TW201235370A - Photosensitive resin composition for microlens - Google Patents
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Description
201235370 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於微透鏡用感光性樹脂組成物。更詳細 而言係有關可明顯改善透明性、耐熱性、耐熱變色性及耐 溶劑性之微透鏡用感光性樹脂組成物。 【先前技術】 以往’微透鏡的形成材料已知有聚羥基苯乙烯。然而 ’因有下列問題,尙有應改良的餘地。將前述聚羥基苯乙 烯作爲微透鏡的形成材料使用時,經高溫加熱,而有易著 色、透明性劣化的傾向,使用於微透鏡時,有時可確認著 色的情況。 於是,提案含有順丁烯二醯亞胺系共聚合物之光阻組 成物、防反射膜形成組成物、液浸微影用光阻保護膜形成 用材料等(專利文獻1〜4)。 又,爲了開發液晶顯示器(LCD )、有機電致發光顯 示器裝置等之顯示器裝置的絕緣膜,而提案一種顯示器裝 置的絕緣膜之形成方法,其特徵係使用含有由茚、順丁烯 二醯亞胺及N-取代順丁烯二醯亞胺所構成之鹼可溶性共 聚合物、1,2·—叠氮基蔡醒(naphthoquinone diazide)化 合物' 交聯劑(專利文獻5)。 此外’因與多官能(甲基)丙烯酸酯的相溶性極佳, 且鹼可溶性也良好,因此,以適用於要求此種特徵之各種 " 用途爲目的,而提案含有源自於無取代順丁烯二醯亞胺之 -5- 201235370 單體結構單位、源自苯乙烯類的單體結構單位、源自(甲 基)丙烯酸的單體結構爲特徵的順丁烯二醯亞胺系共聚合 物(專利文獻6)。 但是此等先前文獻,並非以提供作爲微透鏡用感光性 樹脂組成物之用途爲目的者,且未暗示關於適用於具有無 取代順丁烯二醯亞胺及含有環氧基或封端異氰酸酯基之結 構單位之共聚合物的微透鏡用感光性樹脂組成物之具體的 手段及效果。 又,也有報告一種輻射敏感性樹脂組成物,其特徵係 含有[A] ( al )不飽和羧酸及/或不飽和羧酸酐、(a2 )含 環氧基不飽和化合物、(a3)順丁烯二醯亞胺系單體及( a4 )其他烯烴系不飽和化合物的聚合物,及[B] 1,2-二叠氮 基醌化合物(專利文獻7 )。但是此文獻所報告的輻射敏 感性樹脂組成物,雖可得到高的輻射敏感性,且可容易形 成耐溶劑性、耐熱性、透明性及耐熱變色性優良的圖型狀 薄膜,但未暗示由該組成物所形成之圖型形狀及其耐熱性 。也未記載無取代順丁烯二醯亞胺作爲順丁烯二醯亞胺系 單體。 〔先前技術文献〕 〔專利文獻〕 [專利文獻1]美國專利第6,586,560(B1)號說明書 [專利文獻2]日本特公平6-23842號公報 [專利文獻3]日本特開2008-3 03 3 1 5號公報 [專利文獻4]日本特開2002-323771號公報 201235370 [專利文獻5 ]日本特開2 0 0 3 - 1 3 1 3 7 5號公報 [專利文獻6]日本特開2004-224894號公報 [專利文獻7]日本特開200 1 -354822號公報 【發明內容】 [發明欲解決的課題] 本發明係基於上述情事而完成者,其所欲解決之課題 係提供一種可明顯改善透明性、耐熱性、耐熱變色性、耐 溶劑性、及圖型化性之微透鏡用感光性樹脂組成物。 [解決課題的手段] 本發明人等爲了解決上述課題而精心硏討結果,遂完 成本發明。 即,第1觀點: 1.一種微透鏡用感光性樹脂組成物,其特徵係含有( Α)成分、(Β)成分及溶劑, (Α)成分:具有下述式(1)表示之順丁烯二醯亞胺 結構單位及下述式(2)表示之重複結構單位的共聚合物 (Β )成分:感光劑
201235370 (前述式(2)中,R〇係表示氫原子或甲基,Ri係表 示單鍵或碳原子數1至5之伸烷基,R2係表示具有熱交聯 性之1價有機基,但是前述式(2)表示之重複結構單位 中,R〇彼此可互相不同)。 第2觀點: 如第1觀點之微透鏡用感光性樹脂組成物,其中前述 具有熱交聯性之1價有機基含有環氧基或封端異氰酸酯基 〇 第3觀點: 如第1或2觀點之微透鏡用感光性樹脂組成物,其中 前述(A)成分爲進一步具有下述式(3)、式(4)及式 (5)表示之重複結構單位3種中之至少1種的共聚合物
(前述式(3)中,X係表示碳原子數1至5之烷基 、碳原子數5或6之環烷基、苯基或苄基,但是該院基、 該環烷基、該苯基及該苄基係氫原子之一部份或全部可被 鹵素原子、羧基、羥基、胺基或硝基取代)。 -8 - 201235370 C前述式(〇中,γ係表示苯基、萘基、蒽基、聯 苯基或碳原子數1至8之烷氧基,但是該苯基、該萘基、 該蒽基及該聯苯基係氫原子之一部份或全部可被碳原子數 1至10之烷基、鹵素原子、羧基、羥基、胺基或硝基取代 )° 第4觀點: 如第1 ~3觀點中任一觀點之微透鏡用感光性樹脂組成 物,其係再含有(C)成分:交聯劑。 第5觀點: 如第1〜4觀點中任一觀點之微透鏡用感光性樹脂組成 物,其中前述共聚合物之重量平均分子量爲1000至5 00 00 第6觀點: —種硬化膜,其特徵係由如第1〜5觀點中任一觀點之 微透鏡用感光性樹脂組成物所得。 第7觀點: —種微透鏡,其特徵係由如第1〜5觀點中任一觀點之 微透鏡用感光性樹脂組成物所製作。 〔發明效果〕 由本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物所形成的膜具 有優異的透明性、耐熱性、耐熱變色性及耐溶劑性。 又,由本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物所形成之 圖型也具有優異的耐熱性。 201235370 因此’由本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物所形成 的膜於其形成步驟或配線等周邊裝置的形成步驟中,進行 高溫之加熱處理時,可明顯減少微透鏡著色、透鏡形狀變 形的可能性。又,於微透鏡形成後進行電極、配線形成步 驟時’可明顯著減少因有機溶劑所造成之微透鏡的變形、 剝離等的問題。 因此’本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物係適於作 爲形成微透鏡材料的材料。 〔實施發明的形態〕 本發明係一種微透鏡用感光性樹脂組成物,其係含有 (A)成分:具有順丁烯二醯亞胺結構單位及鍵結有具有 熱交聯性之1價有機基之重複結構單位的共聚合物、(B )成分:感光劑及溶劑。 以下詳細説明各成分。 由本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物中除去溶劑後 的固形分,通常爲1至50質量%。 < (A )成分> 本發明之(A)成分係具有下述式(1)表示之馬來醯 亞胺結構單位及下述式(2 )表示之重複結構單位的共聚 合物。 -10- 201235370
产=0 /1 (上述式(2)中,Ro係表示氫原子或甲基,係表 示單鍵或碳原子數1至5之伸烷基,R2係表示具有熱交聯 性之1價有機基。但是前述式(2)表示之重複結構單位 中,R〇彼此可互相不同)。 前述具有熱交聯性之1價有機基R2較佳爲含有環氧 基或封端異氰酸酯基者。前述R2更佳爲含有環氧基之有 機基,可降低因熱處理所造成之膜收縮等。 前述含有環氧基之有機基可含有非脂環式結構或脂環 式結構。前述R2爲含有環氧基之有機基時之重複結構單 位之式(2)的具體例,當該含有環氧基之有機基爲非脂 環式結構時,例如有下述式(6 )表示之重複結構單位’ 若爲脂環式結構時’例如有下述式(7 )表示之重複結構 單位。
-11 - 201235370 (上述式(6)、式(7)中,RG係分別獨立表示氫原 子或甲基’ R!係分別獨立表示單鍵或碳原子數1至5之伸 院基。前述R〇較佳爲甲基,前述Ri較佳爲亞甲基)。 目丨J述封ji而異氛酸醋基(blocked isocyanate)係指異歓 酸醋基(-N = C = 〇 )藉由適當的保護基封端的化合物。封 端劑例如有甲醇、乙醇、異丙醇、η_丁醇、2_乙氧基己醇 、2-Ν’Ν •二甲基胺基乙醇、2-乙氧基乙醇' 環己醇等之醇 類、酣、〇-硝基酚、ρ_氯酚、〇-甲酚、m_甲酚、ρ_甲酚等 之酣類、ε-己內醯胺等之內醯胺類、丙酮聘、甲基乙基酮 月弓、甲基異丁基酮肟、環己酮肟、苯乙酮肟、二苯甲酮肟 等之肟類、吡唑、3,5 -二甲基吡唑、3 -甲基吡唑等之吡唑 類、十二烷硫醇、苯硫醇等之硫醇類。 前述R2爲含有封端異氰酸酯基之有機基時之重複結 構單位的式(2)之具體例有下述式(8)表示之重複結構 單位、及下述式(9)表示之重複結構單位,從封端劑之 脫離溫度的觀點,較佳爲下述式(8)表示之重複結構單 位。 -12- 201235370
(上述式(8)、式(9)中,R〇係分別獨立表示氫原 子或甲基’ Ri係分別獨立表示單鍵或碳原子數1至5之伸 院基。前述Rg較佳爲甲基,前述Ri較佳爲伸乙基)》 前述(A)成分可爲具有下述式(3)、式(4)及式 (5)表示之重複結構單位3種中之至少1種的共聚合物 [化6]
(5) (上述式(3).中,X係表示碳原子數1至5之烷基 、碳原子數5或6之環烷基、苯基或苄基。但是該烷基、 該環烷基、該苯基及該苄基係氫原子之一部份或全部可被 鹵素原子、羧基、羥基、胺基或硝基取代。 -13- 201235370 上述式(4)中,Y係表示苯基、萘基、蒽基、聯苯 基或碳原子數1至8之烷氧基。但是該苯基、該萘基、該 蒽基及該聯苯基係氫原子之一部份或全部可被碳原子數1 至10之烷基、鹵素原子、羧基、羥基、胺基或硝基取代 )° 因此,前述(Α)成分之共聚合物中,上述式(1)表 示之重複結構單位之含量爲l〇mol%至90mol%,較佳爲 20mol%至70mol%。又,上述式(2)表示之重複結構單位 之含量係l〇mol%至90mol%,較佳爲20mol%至70mol%。 前述(A)成分之共聚合物進一步含有上述式(3)及/或 式(4)及/或式(5)表示之重複結構單位時,其含量爲 1 0 m ο 1 % 至 9 0 m 〇 丨 %,較佳爲 2 0 m ο 1 % 至 7 0 m ο 1 %。 上述共聚合物之重量平均分子量通常爲1000至50000 ,較佳爲1500至30000。又,重量平均分子量係藉由凝膠 滲透色譜(GPC ),使用聚苯乙烯作爲標準試料所得的値 〇 本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物中之(A)成分 的含量係基於該微透鏡用感光性樹脂組成物之固形分中的 含量,通常爲1至99質量%,較佳爲10至95質量。/0。 本発明中’得到前述(A)成分的方法無特別限定, 一般而言,使得到上述共聚合物用之含有單體種的單體混 合物在聚合溶劑中,通常在50至110 °C的温度下,進行聚 合反應而得。 -14- 201235370 < (B )成分> 本發明之(B)成分的感光劑,只要係可作爲感 分使用的化合物時,即無特別限制,較佳爲1,2-二叠 萘醌化合物爲佳。 前述1,2-二叠氮基萘醌化合物爲具有羥基的化合 可使用此等羥基中,1 0至100莫耳%,較佳爲20至 耳%經1,2-二叠氮基萘醌磺酸酯化的化合物。 前述具有羥基的化合物,例如有酚、〇-甲酚、m. 、P -甲酚、氫醌、間苯二酚、兒茶酚、五倍子酸甲醋 倍子酸乙酯、1,3,3-參(4-羥基苯基)丁烷、4,4’-異 基二酚、1,1-雙(4-羥基苯基)環己烷' 4,4’-二羥基 楓、4,4’-(六氟異亞丙基)二酚、4,4’,4”-參羥基苯 烷、1,1,1-參羥基苯基乙烷、4,4’-[1-[4-[1- (4-羥基 )-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、2,4-二羥基二苯甲 2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,2’,4,4’-四羥基二苯甲 2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮、2,2’,3,4,4’-五羥基二苯甲 2,5-雙(2-羥基-5-甲基苄基)甲基等之酚化合物、乙 2-丙醇、4-丁醇、環己醇、乙二醇、丙二醇、二乙二 二丙二醇、2-甲氧基乙醇、2-丁氧基乙醇、2-甲氧基 、2-丁氧基丙醇、乳酸乙酯、乳酸丁酯等之脂肪族醇; 又,此等感光劑可單獨或組合二種以上使用。 本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物中之(B ) 之含量係基於該微透鏡用感光性樹脂組成物之固形分 含量,通常爲1至50質量%。 光成 :氮基 物, 95莫 -甲酚 、五 亞丙 苯基 基乙 苯基 酮、 酮、 酮、 醇、 醇、 丙醇 成分 中的 -15- 201235370 本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物可含有作爲(C )成分之交聯劑。本發明之(C )成分的交聯劑係經由熱 或酸的作用形成與樹脂、感光劑等之調配組成物或其他交 聯劑分子之結合的化合物。該交聯劑例如有多官能(甲基 )丙烯酸酯化合物、環氧化合物、羥基甲基取代酚化合物 、及含有烷氧基烷基化之胺基的化合物等。 此等交聯劑可單獨或組合二種以上使用。 上述多官能(甲基)丙烯酸酯化合物,例如有三羥甲 基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二(三羥甲基丙烷)四(甲 基)丙稀酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇 四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、 二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸 酯、參(2-羥基乙基)異三聚氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯 、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇二(甲基)丙 烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、i,6-己二醇二 (甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙 二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯 、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙(2-羥基乙基)異三 聚氰酸酯二(甲基)丙烯酸酯等。 上述環氧化合物可使用例如下述一般式(10)表示之 化合物。
-16- 201235370 (式中’k係表示2至10之整數,m係表示0至4之 整數,R·3係表示k價有機基)。 上述式(10)表示之化合物中,具有„!爲2之環己烯 氧化物結構之化合物的具體例有下述式(11)及式(12) 表示之化合物、及以下所示之市售品,但是不限於此等例 [化8] 0 (11) [化9]
市售品例如有EPOLEAD (註冊商標)GT-401、同 GT-403、同 GT-301、同 GT-302、CELLOXID (註冊商標 )2021、同3000(以上爲Daicel化學工業(股)製)。 又,環氧化合物也可使用下述一般式(13)表示之化 合物。 -17- 201235370 [化 10] (式中,k係表示2至10之整數,R4係表示k價有 機基)。 具有上述式(13)表示之環氧乙烷結構之化合物的具 體例有以下所示之市售品,但是不限於此等例。脂環式環 氧樹脂例如有 DEN AC ΟL (註冊商標)EX-2 5 2 ( nagasechemtex(股) 製)、EPICLON (註冊商標)200、同400(以上爲DIC( 股)製)、jER (註冊商標)871、同872 (以上爲三菱化學 (股)製)。雙酚A型環氧樹脂例如有jER (註冊商標)828 、同834、同1001、同1004(以上爲三菱化學(股)製)、 EPICLON (註冊商標)85 0、同 8 6 0、同 4 0 5 5 (以上爲 DIC(股)製)。雙酚F型環氧樹脂例如有jER (註冊商標) 807(三菱化學(股)製)、EPICLON (註冊商標)830 ( DIC(股)製)。酚醛型環氧樹脂例如有EPICLON (註冊商 標)N-740、同 N-770、同 N-775 (以上、DIC(股)製)、 jER (註冊商標)152、同154 (以上爲三菱化學(股)製) 。甲酚酚醛型環氧樹脂例如有EPICLON (註冊商標)N- 660 、同 N-665 、同 N-670 、同 N-673 、同 N-680 、同 N- 695、同 N-665-EXP、同 N-672-EXPC 以上爲 DIC(股)製) 等。縮水甘油基胺型環氧樹脂例如有EPICLON (註冊商標 -18- 201235370 )430、同 430-L(以上爲 DIC(股)製)、TETRAD (註冊 商標)·(:、TETRAD (註冊商標)-X(以上爲三菱氣體化 學(股)製)、jER (註冊商標)604、同630 (以上爲三菱 化學(股)製)、SUMIEPOXY (註冊商標)ELM120、同 ELM100、同 ELM434、同 ELM434HV (以上爲住友化學( 股)製)、EPOTOD (註冊商標)YH-434、同 YH-434L (以 上爲東都化成(股)製)。 此等中,從耐熱性、耐溶劑性、耐長時間燒成耐性等 之耐製程性、及透明性的觀點,具有環己烯環氧化物結構 之式(11)及式(12)表示之化合物、EPOLEAD(註冊商 標)GT-401、同 GT-403、同 GT-301、同 GT-3 02、 CELLOXID (註冊商標)2021、同3000適合作爲(C)成 分。 上述羥基甲基取代酚化合物,例如有2-羥基甲基-4,6· 二甲基酚、1,3,5-三羥基甲基苯、3,5-二羥基甲基-4-甲氧 基甲苯[2,6-雙(羥基甲基)-P-甲酚]等。 上述含有烷氧基烷基化之胺基的化合物,例如有(聚 )羥甲基化三聚氰胺、(聚)羥甲基化甘脲、(聚)羥甲 基化苯並胍胺、(聚)羥甲基化脲等之一分子內含有複數 個活性羥甲基的含氮化合物,其羥甲基之羥基之至少一個 氫原子被甲基或丁基等烷基取代的化合物等。 上述含有烷氧基烷基化之胺基的化合物,有時係混合 複數取代化合物的混合物,也有一部份自行縮合所成之含 有寡聚物成分的混合物,也可使用這種混合物。更具體而 -19- 201235370 言’例如有六甲氧基甲基三聚氰胺(日本Cytec Industries (股)製「CYMEL (註冊商標)303」)、四丁氧基甲基甘 脲(日本Cytec Industries(股)製「CYMEL (註冊商標) 1170」)、四甲氧基甲基苯並胍胺(日本Cytec Industries (股)製「CYMEL (註冊商標)1123」)等之CYMEL系列 的商品、甲基化三聚氰胺樹脂((股)三和化學製「 NIKALAC (註冊商標)MW-30HM」、「NIKALAC (註冊 商標)MW-390」、「NIKALAC (註冊商標)MW-100LM 」、「NIKALAC (註冊商標)MX-750LM」)、甲基化尿 素樹脂((股)三和化學製「NIKALAC (註冊商標)MX-270 」、「NIKALAC (註冊商標)MX-280」、「NIKALAC( 註冊商標)MX-290」)等NIKALAC系列之商品等。 本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物中之(C)成分 的含量係基於該微透鏡用感光性樹脂組成物之固形分中之 含量,通常爲1至50質量%。 本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物之調製方法無特 別限制,例如有將(A )成分之共聚合物溶解於溶劑,將 (B)成分之感光劑及必要時之(C )成分的交聯劑,以所 定的比例與此溶液混合,形成均勻溶液的方法。此調製方 法之適當的階段中,必要時可再添加其他添加劑進行混合 的方法。 上述溶劑只要是溶解上述(A)成分、(B)成分、( C)成分者,即無特別限定。 這種溶劑例如有乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、甲基 -20- 201235370 溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇單甲醚、二 乙二醇單乙醚、丙二醇、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙 酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯、丙二醇單丁醚、丙二醇單丁醚 乙酸酯、甲苯、二甲苯、甲基乙基酮、環戊酮、環己酮、 2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙 酯、羥基乙酸乙酯、2_羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙 酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧 基丙酸甲酯、丙酮酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙 酯、乳酸丁酯、2-庚酮、γ-丁內酯等。 此等溶劑可單獨或組合二種以上使用。 此等溶劑中,從提昇塗膜平坦性的觀點,較佳爲丙二 醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、2 -庚酮、乳酸乙酯、乳 酸丁酯及環己酮。 又’本發明之微透鏡形成用組成物,爲了提昇塗佈性 ,可含有界面活性劑。 該界面活性劑例如有聚氧乙烯月桂醚、聚氧乙烯硬脂 醚 '聚氧乙烯十六醚、聚氧乙烯油醚等之聚氧乙烯烷醚類 、聚氧乙烯辛酚醚、聚氧乙烯壬酚醚等之聚氧乙烯烷基芳 基酸類、聚氧乙烯·聚氧丙烯嵌段順丁烯二醯亞胺類、山 梨醇野單月桂酸酯、山梨醇酐單棕櫚酸酯、山梨醇酐單硬 脂酸醋、山梨醇酐單油酸酯、山梨醇酐三油酸酯、山梨醇 野二硬脂酸酷等之山梨醇酐脂肪酸酯類、聚氧乙烯山梨醇 肝單月桂酸醋、聚氧乙烯山梨醇酐單棕櫚酸酯、聚氧乙烯 山梨醇肝單硬脂酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐三油酸酯、聚氧 -21 - 201235370 乙烯山梨醇酐三硬脂酸酯等之聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯 類等之非離子系界面活性劑、Eftop (註冊商標)EF30 1、 EF3 03、EF3 52 (以上爲三菱材料電子化成股份公司(舊( 股)JEMC0)製)、MEGAFAC (註冊商標)F171、同 F173 、同 R30 (以上爲 DIC(股)製)、Fluorad FC43 0、同 FC431(以上爲住友3M(股)製)、AsahiGuide (註冊商標 )AG710 ' Surflon S-3 82、同 SC101、同 SC102、同 SC103、同 SC104、同 SC105' 同 SC106(旭硝子(股)製) 、FTX-206D、FTX-212D、FTX-218、FTX-220D、FTX-230D、FTX-240D、FTX-212P、FTX-220P、FTX-228P、 FTX-240G等ftergent系列((股)NEOS製)等之氟系界面 活性劑、有機矽氧烷聚合物KP341 (信越化學工業(股)製 )。 上述界面活性劑可單獨或組合二種以占使用。 又,使用上述界面活性劑時,本發明之微透鏡用感光 性樹脂組成物中之含量係基於該微透鏡用感光性樹脂組成 物之固形分中的含量爲3質量%以下,較佳爲1質量%以 下,更佳爲0.5質量%以下。 又,本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物在不影響本 發明效果範圍內,必要時可含有硬化助劑、紫外線吸收劑 、增感劑、可塑劑、抗氧化劑、黏著助劑等添加劑。 以下,說明本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物之使 用。 於基板{例如以氧化矽膜被覆之矽等之半導體基板、 -22- 201235370 以氮化矽膜或氧化氮化矽膜被覆之矽等之半導體基板、氮 化矽基板、石英基板、玻璃基板(包含無鹼玻璃、低鹼玻 璃、結晶化玻璃)、形成有ITO膜之玻璃基板}上藉由旋 轉器、塗佈機等適當的塗佈方法,塗佈本發明之微透鏡用 感光性樹脂組成物’其後使用加熱板等之加熱手段進行預 烘烤後,形成塗膜。 預烘烤條件可適當選擇烘烤溫度8 0至2 5 0 °c,烘烤時 間0.3至60分鐘,較佳爲烘烤溫度80至150°C、烘烤時 間0.5至5分鐘。 又,由本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物所形成之 膜的膜厚爲0.005至3.0μιη,較佳爲0.01至Ι.Ομηι。 接著,於上述所得之膜上,透過形成所定圖型用的光 罩(reticule )進行曝光。曝光可使用g線及i線等紫外線 、KrF準分子雷射等遠紅外線。曝光後,必要時進行曝光 後加熱(Post Exposure Bake )。曝光後加熱之條件可選 自加熱溫度80至150°C、加熱時間0.3至60分鐘。然後 ,以鹼顯像液進行顯像。 上述鹼性顯像液例如有氫氧化鉀、氫氧化鈉等之鹼金 屬氫氧化物之水溶液、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基錢 、膽鹼等之氫氧化四級銨之水溶液、乙醇胺、丙胺、乙二 胺等之胺水溶液等鹼性水溶液。 此外,此等顯像液中可添加界面活性劑。 顯像的條件可選自顯像溫度5至50°C、顯像時間1 〇 至3 00秒。由本發明之微透鏡用感光性樹脂組成物所形成 -23- 201235370 的膜可使用氫氧化四甲基銨水溶液’於室溫下輕易進行顯 像。顯像後,使用超純水等清洗。 使用g線及i線等紫外線或KrF準分子雷射等之遠紅 外線,對基板進行全面曝光。其後,使用加熱板等加熱手 段進行後烘烤(reflow )。後烘烤條件可選自烘烤溫度 100至250°C、烘烤時間0.5至60分鐘。 【實施方式】 [實施例] 以下依據實施例及比較例更加詳細說明本發明,但本 發明並不侷限於此等實施例。 [以下述合成例所得之聚合物之重量平均分子量之測定] 裝置:日本分光(股)製GPC系統
管柱:Shodex[註冊商標]KL-804L及803L
管柱烘箱:40°C 流量:lml/分鐘 溶離液:四氫呋喃 [聚合物之合成] <合成例1> 將順丁嫌二醯亞胺15.〇g、縮水甘油基甲基丙烯酸酯 22.0g、N -環己基順丁烯二醯亞胺23.7g、及2,2’-偶氮雙 (異丁酸)二甲酯1.2g溶解於丙二醇單甲醚M4 5g後, -24- 201235370 將此溶液以3小時滴加於使丙二醇單甲醚4 1 .3g保持於 8 0 °C的燒瓶中。滴下終了後,反應1 2小時。將此反應溶 液冷卻至室溫後,投入二乙醚溶劑中,使聚合物再沈澱, 經減壓乾燥得到具有下述式(14)表示之3種重複結構單 位的聚合物(共聚合物)。 所得之聚合物的重量平均分子量Mw爲4,900 (聚苯 乙烯換算)。 [化11]
<合成例2> 將順丁烯二醯亞胺2.0g、縮水甘油基甲基丙烯酸酯 5.86g、苯乙烯4.29g、及2,2’-偶氮雙(異丁酸)二甲酯 〇.6g溶解於丙二醇單甲醚29.8g後,將此溶液以3小時滴 加於使丙二醇單甲醚8.5g保持於80。(:的燒瓶中。滴下終 了後’反應1 2小時。將此反應溶液冷卻至室溫後,投入 二乙醚溶劑中’使聚合物再沈澱,經減壓乾燥得到具有下 $式(15)表示之3種重複結構單位的聚合物(共聚合物 )° 所得之聚合物的重量平均分子量Mw爲6,000 (聚苯 乙烯換算)。 -25- 201235370 [化 12]
<合成例3 > 將順丁烯二醯亞胺3.7g、3,4-環氧基環己基甲基甲基 丙烯酸酯(cyclomer (註冊商標)M100(DAICEL化學工業 (股)製))7.5g、N-環己基順丁烯二醯亞胺3.4g、及2,2’-偶氮雙(異丁酸)二甲酯〇.3g溶解於丙二醇單甲醚34.7g 後,將此溶液以3小時滴加於使丙二醇單甲醚9.9g保持 於1 00°C的燒瓶中。滴下終了後,反應1 2小時。將此反應 溶液冷卻至室溫後,投入二乙醚溶劑中,使聚合物再沈澱 ,經減壓乾燥得到具有下述式(1 6 )表示之3種重複結構 單位的聚合物(共聚合物)° 所得之聚合物的重量平均分子量^^你爲3,500 (聚苯 乙烯換算)。 [化 13]
-26- 201235370 <合成例4 > 將順丁烯二醯亞胺12.0g、縮水甘油基甲基丙烯酸酯 8.4g、2-乙烯基萘17.2g、及2,2’-偶氮雙(異丁酸)二甲 酯2.0 g溶解於丙二醇單甲醚9 2 · 5 g後,將此溶液以3小時 滴加於使丙二醇單甲醚26.4g保持於80 °C的燒瓶中。滴下 終了後,反應12小時》將此反應溶液冷卻至室溫後,投 入二乙醚溶劑中,使聚合物再沈澱,經減壓乾燥得到具有 下述式(17)表示之3種重複結構單位的聚合物(共聚合 物)》 所得之聚合物的重量平均分子量Mw爲9,500 (聚苯 乙烯換算)。 [化 14]
<合成例5> 將順丁烯二醯亞胺1 〇 · 〇 g、縮水甘油基甲基丙烯酸酯 7.0g、4-tert-丁基苯乙烯14.9g、及2,2’-偶氮雙(異丁酸 )二甲酯1 . 7 g溶解於丙二醇單甲醚7 8 · 4 g後,將此溶液以 3小時滴加於使丙二醇單甲醚22.4g保持於80°C的燒瓶中 。滴下終了後,反應1 2小時。將此反應溶液冷卻至室溫 201235370 後,投入二乙醚溶劑中,使聚合物再沈澱,經減壓乾燥得 到具有下述式(18)表示之3種重複結構單位的聚合物( 共聚合物)。 所得之聚合物的重量平均分子量Mw爲15,500 (聚苯 乙烯換算)。 [化 15]
(18) <合成例6> 將順丁烯二醯亞胺3.(^、2-(0-[1’-甲基亞丙基基( propylidene)胺基]羧基胺基)乙基甲基丙烯酸酯(karenz MOI-BM (註冊商標)(昭和電工(股)製)5.6g、N-環己基 順丁烯二醯亞胺4.2g、及2,2’-偶氮雙(異丁酸)二甲酯 〇-3g溶解於丙二醇單甲醚30.4g後,將此溶液以3小時滴 加於使丙二醇單甲醚8.7g保持於80°C的燒瓶中。滴下終 了後,反應1 2小時。將此反應溶液冷卻至室溫後,投入 二乙醚溶劑中,使聚合物再沈澱,經減壓乾燥得到具有下 述式(19)表示之3種重複結構單位的聚合物(共聚合物 )° 所得之聚合物的重量平均分子量^^…爲5,400 (聚苯 乙烯換算) -28 - (19) (19)201235370
[感光性樹脂組成物溶液之調製] <實施例1> 使合成例1所得之(A)成分之聚合物5g、(B)成 分之感光劑P_2〇〇(東洋合成工業(股)製)i.5g及界面活 性劑MEGAFAC (註冊商標)R-30(DIC(股)製)0.02g溶 解於丙二醇單甲醚28.6g及乳酸乙酯13.1g作成溶液。其 後,使用孔徑〇.20μιη之聚乙烯製微過濾器過濾,調製感 光性樹脂組成物溶液。 <實施例2> 除了(Α)成分爲使用合成例2所得之聚合物5g外, 與上述實施例1相同條件,調製感光性樹脂組成物。 <實施例3> 除了( A)成分爲使用合成例3所得之聚合物5 g外 -29- 201235370 與上述實施例1相同條件,調製感光性樹脂組成物。 <實施例4> 除了(A)成分爲使用合成例6所得之聚合物5g外, 與上述實施例1相同條件,調製感光性樹脂組成物。 <實施例5> 使合成例1所得之(A)成分之聚合物5g、(B)成 分之感光劑P-200 (東洋合成工業(股)製)1.5g、(C)成 分之交聯劑CELLOXID (註冊商標)2021P(DAICEL化學 工業(股)製)〇.75g及界面活性劑· MEGAFAC (註冊商標) R-30 ( DIC(股)製)〇.〇2g溶解於丙二醇單甲醚34.1g及乳 酸乙酯14.6g作成溶液。其後,使用孔徑〇.20μιη之聚乙 烯製微過濾器過濾,調製感光性樹脂組成物溶液》 <實施例6> 除了(Α)成分爲使用合成例4所得之聚合物5g外, 與上述實施例5相同條件,調製感光性樹脂組成物。 <實施例7> 除了(A)成分爲使用合成例5所得之聚合物5g外, 與上述實施例5相同條件,調製感光性樹脂組成物。 〈比較例1 > -30- 201235370 使具有下述式(20)所表示之重複結構單位之聚(4-乙烯基酚)(Sigma-Aldrich JAPAN (股)製、重量平均分子 量Mw20,000 ) 9g、感光劑P-200 (東洋合成工業(股)製) 2.7g、交聯劑 CYMEL (註冊商標)3 03 (日本 Cytec Industries(股))1.4g、及界面活性劑 MEG AF AC (註冊商 標)R-30(DIC(股)製)0.03g溶解於丙二醇單甲醚46.0g 及乳酸乙酯19.7g作成溶液。其後,使用孔徑0.1 Ομιη之 聚乙烯製微濾器過濾調製感光性樹脂組成物溶液。 [化 17] ΟΗ [透過率測定] 將實施例1及比較例1所調製之感光性樹脂組成物 分別使用旋轉塗佈機塗佈於石英基板上,再於加熱板上以 1〇〇°(:預烘烤3分鐘。接著,藉由紫外線照射裝置?1^八-501(F) ( CANON(股)製)以 36 5nm 之照射量 500mJ/cm2 之 紫外線全面照射(光褪色)。接著,於加熱板上以2 00°C 後烘烤5分鐘,形成膜厚600nm的膜。將此膜使用紫外線 可見分光光度計UV-25 50 ((股)島津製作所製),測定波 長4 00nm之透過率。再將此膜以260°C加熱5分鐘後,測 定波長400nm之透過率。評價結果如表1所示。 -31 - 201235370 [表i] 表1 透過率/% (4 〇 〇 nm) 2 0 Ot 2 6 01 S施例1 9 8 9 8 實施例2 9 9 9 9 實施例3 9 9 9 8 實施例4 9 6 9 4 實施例5 9 7 9 7 實施例6 9 9 9 8 實施例7 9 9 9 8 比較例1 9 5 含7 8 從表1的結果可知,由本發明之微透鏡用感光性樹脂 組成物所形成的膜係耐熱性高’即使以260ec加熱後也幾 乎無著色。而由以比較例1調製之樹脂組成物所形成的膜 ,以200 °C進行後烘烤5分鐘後,膜的透過率爲95%,但 再以260°C加熱5分鐘時’膜的透過率降低至78%以下。 膜的透過率通常要求爲90%以上’即使加熱後,透過率幾 乎未變化較佳,但是比較例1均未滿足上述各要件。 [圖型化試驗] 將實施例1 所調製之感光性樹脂組成物分別使用旋 轉塗佈機塗佈於矽晶圓上’於加熱板上以100°C預烘烤90 秒,形成膜厚6 0 0 n m之感光性樹脂膜。接著’使用i線微 影步進機(Stepper)NSR-2205il2D ( NA = 0.63 )((股)Nikon 製),經由光罩曝光。接著’於加熱板上,以1 〇〇°C進行 -32- 201235370 90秒曝光後烘烤(PEB ),以氫氧化四甲銨(TMAH )水 溶液(使用實施例1〜5所調製之感光性樹脂組成物時爲 0.4質量%,使用實施例6、7及比較例1所調製之感光性 樹脂組成物時爲1.0質量% )顯像60秒,使用超純水清洗 20秒,乾燥後形成1.4μηιχ1.4μιη之點圖型。此外,使用 前述i線微影步進機,全面照射(光褪色)5 00mJ/cm2之i 線,於加熱板上進行本烘烤(首先100〜180°C的溫度烘烤 5分鐘,然後,昇溫至180〜200°C的溫度烘烤5分鐘), 再將此膜以260°C加熱5分鐘。使用掃描型電子顯微鏡呂-4 8 00 ((股)日立High-Technology製),經顯像•清洗.乾 燥後,觀察上述本烘烤及以260°C加熱後各自的圖型。使 用實施例1 ~7所調製之各感光性樹脂組成物時,在本烘烤 後可得到半球狀的透鏡,即使經其後之260°C烘烤,透鏡 形狀也未改變。 [對光阻溶劑之溶出試驗] 將實施例1 ~7所調製之感光性樹脂組成物分別使用旋 轉塗佈機塗佈於矽晶圓上,於加熱板上以1 〇〇 t預烘烤3 分鐘。接著,藉由紫外線照射裝置PLA-5 01(F) ( Canon(股 )製),將3 65nm之照射量爲500mJ/cm2之紫外線進行全 面照射(光褪色)。接著,於加熱板上以200°C進行後烘 烤5分鐘,形成膜厚600nm的膜。將此等膜於丙酮、N-甲 基吡咯烷酮、2-丙醇、及2-庚酮中各別於23°C下浸漬1〇 分鐘。使用實施例1〜7所調製之各感光性樹脂組成物所形 -33- 201235370 成的膜時,可確認於上述溶劑浸漬前後之膜厚變化爲5 % 以下。
Claims (1)
- 201235370 七、申請專利範圍: 1. 一種微透鏡用感光性樹脂組成物,其特徵係含有( A)成分、(B)成分及溶劑, (A)成分:具有下述式(1)表示之順丁烯二醯亞胺 結構單位及下述式(2)表示之重複結構單位的共聚合物 (B )成分:感光劑 [化1] >〇 (2) 0 (前述式(2 )中,R〇係表示氫原子或甲基,R!係表 示單鍵或碳原子數1至5之伸烷基,R2係表示具有熱交聯 性之1價有機基,但是前述式(2 )表示之重複結構單位 中,彼此可互相不同)。 2.如申請專利範圍第1項之微透鏡用感光性樹脂組成 物’其中前述具有熱交聯性之1價有機基含有環氧基或封 端異氰酸酯基。 3 ·如申請專利範圍第1或2項之微透鏡用感光性樹脂 組成物,其中前述(A)成分爲進一步具有下述式(3)、 式(4 )及式(5 )表示之重複結構單位3種中之至少1種 的共聚合物, -35- 201235370 [化2](前述式(3)中,X係表示碳原子數1至5之烷基 、碳原子數5或6之環烷基、苯基或苄基’但是該烷基、 該環烷基、該苯基及該苄基係氫原子之一部份或全部可被 鹵素原子、羧基、羥基、胺基或硝基取代) (前述式(4)中,Y係表示苯基、萘基、蒽基、聯 苯基或碳原子數1至8之烷氧基’但是該苯基、該萘基、 該蒽基及該聯苯基係氫原子之一部份或全部可被碳原子數 1至10之烷基、鹵素原子、羧基、羥基、胺基或硝基取代 )0 4. 如申請專利範圍第1〜3項中任一項之微透鏡用感光 性樹脂組成物,其係再含有(C )成分:交聯劑。 5. 如申請專利範圍第1~4項中任一項之微透鏡用感光 性樹脂組成物,其中前述共聚合物之重量平均分子量爲 1000 至 50000 = 6. —種硬化膜,其特徵係由如申請專利範圍第卜5項 中任一項之微透鏡用感光性樹脂組成物所得。 7. —種微透鏡,其特徵係由如申請專利範圍第1〜5項 中任一項之微透鏡用感光性樹脂組成物所製作。 -36- 201235370 四、指定代表圖: (一) 本案指定代表圖為:無 (二) 本代表圖之元件代表符號簡單說明:無 201235370 五、本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵的化學 式:無
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