TW201124731A - Coaxial probe pin, coaxial cable, and method for manufacturing - Google Patents

Description

201124731 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種使用於ic晶片或基板上之電路等之 電氣特性檢查之同軸探針及同軸纜線及其製造方法。 【先前技術】 近年來’隨著半導體1C處理速度之高速化，為了能傳 送更高頻率之檢查訊號，必須要具備屏蔽構造之同軸型探 針（同軸探針）或作為同軸探針之同軸纜線（參照專利文獻 1)0 上述同轴探針或同軸纜線基本上為在作為導電針之内 部導體周圍設置絕緣體、在此絕緣體外周設置由複數條線 材構成之外部導體。一般而言，進一步在外部導體外周設 置護套。 專利文獻1 :日本特開2002 — 257849號公報 【發明内容】 然而，上述同軸探針中，由於用於終端處理等，因此 =端部加工成外部導體從被覆外部導體外周之護套階段性 突出而露出之形狀。 如上述露出之外部導體，在處理中容易產生變形或散 亂’會有在之後之處理產生障礙之問題。同樣之問題在同 細纜線亦會產生。 本發明之課題在於使冑出之外部導體之端部不會變形 或散亂。 本發明之同軸探針，其具備：作為導電針之内部導體； 201124731 、-邑緣體，係設於該内部 子®之周圍；接英麻 緣體之外周；以及外部導 g ，係設於該絕 tt , ^ ± 導體’由複數條線材椹士 藉由该接著層固定在該絕 材構成，設置成 ,g ,. L .. 、&緣體之外周之狀態β 康上述構成，外部導 外周面，尤其是同軸探針之::接:：在絕緣體之 部藉由接著層固定在絕緣體之外周面，二卜：導體之端 亂。 此不會變形或散 此外’上述構成中，作 μ 絕緣體之外周作為載帶亦可:在: = : = = = 狀亦可。 外周面塗布成糊 上述同軸探針中，較佳為，該接著層係 緣體之溫度熔融之材料構成。 低於遠、，-邑 上述構成中’在絕緣體之外周設 進-步在其外周設置外部導μ者層之材枓， 熔融，能將外部導體固定在 材枓 心仕絕緣體之外周面，此情 會使絕緣體變形或使其特性劣化。 + 本發明之同軸纜線’其具備：内部導體；絕緣體，係 設於該内部導體之周圍；接著層，係設於該絕緣體之、 以及外部導體，由複數條線材構成，言史置成藉由該接著層 固定在該絕緣體之外周之狀熊。 上述同軸親線中，即使外部導體在端部等露出， 會變形或散亂。 λ 本發明之同軸探針，具備在内部具有作為導電針之内 部導體之絕緣體；在該絕緣體之外周捲繞由錢於該絕緣 4 201124731 體之溫度炫敲夕# 載帶之外周捲繞由複$ =接著載帶，在該捲繞後之接著 該等外部導體、接著^ 成之外部導體，並對包含 體熔融溫度之、、θ声及絕緣體之構造體以低於該絕緣 理’，接著度;，處 層將該外部導雜接著固定在該絕緣雜之:；。’藉由該接著 根據上述構成’藉 層，將外部導體固定在絕缘體之二接者载帶構成之接著 部，露出之外邮道周面，在同軸探針之端 , °體之端部藉由該接著層固定在絕緣體之 外周面，因此不會變形或散亂。 之 1情形，由於用以使接著載帶溶融之加熱處 特性劣化。〜進仃，因此不會使絕緣體變形或使其 由於使捲繞於絕緣體之外周之接著載帶炫融一體 化以形成接著層’因此容易控制接著層各部分之厚度，相 較於塗=接著劑形成接著層之情形，接著層之厚度不會不 均，更谷易進行外部導體之捲繞。 本發明之同軸探針之製造方法，係準備在内部具有作 為導電針之内#導體之絕緣體；在該絕緣體之外周捲繞由 以低於該絕緣體之溫度炼融之材料構成之接著載帶；在該 捲繞後之接著載帶之外周捲繞由複數條線材構成之外部導 體；在該捲繞後之外部導體之周圍配置捲繞有以與該接著 載帶相同之溫度熔融之材料所構成之載帶之外部载帶層； 對包含該外部載帶層、外部導體、接著載帶及絕緣體之構 201124731 造體以低於該絕緣體炼融溫度 部載帶層炫融之溫度施以加熱處理，以使該:::::: 一體化構成接著層，藉由該接著層將該外部導體 在該絕緣體之外周，且使外 固疋 體之外周。 戰帶層熔融-體化在外部導 /述同姉針之製造方法中，除了獲得露出之 ，：會變形繼之同軸探針外’對包含外部載帶層：外 #導體、接著載帶及絕緣體之構造體僅進行 理’即可同時進行外部導體對絕緣體之接著固定與 載帶層熔融一體化之被覆’可簡化作業步驟。 成為二此製造方法中，能藉由接著載帶使接著層各部分 ’’’、疋之厚度，接著層之厚度不會不均，能使外部導體 對絕緣體之密合度為一定。再 3, ^ . 由於用以使接著載帶熔 加…處理係在低於絕緣體炫融之溫度進行，因此不會 使絕緣體變形或使其特性劣化。 ^述^轴探針之製造方法中，較佳為藉由捲繞部彼 属之ι/Γ早層捲繞、或捲繞部之大致一半寬度部分依序重

Li/接捲繞，在該絕緣體之外周將該接著《捲繞成 表面無凸部之形狀。 =述製造方法中，在接著”之表面未形成&部之結 二ΐ將外部導體捲繞於該接著載帶之外周時，可避免因 外：導體之各線材爬上接著載帶之段差而導致之捲繞不良 之產生。 再者，上述同轴探針之製造方法中，較佳為，該接著 6 201124731 載帶與該外部導體係、捲繞於彼此相反之螺旋方向 帶與外部導體之捲繞方向相同之情形者載 之力吾s 士雖者之他方向 ，、有使另一者同樣地鬆弛之作用，但上述方法中， 方向之力量不具有使另一者鬆弛之作用，而是 _弛。 接觸阻止一者之鬆弛’藉此，能避免兩者夂 :述同軸探針之製造方法中’如上述，在接著栽帶與 邛導體捲繞於彼此相反之螺旋方向之情形，更佳為，該 接著載帶之捲繞方向與料料體之捲繞方向之交= α係設定成80。< α < 1〇〇。。 又 上述方法中，接著載帶與外部導體之兩捲繞方向成為 大致正交’一者之鬆弛方向之力量完全不會施加於另—者 之4、弛方向，藉由兩者接觸進一步確實防止彼此之鬆弛。 根據本發明，在同軸探針或同軸纜線之端部露出之外 Ρ導體不會變形或散亂，在之後之處理不會產生障礙。 【實施方式】 以下，根據圖式說明本發明之第丨實施形態，如圖i 及圖2所不，本實施形態之同軸探針1具備作為導電針之 内部導體2、設成該内部導冑2插通中心之狀態之絕緣體 3、設於絕緣體3之外周之接著層4、藉由該接著層4接著 固疋在絕緣體3之外周之外部導體5、及被覆外部導體$之 外周之護套6。 同軸探針1係構成為整體在軸心方向之長度約20mm、 外偟約0.3mm之極細線狀，在端部，外部導體5相對護套 201124731 6階段性突出而露出。内部導體2係以直徑約〇 — 絲形成。 絕緣體3係、以例如pFA(四氟乙稀•全氟燒基乙稀基喊 共聚物）等之絕緣樹脂材成形。該絕緣體3，在内部中心插 通有内部導體2。 接著層4係由具有低於絕緣體3炫點之炫點之材料構 成丄亦即，由以低於絕緣體3之溫度溶融之材料構成。此 接者層4 φ可藉由例如糊狀之接著材料之塗布形成，但本 實施形態中’如之後詳細說明’將以低於絕緣體3之溫度 溶融之樹月日製載帶（接著載帶）捲繞於絕緣體3之外周，藉由 加熱使該捲繞後之接著載帶熔融-體化構成接著層4。曰 :為接著載帶’以使介電係數低至25〜3 5程度之點 與谷易成為均句厚度之點觀之，較佳為聚蔡二甲酸乙二醇 ::二介電係數2.8@1ΚΗζ)或聚對苯二甲酸乙二醋 "電係數3.2@1 KHz)等之聚酯載帶。 除了如上述使用載帶以外，亦可使熱塑性接著劑 '例 成為=SPM公司製產品「咖咖」（介電係數3·8〜5·6) 成為糊狀心喷灑機構等塗布而構成接著層〇 線捲體5係將20多條直徑。.〇3_之錢錫銅合金細 線=堯成螺％狀形成。護套6係由具有與接著層4之材料 之熔點相同之炫點之好社祕4、 ； 料相… 亦即由以與接著層4之材 帶構成。 十稱4具體而舌，以PE 丁載 上述第1實施形態中，雖將絕緣體3作成實心，但如 201124731 圖3.所示之第2實施形態般，作成中空亦可。亦即，絕緣 體3具有在㈣插通設置有内部導體2之内側絕緣層 從該内侧絕緣層3a放射狀延伸之複數個（實施形離為6個） 肋部3b，3b，…、及連結於肋部3b之外端之外側絕緣層b 在周方向相鄰之肋部3b，3b之間形成貫通 度方向之間隙3d。 接著，說明上述構成之同軸探針丨之製造方法首先， 在内部導體2之關形成絕緣體3,準備在内部具有 導 體2之絕緣體3。 _在上述絕緣體3之外周設置接著層4,首先，如圖3所 不’將作為接著層4之接著載帶40捲繞成螺旋狀。 :著载帶40係由以低於絕緣體3之熔點、低於絕緣體 間：Z t融之材料構成。如圖示，藉由捲繞部彼此大致無 、目之單層I燒’將該接著載帶40捲繞成表面益 部之报 Ο·、1 ^ C7 八 5 ，藉由1/2搭接捲繞般捲繞部之既定寬度部 “且之搭接捲繞，捲繞成表面無凸部之形狀亦可。 導體接Λ’在捲繞成螺旋狀之接著载帶40之外周，將外部 繞於與接著載帶4〇相反之螺旋方向。 於，接荖番· ^ 幵屌囚在 此裁帶40與外部導體5之捲繞狀態皆不會鬆弛。 之捲’將接著載帶4G之捲繞方向Dt與外部導體5 句D〇之交又角度α設定成下式（1)。 8〇〇< « < 100-...(1) 以此方★ M Χ ，使接著載帶40之捲繞方向與外部導體5 直角或接近直角之角度交又，能將接著裁帶4〇 201124731 與外部導體5之捲繞狀態維持成皆不會鬆他。 再者，在捲繞後之外部導㈣ # ^ , 導體5之周圍設置由捲繞後之 戟帶構成之外部載帶層即護套 一 苌6 將由該護套ό、外部導體 5、接者載帶40、絕緣體3及内 .^ ^ 久鬥。卩導體2構成之構造體送入 加熱爐内，對上述構造體以低 Q ^ %絕緣體3熔融溫度之溫度 且為接著載帶40及護套6之材 _ <材料載帶熔融之溫度（具體而 言，loot〜15(TC )施以加熱處理。 藉由上述加熱處理，在外部導體5之外周，護套6之 材料載帶熔融一體化’緊密地被覆外部導體5之全周。 又，在外部導體5之内側，接著載帶40體化成 為接著層4,將外部導體5接著固定在絕緣體3之外周面。 藉此，即使外部導體5之端部從護套6⑽融固化之外部載 帶層）突出而露出’亦可防止變形或散亂。 此外’由於加熱處理之溫度為低於絕緣體3溶融溫度 之溫度’因此絕緣體3不會變形或炼融。 作為另一實施形態’將表面具有接著劑之樹脂載帶螺 旋捲繞於絕緣體3之外周、或沿著絕緣體之長度方向捲繞， 形成接著層4亦可。 本發明在使用於1C晶片或基板上之電路等之電氣特性 檢查之同軸探針及同軸纜線及其製造方法特別有用。 【圖式簡單說明】 圖1係將本發明第1實施形態之同軸探針之半部分截 面顯示的側視圖。 圖2係第1實施形態之同軸探針的橫截面圊。 201124731 圖3係本發明第2實施形態之同軸探針的橫截面圖。 圖4係本發明之同軸探針之製程的說明圖，顯示在絕 緣體之外周捲繞接著載帶與外部導體的狀態。 【主要元件符號說明】 1 同軸探針 2 内部導體 3 絕緣體 4 接著層 40 接著載帶 5 外部導體 6 護套

Claims (1)

1. 201124731 七、申請專利範圍： 1.一種同輛探針，其具備： 作為導電針之内部導體； 圍； ;以及 設置成藉由該接著層 絕緣體，係設於該内部導體之周 接著層，係設於該絕緣體之外周 外部導體’由複數條線材構成， 固定在該絕緣體之外周之狀態。 2.如申請專利範圍 部導體之外周之護套， 階段性突出而露出。 第1項之同軸探針，其具備被覆該外 該外部導體之端部從該護套之端部 3·"請專利範圍第丨項之同軸探針，其中，該接著層 係由以低於該絕緣體之溫度熔融之材料構成。 4.一種同軸纜線，其具備： 内部導體； 絕緣體’係設於該内部導體之周圍； 接著層，係設於該絕緣體之外周；以及 外部導體，由複數條線材構成，設置成藉由該接著 固定在該絕緣體之外周之狀態。 5.種同軸探針，具備在内部具有作為導電針之内部 體之絕緣體； 在I-邑緣體之外周捲繞由以低於該絕緣體之溫度炫融 料構成之接著載帶，在該捲繞後之接著載帶之外周捲 繞由複數條線材構成之外部導體，並對包含該等外部導 體、接著載帶及絕緣體之構造體以低於該絕緣體熔融溫度 12 201124731 之溫度且為該接著截 載帶熔融之溫度施以加熱處理，以使該 接者载帶炼融-體化構成接著層； 周。藉由°亥接者層將該外部導體接著固定在該絕緣體之外 種同軸探針之製造方法，係準備在内部具有作 電針之内部導體之絕緣體； 守 之材緣體之外周捲繞由以低於該絕緣體之溫度炫融 之材枓構成之接著載帶； 在遠捲繞後之接著載帶之外周捲繞由複數 之外部導體； ^刊饵战 ,:亥捲繞後之外部導體之周圍配置捲繞有以與該接著 目同之溫度熔融之材料所構成之載帶之外部載帶層； :包含該外部載帶層、外部導體、接著載帶及絕緣體 ^體以低於該絕緣體熔融溫度之溫度且為該接著載帶 及:卜部載帶層炫融之溫度施以加熱處理以使該接著載帶 體化構成接著層’藉由該接著層將該外部導體接著 固定在該絕緣體之夕卜3，Β V* AL *ΓΤ # « 卜周且使外部載帶層熔融一體化在外 部導體之外周。 7·如申請專利範圍帛6項之同軸探針之製造方法，其 立藉由捲繞邛彼此相鄰之單層捲繞、或捲繞部之既定寬 X Ρ刀依序重疊之搭接捲繞，在該絕緣體之外周將該接著 載帶捲繞成表面無凸部之形狀。 8·如申請專利範圍帛6項之同軸探針之製造方法，其 中’將該接著載帶與該外部導體捲繞於彼此相反之螺旋方 13 201124731 向。 中， 交叉 八、 9.如申請專利範圍第8項之同軸探針之製造方法，其 將該接著載帶之捲繞方向與該外部導體之捲繞方向之 角度α設定成80°< α <100°。 圖式. (如次頁） 14