JP2021037431A - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被洗浄物に対する洗浄力を向上させることができる洗浄装置および洗浄方法を提供すること。【解決手段】洗浄液に浸漬させて被洗浄物Ａを収容する洗浄槽２と、前記洗浄槽２に収容された前記被洗浄物Ａを洗浄する洗浄部３と、前記洗浄槽２から流出する前記洗浄液を貯留するバッファ槽６と、前記バッファ槽６と前記洗浄槽２との間に設けられたフィルタ部７と、前記洗浄槽２および前記バッファ槽６に連結され前記被洗浄物Ａの洗浄後に前記洗浄槽２から前記バッファ槽６へと前記洗浄液を移動させる流出路８と、前記洗浄槽２および前記バッファ槽６に連結され前記バッファ槽６に貯留された前記洗浄液を前記フィルタ部７を介して前記洗浄槽２に循環させる循環路９とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、被洗浄物を洗浄する洗浄装置および洗浄方法に関する。

従来、被洗浄物を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄装置が利用されている（例えば、特許文献１参照）。
このような洗浄装置として、洗浄槽とフィルタ部を備えたものが知られている。
この洗浄装置では、洗浄槽において被洗浄物が洗浄された後、洗浄槽から洗浄液が流出され、フィルタ部によってフィルタリングされて洗浄液から異物が取り除かれた後、その洗浄液が洗浄槽に戻されるようになっている。

特開２０１９−１１８８９５号公報

しかしながら、上記のような洗浄装置では、洗浄槽に洗浄液が滞留してしまい、洗浄槽に異物が残りやすくなるという問題がある。

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、被洗浄物に対する洗浄力を向上させることができる洗浄装置および洗浄方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、以下の手段を提供する。
本発明は、洗浄液に浸漬させて被洗浄物を収容する洗浄槽と、前記洗浄槽に収容された前記被洗浄物を洗浄する洗浄部と、前記洗浄槽から流出する前記洗浄液を貯留するバッファ槽と、前記バッファ槽と前記洗浄槽との間に設けられたフィルタ部と、前記洗浄槽および前記バッファ槽に連結され前記被洗浄物の洗浄後に前記洗浄槽から前記バッファ槽へと前記洗浄液を移動させる流出路と、前記洗浄槽および前記バッファ槽に連結され前記バッファ槽に貯留された前記洗浄液を前記フィルタ部を介して前記洗浄槽に循環させる循環路とを備える。

本願の一観点によれば、被洗浄物に対する洗浄力を向上させることができる。

本発明の実施形態としての洗浄装置を示す説明図である。 図１の洗浄装置において洗浄液が洗浄槽からバッファ槽へと移動を開始するときの様子を示す説明図である。 図２の洗浄装置において洗浄液が洗浄槽からバッファ槽に移動した様子を示す説明図である。 図３の洗浄装置において洗浄液がバッファ槽から洗浄槽へと移動を開始するときの様子を示す説明図である。 図４の洗浄装置において洗浄液がバッファ槽から洗浄槽に移動した様子を示す説明図である。 洗浄装置の変形例を示す説明図である。

（実施形態）
以下、本発明の実施形態における洗浄装置について説明する。
図１は、洗浄装置１を示す説明図である。
洗浄装置１は、洗浄液を貯留する洗浄槽２を備えている。
洗浄槽２は、洗浄液を例えば約１２０リットル収容するようになっている。
洗浄液としては、例えば炭化水素系洗浄剤、水系洗浄剤または溶剤系洗浄剤などが利用される。
洗浄槽２は、矩形ボックス形状をなしており、上方が開放端となっている。洗浄槽２の底部２３は、傾斜部となっている。すなわち、底部２３は、洗浄槽２の幅方向Ｗの一端部から他端部にかけて深さ寸法が漸次浅くなるように傾斜している。そのため、底部２３の一端部は、他端部に対して深さ寸法の深い深部２３ａとなっている。
底部２３の幅方向Ｗの一端部であって傾斜の深部２３ａには、洗浄液を流出させる流出口２２ａが設けられている。

また、洗浄槽２の一端部のうち上方部には、洗浄槽２の内方の空気を排出する排出口２４が設けられている。また、洗浄槽２の上方部には、大気の流入のオンオフを行う開閉口２５が設けられている。この開閉口２５は、制御部１０に接続されており、制御部１０の制御のもと、開閉動作を行うようになっている。
また、洗浄槽２の内方には、台座部５が設けられている。台座部５には不図示の開口部が設けられており、開口部を介して洗浄液が流通するようになっている。さらに、台座部５の上面には、被洗浄物Ａが載置されるようになっている。
また、洗浄槽２の他端部の側壁には、洗浄液を流入させる流入口２１が設けられている。
流入口２１は、第１の流入口２１ａおよび第２の流入口２１ｂを備えている。
第１の流入口２１ａは、洗浄槽２の他端部の下方部に設けられている。そして、第２の流入口２１ｂは、洗浄槽２の他端部の上方部に設けられている。第２の流入口２１ｂには、シャワー部１４が設けられている。シャワー部１４は、第２の流入口２１ｂから洗浄槽２の内方に対して洗浄液をシャワー状にして噴出させるようになっている。

また、洗浄槽２には、液面の高さを検出するレベルゲージＬＧが設けられている。レベルゲージＬＧは、高さ方向に複数設けられており、液面を検出すると、検出信号を後述する制御部１０に出力するようになっている。
また、底部２３の外面には、洗浄部３が設けられている。洗浄部３は、例えば超音波振動子などを備えており、超音波を発振することにより、洗浄液に浸漬されて洗浄槽２に収容された被洗浄物Ａを洗浄するようになっている。この洗浄部３は、制御部１０に接続されており、制御部１０の制御のもと駆動するようになっている。
また、洗浄槽２の上方には、蓋部４が設けられている。蓋部４は、矩形板状に形成されており、洗浄槽２の上方の開放端に対して開閉可能に設けられている。そして、蓋部４が洗浄槽２の開放端に閉じられると、洗浄槽２の内方が気密されるようになっている。
また、洗浄槽２には、洗浄液を移動させる流出路８の一端が連結されている。流出路８の一端は、流出口２２ａに一致させた位置に連結されている。流出路８には、バルブ１８が設けられている。バルブ１８は、開閉可能に構成されている。このバルブ１８は、制御部１０に接続されており、制御部１０の制御のもと、開閉動作を行うようになっている。
また、流出路８の他端には、バッファ槽６が連結されている。

バッファ槽６と流出路８の他端との連結位置は、バッファ槽６の上方部となっている。これにより、バッファ槽６から洗浄槽２へと洗浄液が逆流し難くなるようになっている。
バッファ槽６は、矩形ボックス形状をなしており、洗浄液を貯留するようになっている。このバッファ槽６は、洗浄液を例えば１２０リットル貯留するようになっている。
バッファ槽６の上方部には、大気の流入のオンオフを行う開閉口６ａが設けられている。この開閉口６ａは、制御部１０に接続されており、制御部１０の制御のもと、開閉動作を行うようになっている。
また、バッファ槽６には、洗浄液を移動させる循環路９の一端が連結されている。循環路９には、フィルタ部７が設けられている。
フィルタ部７は、洗浄液を通すことにより、洗浄液中の異物を取り除くようになっている。フィルタ部７としては、例えば、濾過器や磁力付きのフィルタなどを利用することができる。

循環路９には、バルブ１９が設けられている。バルブ１９は、開閉可能に構成されている。このバルブ１９は、制御部１０に接続されており、制御部１０の制御のもと、開閉動作を行うようになっている。また、循環路９の他端部は、二股分岐路９ｃを介して、第１の分岐路９ａと第２の分岐路９ｂとに分岐されている。第１の分岐路９ａは、第１の流入口２１ａに連結され、第２の分岐路９ｂは、第２の流入口２１ｂに連結されている。これにより、バッファ槽６から循環路９に流出された洗浄液が、フィルタ部７を通されて、一部は第１の分岐路９ａおよび第１の流入口２１ａを介して洗浄槽２に戻され、残りは、第２の分岐路９ｂおよび第２の流入口２１ｂを介して洗浄槽２に戻されるようになっている。
また、洗浄槽２の排出口２４には、排出路１５の一端が連結されている。排出路１５には、バルブ（洗浄槽側開閉部）１２が設けられている。バルブ１２は、制御部１０に接続されており、制御部１０の制御のもと、開閉動作するようになっている。すなわち、バルブ１２が開状態になると、排出路１５と吸引路１７との間で空気を移動させ、閉状態になると、排出路１５からの空気の移動を規制するようになっている。排出路１５の他端は、吸引路１７の一方の端部が連結されている。そして、吸引路１７の他端には、真空ポンプ（ポンプ部）１１が連結されている。真空ポンプ１１は、吸引路１７を通して、洗浄槽２またはバッファ槽６のいずれか一方の空気を選択的に吸引するようになっている。この真空ポンプ１１は、制御部１０に接続されており、制御部１０の制御のもと、駆動するようになっている。

また、バッファ槽６の上方には、排出路１６の一端が連結されている。排出路１６には、バルブ（バッファ槽側開閉部）１３が設けられている。バルブ１３は、制御部１０に接続されており、制御部１０の制御のもと、開閉動作するようになっている。すなわち、バルブ１３が開状態になると、排出路１６と吸引路１７との間で空気を移動させ、閉状態になると、排出路１６からの空気の移動を規制するようになっている。
また、排出路１６の他端は、吸引路１７に連結されている。
また、制御部１０は、洗浄部３、レベルゲージＬＧ、開閉口２５、開閉口６ａ、バルブ１２、バルブ１３、バルブ１８、バルブ１９および真空ポンプ１１に接続されており、それぞれを制御するようになっている。なお、図１から図６において、バルブ１２，１３，１８，１９について、閉状態になっている場合には「×」として表記し、開状態になっている場合には「○」として表記している。

次いで、洗浄装置１の動作について説明する。
なお、開閉口６ａ，２５、バルブ１３，１８，１９は閉じられており、バルブ１２は開かれているものとする。
まずは、蓋部４を開けて被洗浄物Ａを台座部５の上面にセットする。そして、洗浄槽２の内方に洗浄液を投入していく。洗浄液が上のレベルゲージＬＧに到達すると、上のレベルゲージＬＧが検出信号を制御部１０に出力する。制御部１０は、検出信号を入力すると、不図示の報知部を駆動する。これにより、報知部が、音、文字、振動または光などにより、洗浄液が洗浄槽２の内方に充満したことを操作者に報知する。
そして、洗浄液の投入が止められ、このとき洗浄液が約１２０リットル洗浄槽２に貯留される。この状態で、図１に示すように、蓋部４を閉じて洗浄槽２を気密にする。

そして、不図示の操作部を介して、操作者がボタン操作などによって洗浄指示を入力すると、操作部は洗浄指示を制御部１０に出力する。制御部１０は、洗浄指示を入力すると、真空ポンプ１１を駆動する。真空ポンプ１１は、ＶＧＡ（真空圧力信号）の設定値まで、洗浄槽２の内方に対して真空引きを行う。すなわち、バルブ１２が開状態となり開閉口６ａ，２５、バルブ１３，１８，１９が閉状態となっていることから、真空ポンプ１１は、吸引路１７および排出路１５を介して、洗浄槽２の内方の空気を吸引する。そして、洗浄槽２の内方が真空になった状態で、制御部１０は、洗浄部３を駆動する。洗浄部３は、超音波振動子を駆動し、超音波により被洗浄物Ａの洗浄を行う（洗浄工程）。制御部１０は、設定時間が経過すると、被洗浄物Ａの洗浄を止め、洗浄槽２の大気開放を行う。すなわち、制御部１０は、洗浄部３および真空ポンプ１１の駆動を止め、開閉口２５を開状態にする。これにより、洗浄槽２の内方に、開閉口２５を介して大気が流入し、洗浄槽２の内方が大気圧下となる。

そして、制御部１０は、洗浄槽２に貯留された洗浄液をバッファ槽６に移動させる（バッファ槽移動工程）。すなわち、制御部１０は、バルブ１２を閉状態にし、バルブ１３，１８を開状態にして、真空ポンプ１１を駆動する。すると、真空ポンプ１１は、図２に示すように、吸引路１７および排出路１６を介して、バッファ槽６の内方の空気を吸引する。なお、図２において、流出路８、循環路９、排出路１５、排出路１６および吸引路１７の内方で空気または洗浄液が移動可能な状態を斜線によって示している（図１から図６において同じ）。これにより、バッファ槽６が洗浄槽２に対して負圧になるため、この圧力差により、洗浄液が、洗浄槽２から流出口２２ａおよび流出路８を通ってバッファ槽６に移動していく。このとき、洗浄槽２の底部２３が傾斜部となっており、その深部２３ａに流出口２２ａが設けられていることから、洗浄液が自重によって傾斜の深部２３ａに案内されていき、流出口２２ａから流出されやすくなる。なお、このとき開閉口２５は、開状態であってもよいし閉状態であってもよい。
そして、図３に示すように、洗浄槽２の約１２０リットルの洗浄液がバッファ槽６に全量貯留される。このとき、洗浄槽２は空になり、洗浄槽２内の洗浄液が異物とともにバッファ槽６に移動する。

それから、所定時間経過後、制御部１０が真空ポンプ１１の駆動を止め、開閉口６ａを開状態にしバッファ槽６の大気開放を行う。そして、操作者が、蓋部４を開き、洗浄済みの被洗浄物Ａを取り出し、新たに洗浄する被洗浄物Ａを台座部５の上面にセットする。すなわち、洗浄済みの被洗浄物Ａと洗浄する被洗浄物Ａとを交換する（被洗浄物交換工程）。それから、蓋部４を閉じて洗浄槽２を気密する。
そして、バッファ槽６に貯留された洗浄液を洗浄槽２に循環させる（循環工程）。すなわち、制御部１０は、操作者からの指示のもと、図４に示すように、バルブ１２，１９および開閉口６ａを開状態とし、バルブ１３，１８および開閉口２５を閉状態とする。そして、制御部１０は、真空ポンプ１１を駆動する。すると、真空ポンプ１１が、吸引路１７および排出路１５を介して、洗浄槽２の内方の空気を吸引する。これにより、洗浄槽２がバッファ槽６に対して負圧になるため、この圧力差により、洗浄液が、バッファ槽６から循環路９に流出していく。循環路９には、フィルタ部７が設けられていることから、洗浄液は、フィルタ部７を通される。これにより、洗浄液に含まれる異物がフィルタ部７によって取り除かれる。フィルタ部７を通された洗浄液は、循環路９の他端部に移動し、二股分岐路９ｃを介して、第１の分岐路９ａと第２の分岐路９ｂとに分かれて移動する。第１の分岐路９ａを移動する洗浄液は、第１の流入口２１ａを介して洗浄槽２に流入する。また、第２の分岐路９ｂを移動する洗浄液は、第２の流入口２１ｂを介してシャワー部１４によって洗浄槽２の内方に噴出される。これによって、洗浄槽２の内壁が洗浄される。
そして、図５に示すように、バッファ槽６に貯留された約１２０リットルの全量の洗浄液が、洗浄槽２に移動して貯留される。
さらに、制御部１０は、バルブ１９を閉じる。これにより、洗浄槽２の内方の空気が真空ポンプ１１によって吸引され、洗浄槽２の内方が真空状態となり、上記と同様にして、被洗浄物Ａの洗浄が繰り返される。

以上より、本実施形態における洗浄装置１によれば、被洗浄物Ａの洗浄後に洗浄槽２に貯留された洗浄液をバッファ槽６に移動させることができ、洗浄槽２に残留する洗浄液によって洗浄槽２に異物が残留することを防止することができる。そのため、被洗浄物Ａに対する洗浄力を向上させることができる。
また、フィルタ部７がバッファ槽６と洗浄槽２との間の循環路９に設けられていることから、仮にフィルタ部７によって取り除かれた異物が逆流することがあっても、その異物をバッファ槽６において洗浄液とともに貯留することにより、洗浄槽２までその異物を逆流させることを防止することができ、被洗浄物Ａに対する洗浄力を向上させることができる。
また、真空ポンプ１１、バルブ１２，１３および制御部１０が設けられていることから、洗浄槽２からバッファ槽６への洗浄液の流出と、バッファ槽６から洗浄槽２への洗浄液の循環を迅速かつ容易に行うことができる。また、真空ポンプ１１、バルブ１２，１３および制御部１０によって、洗浄槽２とバッファ槽６との圧力差を利用して洗浄液を移動させるため、流出路８または循環路９などに吸引ポンプなどを設ける必要がなく、吸引ポンプを通すことによる異物の混入などを防止することができる。

また、第１の流入口２１ａ、第２の流入口２１ｂ、第１の分岐路９ａおよび第２の分岐路９ｂが設けられていることから、洗浄液を洗浄槽２に流入させるときに、洗浄槽２の内壁を広く洗浄することができ、洗浄力を向上させることができる。
また、第１の流入口２１ａが洗浄槽２の下方部に設けられ、第２の流入口２１ｂが洗浄槽２の上方部に設けられていることから、洗浄槽２の内壁を高さ方向に広く洗浄することができ、洗浄力を向上させることができる。
また、第２の流入口２１ｂにシャワー部１４が設けられていることから、洗浄液を洗浄槽２に流入させるときに、洗浄槽２の内方に向かって洗浄液を噴出させることができるため、洗浄槽２の内壁を広く洗浄することができ、洗浄力を向上させることができる。

また、第１の流入口２１ａおよび第２の流入口２１ｂの両方から、洗浄液を洗浄槽２に流入させることから、洗浄槽２の内壁を広く洗浄することができ、洗浄力を向上させることができる。
また、洗浄槽２の一端部に流出口２２ａが設けられ、他端部に流入口２１が設けられていることから、洗浄液を洗浄槽２に流入させるときに、洗浄槽２の内壁を広く洗浄することができ、洗浄力を向上させることができる。
また、流出口２２ａが、傾斜部の深部２３ａに設けられていることから、洗浄液を自重によって傾斜の深部２３ａに案内させることができ、流出口２２ａから流出させ易くすることができる。

なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、流入口２１が、第１の流入口２１ａおよび第２の流入口２１ｂを備えるとしたが、これに限ることはなく、図６に示すように、１つの流入口であってもよい。この洗浄装置１Ａにおける流入口２１は、洗浄槽２の上方部に設けられている。これにより、洗浄槽２の内壁を高さ方向に広く洗浄することができ、洗浄力を向上させることができる。もちろん、一つの流入口２１が洗浄槽２の下方部や中間部などに設けられていてもよい。
また、流入口２１が３つ以上設けられてもよい。
また、ポンプ１１、バルブ１２，１３，１８，１９および制御部１０が設けられるとしたが、これらは設けられていなくてもよい。その場合、流出路８や循環路９などに吸引ポンプを設けることにより、洗浄液を移動させてもよい。
また、バルブ１２，１３，１８，１９が制御部１０に制御されるとしたが、これに限ることはなく、少なくともいずれか一つまたは全てのバルブが手動によって開閉されるようになっていてもよい。

また、洗浄部３として超音波振動子を備えるとしたが、これに限ることはなく、洗浄手段としては適宜変更可能である。
また、循環路９の他端部が第１の分岐路９ａおよび第２の分岐路９ｂに分かれているとしたが、これに限ることはなく、循環路９が複数本設けられるようにしてもよい。
また、第１の流入口２１ａが洗浄槽２の下方部に設けられ、第２の流入口２１ｂが洗浄槽２の上方部に設けられるとしたが、これに限ることはなく、設置箇所は適宜変更可能である。例えば、第１の流入口２１ａおよび第２の流入口２１ｂが、ともに上方部に設けられていたり、ともに下方部や中間部に設けられていてもよいし、それぞれが洗浄槽２の異なる側面に設けられていてもよい。
また、第２の流入口２１ｂにシャワー部１４が設けられているとしたが、これに限ることはなく、第１の流入口２１ａのみに設けられていてもよいし、いずれの流入口に設けられていてもよい。さらに、シャワー部１４が設けられていなくてもよい。
また、流出口２２ａが洗浄槽２の一端部に設けられ、流入口２１が洗浄槽２の他端部に設けられるとしたが、これに限ることはなく、それら設置箇所は適宜変更可能である。例えば、流入口２１および流出口２２ａが近接して設けられていたり、幅方向Ｗの中央部に設けられていたりしてもよい。
また、流出口２２ａが複数設けられていてもよい。この場合、複数の流出口に合わせて複数の流出路が設けられていてもよいし、流出路の一端部が分岐路とされて他端がバッファ槽６に連結されていてもよい。

また、洗浄槽２の底部２３が傾斜しているとしたが、これに限ることはなく、その構成は適宜変更可能である。例えば、底部２３が水平面であってもよい。また、底部２３が、中央部に向かって深さ寸法が漸次深くなるように傾斜していてもよい。その場合、中央部である深部に流出口２２ａが設けられていてもよい。
また、洗浄液がバッファ槽６から循環路９を通って洗浄槽２に循環するとき、第１の流入口２１ａおよび第２の流入口２１ｂから洗浄槽２に流入するとしたが、これに限ることはなく、流入のタイミングは適宜変更可能である。例えば、第１の分岐路９ａに第１のバルブが設けられ、第２の分岐路９ｂに第２のバルブが設けられるようにしてもよい。そして、最初に、制御部１０が第１のバルブを閉状態とし第２のバルブを開状態とすることにより、第２の流入口２１ｂのみから洗浄液を流入させるようにしてもよい。その後、制御部１０が、第１のバルブを開状態とすることにより、第１の流入口２１ａおよび第２の流入口２１ｂから洗浄液を流入させるようにしてもよい。また、最初に、制御部１０により、第２の流入口２１ｂのみから洗浄液を流入させ、その後、第１の流入口２１ａのみから洗浄液を流入させてもよい。また、最初に、制御部１０により、第１の流入口２１ａのみから洗浄液を流入させ、その後、第２の流入口２１ｂのみから洗浄液を流入させてもよい。さらに、最初に、制御部１０により、第１の流入口２１ａのみから洗浄液を流入させ、その後、第１の流入口２１ａおよび第２の流入口２１ｂから洗浄液を流入させてもよい。これらにより、洗浄槽２を効果的に洗浄することができる。

また、最初に、制御部１０により、第２の流入口２１ｂのみから洗浄液を流入させ（洗浄槽洗浄工程）、それから上記と同様にして洗浄槽２の洗浄液をバッファ槽６に移動させ（第２のバッファ槽移動工程）、その後、第１の流入口２１ａおよび第２の流入口２１ｂから洗浄液を流入させてもよい。もちろん、流入口の順番は適宜変更可能であり、洗浄槽洗浄工程において、第１の流入口２１ａおよび／または第２の流入口２１ｂから洗浄液を流入させ、第２のバッファ槽移動工程を経て、第１の流入口２１ａおよび／または第２の流入口２１ｂから洗浄液を流入させてもよい。これらにより、洗浄槽２を効果的に洗浄することができる。
また、バッファ槽移動工程を経て、被洗浄物交換工程において、洗浄槽２が空になった状態で被洗浄物Ａの交換が行われるとしたが、これに限ることはなく、被洗浄物交換工程のタイミングは適宜変更可能である。例えば、洗浄工程を経て、洗浄槽２に洗浄液が貯留された状態で被洗浄物の交換が行われてもよいし、洗浄工程を経て、洗浄槽から洗浄液がバッファ槽６に移動している感に被洗浄物の交換が行われてもよい。

また、フィルタ部７が循環路９に設けられているとしたが、これに限ることはなく、その設置箇所は適宜変更可能である。例えば、フィルタ部７が流出路８に設けられていてもよい。
また、バッファ槽６に洗浄用の開閉部を設けて、バッファ槽６内をメンテナンスすることができるようにしてもよい。
また、洗浄槽２およびバッファ槽６の容量を約１２０リットルとしているが、これに限ることはなく、サイズや容量などは適宜変更可能である。
また、洗浄槽２とバッファ槽６の容量がそれぞれで異なっていてもよい。例えば、洗浄槽２の容量の方が大きくてもよいし、バッファ槽６の容量の方が大きくてもよい。
また、洗浄槽２に貯留された洗浄液の全量をバッファ槽６に移動させているが、これに限ることはなく、移動させる量は適宜変更可能である。例えば、洗浄槽２に貯留された一部の洗浄液のみをバッファ槽６に移動させ、残りを洗浄槽２に残しておくようにしてもよい。

既述の実施形態に関し、さらに以下の付記を示す。
（付記１）
洗浄液に浸漬させて被洗浄物を収容する洗浄槽と、
前記洗浄槽に収容された前記被洗浄物を洗浄する洗浄部と、
前記洗浄槽から流出する前記洗浄液を貯留するバッファ槽と、
前記バッファ槽と前記洗浄槽との間に設けられたフィルタ部と、
前記洗浄槽および前記バッファ槽に連結され前記被洗浄物の洗浄後に前記洗浄槽から前記バッファ槽へと前記洗浄液を移動させる流出路と、
前記洗浄槽および前記バッファ槽に連結され前記バッファ槽に貯留された前記洗浄液を前記フィルタ部を介して前記洗浄槽に循環させる循環路と
を備える洗浄装置。

（付記２）
前記洗浄槽および前記バッファ槽に連結されて前記洗浄槽または前記バッファ槽のいずれか一方の空気を吸引するポンプ部と、
前記ポンプ部と前記洗浄槽との間に設けられた洗浄槽側開閉部と、
前記ポンプ部と前記バッファ槽との間に設けられたバッファ槽側開閉部と、
前記洗浄槽側開閉部および前記バッファ槽側開閉部の開閉動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記被洗浄物の洗浄後に前記洗浄槽側開閉部を閉状態とし前記バッファ槽側開閉部を開状態として前記ポンプ部によって前記バッファ槽の空気を吸引して前記洗浄槽から前記バッファ槽へと圧力差によって前記洗浄液を移動させ、
前記バッファ槽に前記洗浄液が移動すると、前記洗浄槽側開閉部を開状態とし前記バッファ槽側開閉部を閉状態として前記ポンプ部によって前記洗浄槽の空気を吸引して前記バッファ槽から前記フィルタ部を介して前記洗浄槽へと圧力差によって前記洗浄液を移動させる付記１に記載の洗浄装置。

（付記３）
前記バッファ槽から流出する前記洗浄液を前記洗浄槽に流入させる流入口が前記洗浄槽に設けられ、
前記流入口が、少なくとも第１の流入口および第２の流入口を備え、
前記循環路から分岐された第１の分岐路が前記第１の流入口に連結され、
前記循環路から分岐された第２の分岐路が前記第２の流入口に連結されている付記１または付記２に記載の洗浄装置。

（付記４）
前記第１の流入口が、前記洗浄槽の下方部に設けられ、
前記第２の流入口が、前記洗浄槽の上方部に設けられている付記３に記載の洗浄装置。

（付記５）
前記第２の流入口に前記洗浄液を噴出させるシャワー部が設けられている付記４に記載の洗浄装置。

（付記６）
前記第２の流入口のみから前記洗浄液を前記洗浄槽に流入させ、その後、前記第１の流入口および前記第２の流入口から前記洗浄装置を前記洗浄槽に流入させる付記３から付記５のいずれか一項に記載の洗浄装置。

（付記７）
前記洗浄槽から前記バッファ槽へと前記洗浄液を移動させる流出口が前記洗浄槽の一端部に設けられ、
前記バッファ槽から流出する前記洗浄液を前記洗浄槽に流入させる流入口が前記洗浄槽の他端部に設けられる付記１から付記６のいずれか一項に記載の洗浄装置。

（付記８）
前記洗浄槽の底部が傾斜しており、
前記洗浄槽から前記バッファ槽へと前記洗浄液を移動させる流出口が、前記傾斜した底部の深部に設けられている付記１から付記７のいずれか一項に記載の洗浄装置。

（付記９）
被洗浄物を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄方法であって、
前記洗浄液に浸漬させて洗浄槽に収容された前記被洗浄物を洗浄部が洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程の後、前記洗浄槽の洗浄液をバッファ槽に移動させるバッファ槽移動工程と、
前記バッファ槽移動工程によって前記バッファ槽に貯留された前記洗浄液をフィルタ部を介して前記洗浄槽へと循環させる循環工程と
を含む洗浄方法。

１，１Ａ 洗浄装置
２ 洗浄槽
３ 洗浄部
６ バッファ槽
７ フィルタ部
８ 流出路
９ 循環路
９ａ 第１の分岐路
９ｂ 第２の分岐路
１０ 制御部
１１ 真空ポンプ（ポンプ部）
１２ バルブ（洗浄槽側開閉部）
１３ バルブ（バッファ槽側開閉部）
１４ シャワー部
２１ 流入口
２１ａ 第１の流入口
２１ｂ 第２の流入口
２２ａ 流出口
２３ 底部
２３ａ 深部
Ａ 被洗浄物

Claims (9)

1. 洗浄液に浸漬させて被洗浄物を収容する洗浄槽と、
   前記洗浄槽に収容された前記被洗浄物を洗浄する洗浄部と、
   前記洗浄槽から流出する前記洗浄液を貯留するバッファ槽と、
   前記バッファ槽と前記洗浄槽との間に設けられたフィルタ部と、
   前記洗浄槽および前記バッファ槽に連結され前記被洗浄物の洗浄後に前記洗浄槽から前記バッファ槽へと前記洗浄液を移動させる流出路と、
   前記洗浄槽および前記バッファ槽に連結され前記バッファ槽に貯留された前記洗浄液を前記フィルタ部を介して前記洗浄槽に循環させる循環路と
   を備える洗浄装置。
2. 前記洗浄槽および前記バッファ槽に連結されて前記洗浄槽または前記バッファ槽のいずれか一方の空気を吸引するポンプ部と、
   前記ポンプ部と前記洗浄槽との間に設けられた洗浄槽側開閉部と、
   前記ポンプ部と前記バッファ槽との間に設けられたバッファ槽側開閉部と、
   前記洗浄槽側開閉部および前記バッファ槽側開閉部の開閉動作を制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、
   前記被洗浄物の洗浄後に前記洗浄槽側開閉部を閉状態とし前記バッファ槽側開閉部を開状態として前記ポンプ部によって前記バッファ槽の空気を吸引して前記洗浄槽から前記バッファ槽へと圧力差によって前記洗浄液を移動させ、
   前記バッファ槽に前記洗浄液が移動すると、前記洗浄槽側開閉部を開状態とし前記バッファ槽側開閉部を閉状態として前記ポンプ部によって前記洗浄槽の空気を吸引して前記バッファ槽から前記フィルタ部を介して前記洗浄槽へと圧力差によって前記洗浄液を移動させる請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記バッファ槽から流出する前記洗浄液を前記洗浄槽に流入させる流入口が前記洗浄槽に設けられ、
   前記流入口が、少なくとも第１の流入口および第２の流入口を備え、
   前記循環路から分岐された第１の分岐路が前記第１の流入口に連結され、
   前記循環路から分岐された第２の分岐路が前記第２の流入口に連結されている請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。
4. 前記第１の流入口が、前記洗浄槽の下方部に設けられ、
   前記第２の流入口が、前記洗浄槽の上方部に設けられている請求項３に記載の洗浄装置。
5. 前記第２の流入口に前記洗浄液を噴出させるシャワー部が設けられている請求項４に記載の洗浄装置。
6. 前記第２の流入口のみから前記洗浄液を前記洗浄槽に流入させ、その後、前記第１の流入口および前記第２の流入口から前記洗浄装置を前記洗浄槽に流入させる請求項３から請求項５のいずれか一項に記載の洗浄装置。
7. 前記洗浄槽から前記バッファ槽へと前記洗浄液を移動させる流出口が前記洗浄槽の一端部に設けられ、
   前記バッファ槽から流出する前記洗浄液を前記洗浄槽に流入させる流入口が前記洗浄槽の他端部に設けられる請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の洗浄装置。
   
8. 前記洗浄槽の底部が傾斜しており、
   前記洗浄槽から前記バッファ槽へと前記洗浄液を移動させる流出口が、前記傾斜した底部の深部に設けられている請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の洗浄装置。
9. 被洗浄物を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄方法であって、
   前記洗浄液に浸漬させて洗浄槽に収容された前記被洗浄物を洗浄部が洗浄する洗浄工程と、
   前記洗浄工程の後、前記洗浄槽の洗浄液をバッファ槽に移動させるバッファ槽移動工程と、
   前記バッファ槽移動工程によって前記バッファ槽に貯留された前記洗浄液をフィルタ部を介して前記洗浄槽へと循環させる循環工程と
   を含む洗浄方法。

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