す一
部破断斜視図である。

【図４０】図３９に示すフィルター２３５の拡大図であ
る。

【図４１】図３９に示すフィルター２３５を泡沫が上昇
する状態を示す図である。

【図４２】本発明の第２実施例の洗浄装置Ｓの系統図で
ある。

【図４３】本発明の第３実施例の洗浄装置Ｔの系統図で
ある。

【図４４】同装置Ｔの洗浄容器２の（イ）正断面図、
（ロ）側断面図である。

【図４５】同装置Ｔによる洗浄工程をしめす模式図であ
る。

【図４６】本発明の第４実施例の洗浄装置Ｕの系統図で
ある。

【図４７】同装置Ｕによる洗浄工程を示す模式図であ
る。

【図４８】本発明の第５実施例の洗浄装置Ｖの系統図で
ある。

【符号の説明】

Ａ〜Ｖ 洗浄装置 １ 被洗浄物 ２，４０ 洗浄容器 ３，１６４ 真空排気手段 ４ 循環手段 １０，７１，７２，１６５，２２１，２２２ 真空ポン
プ ２０ 回収タンク ２１ 循環ポンプ ２２ 洗浄ノズル ２３ 加熱器 ２８，３３，１７６，２５０ 冷却器 ３０ 冷却循環手段 ４１ 攪拌ノズル ５０ 貯液装置 ６３ 残留液回収手段 ７３ コンデンサー ８１ 真空計（負圧検知手段） ９１ 隔壁 ９２ コールドパネル １０１ 加熱室 １０７ ハースローラ １２１，１２２，２４２ 真空乾燥室 １３１，２４１ 洗浄槽 １４１ 蒸留手段 １５１ 蒸留器 １７１ 不活性ガス導入手段 １８２ 加圧ガス供給手段 ２０１ 加圧シリンダー装置 ２２５ 吹き込みノズル ２３５ フィルター ２４６ リフター ２６１ 予備洗浄手段 ２６２ 主洗浄手段 ２６３ 仕上げ洗浄手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平4−242325 (32)優先日 平成４年９月10日(1992．9．10) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平4−250183 (32)優先日 平成４年９月18日(1992．9．18) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平4−279366 (32)優先日 平成４年９月24日(1992．9．24) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平4−258633 (32)優先日 平成４年９月28日(1992．9．28) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平4−289133 (32)優先日 平成４年10月27日(1992．10．27) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (72)発明者 天野 孝一 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川 島播磨重工業株式会社 東二テクニカル センター内 (56)参考文献 特開 平２−203978（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−171481（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−296881（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−128478（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−66623（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−110887（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−114091（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−113163（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−103062（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−1766（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B08B 3/00

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄容器に収納された被洗浄物を洗浄液
   により洗浄した後、前記洗浄容器内を負圧とすることに
   より被洗浄物表面に付着している洗浄液を蒸発させて除
   去して前記被洗浄物を真空乾燥させる洗浄方法であっ
   て、 前記被洗浄物を真空乾燥させることにより蒸発して除去
   された洗浄液の蒸気を、被洗浄物を洗浄するために保持
   された洗浄液中に導入して冷却することにより大気圧に
   て復液させる ことを特徴とする洗浄方法。
2. 【請求項２】 被洗浄物が収納された洗浄容器内を負圧
   とすることにより、被洗浄物表面に付着している汚れ成
   分を蒸発させて除去し、その後に前記被洗浄物を洗浄液
   により洗浄し、さらに前記洗浄容器内を負圧とすること
   により被洗浄物表面に付着している洗浄液を蒸発させて
   除去して前記被洗浄物を真空乾燥する洗浄方法であっ
   て、 前記被洗浄物を真空乾燥させることにより蒸発して除去
   された洗浄液の蒸気を、被洗浄物を洗浄するために保持
   された洗浄液中に導入して冷却することにより大気圧に
   て復液させる ことを特徴とする洗浄方法。
3. 【請求項３】 被洗浄物を加熱した後、被洗浄物が収納
   された洗浄容器内を負圧とすることにより、被洗浄物表
   面に付着している汚れ成分を蒸発させて除去し、その
   後、前記被洗浄物を洗浄液により洗浄し、さらに、前記
   容器内を負圧とすることにより被洗浄物表面に付着して
   いる洗浄液を蒸発させて除去して被洗浄物を真空乾燥さ
   せる洗浄方法であって、 前記被洗浄物を真空乾燥させることにより蒸発して除去
   された洗浄液の蒸気を、被洗浄物を洗浄するために保持
   された洗浄液中に導入して冷却することにより大気圧に
   て復液させる ことを特徴とする洗浄方法。
4. 【請求項４】 洗浄容器内に収納された被洗浄物に予備
   洗浄液を吹き掛けることによって予備洗浄を行い、次い
   で前記被洗浄物を主洗浄液に浸漬することによって主洗
   浄を行い、さらに前記被洗浄物に仕上げ洗浄液を吹き掛
   けることによって仕上げ洗浄を行った後に、前記洗浄容
   器内を負圧とすることにより被洗浄物表面に付着してい
   る洗浄液を蒸発させて除去して被洗浄物を真空乾燥させ
   る洗浄方法であって、 前記被洗浄物を真空乾燥させることにより蒸発して除去
   された洗浄液の蒸気を、被洗浄物を洗浄するために保持
   された洗浄液中に導入して冷却することにより大気圧に
   て復液させる ことを特徴とする洗浄方法。
5. 【請求項５】 被洗浄物が収納されるとともに内部を真
   空に保持可能な洗浄容器と、その洗浄容器内を負圧とす
   るための真空排気手段と、洗浄液を前記洗浄容器に供給
   するとともにその洗浄液を洗浄容器から回収して再び供
   給する洗浄液の循環手段とを具備してなる洗浄装置であ
   って、 前記真空排気手段には、前記洗浄容器内を洗浄液を気化
   させるに十分な低圧力に維持し得る少なくとも一の真空
   ポンプと、その真空ポンプの下流側に設置されて、その
   排気中に含まれる洗浄液の蒸気を、前記被洗浄物を洗浄
   すべく保持される洗浄液中に導入して冷却液化するため
   の吹き込みノズルとが備えられている ことを特徴とする
   洗浄装置。
6. 【請求項６】 被洗浄物が収納されるとともに加熱され
   る加熱室と、被洗浄物が収納されるとともに内部を真空
   に保持可能な洗浄容器と、その洗浄容器内を負圧とする
   ための真空排気手段と、洗浄液を前記洗浄容器に供給す
   るとともにその洗浄液を洗浄容器から回収して再び供給
   する洗浄液の循環手段とを具備してなる洗浄装置であっ
   て、 前記真空排気手段には、前記洗浄容器内を洗浄液を気化
   させるに十分な低圧力に維持し得る少なくとも一の真空
   ポンプと、その真空ポンプの下流側に設置されて、その
   排気中に含まれる洗浄液の蒸気を、前記被洗浄物を洗浄
   すべく保持される洗浄液中に導入して冷却液化するため
   の吹き込みノズルとが備えられている ことを特徴とする
   洗浄装置。
7. 【請求項７】 被洗浄物が収納されるとともに加熱され
   る加熱室と、 前記被洗浄物が収納されるとともに内部を真空に保持可
   能な第一真空乾燥室と、前記第一真空乾燥室内を負圧と
   するための真空排気手段と、 前記被洗浄物が収納されるとともに洗浄される洗浄容器
   と、 洗浄液を前記洗浄容器に供給するとともにその洗浄液を
   洗浄容器から回収して再び供給する洗浄液の循環手段
   と、 前記被洗浄物が収納されるとともに内部を真空に保持可
   能な第二真空乾燥室と、前記第二真空乾燥室内を負圧と
   するための真空排気手段とを具備してなる洗浄装置であ
   って、 前記真空排気手段には、前記洗浄容器内を洗浄液を気化
   させるに十分な低圧力に維持し得る少なくとも一の真空
   ポンプと、その真空ポンプの下流側に設置されて、その
   排気中に含まれる洗浄液の蒸気を、前記被洗浄物を洗浄
   すべく保持される洗浄液中に導入して冷却液化するため
   の吹き込みノズルとが備えられている ことを特徴とする
   洗浄装置。
8. 【請求項８】 被洗浄物が収納されるとともに加熱され
   る加熱室と、 前記被洗浄物が収納されるとともに内部を真空に保持可
   能な第一真空乾燥室と、前記第一真空乾燥室内を負圧と
   するための真空排気手段と、 前記被洗浄物が収納されるとともに被洗浄物を浸漬して
   洗浄するべく洗浄液が貯溜される洗浄容器と、 前記被洗浄物が収納されるとともに内部を真空に保持可
   能な第二真空乾燥室と、前記第二真空乾燥室内を負圧と
   するための真空排気手段とを具備してなる洗浄装置であ
   って、 前記真空排気手段には、前記洗浄容器内を洗浄液を気化
   させるに十分な低圧力に維持し得る少なくとも一の真空
   ポンプと、その真空ポンプの下流側に設置されて、その
   排気中に含まれる洗浄液の蒸気を、前記被洗浄物を洗浄
   すべく保持される洗浄液中に導入して冷却液化するため
   の吹き込みノズルとが備えられている ことを特徴とする
   洗浄装置。
9. 【請求項９】 前記吹き込みノズルには、多数の金属製
   の柱状部材を束ねてなり、導入された前記洗浄液の蒸気
   を各柱状部材間の空間に通過させて冷却するための冷却
   装置が備えられていることを特徴とする請求項５ないし
   ８のいずれかに記載の洗浄装置。
10. 【請求項１０】 前記吹き込みノズルには、前記洗浄液
    中に導入された前記蒸気の泡沫を細分する多数の網目を
    備えたフィルターが備えられていることを特徴とする請
    求項５ないし９のいずれかに記載の洗浄装置。