JPH05500473A - 揮発性成分を有する液体組成物のための放出制御システム及びその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 揮発性成分を有する液体組成物のための放出制御システム及びその方法 光里皇盆互 本発明は、一般的に、製造工程の一部として又はこれに付随して物品を処理する のに使用する液体組成物からの揮発性成分の大気中への導入を最少限にするため の、放出制御システム及び同目的を有する方法に関する。より具体的には、本発 明は、揮発性有機物質、特に清浄化溶媒、とりわけクロロフルオロカーボン清浄 化溶媒の大気への導入を減少させるだめの、真空対真空放出制御システムに関す る。本発明は、慣用の脱脂装置で経験されている溶媒消費の１％よりかなり低い レベルへと溶媒消費性能を制御する能力を有する閉鎖ループ溶媒回収システムを 提供する。溶媒が回収不能に吸収される製品でのドラッグアウト（ｄｒａｇｏｕ ｔ）損失は、幾分高くなるであろう。

光１Ｆと１最 揮発性の有機化合物は、健康及び環境への危害という問題を生ずることが知られ ている。一方、オゾンの枯渇及び地球的な警告は、今や真人な量のクロロフルオ ロカーボン（ＣＦＣ’ｓ）及び類似の揮発性化合物の放出のような因子に帰せら れている。他方、揮発性成分、特に広範囲の製造工程において使用されている溶 媒や類似の化合物の吸入が、潜在的に重大な健康危害をもたらすことが知られて いる。そのようなすべての場合において、溶媒又は清浄化剤とじての効果（例え ば揮発性）のような、これらの組成物を製造工程において特に望ましいものとし ている特徴が、それらの使用に伴う有害な又は潜在的に有害な効果の直接の原因 である。

これらの揮発性成分が大気中へと逃げる傾向を有する工程中の又はこれらに付随 する溶媒の損失を最少限にするために、システムが考案されてきた。いくつかの ものは、清浄化工程のような製造工程の結果生ずる液体とそれに含まれる材料と を回収し、そして使用可能な液体を夾雑物から分離するよう設計された回収シス テムである。これらのシステムは、共通の限界や欠点を有する傾向がある。例え ば、空気がシステムに入って蒸気と混合することがしばしば許容され、そのため 空気の除去は必然的に揮発性成分の損失をも伴う。

溶媒損失のより直接的な源は、拡散、ドラッグアウト、及びシステムの漏出に帰 することができよう。

入れられた空気と混合された溶媒の場合のような間接的な溶媒損失は、最も一般 的には炭素吸収剤によって対処されてきた。これらの回収又は制御のシステムは 複雑で、それゆえ資本投下と運転経費との両面でコストの高いものとなり得る。

直接的な損失は、時には制御が一層容易であるが、その目的のために設計される 多くの潜在的な解決策は、周囲の空気をシステム中へ入れることに寄与し、上述 のタイプの問題を生じ得る。こうして、例えば、電子産業においてプリント回路 板又は電子部品を清浄化するために使用されている溶媒システムが、１時間当た り溶媒８乃至１０ポンド台という相対的に大量の溶媒蒸気を放出するのを見いだ すのは珍しくない。

主所少盟１ 本発明は、揮発性成分、特に産業的清浄化工程に関連する溶媒の大気中への逃げ を最少限にするための改良された放出制御システムを提供する。本発明は、先行 技術の制御システム又は溶媒回収技術に特育の問題の多くを克服するようなシス テム及びその実施のための方法を有利的に提供する。本発明のシステムは、９９ ％を優に超える計算上の回収率を提供するよう設計されており、最も実際的な産 業的状況下にて、慣用の脱脂装置に比して、約０．５％又はこれ未満以外のすべ ての溶媒放出を無くする。

上記のそして他の利点は、揮発性液体の大気への放出を制御するための方法にお ける本発明の〜の面において実現されるが、その方法は、物品を処理のために加 圧及び有効な真空に維持することがいずれも可能なチャンバー内に置く段階と、 実質的にすべての気体を除去するため’＝：　該チャンバーを脱気する段階と、 物品を処理するための溶媒のような揮発性成分よりなる液体組成物を最初にチャ ンバー内に導入する段階と、処理の段階に続いて液体と溶媒組成物の蒸気成分を 回収する段階と、及び続いて乾燥用液体でチャンバーを洗い流すことによって残 留する液体を除去する段階とからなる。最も好ましくは、乾燥用液体は、閉鎖ル ープシステム内の凝縮不能の気体及び溶媒蒸気の残余の封入物から誘導される。

チャンバー及びその内容物の温度は、チャンバーの壁の加熱のような加熱手段又 は赤外線加熱のような照射手段によって制御することができる。

好ましい−の具体例においては、処理又は清浄化用の液体を回収する段階は更に 、最初の加工段階で使用された液体を回収する段階と、それを液体と気体の相に 分離する段階とからなる。該方法は更に、揮発性成分を凝縮し、それによって回 収しそしてリサイクルするために、気相を、好ましくは圧縮及び冷却によって、 分画する段階よりなる。回収法の気体は、次いで好ましくは加熱されて、チャン バー内に収容された物品を乾燥するための第２の処理段階において使用されるが 、もっとも、状況によっては、処理、気体及びチャンバーから排除されるべき液 体の性質に応じて、加熱の必要のない乾燥剤として使用することもできる。

典型的には、チャンバーは最初に真空ポンプによって脱気され、該チャンバーが 再循環閉鎖ループシステムから分離されている間は、チャンバーの内容物は大気 に放出される。反対に、乾燥段階に続いて、乾燥工程を促進し残留溶媒蒸気を閉 鎖ループシステムへと戻すために、チャンバーは閉鎖ループシステムを通して脱 気され、次いでチャンバーは真空を解除する前に分離される。それは、周囲の気 体を入れ、これに続いてチャンバーを開きそして処理のためにそこに入れていた 物品を取り除くことによって、極めて簡便に達成される。残留溶媒液体及び気体 を処理される物品及びチャンバーから除去することによって、実際上ドラッグア ウトは無くなる。閉鎖ループシステム内に入れられる気体は、これらの分離段階 によって最少限とされる。

本発明の他の利点及びその操作の及びぞれを含むシステムの完全な理解は、続く 以下の詳細な説明を図面の唯一の図と組み合わせて検討することにより認識され よう。

正８２ 図面は、本発明による工程を実施するのに適と２だシステムを図式本発明は、一 般的に、製造工程の一部として又はこれに付随して物品を処理するのに使用する 液体組成物からの、揮発性成分の大気への導入を最少限にするための放出制御シ ステム及びそのための方法に関する。より具体的には、本発明は、揮発性有機物 質、特に、クロロフルオロカーボン類、ヒドロクロロフルオロカーボン類、クロ ロカーボン類、アルコール類、炭化水素類及び他の揮発性化合物のような清浄化 溶媒の大気中への導入を減少させるだめの真空対真空放出制御システムに関する 。本発明は、慣用の脱脂装置で経験されでいるｌ容媒消費の１％よりかなり低い レベルへと溶媒消費性能を制御する能力を有する再循環閉鎖ループ溶媒回収シス テムを提供する。溶媒が回収不能に吸収される製品での溶媒消費は幾分高くなる であろ・う。従って、本発明は、例えばキャピラリー流れ透析器、プリント回路 板又は金属若しくはプラスチック部品からの汚れの除去のための清浄化工程と組 み合わせて使用される溶媒回収システムの好ましい実施に言及して今や記述され るであろう。

図面における図に戻ると、一般的に１０として指定した本発明の放出制御システ ムは、その中で清浄化又は他の処理操作が行われる一般的に１２として指定した 処理チャンバーを含むことが示されている。放出制御システ１２１０の重要な面 は、チャンバー１２を再循環閉鎖ループシステムの残り部分から分離しそれによ って閉鎖ループシステムからの揮発性成分の損失又はシステムへの気体の導入を 制御する能力である。これは、具体例におて、入口ソレノイド弁１４及び１０４ 並びに出口ソレノイド弁１６によって達成される。チャンバー１２は、真空ポン プ１８と作動的に関連しており、これと導管２０呼びソレノイド弁１６とを介し て連通している。真空ポンプ１８は、択一的に、導管２２及びソレノイド弁２４ を介してボー１−２６を通って大気と、又は導管２８を通って閉鎖ループシステ ムとのいずれかと連通している。従ってチャンバー１２の内側は、閉鎖ループシ ステム１０の残り部分から分離することができ、その内容物は、システムがその ために稼働される工程又はその工程内の作動段階によって要求されるように、大 気へと又は閉鎖ループシステムへと選択的に脱気又は放出されることができる。

チャ゛／バーとその内容物とは、その温度を制御するために、熱源１３及び熱交 換器１５又は赤外線照射、直接伝導その他を含む多数の加熱方法のいずれによっ ても加熱することができる。チャンバー１２は、それ自身揮発性であるか又は揮 発性成分よりなる液体組成物で処理されるべき１又はより多くの物品（図示せず ）を収容するよう大きさ及び形状が与えられている。チャンバーが周囲環境から 分離され明確に区別されて処理環境を画するという主要な役割を果たす限り、チ ャンバー１２はまた、圧力及び真空のいずれをも収容するに充分な完全さをもっ て構成される必要がある。本発明の好ましい具体例の文脈において、その沸点の 故に多くは慣用の清浄化工程では実用的でない広い範囲の溶媒を利用するため、 周囲の気圧より一部ヌは下のいずれにおりる清浄化工程も実施するこ古ができる 。

本発明を実施するのに周囲以下の脱気気圧が充分であろうが、完全真空に至るま でのより低い脱気気圧は、溶媒封じ込め能率を高めるであろう。それにも拘わら ず、周囲に対し陽性及び陰性のいずれの気圧レベルをも維持するよう、チャンバ ー１２が設計されることが重要である。

チャンバー１２内で清浄化されるべき物品は、上述のようにソレノイド弁１４． １６及び１０４を閉じることによってチャンバーが閉鎖ループシステムから分離 されている間に投入される。投入の間、気体はチャンバー内部に直接入り、そし て気体はまた処理されるべき物品の中に入っているが又は表面上に若しくは周囲 に担持されているであろう。一旦チャンバーが投入され、そしてそれが閉鎖ルー プシステムから分離されたままでいる間に、チャンバー１２の内部を脱気ｔ７そ してその中の気体をソレノイド弁２４のボート２６を介して大気へ放出するため に、真空ポンプ１８が使用される。チャンバー１２の内部から一旦気体が除去さ れると、チャンバーは、望まない材料を導入する過度の危険なしに閉鎖ループシ ステム１ｏの残り部分と連通されることができる。

投入チャンバー１２から全ての気体が放出された後、チャンバー内の物品は、例 えば洗い流し、噴霧、噴霧後浸漬、超音波、機械的攪拌その他の溶媒脱脂又は清 浄化工程のような処理の準備が整う。

真空は、気体分離器３４から気体を引くためにソレノイド弁１０４を開くことに よって、閉鎖ループシステムの内側から破られる。続いて、チャンバー１２の入 口にあるソレノイド弁１４を介して、溶媒供給３０から溶媒が入れられる。溶媒 はその中で処理工程を行うためにチャンバー１２内に供給され、ぞしてライン３ ２、出口弁１６及びライン３３を介して、−ｉ的に３４としで指定した気体／液 体分離器−・と出る。汚れ、残滓、溶解夾雑物及び混入気体を担持し７た処理液 は、液相と気相とに区分するために分離器３４内で処理される。液相は、分離器 ３４の下側領域にある液体受け３６へと比重的に分離する。気相は、分離器３４ の上側部分にある気体ウェル３８へと自然に上昇する。

高及び低レベルスイッチ、それぞれ４０及び４２は、受け３６内の液相の水位に 応答する。高レベルスイッチ４０を始動させるに充分液体水位が上昇すると、そ れは排出ポンプ４４を作動さぜ、それは受け３６から導管４６を介して溶媒再生 利用貯蔵器４８へと液体を除去する。溶媒はそれから夾雑物を除去するために慣 用の仕方で処理され、そして次いで溶媒供給貯蔵器３０へと戻されることによっ てリサイクルされる。

ウェル３８内に上昇した気相は、典型的には、比較的高沸点の溶媒１気、処理工 程中に発生したガス及び主たる成分を構成する残留空気を含む、数種の成分の組 合せである。気体は、栓を開き又は分離器３４から抜き取らねばならな（なる程 に充分に圧力が高まるまでウェル３８内に集まる。スイッチ５０がウェル３８内 の気体の圧力の蓄積を感知し、ソレノイド弁５２を開く。気体は、それによって 導管５６を介して低圧蓄積器５４へと入れられる。蓄積器５４と協働的関係にス イッチ５８が備えられており、それは蓄積器内の圧力が予め設定した値に達した とき始動する。その時、スイッチ５８は、気体圧縮機６０に電力を供給し、それ は気体を圧縮しそれを圧縮機の出口にあるライン６４へと放出する。圧縮機６０ は、低圧蓄積器５４内の圧力が設定レベルに落ちるまで作動し続けるでろう。

同様に、気体はウェル３８から、その中の圧力ヘッドが圧力スイッチ５０の設定 より上に止まる限り、抜かれ続けるであろう。この配列は、さもなければウェル ３８内の圧力の小さな変動によって起こり得る「短回転」を経験することなしに 圧縮機がウェル３Ｂから気体を除去しそして圧縮することを許容する。

ライン６４を介Ｌ７て圧縮機６０を出ていく圧縮気体は、圧縮による熱を除去す るため後冷却機６６へと送り出される。その後、気体は、一般的に６８として指 定した回収装置へと辿る。回収装置は、それを横切って圧縮気体が流れる熱交換 ［７２のためのハウジング７０よりなる。熱交換機７２の冷却は、人口アロを介 して熱交換機７２へと冷塩水溶液を供給し出口を通してそれを除去するものであ る塩水チラーパンケージ７４内に収容されている塩水溶液Ｑこよってなされる。

回収装置６日は、圧縮気体の揮発性成分の露点以下の温度を提供するよう制御さ れる。これらの成分は、典型的には、溶媒１気その他であるが、凝縮し、回収装 置からライン８０を介し、ソレノイド弁８２及び導管８４を通って液体受け３６ へと送り出される。この仕方で、凝縮した有用な溶媒として役立つ揮発性気体は 、その目的のためシステムに戻される。

より高沸点の成分が回収された気体は、導管８６と連通している出口ポートを介 して回収装置６日から抜き取られ、ライン９０を介して高圧蓄積器又は気体受け ８８に入れられる。気体受け８８は、気体の単位体積当たりの溶媒重量ベースで 、閉鎖ループシステム中、気体の溶媒含量が最少である回収済気体を収容する。

この気体は、ライン９２及び圧力応答弁９４を通って、一般的に９６として指定 した気体加熱器９６へと供給される。気体加熱器９６は、熱源９８及び熱交換機 １００とからなる。例えば最初の脱気段階において達成された不完全な真空に起 因する気体の取込みによって、受け８８内の回収済気体の量が過度に高いレベル に上昇しシステムの圧力の増大をもたらす限り、それは圧力逃がし弁１０２を介 してシステムから放出される。弁１０２によって逃がされた気体は、その逃がさ れた気体が担持する少量の溶媒の大部分を除去するために、炭素吸着剤によって 更に処理することができる。

チャンバー１２に収容されている部品が清浄化（その間液体溶媒がチャンバーに 入れられる〕された後、部品は乾燥され又はさもなければ残留液体溶媒を除去さ れる。これは、加熱器９６から弁１４を通ってチャンバー１２の内部へと加熱さ れた回収済気体を再循環させることによって達成される。チャンバー内を通って 流れる加熱された気体は、液体溶媒を気化させ、こうして残存溶媒を蒸発させる ことによって乾燥操作を達成する。その気体は、上述のように、チャンバーを通 過し続け、ソレノイド弁１６を通って分離器３４内の気体ウール３８へと戻り、 そして気体受け８８へと戻る。

加熱された回収済気体に助けられた乾燥機能は、一定の状況下では加熱を要しな い乾燥用気体によっても同様によく達成されよう。

例えば、チャンバー１２から排除しようとする液体組成物の揮発性に応じて、い ずれも設計者の意のままになる乾燥用気体の流通量、処理されるべき物品の物理 的形状及び類似の諸因子が、回収装置６８から放出される回収済気体が加熱の必 要なしに直接に使用しうるか、そしてまた、設計者がめる乾燥機能を達成するた めに所望により一層高い又は低い温度まで加熱され得るか否かを決定する。

一旦部品が上述のように処理され次いで乾燥されると、チャンバー内で更なる乾 燥と気体除去の段階が行われる。チャンバー１２はソレノイド弁１４及び１０４ を閉じることによって入口において分離されそしてソレノイド弁１６を閉しるこ とによって出口において分離される。真空ポンプ１８が次いで、ソレノイド弁１ ６を開くことによって、チャンバー１２内に残留する内容物を抜き取るためにチ ャンバーに連結される。これらは本質的に、回収済気体及びそれが含有する揮発 性成分並びにおそらく先の乾燥段階において除去されなかった残留溶媒液体から なる。残留物は、ソレノイド弁１６を通って真空ポンプ１８によって引かれ、そ してソレノイド弁２４及び導管２日を通ってウェル３８の下流の閉鎖ループシス テムの気体側へと送られ、低圧蓄積器５４へと向かう。

真空ポンプの動力が切られる前に、実質的に全ての溶媒蒸気及び他の気体が除去 されるに充分な真空で引かれる。この時点において、清浄なそして乾燥した物品 を収容しているチャンバー１２は、それらを取り出すために開く準備ができてい る。ソレノイド弁１０４がチャンバー１２内の真空を破るために何らかの気体源 例えば環境に対して開かれ、そして操作者に清浄化された物品を取り出すために アクセスすることを許容する。その時、チャンバー１２はすでに清浄化すべき新 たな物品の投入を受ける準備ができている。

システ１、の操作についての上記開示は単純な処理、排除及び乾燥操作に特有で はあるが、該システムが慣用の溶媒以外のものとともにｆ重用することができる ことにン十目すべきである。これに関し、もしチャンバー圧力が高められれば、 清浄な室内条件では気体である化合物（例えば、１気圧ではそれぞれ−２１，７ °Ｆ及び−４１゜Ｆで？！！！８騰するＲ−１２又はＲ〜１３）が、もし圧力が それぞれ１８５ｐｓｉｇ及び３００ｐｓｉｇより上に維持されたなら、１３０″ ′Ｆにて液体溶媒として使用できる。この可能性の重要性は、ＣＦＣ’ｓに代え て多くの有用な溶媒を使用できる能力である。該システムは、単に圧力を変える だけで、溶媒の状態を液体から蒸気へそして再び元へと変化さゼることができる 。このことば、溶媒液体が裂ＤＪ目に入りぞして夾雑物を担持して再び出ること が必要な、小さな裂＆Ｊ目の清浄化においては特に重要である。

Ｌ記の例として、変圧器捲線コイルの中ｔこ埋まったＰＣＢのような可溶性の夾 雑物を想起してみよ。最初乙こ、コイルはチャンバー１２内に置かれ、ソレノイ ド弁１６が開かれそして真空ポンプ１８がチャンバーから気体を除去するために 作動される。ソレノイド１６はチャンバーを密封するために閉じられ、そしてソ レノイド１４が溶媒供給のために開かれる。チャンバー内の真空は、溶媒の一部 を蒸発させて変圧器捲線間のすき間に引き入れる。チャンバー内の圧力はポンプ （図示せず）によ、って、個々の温度において溶媒が凝縮する点へと高めること ができる。溶媒が凝縮すると体積が減少し２、一層の溶媒蒸気をコイル中へと引 き入れ、既に凝縮した溶媒によって形成された隙間を満たす。コイルは液体溶媒 で満たされＰＣＢ夾雑物は溶解される。

ソレノイド弁１４は閉じられ、真空ポンプ１８にチャンバー内の圧力を減少させ るために、ソＬ’　ｙ’イドＩ６が開かれる。液体溶媒は、ＰＣＢで汚れた液体 をコイルから引出しながら沸騰するであろう。これは、一旦この最初の真空によ って凝縮し得ない気体の全てが除去された後コ、イルを清浄化するに必要とみな される回数だけ反復することができる。

上記より明らかなように、該システムは、チャンバー１２を通って導入される又 は潜在的に導入される夾雑物及び気体から分離されている。チャンバーは、大気 及び夾雑物と気体の潜在的な源に対して開いている唯一の部分である。逆に、閉 鎖ループシステムはチャンバー１２内の物品の溶媒清浄化のような処理において 、チャンバーがこれらの気体及び夾雑物源から別な仕方で分離されている時のみ 作動される。こうし、て直接的にも間接的Ｑこも、溶媒の放出はト記の一般的な パラメーターの範囲内に実質約６こ防止される。

該システムは、広範囲の物品を処理するために、広く適合できる。製造工程の進 行中に又はその終了後のいずれかに除去しなければならない製造−Ｊ−の汚れで あって、揮発性組成物によるそのような処理を受け付ける汚れを含むる物品はい かなるものも、このシステム内１０で充分処理できる。２．３の用途の典型は、 電ｒ部品又はシステムの溶媒清浄化及び医療装置又は金属性若しくはブラスチン ク製部品の溶媒清浄化である。加えて１．このシステムが、例えばｔ゛ライクリ ーニング含む一層日常的な工程からの放出を制御するために使用できることが想 起される。同様に、このシステム１０によって広範な揮発性組成物を適切に取り 扱うことができよう。システムの気体圧縮器と回収部分を適当な凝縮パラメータ ーを達成するよう適切に設計することは、設計者に本システムをして広範囲の実 際的ｆＵ用性ムこ適合させることを許容する。例えば、ＣＦ（、−１１３クロロ フルオロカーボア’を容媒を用いて６０ＰＳＩＧの圧縮と一２６°ドの回収装置 の熱交換機温度とが、約９％未満の溶媒相対湿度をもたらすことが測定された。

しかしながら１．より一般的に、回収装置を出る位置での露点は実際上熱交換機 表面自体の温度と等しい一方、回収済気体の乾燥昇温度は約１５乃至２０°Ｆで あることが測定された。従って、ここに提示した原理に案内されて、実際上あら ゆる通常出合う揮発性溶媒を収容する適当な能力と作動特性とを有するシステム を設計する」二で１、通常の当業者は何らの困難も有しないであろう。

こうして、本発明により、揮発性成分を有する液体組成物のための放出制御シス テムと上記の目的及び利点を完全に満たずその方法とが提供されたことは明らか である。本発明は、特定の具体例との関連において記述されたが、当業者には多 くの置換、修正及び変更が自明であろうことは明白である。従って、そのような 全ての置換、修正及び変更は、添付の請求の範囲の精神及び範囲に包含されるこ とが意図されている。

要約書 処理チャンバー（１２）及び再循環閉鎖ループ気体及び溶媒回収システムよりな る、製造に付随し２て物品を清浄化し又は処理するために使用される溶媒のよう な揮発性材料の大気への放出を制御するためのシステム及び方法。該チャンバー （１２）は該閉鎖ループシステム（１０）から分離されており、処理されるべき 該物品はチャンバー内に投入され、酸チャンバーは密封され、気体は脱気により 除去され、これらの気体は閉鎖ループシステム外に放出される。該物品は溶媒で 処理され、システム内の凝縮不能気体残留物から溶媒回収システム内で誘導され た液体で乾燥される。乾燥は、閉鎖ループシステムからの回収済気体をチャンバ ー（１２）に通じそして脱気することによって達成される。該チャンバー（１２ ）から脱気された溶媒蒸気を含有する気体は、該閉鎖ループシステム（１０）内 に保持される。チャンバー（１２）は、処理された物品を取り出すに先立って閉 鎖ループシステム（１０）の外部へ通気される。

国際調査報告 国際調査報告 １ｉ □

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. １．　物品の処理に使用される揮発性の気体及び液体成分よりなる液体組成物の ための放出制御システムであって、（ａ）　該液体組成物に接触又は暴露させる ことにより処理されるべき物品を収容するためのチャンバーと、（ｂ）　前記チ ャンバー内に予め設定された圧力を確立するための手段と、 （ｃ）　前記チャンバーを通って該液体組成物を通過させるための手段と、該チ ャンバーから放出された該液体組成物を回収するための手段と、そして （ｄ）　前記チャンバーから放出された該液体組成物の気体及び液体成分を分離 するための手段とからなるシステム。
2. ２．　該チャンバー及びその内容物を加熱するための手段を含む、請求項１に記 載のシステム。
3. ３．　前記チャンバーに乾燥剤として該気体成分を再循環させるための閉鎖ルー プ手段を含む、請求項１に記載のシステム。
4. ４．　前記閉鎖ループ再循環手段が、前記気体を前記チャンバーに戻すに先立っ て前記気体成分から揮発性成分を回収するための手段を含むものである、請求項 ３に記載のシステム。
5. ５．　前記閉鎖ループ再循環手段が、前記チャンバーに入るに先立って該気体成 分を加熱するための手段を含むものである、請求項３に記載のシステム。
6. ６．　前記閉鎖ループ再循環手段が、前記回収手段へと通過するに先立って該気 体成分を圧縮するための気体圧縮機と前記回収手段を通過した後に該気体成分を 貯蔵するための受けとを含むものである、請求項４に記載のシステム。
7. ７．　該液体組成物か該再循環気体成分かのいずれかを選択的に前記チャンバー に導入するための第１のポート手段を含む、請求項３に記載のシステム。
8. ８．　前記確立手段か前記分離手段かのいずれかに前記チャンバーを選択的に連 結するための第２のポート手段を含む、請求項７に記載のシステム。
9. ９．　外部の気体源か前記閉鎖ループ再循環手段内の気体かに前記チャンバーを 選択的に連結するための第３のポート手段を含む、請求項８に記載のシステム。
10. １０．　大気か前記閉鎖ループ再循環手段かに前記確立手段を連結するための第 ４のポート手段を含む、請求項９に記載のシステム。
11. １１．　前記閉鎖ループ再循環手段中の凝縮不能気体の体積を制御するための手 段を含む、請求項３に記載のシステム。
12. １２．　製造工程の一部として又はこれに付随して物品を処理又は清浄化するた めに使用する揮発性の気体及び液体成分よりなる液体組成物のための放出制御シ ステムであって、（ａ）　該物品を収容するためのチャンバー及び前記チャンバ ーから脱気された気体を前記チャンバーに戻すための閉鎖ループシステムと、 （ｂ）　前記チャンバーから気体を脱気し該内容物を該閉鎖ループシステムの外 に放出するための手段と、（ｃ）　該物品を清浄化するために前記液体組成物を 前記チャンバーに入れるための手段と、 （ｄ）　該液体組成物をチャンバーから放出するための手段と、（ｅ）　前記放 出された液体組成物の気体及び液体成分を分離するための手段と、 （ｆ）　該気体成分を該閉鎖ループシステム内へと放出する手段と、そして （ｇ）　処理された物品を取り出すために前記チャンバーに外部源から気体を入 れるための手段とからなるシステム。
13. １３．　前記気体成分が該物品を乾燥させるために該閉鎖ループシステムを通っ てリサイクルされて前記チャンバーに戻るものである、請求項１２に記載のシス テム。
14. １４．　前記チャンバーへと送り出すに先立って前記気体成分を加熱するために 前記閉鎖ループシステム中に加熱手段を含むものである、請求項１３に記載の放 出制御システム。
15. １５．　前記脱気手段が真空ポンプよなるものである、請求項１２に記載の放出 制御システム。
16. １６．　大気か該閉鎖ループ再循環システムかに前記真空ポンプを選択的に連結 するための手段を含むものである、請求項１５に記載の放出制御システム。
17. １７．　分離のための前記手段が液体受けを含み、前記システムが更に、前記液 体受けと液体連通している液体再生利用貯蔵器を含むものである、請求項１２に 記載の放出制御システム。
18. １８．　前記閉鎖ループシステムが前記分離手段からの前記気体成分を圧縮する ための気体圧縮機と前記圧縮された気体成分を蓄積するための気体受けとを更に 含むものである、請求項１２に記載のシステム。
19. １９．　前記加熱手段が、前記高沸点揮発性物質の凝縮のために前記気体受けの 上流に熱交換機を含むものである、請求項１４に記載の放出制御システム。
20. ２０．　チャンバーとその内容物とを加熱するための手段を含む、請求項１２に 記載のシステム。
21. ２１．　物品を処理するために使用される揮発性の気体及び液体成分よりなる液 体組成物のための放出制御システムであって、物品を収容するためのチャンバー と 前記チャンバーを脱気するためのポンプと、該液体組成物に該チャンバーを通過 させる手段と、前記チャンバーから排出された該液体組成物の気体及び液体成分 を分離するために前記チャンバーに連結された分離器と、該液体組成物の気体成 分を該チャンバーに戻すための閉鎖ループ再循環システムであって、前記チャン バーに戻るに先立って前記気体成分から揮発性成分を回収するための回収装置と 、前記チャンバーに入るに先立って該気体成分を加熱するための加熱器と、前記 回収装置へと通ずるに先立って該気体成分を圧縮するための圧縮機と、前記回収 装置を通過した後に該気体成分を貯蔵するための気体受けとを含むものであるシ ステムと、そして、再循環システム内の凝縮不能気体の体積を制御するための圧 力逃がし弁よりなるシステム。