TW201312128A - 電阻抗測定裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種電阻抗測定裝置，其在對構成三角電路的第1至第3電阻抗構件之中的第1電阻抗構件所進行的電阻抗測定中，可將流向第2電阻抗構件與第3電阻抗構件之間的電流抑制為零，以正確地測定出第1電阻抗構件的電阻抗。該電阻抗測定裝置具備運算放大器34，該運算放大器34包含：與第2導電路徑L2電氣連接的輸出端子以及反轉輸入端子，以及與既定基準電位(例如接地電位)電氣連接的非反轉輸入端子。然後，將第1電阻抗構件Z1與第2電阻抗構件Z2之間的第1導電路徑L1的電位，以及第2電阻抗構件Z2與第3電阻抗構件Z3之間的第2導電路徑L2的電位感應成基準電位，並測定第1電阻抗構件Z1的電阻抗。

Description

電阻抗測定裝置

本發明係關於一種電阻抗測定裝置。

參照圖4，該圖4所示之習知的電阻抗測定裝置，可測定構成三角電路的第1至第3電阻抗構件Z1~Z3之中的第1電阻抗構件Z1的電阻抗。將第1電阻抗構件Z1與第2電阻抗構件Z2電氣連接的第1導電路徑L1的電位以及第2電阻抗構件Z2與第3電阻抗構件Z3電氣連接的第2導電路徑L2的電位感應成基準電位(在圖4之例中為接地電位)，測量第1電阻抗構件Z1的電阻抗。將第1以及第2導電路徑L1、L2的電位感應成基準電位(接地電位)，是為了避免在電阻抗測定時對第1電阻抗構件Z1的電阻抗測定造成影響，而防止電流流到第2電阻抗構件Z2。

將第1導電路徑L1的電位感應成接地電位，係使用電位感應電路11。電位感應電路11具備比較器111以及可變電源部112。比較器111的正側輸入端子透過接觸銷P1與第1導電路徑L1電氣連接，其負側輸入端子與基準電位(接地電位)電氣連接。從比較器111的輸出端子輸出之輸出信號，會被當作控制信號賦予可變電源部112。可變電源部112根據比較器111的輸出信號，改變透過2個輸出端子輸出之電流。可變電源部112的2個輸出端子其中一方透過接觸銷P2與第1導電路徑L1電氣連接，另一方與基準電位(接地電位)電氣連接。然後，當第1導電路徑L1的電位相對於接地電位變動至正側或負側時，比較器111便輸出因應該變動的輸出信號，根據該輸出信號，可變電源部112透過2個輸出端子輸出電流，以抵銷第1導電路徑L1的電位相對於接地電位的變動。藉此，便可經常將第1導電路徑L1的電位感應成接 地電位。

藉由使與接地電位連接之接地導線12透過接觸銷P3與第2導電路徑L2電氣連接，進而將第2導電路徑L2的電位感應成接地電位。

電阻抗測定用的電力，由電源部13透過第3導電路徑L3賦予第1電阻抗構件Z1。電源部13經由2個輸出端子輸出第1電阻抗構件Z1的電阻抗測定用的電力(例如固定輸出之交流電流)。該2個輸出端子其中一方，透過電流檢出部14以及接觸銷P4與第3導電路徑L3電氣連接，另一方與接地電位連接。電流檢出部14可檢測出電源部13賦予第1電阻抗構件Z1的電流值。

電位差檢出部15可檢測出電源部13透過第3導電路徑L3賦予第1電阻抗構件Z1的電位差。電位差檢出部15的2個輸入端子其中一方透過接觸銷P5與第3導電路徑L3電氣連接，另一方與基準電位(接地電位)電氣連接。藉此，電位差檢出部15檢測出賦予第1電阻抗構件Z1的電位差，作為第3導電路徑L3的電位與基準電位(接地電位)的差。

然後，如上所述的將第1以及第2導電路徑L1、L2的電位感應成接地電位，並由電源部13透過第3導電路徑L3對第1電阻抗構件Z1賦予交流電流，此時對第1電阻抗構件Z1所賦予之電流以及電位差被電流檢出部14以及電位差檢出部15所檢測出，根據該檢出結果便可算出第1電阻抗構件Z1的電阻抗。

另外，習知技術可舉例如下述的專利文獻1。

[習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本實開昭61-46474號公報

然而，在上述圖4的習知技術中，與接地電位電氣連接的接地導線12透過接觸銷P3與第2導電路徑L2電氣連接，藉此將第2導電路徑L2的電位感應成接地電位。因此，接地導線12所具有之電阻值的影響會使第2導電路徑L2的電位從基準電位(接地電位)向正側或負側乖離，而且會有該乖離幅度隨著接地導線12的長度以及每單位長度的電阻值變化的問題。結果，在電阻抗測定時會有多餘的電流流過第2電阻抗構件Z2，導致無法正確地測定第1電阻抗構件Z1的電阻抗。

另外，由於使接地導線12透過第2導電路徑L2與接地電位電氣連接的構造，在接地導線12以後的導線路徑會具有既定的電容量，故從電源部13開始供給電力到第2導電路徑L2的電位穩定為止需要既定的充電時間。為了確保該充電時間，第1電阻抗構件Z1的電阻抗測定的時序會延遲，存在電阻抗測定所需要的時間會變長的問題。

另外，當於接地導線12插設開關元件(例如半導體開關元件)時，也會有流過接地導線12之電流易使開關元件劣化的問題。

因此，本發明所欲解決之問題，在於提供一種電阻抗測定裝置，其在對構成三角電路的第1至第3電阻抗構件之中的第1電阻抗構件所進行的電阻抗測定中，將流向第2電阻抗構件與第3電阻抗構件之間的電流抑制為零，以正確地測定第1電阻抗構件的電阻抗，並達到提高電阻抗測定速度以及延長開關元件使用壽命之目的。

為了解決上述問題，本發明之第1態樣提供一種電阻抗測定裝置，其以藉由第1至第3導電路徑電氣連接之第1至第3電阻抗構件構成三角電路，並將該第1電阻抗構件與該第2電阻抗構件電氣連接的該第1導電路徑的電位以及該第2電阻抗構件與該第3電阻抗構件電氣連接的該第2導電路徑的電位感應成基準電位，進而測定該第1電阻抗構件的電阻抗，其特徵為包含：第1運算放大器，其設有與該第2導電路徑電氣連接的輸出端子以及反轉輸入端子，以及與既定基準電位電氣連接的非反轉輸入端子；電源部，其與第3導電路徑電氣連接，對該第3導電路徑賦予電阻抗測定用的電力，該第3導電路徑使該第1電阻抗構件與該第3電阻抗構件電氣連接；以及電氣特性檢出部，其在該電源部對該第3導電路徑賦予該電力時，檢測出用來測定該第1電阻抗構件的電阻抗的該第1電阻抗構件的電氣特性。

另外，本發明之第2態樣的電阻抗測定裝置，如上述第1態樣之電阻抗測定裝置，其中更包含：第2運算放大器，其設有與該第1導電路徑電氣連接的輸出端子和反轉輸入端子，以及與既定接地線電氣連接的非反轉輸入端子。

另外，本發明之第3態樣的電阻抗測定裝置，如上述第1態樣之電阻抗測定裝置，其中，該第1至第3電阻抗構件以及該第1至第3導電路徑在被檢査基板上設置複數組，該電阻抗測定裝置更包含：多銷夾具，其設有與該複數組的該第1至第3導電路徑分別同時接觸的複數接觸銷；以及連接切換部，其設有複數開關元件，以切換該多銷夾具的各接觸銷與該第1運算放大器的該輸出端子、該反轉輸入端子和該非反轉輸入端子以及該電源部的電氣連接關係。

根據本發明之第1態樣的電阻抗測定裝置，藉由第1運算放大器，將第2電阻抗構件與第3電阻抗構件之間的第2導電路徑的電位確實地感應成基準電位，使第2導電路徑的電位與第1導電路徑的電位同樣成為基準電位。藉此，便可在電阻抗測定時，確實地將流向第2電阻抗構件的電流抑制為零，以正確地測定第1電阻抗構件的電阻抗。

另外，當第2導電路徑的電位自基準電位偏離時，第1運算放大器會在瞬間抑制該電位變動，使第2導電路徑的電位回到基準電位。因此，即使在電源部對第3導電路徑開始供給電力時，也能夠將第2導電路徑的電位穩定地維持在基準電位。結果，便可在電源部對第3導電路徑供給電力之後，立即以電氣特性檢出部檢測出第1電阻抗構件的電氣特性，並進行第1電阻抗構件的電阻抗測定，進而達到使電阻抗測定高速化之目的。

另外，比起流過圖4習知技術之第2導電路徑L2與接地導線12的電流而言，流過第2導電路徑與第1運算放大器的反轉輸入端子以及輸出端子之間的電流非常小，故即使在使第2導電路徑與第1運算放大器的反轉輸入端子以及輸出端子之間電氣連接的導線上插設開關元件(例如半導體開關元件)的情況下，亦可達到使該開關元件的使用壽命增長之目的。

根據本發明之第2態樣的電阻抗測定裝置，以第2運算放大器，將第1電阻抗構件與第2電阻抗構件之間的第1導電路徑的電位確實地感應成基準電位，使第1以及第2導電路徑的電位同樣成為基準電位。藉此，便可在電阻抗測定時，更確實地將流向第2電阻抗構件的電流抑制為零，進而更正確地測定第1電阻抗構件的電阻抗。

另外，亦可更進一步增進上述的對第2導電路徑使用第1運算放大器所得到的效果(使電阻抗測定高速化以及使開關元件使用壽命增長)。

本發明之第3態樣的電阻抗測定裝置，係使用多銷夾具的電阻抗測定裝置，其使用與多銷夾具電氣連接的多數導線以及插設於該導線的開關元件。因此，藉由本發明之使用第1運算放大器的構造，比起使用圖4所示之習知構造的情況而言，更可降低對導線以及開關元件的影響。

參照圖1以及圖2,說明作為本發明一實施形態之電阻抗測定裝置的基板檢査裝置21。該基板檢査裝置21可測定並檢査如圖1所示的以構成三角電路的方式設置於被檢査基板22的第1至第3電阻抗構件Z1~Z3其中任一(在此為第1電阻抗構件Z1)之電阻抗。在被檢査基板22上設置了構成複數組三角電路S1、S2...(以下在總稱該等三角電路時僅使用符號「S」)的第1至第3電阻抗構件Z1~Z3。

各組S的第1至第3電阻抗構件Z1~Z3具備一側以及另一側的連接部，藉由第1至第3導電路徑L1~L3電氣連接而構成三角電路。更具體而言，第1電阻抗構件Z1的一側連接部與第2電阻抗構件Z2的另一側連接部藉由第1導電路徑L1電氣連接，第2電阻抗構件Z2的一側連接部與第3電阻抗構件Z3的另一側連接部藉由第2導電路徑L2電氣連接，第3電阻抗構件Z3的一側連接部與第1電阻抗構件Z1的另一側連接部藉由第3導電路徑L3電氣連接。

在此，第1電阻抗構件Z1的電阻抗的測定，係一邊將第1以 及第2導電路徑L1、L2的電位感應成既定的基準電位(在本實施形態中為接地電位)一邊進行。將第1以及第2導電路徑L1、L2的電位感應成基準電位(接地電位)，是為了防止電流流向第2電阻抗構件Z2，以避免在電阻抗測定時對第1電阻抗構件Z1的電阻抗測定造成影響。

該基板檢査裝置21，如圖1以及圖2所示的，包含：多銷夾具31、連接切換部32、電位感應電路33、相當於第1運算放大器的運算放大器34、電源部35、電流檢出部36、電位差檢出部37以及控制部38。電流檢出部36以及電位差檢出部37相當於本發明之電氣特性檢出部。

多銷夾具31，如圖2所示的，包含具備導電性的複數接觸銷P，以及確保該等複數接觸銷P彼此絶緣並保持該等複數接觸銷P的保持構件311。該等複數接觸銷P，如圖1所示的，可分別同時接觸使被檢査基板22所設置之複數組S的第1至第3電阻抗構件Z1~Z3之間電氣連接的第1至第3導電路徑L1~L3。

觀察一組S說明接觸銷P的構造。對應各組S的接觸銷P，包含與第1導電路徑L1接觸的接觸銷P11、P12，與第2導電路徑L2接觸的接觸銷P13、P14，以及與第3導電路徑L3接觸的接觸銷P15、P16。

連接切換部32包含藉由控制部38的控制切換ON、OFF的複數開關元件(例如半導體開關元件)SW。然後，藉由使該開關元件SW ON、OFF，以切換多銷夾具31的各接觸銷P與裝置本體側的各連接部(在此為後述的比較器331的正側輸入端子、可變電源部332的一側輸出端子、運算放大器34的反轉輸入端子以及輸出端子、電源部35的一側輸出端子，以及電位差檢出部37的一側輸入端子)的電氣連接關係。在本實施形態中，複數開關元件 SW，以多銷夾具31所設置之複數接觸銷P其中的對應被檢査基板22所設置之三角電路的各組S，且對應其中任一組S的接觸銷P與裝置本體側的各連接部依序電氣連接的方式，切換ON、OFF。

另外，圖1所示之構造，係僅針對各組S的第1至第3電阻抗構件Z1~Z3其中的第1電阻抗構件Z1進行電阻抗測定，惟亦可增設連接切換部32內的開關元件SW的數目以及配線路徑，以針對第2以及第3電阻抗構件Z2、Z3進行電阻抗測定。

電位感應電路33，係用來將各組S的第1導電路徑L1的電位感應成基準電位(接地電位)的構件，包含比較器331與可變電源部332。比較器331的正側輸入端子，透過連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P11，與各組S內的第1導電路徑L1電氣連接，該負側輸入端子與基準電位(接地電位)電氣連接。從比較器331的輸出端子所輸出的輸出信號，作為控制信號賦予可變電源部332。可變電源部332，根據比較器331的輸出信號，使透過2個輸出端子輸出的電流產生變化(亦可取代電流而使輸出電壓產生變化)。

可變電源部332的2個輸出端子其中一方，透過連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P12，與各組S內的第1導電路徑L1電氣連接，另一方與基準電位(接地電位)電氣連接。然後，當第1導電路徑L1的電位相對於接地電位朝正側或負側變動時，比較器331會對應該變動輸出輸出信號，根據該輸出信號，可變電源部332透過2個輸出端子輸出電流，以抵銷第1導電路徑L1的電位自接地電位偏離的變動。藉此，第1導電路徑L1的電位便會經常被感應成基準電位(接地電位)。

運算放大器34係用來將各組S的第2導電路徑L2的電位感應成基準電位(接地電位)的構件。運算放大器34的反轉輸入端 子，透過連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P13，與各組S內的第2導電路徑L2電氣連接。另外，其非反轉輸入端子，與基準電位(接地電位)電氣連接。另外，其輸出端子，透過連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P14，與各組S內的第2導電路徑L2電氣連接。

然後，當第2導電路徑L2的電位自基準電位(接地電位)偏離時，該第2導電路徑L2的電位變動會被賦予給運算放大器34的反轉輸入端子，而將該電位變動抵銷的電流(或電壓)會從運算放大器34的輸出端子瞬間賦予給第2導電路徑L2。藉此，第2導電路徑L2的電位變動在瞬間就會被運算放大器34抑制，使第2導電路徑L2的電位回到基準電位(接地電位)。

電源部35，根據控制部38的控制，透過2個輸出端子輸出進行各組S的第1電阻抗構件Z1的電阻抗測定所必要的電力(例如固定輸出的交流電流)。電源部35的2個輸出端子其中一方，透過後述的電流檢出部36、連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P15，與各組S內的第3導電路徑L3電氣連接，另一方與接地電位電氣連接。在本實施形態中，電源部35係輸出固定輸出的交流電流，惟亦可使電源部35輸出固定輸出的交流電壓、電流值或電壓值以固定振幅與周期周期性變動的變動直流電流或變動直流電壓。或者，在僅測定第1電阻抗構件Z1的電阻值即可的情況下，電源部35亦可使用固定電流源或固定電壓源。

電流檢出部36插設於將電源部35一側之輸出端子與連接切換部32連接的導線上，可檢測出電源部35透過各組S的第3導電路徑L3賦予第1電阻抗構件Z1的電流值(例如交流電流值)，並將該檢出結果賦予控制部38。

電位差檢出部37可檢測出電源部35透過各組S的第3導電 路徑L3賦予第1電阻抗構件Z1的電位差(例如交流電位差)，並將該檢出結果賦予控制部38。電位差檢出部37的2個輸入端子其中一方，透過連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P16，與各組S內的第3導電路徑L3電氣連接，另一方與基準電位(接地電位)電氣連接。因此，賦予第1電阻抗構件Z1的電位差，會當作第3導電路徑L3的電位與基準電位(接地電位)的差被電位差檢出部15檢出。關於此技術特點的變化實施例，例如，電位差檢出部37的另一方的輸入端子亦可不與基準電位(接地電位)連接，而是與比較器331的正側輸入端子一起透過連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P11，與各組S的第1導電路徑L1電氣連接。

另外，在本實施形態中，係設置電流檢出部36以及電位差檢出部37二者，惟在可根據電源部35的輸出電流值或輸出電壓值取得關於賦予第1電阻抗構件Z1的電流值或電壓值的資訊時，亦可省略電流檢出部36與電位差檢出部37其中一方。

控制部38司掌該基板檢査裝置21的控制以及被檢査基板22的檢査處理。具體而言，例如控制部38使連接切換部32的各開關元件SW ON、OFF，以使被檢査基板22所設置之複數三角電路組S其中任一與裝置本體側的各連接部依序連接，並使電源部35對各組S的第1電阻抗構件Z1供給電阻抗測定用的電力。然後，控制部38根據電流檢出部36以及電位差檢出部37所檢測出的賦予各組S的第1電阻抗構件Z1的電流值以及電位差值，算出第1電阻抗構件Z1的電阻抗，並根據該算出結果判斷第1電阻抗構件Z1以及被檢査基板22的良窳等。

該基板檢査裝置21所進行的檢査，例如，使連接切換部32的各開關元件SW ON、OFF，以使被檢査基板22所設置之複數三角電路組S其中任一與裝置本體側的各連接部依序導通。此時， 裝置本體側的各連接部(比較器331的正側輸入端子、可變電源部332的一側輸出端子、運算放大器34的反轉輸入端子與輸出端子、電源部35的一側輸出端子，以及電位差檢出部37的一側輸入端子)，透過連接切換部32以及多銷夾具31的複數接觸銷P其中的對應在該時點的檢査對象的三角電路組S的接觸銷P11~P16，與對應檢査對象組S的第1至第3導電路徑L1~L3依序導通。

然後，利用電源部35對檢査對象組S的第1電阻抗構件Z1透過第1導電路徑L1給予電阻抗測定用的電力(例如交流電流)，同時藉由電流檢出部36以及電位差檢出部37檢測賦予該第1電阻抗構件Z1的電流值以及電位差值，根據該檢出之電流值以及電位差值，利用控制部38判斷該第1電阻抗構件Z1的良窳。對一組S的檢査完成之後，將下一組S設定為檢査對象，依序進行檢査至最後一組S。

如以上所述，根據本實施形態，便可利用運算放大器34，將構成三角電路的第2電阻抗構件Z2與第3電阻抗構件Z3之間的第2導電路徑L2的電位確實地感應成基準電位(接地電位)，使第2導電路徑L2的電位與第1導電路徑L1的電位同樣均成為基準電位(接地電位)。如是，便可在電阻抗測定時，將流向第2電阻抗構件Z2的電流確實地抑制為零，進而正確地測定第1電阻抗構件Z1的電阻抗。

另外，當第2導電路徑L2的電位自基準電位偏離時，可藉由運算放大器34瞬間抑制該電位變動，使第2導電路徑L2的電位回到基準電位(接地電位)。因此，即使當電源部35對第3導電路徑L3開始供給電力時，第2導電路徑L2的電位也能穩定地維持在基準電位(接地電位)。結果，在電源部35對第3導電路徑L3供給電力之後，便可立即使電流檢出部36以及電位差檢出部 37檢測出賦予第1電阻抗構件Z1的電流值以及電位差值，並進行第1電阻抗構件Z1的電阻抗測定，進而達到使電阻抗測定及判斷其良窳等動作高速化之目的。

另外，比起流過圖4習知技術之第2導電路徑L2與接地導線12的電流而言，流過各組S的三角電路的第2導電路徑L2與運算放大器34的反轉輸入端子以及輸出端子之間的電流非常小，故能夠達到使在將第2導電路徑L2與運算放大器34的反轉輸入端子以及輸出端子之間電氣連接的導線上所插設之連接切換部32的開關元件SW(例如半導體開關元件)等構件的使用壽命增長之目的。

另外，如本實施形態之基板檢査裝置21，在使用多銷夾具31的裝置中，係使用與多銷夾具31電氣連接的多數導線以及插設於該導線的開關元件。因此，藉由本實施形態之使用運算放大器34的構造，比起使用圖4所示之習知構造的情況而言，更可降低對導線以及開關元件的影響。

參照圖3，說明本實施形態之基板檢査裝置21的變化實施例。在圖3的變化實施例之基板檢査裝置21a中，係使用運算放大器41取代電位感應電路33而將各組S的第1導電路徑L1的電位感應成基準電位(接地電位)。該運算放大器41相當於本發明之第2運算放大器。

運算放大器41的反轉輸入端子透過連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P11與各組S內的第1導電路徑L1電氣連接。另外，其非反轉輸入端子與基準電位(接地電位)電氣連接。另外，其輸出端子透過連接切換部32以及多銷夾具31的對應各組S設置的接觸銷P12與各組S內的第1導電路徑L1電氣連接。

藉由該運算放大器41，將各組S的第1導電路徑L1的電位確實地感應成基準電位(接地電位)，使第1以及第2導電路徑L1、L2的電位同樣地均成為基準電位(接地電位)。因此，在電阻抗測定時，便可更確實地將流向第2電阻抗構件Z2的電流抑制為零，並更正確地測定第1電阻抗構件Z1的電阻抗。另外，亦可更進一步增進上述的對第2導電路徑L2使用運算放大器34所得到的效果(使電阻抗測定的高速化以及使開關元件的使用壽命增長)。

11‧‧‧電位感應電路

111‧‧‧比較器

112‧‧‧可變電源部

12‧‧‧接地導線

13‧‧‧電源部

14‧‧‧電流檢出部

15‧‧‧電位差檢出部

21、21a‧‧‧基板檢査裝置

22‧‧‧被檢査基板

31‧‧‧多銷夾具

311‧‧‧保持構件

32‧‧‧連接切換部

33‧‧‧電位感應部

331‧‧‧比較器

332‧‧‧可變電源部

34‧‧‧運算放大器

35‧‧‧電源部

36‧‧‧電流檢出部

37‧‧‧電位差檢出部

38‧‧‧控制部

41‧‧‧運算放大器

L1‧‧‧第1導電路徑

L2‧‧‧第2導電路徑

L3‧‧‧第3導電路徑

P、P1~P5、P11~P16‧‧‧接觸銷

S1、S2‧‧‧電路組

Z1‧‧‧第1電阻抗構件

Z2‧‧‧第2電阻抗構件

Z3‧‧‧第3電阻抗構件

SW‧‧‧開關元件

圖1係表示作為本發明一實施形態之電阻抗測定裝置的基板檢査裝置的電氣構造圖。

圖2係圖1之基板檢査裝置所具備之多銷夾具的側視圖。

圖3係表示圖1之基板檢査裝置的變化實施例。

圖4係表示習知之電阻抗測定裝置的構造圖。

21‧‧‧基板檢査裝置

22‧‧‧被檢査基板

32‧‧‧連接切換部

33‧‧‧電位感應部

331‧‧‧比較器

332‧‧‧可變電源部

34‧‧‧運算放大器

35‧‧‧電源部

36‧‧‧電流檢出部

37‧‧‧電位差檢出部

38‧‧‧控制部

L1‧‧‧第1導電路徑

L2‧‧‧第2導電路徑

L3‧‧‧第3導電路徑

P11~P16‧‧‧接觸銷

S1、S2‧‧‧電路組

Z1‧‧‧第1電阻抗構件

Z2‧‧‧第2電阻抗構件

Z3‧‧‧第3電阻抗構件

SW‧‧‧開關元件

Claims (3)

1. 一種電阻抗測定裝置，其以藉由第1至第3導電路徑電氣連接的第1至第3電阻抗構件構成三角電路，並將該第1電阻抗構件與該第2電阻抗構件電氣連接的該第1導電路徑的電位以及該第2電阻抗構件與該第3電阻抗構件電氣連接的該第2導電路徑的電位感應成基準電位，進而測定該第1電阻抗構件的電阻抗，其特徵為包含：第1運算放大器，其具有與該第2導電路徑電氣連接的輸出端子和反轉輸入端子，以及與既定的基準電位電氣連接的非反轉輸入端子；電源部，其與該第3導電路徑電氣連接，並對該第3導電路徑賦予電阻抗測定用的電力，該第3導電路徑將該第1電阻抗構件與該第3電阻抗構件電氣連接；以及電氣特性檢出部，其在以該電源部對該第3導電路徑賦予該電力時，檢測出用來測定該第1電阻抗構件的電阻抗的該第1電阻抗構件的電氣特性。
2. 如申請專利範圍第1項之電阻抗測定裝置，其中更包含：第2運算放大器，其具有與該第1導電路徑電氣連接的輸出端子和反轉輸入端子，以及與既定的接地線電氣連接的非反轉輸入端子。
3. 如申請專利範圍第1項之電阻抗測定裝置，其中，該第1至第3電阻抗構件以及該第1至第3導電路徑在被檢査基板上設置複數組；該電阻抗測定裝置更包含：多銷工具夾具，其具有與該複數組的該第1至第3導電路徑分別同時接觸的複數接觸銷；以及連接切換部，其具有複數開關元件，以切換該多銷工具夾具的該各接觸銷與該第1運算放大器的該輸出端子、該反轉輸入端子和該非反轉輸入端子以及該電源部的電氣連接關係。