TW200912535A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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200912535 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關感光性樹脂組成物。 【先前技術】 •• 在構成液晶顯示元件的彩色濾光片基板與陣列基板之 :;二設有間隔物以保持兩基板的間隔為—定，使此兩基板 間充滿液晶後’即可發揮液晶顯示元件的機能。至於此間 &物，可使用如以往的玻璃粒子、塑聲粒子等球形粒子。 秩序種球形粒子時，由於會在兩基板間無 光片“ ^當將球形粒子配置在陣列基板或彩色遽 形成的TFT元件或電極等的位置上 f 因接觸而受到損傷，或配置在透過晝素部份 元件的對比。將因球形粒子而散射，以致降低液晶顯示 議：此Si用腊組成物以形成間隔物的提 任意處形^ ]基板或彩色濾光片基板的 ㈣隔物’而解決前述的問題。 乙烯的感光性樹脂組成物’已知可由苯 形成的樹脂、三官5及(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的共聚物 始劑的2-苄美7此以上的（甲基）丙烯酸酯與作為聚合起 溶劑形成的間：二==(4’嗎t苯基)丁…及 專利文獻D。 之感光性樹脂組成物（例如，參照 同時 在間隔物形成驗成物方面 已知使（曱基）丙 320409 6 200912535 烯酸苄醋、丙烯酸、（甲基）丙烯酸羥乙酯及乙氧基丙酸乙 酯共聚後’在所得的共聚物中，使六亞甲基二異氰酸醋的 丙烯酸羥乙酯之單附加物反應而得的樹脂，與二季戊四醇 五丙稀酸酯/二季戊四醇六丙烯酸酯混合物、作為聚合起 始劑的2，4-二氯甲基（胡椒基）-6-三嗔、界面活性劑及溶 劑而組成的間隔物形成用之感光性樹脂组成物（例如，參照 專利文獻2 ) 〇 可形成間隔物的感光性樹脂組成物，也可使用於形成 設置在陣列基板或彩色濾光片基板的任意場所上之凸出 物，以控制LCD的液晶分子之配向、或形成LCD用的保護 層（絶緣層）、或形成LCD用的上塗層、或形成LCD用 觸孔。 [專利文獻1]日本特開平Π — 號公報 [專利文獻2]日本特開2002-20442號公報 【發明内容】 、功待可提咼使用於控制液晶分子配向的凸出物形成 或]隔物形成用感光性樹脂組成物之性能，尤其要求可 么、形狀良好，且表面平滑性良好的圖案之組成物。 、诉本發明的目的，是為提供一種形狀良好，且賦予表 生良好的圖案之液晶分子配向控制用的凸出物形 或間Fwj物开》成用之感光性樹脂組成物。 的处^發Γ人針對可解決前述問題而得的組成物進行檢1 可：予形：某Γ類的樹脂之感光繼組成物 丁小狀良好，且表面平滑性良好的圖案。 320409 7 200912535 - 即’本發明是提供以下的[1]至[13]之組成物。 [1 ] · 種感光性樹脂組成物，係含有黏合劑樹脂（a )、酿 疊氮化合物（B)及溶劑（c)的感光性樹脂組成物，其中， .黏合劑樹脂（A)是由下述（1)、（2)、（3)及（4)組成的樹脂， •或是由下述⑴、（2)、（5)及⑹組成的樹脂，. ' (1):源自（A1)之組成單位 (2):源自（A2)之組成單位 ,(3):源自使（A4)的環氧基部位與（A3)反應而得的反應物之 \ 組成單位 ()源自由（A4)與（A3)反應生成之經基的部位，與（A5) 反應而得的反應物之組成單位 (5) :源自（A3)之組成單位 (6) .源自（A4)之組成單位 (A1).—分子中具有選自三環癸烷骨架及雙環戊二烯骨架 所成族群中的至少一種骨架，與不鉋和鍵的化合物 ‘（）可與（A1)及（A4)共聚並具有不飽和鍵之化合物 (A3) ·具有不餘和鍵基的羧酸 (A4) ·· 一分子中具有不飽和鍵與環氧基的化合物 :酸酐 (但疋’ CA1)至（A5)互為不同者）。 [一21·—種感光性樹脂組成物，係含有黏合劑樹脂（A)、醌 二疊氮化合物（B)及溶劑（c)的感光性樹脂組成物，苴中， 2劑樹脂⑷是含有下述共聚物中的至少—種之黏合劑 5曰’該共聚物係··在使下述（A1)至⑽共聚而得的共聚 320409 8 200912535 .物3上’再與（A4)反應而帶的共聚物；或使下述（Al)、（A2) 及（A4)共聚而得共聚物1，再將所得的共聚物1與（A3)於 -源自共聚物1的（A4)之環氧基部位上反應而得共聚物2， *再使所得的共聚物2與（A5)在共聚物1的（A4)與（A3)反應 ·.生成的羥基部位上反應而得的共聚物， ' (A1): —分子中具有選自三環癸烷骨架及雙環戊二烯骨架 所成族群中的至少一種骨架，與不飽和鍵的化合物 (A2) ·可與（A1)及（A4)共聚並具有不飽和鍵之化合物 (A3).具有不飽和鍵基的敌酸 (A4). —分子中具有不飽和鍵與環氧基的化合物 • (A5):酸酐 - (但疋，（A1)至（A5)互為不同者。） [3].如[1]或[2]項的感光性樹脂組成物，其中，（μ)為避 自（甲基）丙稀酸雙環戊§旨、（甲基）丙稀酸雙環戊烯醋、（予 基）㈣酸雙環戊氧基乙醋及（甲基）丙稀酸雙環戊婦氧基 乙酯所成族群中的至少一種之化合物。 L4].如[1]至[3]項中任一項之感光性樹脂組成物，其中， 選自苯乙婦、^甲基苯乙婦、'（甲基）丙稀酸Μ、 取代順丁烯二酿亞胺化合物所成族群中的至少一種之化 合物。 [(1]3.)Π至[4]項中任一項之感光性樹脂組成物，其 ⑽為进自丙烯酸及W基)丙烯酸所成族群中的至少 之化合物。 】又y [6].如[1]至[5]項中任一 項之感光性樹脂組成物 ，其中， 320409 9 200912535 (A4)為選自丙烯酸縮水甘油酯及（甲基）丙烯酸縮水甘油酯 所成族群中的至少一種之化合物。 [7 ]’如[1 ]至[6 ]項中任一項之感光性樹脂組成物，其中 (A5j為選自順丁烯二酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、酞酸酐 四氫駄酸if、六氫酞崎、f基内亞甲基四氫酿酸肝 (methyl endo methylene tetrahydrophthalic anhydride)、甲基四氫酞酸酐及偏苯三甲酸酐所成族群中 的至少一種之化合物。 [8]. —種硬化樹脂圖案，係使用π]至[7]項中任一項之感 光性樹脂組成物所形成者。 [9 ].如[8 ]項的硬化樹脂圖案 隔物。. 其中’硬化樹脂圖案為間 硬化樹脂圖案為垂 硬化樹脂圖案為絶 [10].如[8]項的硬化樹脂圖案，其中 直配向型液晶顯示元件用的凸出物。 [Π ].如[8 ]項的硬化樹脂圖案，其中 緣膜。 八 [12 ].如[8 ]項的硬化樹脂圖案 層0 中’硬化樹脂案為 工 [13 ]. 種於色遽光片，係由含 卜涂届V a 两3啕自間隔物、絶緣膜 層及液曰曰配向控制用的凸出物所成族群中之至少一 的硬化圖案而形成，其中 主/ rW工.、 又冗圖累疋使用[1]至「71 項之感光性樹腊組成物所形成者。 【實施方式】 以下，詳細說明本發明 320409 10 200912535 f發明的感光性樹脂組成物，是含有黏合劑樹脂（a)、 醌一®虱化合物（B)及溶劑（C)的感光性樹脂組成物，其 中’黏合劑樹脂(A)是由下述⑴、⑵、⑶及⑷組成的樹 脂，或是由下述（1)、（2)、（5)及（6)組成的樹脂。 (1) .源自（A1)之組成單位 (2) :源自（A2)之組成單位 (3) 、:，自使（A4)的環氧基部位與（A3)反應而得的反應物之 組成單位 (4) ··源自由（Α4)·(Α3)反應生成之羥基的部位，與 反應而得的反應物之組成單位 (5) :源自（A3)之組成單位 (6) :源自（A4)之來源的組成單位 分子巾具有選自三環钱骨架及雙職二稀骨架 ^成族群中的至少一種骨架，與不飽和鍵的化合物 (A3) (A4) 可與（A1)及(A4)共聚並具有不餘和鍵之化合物 具有不飽和鍵基的羧酸 一分子中具有不飽和鍵與環氧基的化合物 酸酐 (但疋’（A1)至（A5)互為不同者）。 同時’本發明的感光性樹脂組成物，係含有黏合綱 二二疊氮化合物⑻及溶劑(C)的感光性樹脂組4 中’黏合劑樹脂⑴是含有下述共聚物中的至少一 之黏合劑樹脂，該丑聚

得的共聚物3上，再=二_)至⑽共P 丹/、（A4)反應而得的共聚物；或使下尨 320409 11 200912535 (Al)、（A2)及（A4)共聚而得共聚物1，將所得的共聚物j 與（A3)於源自共聚物1的（A4)之環氧基部位上反應而得共 聚物2 ’再使所得的共聚物2與（A5)在共聚物1的（A4)與 (A3)反應而生成的羥基部位上反應而得的共聚物。 (A1) · —分子中具有選自三環癸烷骨架及雙環戊二烯骨架 所成族群中的至少一種骨架，與不飽和鍵的化合物 (A2) 了與（A1)及（A4)共聚並具有不飽和鍵之化合物 (A3):具有不飽和鍵基的羧酸 (A4): —分子中具有不飽和鍵與環氧基的化合物 (A5):酸酐 (但是’（A1)至（A5)互為不同者。） 至於一分子中具有選自三環癸烷骨架及雙環戊二烯骨 架所成族群中的至少一種骨架與不飽和鍵的化合物（ai)， f體上可舉例如（甲基）丙稀酸雙環戊酯、（甲基）丙稀酸雙 環戊晞醋、（曱基）丙稀酸雙環戊氧基乙酉旨、（甲基）丙烯酸 雙環戊稀氧基乙酯。 這些化合物可以分別單獨使用，或是將兩種組合後使 甩。 匕丁本說明書中的（甲基）丙稀酸酉旨，是表示丙稀酸 酉旨及/或（甲基）丙烯酸酯。 至於可與⑼及(A4)共聚並具有不飽和鍵之化合物 ，具體上可列舉如：（甲基）丙稀酸甲醋、（甲基）丙婦 =醋、（甲基）丙稀酸丁醋、（甲基）丙浠酸2-經乙醋及（甲 土）丙知酸胺基乙㈣不鮮_之無取代或取代燒基醋； 320409 12 200912535 _ (甲基）丙烯酸環戊酯、（甲基）丙烯酸環己酯、（甲基）丙烯 .酸甲基環己酯、（甲基）丙烯酸環庚酯、（曱基）丙烯酸環辛 酯、（曱基）丙烯酸薄荷酯、（甲基）丙烯酸環戊烯酯、（曱基） 丙烯酸環己烯酯、（甲基）丙烯酸環庚烯酯、（甲基）丙烯酸 環辛烯酯、（曱基）丙烯酸薄荷二烯醋、（甲基）丙烯酸異冰 片酯、（甲基）丙烯酸蒎酯、（曱基）丙嫜酸金剛烷酯、（曱基） 丙烯酸降冰片烯酯、（甲基）丙烯酸蒎烯酯的含不飽和羧酸 之月曰基的醋化合物； 如泰聚乙二醇單烧基（甲基）丙稀酸醋的乙二醇類之單飽和 叛酸醋化合物； 如含有（曱基）丙烯酸苄酯、（甲基）丙烯酸苯氧酯的不飽和 幾酸苯氧之芳香環的酯化合物； 如笨乙烯、α _曱基苯乙烯、α_苯基苯乙烯及乙烯曱苯的 芳香族乙烯化合物； 如酷酸乙烯醋及丙酸乙烯酯的羧酸乙烯酯； 如（甲基）丙烯腈及α-氯化丙烯腈的氰化乙烯化合物； 如Ν-環己基順丁烯二醯亞胺或Ν_苯基順丁烯二醯亞胺、Ν_ 节基順丁烯二醯亞胺的Ν-取代順丁烯二醯亞胺化合物等。 這些化合物可單獨使用’或組合後使用。 其中，作為（Α2)者’亦宜選自苯乙烯、α -曱基苯乙烯、 (甲基）丙烯酸苄酯、Ν-取代順丁烯二醯亞胺化合物所成族 群中的至少一種化合物。 至於具有不飽和鍵基的叛酸（A3 )，具體上可列舉例 如：如丙烯酸、（曱基）丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、順丁稀 320409 13 200912535 二酸、反丁烯二酸、α_(羥甲基）丙烯酸，可在同一分子中 具有§备基及鼓基的不飽和鍵基的羧酸。 其中，以丙婦酸及（甲基）丙稀酸為佳，丙烯酸及（甲基） 丙烯酸可分別單獨使用，或組合後使用。在使用巴豆酸、 衣康酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸、α _(羥甲基）丙烯酸時， 並非單獨使用，而是以與丙烯酸及/或（甲基）丙稀酸組合 後使用時為佳。 ' ° 至於可在一分子中具有不飽和鍵與環氧基的化合物 (Α4)，具體上可舉例如（甲基）丙烯酸縮水甘油酯、（甲基） 丙烯酸-沒-甲基縮水甘油酯、（甲基）丙烯酸乙基縮水 甘油醋、（甲基）丙烯酸-3-丙基縮水甘油酯、义_丙埽酸乙 酯-万-甲基縮水甘油酯、（甲基）丙烯酸—3_甲基_3,4_環氧 丁酯、（甲基）丙烯酸-3-乙基-3,4-環氧基丁酯、（甲基）丙 烯酸-4-甲基-4, 5-環氧基戊酯、（曱基）丙烯酸_5—甲基 _5, 6-環氧己g旨、縮水甘油乙烯_等。 其中’（A4)宜為（甲基）丙稀酸縮水甘油酯。 酸酐(A5)是在分子中具有一個酸酐基的化合物，具體 上可舉例如順丁烯二酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、反丁烯 二酸酐、四氫酿酸酐、六氫酞酸酐、甲基内亞甲基四氫酞 酸酐（methyl endo methylene tetrahydr〇phthalic anhydride)、甲基四氫酞酸酐、偏苯三甲酸酐等，並以四 氳酞酸酐為佳。 可使用於本發明的黏合劑樹脂（A)，是由上述（1):源 自（A1)之組成單位、（2):源自（A2)之組成單位、（3):源 320409 14 200912535 自使（A4)的環氧基部位與（A3)反應而得的反應物之組成單 位及（4):源自由（A4)與（A3)反應生成之羥基的部位，與（A5) 反應而得的反應物之組成單位所組成之樹脂；或是由（1): 源自（A1)之組成單位、（2):源自（A2)之組成單位、（5): 源自（A3)之組成單位以及（6):源自（A4)之組成單位所組成 之樹脂。 可使用於本發明的黏合劑樹脂（A )’是含有在上述（a 1) 至（A3)共聚而得的共聚物3上’再使（A4)反應而得的共聚 物；或使（Al)、（A2)及（A4)共聚而得共聚物1，並將所得 的共聚物1與（A3)反應而得共聚物2，再使所得的共聚物2 與（A5)反應而得共聚物。 首先，在使本發明中的（A1)至（A3)共聚而得的共聚物 3中，由（A1)至（A3)分別導入的組成成分之比率，:對於 組成前述共聚物的組成成分之總莫耳數，其莫耳分率宜 以下的範圍。 且，、、、 由（A1)導入的組成單位：2至30莫耳％ 由（A2)導入的組成單位：2至95莫耳％ 由（A3)導入的組成單位：2至70莫耳％ 土同時，以前述的組成成分之比率在以下的範圍内時更 由（A1)導入的組成單位：5至25莫耳％ 由（A2)導入的組成單位：5至8〇莫耳％ 由（A3)導入的組成單位：5至6〇莫耳％ 可使非晝素部 當前述的組成比率在上述的範圍内時 320409 15 200912535 伤的曝先部伤之脫落性良好， ,x - -r ^ /+ 撓丨生及耐熱性的平衡良 好’而可得甚佳的骨幹聚合物。 丁何民 其次，在前述的共聚物3之上附加⑽而反應後，可 成為本發明的感光性樹脂組成 脂。藉由使⑽在前述的共聚物=之-種黏合劑樹 賦有光/熱硬純。 上反應’料使共聚物 於述的—分子巾具有不飽和鍵與環氧基之化合 ()、、體上可舉例如（甲基）丙烯酸縮水甘油_、（甲基） =稀酸3, 4-環氧基環己酯、（甲基）丙稀酸3,4—環氧基環己 基甲醋、（甲基）丙婦酸甲基縮水甘油醋等。並以（甲基）丙 烯酸縮水甘油g旨為佳。這些化合物可分別單獨使用，土或是 將二種以上組合後使用。 相對於使（A1)至（A3)聚合而得的共聚物3中之羧基 (源自（A3)成分），（A4)的附加量為5至9〇莫耳％，並以 10至80莫耳％為佳。 當（A4)的組成比在上述範圍内時，因可得充分的光硬 化性或熱硬化性，使兼具感度與鉛筆硬度，故信賴性優異 而佳。 在相對於本發明的着色感光性組成物中的全固形份， 可使用於着色感光性組成物中的黏合劑樹脂（A)通常含有 5至90質量％，並以1〇至7〇質量％為佳。當黏合劑樹脂 (A)的含量在以前述基準為5至9〇質量％時，即不易在非 晝素部份的基板上發生顯像殘渣，同時因顯像時未曝光部 份的晝素部份不易產生膜減少，因此，非晝素部份的曝光 320409 16 200912535 部份有脫落性良好的傾向而佳。 同時，上述是使（Al) ' (A2)及（A4)共聚，以獲得共聚 物1。在此共聚時，可於通常的條件下進行。例如，在已 ’具備攪拌機、溫度計、迴流冷凝管、滴液漏斗及氮氣導入 -管的燒瓶中，相對於（Al)、（A2)及（A4)的總量，以質量基 -準導入0.5至20倍量的溶劑，使燒瓶内的氣體環境由空氣 轉換成氮氣。之後，使溶劑昇溫到40至1401：後，在相對 於（Al)、（A2)及（A4)的所設定量之總量，以質量基準加入 0至20倍量的溶劑，及在相對於（A1)、（A2)及（A4)的總量， 使添加0.1至10莫耳％的偶氮雙異丁腈或苯醯過氧化物等 聚合起始劑之溶液（在室溫或加熱下攪拌溶解），從滴液漏 斗以0. 1至8小時滴入前述的燒瓶中，並且於至 中攪拌1至10小時。 尚且，在上述步驟中，可將聚合起始劑的一部份或全 量裝入燒瓶旁，也可將（Α1)、（Α2)及（Α4)的一部份或全量 裝入燒瓶旁。同時，也可使用^甲基苯乙烯二聚物或㈣ 化合物作為鏈轉移劑，以控制分子量或分子量分布。相對 於（Α1)至（A3)的總量，以質量基準，甲基苯乙婦二聚物 或硫醇化合物的使用量為〇.〇〇5至5%。尚且，在考量制 造設備或聚合而產生的放熱量等，上述的聚合條件也可: 裝入方法或反應溫度作適度的調整。 至於分別導入的組成成分之比率，相對於組成前述丑 聚物1的組成成分之總莫耳數，其莫耳分率以在 ; 内為佳。 、祀園 320409 17 200912535 •由（A1)導入的組成單位：2至4〇莫耳％ 由（A2)導入的組成單位：2至95莫耳％ 由（A4)導入的組成單位：3至65莫耳％ '同時，以前述的組成成分之比率在以下的範圍内時更 '佳。 由（A1)導入的組成單位：5至35莫耳％ 由（A2 )導入的組成單位：5至8〇莫耳％ 由（A4)導入的組成單位：15至6〇莫耳％ f t前述的組成比率在上述的範圍内時，可撓性及耐熱 性的平衡良好，而可得甚佳的骨幹聚合物。 其次，在前述的共聚物1中附加（A3)後，即可使黏合 劑樹脂（A)賦有光/熱硬化性。 共聚物1與（A3)的反應，例如可在日本特開2〇〇卜 89533號公報所記載的條件下進行。具體上，是將燒瓶内 的環境由氮氣取代成空氣後，在燒瓶内··相對於由^述共 聚物1的（A4)導入之組成單位，加入莫耳分率為5至1〇〇 莫耳％的（A3);羧基與環氧基的反應觸媒，例如相對於（ai) 至（A4)的總量，以質量基準加入〇. 〇1至5%的三[(二甲基 胺基）甲基]酚，以及作為聚合禁止劑，相對於（A1)至（A4) 的總量，以質量基準加入0.001至5%之氫醌，於·6〇至i3〇 。(：中，藉由1至10小時的反應後，即可使前述的共聚物工 與（A3)反應。尚且，與聚合條件同樣的，在考量製造設備 或聚合而產生的放熱量等後，也可將裝入方法或反應溫度 作適度的調整。 320409 18 200912535 、相對於使（Al)、（A2)及（A4)共聚而得的樹脂中之環氧 基（源自A4成分）’（A3)的附加量為5至1〇〇莫耳％，並以 10至100莫耳％為佳。 、 當（A4)的組成比在上述範圍内時，因可得充分的光硬 化性或熱硬化性，信賴信優異而佳。 其次，使前述共聚物2與（A5)反應後，即可使黏合劑 樹脂（A)賦有鹼溶解性。 共聚物2與（A5)的反應，例如可在日本特開2〇〇卜 89533號公報所記載的條件下進行。具體上，是在燒瓶内 加入（A5)，其相對於由前述共聚物2的（A3)導出的组成單 =之莫耳Γ率為5至1GG莫耳％，例如以三乙基胺為反應 觸媒’以質！基準其相對於（A1)至（A4)的總量，加入_ 至5%，於60至13(rc中經1幻〇小時的反應後，即可使 前述共聚物.2與（A5)反應。尚且，與聚合條件同樣的 考量製造設備或聚合而產生的放熱量等後，也可將裝入方 法或反應溫度作適度的調整。 ^ 相對於共聚2的醇性經基之莫耳數（源自A3成分），（Α, 的附加量為5至⑽莫耳％，並以1〇至95莫耳％為佳。ι 曰前述黏合劑樹脂⑷換算成聚笨乙缔的重量 量’宜為3’000至100,000,並以5，_至5〇，_時較刀件， =f 3〇’ _㈣^ #合劑樹脂⑷的重好 W子罝在珂述的範圍内時，因塗布性良好 =像時的膜減少，並且非晝素部份的曝光 洛性的傾向而佳。 a良灯脫 320409 19 200912535 -#合劑樹脂⑴的分子量分布[重量平均分子量（Mw)/ 數平均分子量（Mn)]，宜為L5至6.〇 ,並以18至4 〇時 -較佳。當分子量分布在前述範圍内時’因非晝素部份的曝 光部份之脫落性有良好的傾向而佳。 彳使用於本發明的感光性樹脂組成物中的黏合劑樹脂 (A )之含有量，相對於感光性樹脂組成物的固形分，通常為 5至90質量％的質量分率，並以1〇至7〇質量％為佳。當 黏合劑樹脂（A)之含有量在前述的範圍内時，因對於顯像液 有充分的溶解性，不易在曝光部份的基板上發生顯像殘 渣’同時因*易發生顯像時未曝光部份之膜減少，曝光部 份有脫落性良好的傾向而佳。< ' 至於可使用於本發明中的醌二疊氮化合物（B)，可舉例 如1，:-苯醌：疊氮續酸醋類、i，2_蔡酸二叠氮石黃酸醋類、 1’ 2-苯酿二疊氮石黃醯胺類或！，2_萘醌二疊氮石黃醯胺類 等。其中並以1，2-萘醌二疊氮磺酸酯類為佳。 i 至於可使用作為本發明中的醌二疊氮化合物之 1，2-萘醌二疊氮磺酸酯類，具體上可舉例如下述。 即’4-[1，2,3’，4’’43’，93，-六氫-66羥基螺[環己 嫁-1，9’十頓]-4a，-基]間苯二紛|重氮基_h則氧基 -5, 6-二氫-1-萘續酸（單至三）酯類； 2, 3, 4-三羥基二苯甲酮_i，2一萘醌二疊氮_4一磺酸酯、 2, M-士羥基二苯甲酮-；!，2_萘醌二疊氮I磺酸酯、 2,4, 6-，羥基二苯甲酮一萘醌二疊氮—4_碏酸酯或 2’4, 6-三經基二苯甲酮_i，2_萘醌二疊氮.續酸醋等三羥 320409 20 200912535 基二苯甲酮類的1, 2-萘醌二疊氮磺酸酯類； 2，2’，4，4’ -四經基二苯甲酮-1，2 -萘酉昆二疊氮-4-石黃酸酯、 2，2’，4，4’-四經基二苯甲嗣-1,2 -蔡酉昆二疊氮-5 -石黃酸酉旨、 2，2’，4，3’ -四經基二苯曱酮-1，2 -蔡酉昆二疊氮-4-石黃酸酯、 2，2’，4，3’ -四經基二苯甲嗣-1，2 -萘酉昆二疊氮-5 -石黃酸酯、 2，3,4，4’ -四經基二苯曱酉同-1，2 -蔡酉昆二疊氮-4 -石黃酸酯、 2, 3, 4, 4’ -四羥基二苯曱酮-1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、 2, 3, 4, 2’ -四羥基二苯甲酮-1, 2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、 2, 3, 4, 2’ -四羥基二苯甲酮-1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、 2，3, 4，4’-四經基-3’ -甲氧基二苯曱酉同-1,2 -萘醒二疊氮 -4-磺酸酯、2, 3, 4, 4’ -四羥基-3’ -甲氧基二苯甲酮-1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯等四羥基二苯曱酮類的1，2-萘醌二 疊氮磺酸酯類； 2, 3, 4, 2’，6’ -五羥基二苯甲酮-1，2-萘醌二疊氮-4-磺酸 酯、2, 3, 4, 2’，6’ -五羥基二苯甲酮-1，2-萘醌二疊氮-5-磺 酸酯等五羥基二苯甲酮類的1，2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯 類； 2, 4, 6, 3’，4’，5’ -六羥基二苯甲酮-1，2-萘醌二疊氮-4-磺 酸酯、2, 4, 6, 3’，4’，5’ -六羥基二苯甲酮-1，2-萘醌二疊氮 -5-石黃酸酯、3, 4, 5, 3’，4’，5’ -六經基二苯曱酮-1，2-萘酿二 疊氮-4-石黃酸酯、3, 4, 5, 3’，4’，5’ -六經基二苯甲酮-1，2_ 萘醌二疊氮-5-磺酸酯等六羥基二苯甲酮類的1，2-萘醌二 疊氮磺酸酯類； 4, 4’ -亞曱基雙[6-2(羥基-5-甲基苯基）甲基]-2, 5-二曱基 21 320409 200912535 苯基-萘醌-1,2-二疊氮-5-磺酸（單至四）酯、雙（2, 4-二羥 苯基）曱烷-1，2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙（2, 4-二羥苯基） 曱烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、雙（對-羥苯基）甲烷 -1，2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙（對-羥苯基）曱烷-1,2-萘 醌二疊氮-5-磺酸酯、1，1，卜三（對-羥苯基）乙烷-1，2-萘醌 二疊氮-4-磺酸酯、ί，1，1-三（對-羥苯基）乙烷-1，2-萘醌二 疊氮-5-磺酸酯、雙（2, 3, 4-三羥苯基）曱烷-1,2-萘醌二疊 氮-4-磺酸酯、雙（2, 3, 4-三羥苯基）甲烷-1，2-萘醌二疊氮 -5-磺酸酯、2, 2’ -雙（2, 3, 4-三羥苯基）丙烷-1，2-萘醌二疊 氮-4-磺酸酯、2, 2’ -雙（2, 3, 4-三羥笨基）丙烷-1，2-萘醌二 疊氮-5-磺酸酯、1, 1，3-三（2, 5-二曱基-4-羥苯基）-3-苯基 丙烷-1，2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、1，1，3-三（2, 5-二曱基 -4-羥苯基）--3-苯基丙烷-1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、 4, 4’ - [1-[4-[1-[4-羥苯基]-l·-曱乙基]苯基]亞乙基]雙酚 -1，2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、4, 4’ -[1-[4-[1-[4-羥苯 基]-1-曱乙基]苯基]亞乙基]雙紛-1,2 -萘酿二疊氮-5-石黃 酸醋、雙（2，5 -二甲基-4 -經苯基）-2 -經苯基曱烧-1，2 -蔡酉昆 二疊氮-4-磺酸酯、雙（2, 5-二甲基-4-羥苯基）-2-羥苯基曱 烧_1，2 -蔡酉昆二疊氮-5 -石黃酸酉旨、3，3，3’，3’ -四曱基-1，1’ -螺二茚-5, 6, 7, 5’，6’，7’ -己醇-1, 2-萘醌二疊氮-4-磺酸 酯、3, 3, 3,，3’ -四曱基-1，Γ -螺二茚-5, 6, 7, 5’，6’，7’ -己 醇-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2, 2, 4-三甲基-7,2’，4’-三羥基黃酮-1，2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯或2, 2, 4-三甲基 -7, 2’，4’ -三羥基黃酮-1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯等（聚羥 22 320409 200912535 苯基）烧類的1，2-萘醌二疊氮磺酸酯類等。 其中’並以下式（1)表示的 4-[1，，2,，3,，4,，4a，，9a，__ 六氫-66經基螺[環己烷—u，—咕噸]_4a，_基]間苯二齡 .—6-重氮基-5-侧氧基-5,6-二氫-1-萘磺酸（單至三）酯、以 ·_下式（2)表示的4,4’-亞曱基雙[6_2(羥基-5-甲基苯基）曱 基]-2, 5-二甲基苯基-萘醌2_二疊氮_5—磺酸（單至四) 酯為佳。

(但是，式（1)的左式之3個Q4中的至少一個是以式（1)的 右式表示之基，其他的Q4.是氫原子。）

(但疋，式（2)的左式之P1至P4中的至少一個是以式〇的 右式表示之基，其他的pi至P4是氫原子。） 刖述醌二疊氮化合物（B) ’可分別單獨使用，或將二種 以上組合後使用。相對於感光性樹脂組成物的固形份，本 發明中的醌二疊氮化合物（B)之含有量宜為2至50質量 %，並以5至40質量％更佳。當醌二疊氮化合物的含有量 23 320409 200912535 圍’經由未曝光部份與曝光部份的溶解速 .度差，同，而有保持顯像時的高殘膜率之傾向而佳。 :西昆二=白 =性樹脂組成物，也可由黏合劑樹腐⑷、 .0)二：戈且任意的其他陽離子聚合起始劍 * 冷解或分散在溶劑（c)中而组成。 :合起：陽;=:r:’可舉例如鏘鹽的陽離子聚 酸的陰離子所=使用由錄陽離子與源自路易士 ， 至於前述鏽鹽的具體例，可舉例如二成 ~甲苯基）碘鏽、雙（對—第_ ^ 本土 翰、雙（對 本基）埃鎮、雙（對-十八基笨基μ 又1辛基 峰雙(對-十八氧基苯基)埃鐵、苯基(對二 碘鑌、（對_甲芏其v 丁八乳基本基） 三（對I jrf 基苯基）硬鎮、三苯基硫鐵、 二甲美|其、奸 （對異丙基本基)硫鑌、三C2,6— ::基)硫鏑、三(對—第三—丁基苯基)硫鑌 氰基本基）硫鏘、三（對—氯苯基）硫鑕、 一于 鏽、二甲基（乙氧基）硫鏽、二甲基（丙氧其乳基）硫 与甘、 τ悉1丙氧基）硫鑌、二甲甚r丁 虱基）硫鏘、二甲基（辛氧基） _ 硫鑽、二甲其r里石巧健、 基（十八烷氧基） - T基C、丙氧基）硫鏽、二甲基（第 二^基（環戊氧基）硫鑌、二琢 丁氧基）硫麵、 渗丙Λ Γ 甲基(2—氯乙氧基)硫鏽、二㈣_ 臭丙乳基）硫鏽、二甲基獗其 — 硝基辛氧其、 土虱基）硫鑷、二甲基（8- 辛乳=碎鎢、二甲基（18—三氣子基十八燒氧 -甲終經基異丙氧基)硫鎮、或二…三(三氣甲 320409 24 200912535 基）曱基）硫鑌等。 理想的鏽鹽陽離子，可舉例如雙（對-曱苯基）碘鑌、（對 -曱苯基）（對-異丙基苯基）碘鑌、雙（對-第三-丁基苯基） 峨鐵、三苯基硫錯或三（對-第三-丁基苯基）硫鐵等。 至於前述源自路易斯酸的陰離子之具體例，可舉例如 六氟磷酸鹽、六氟砷酸鹽、六氟銻酸鹽或四（五氟苯基）硼 酸鹽等。至於較佳之源自路易斯酸的陰離子，可舉例如六 氟銻酸鹽或四（五氟苯基）硼酸鹽。 前述鑌鹽陽離子及源自路易斯酸的陰離子，可任意地 加以組合。 至於陽離子聚合起始劑之具體例，可舉例如二苯基碘 鑌六氟磷酸鹽、雙（對-曱苯基）碘鑌六氟磷酸鹽、雙（對-第三-丁基苯基）碘鑌六氟磷酸鹽、雙（對-辛基苯基）碘鏽六 氟磷酸鹽、雙（對-十八基苯基）碘鑌六氟磷酸鹽·、雙（對-辛氧基苯基）碘鏽六氟磷酸鹽、雙（對-十八氧基苯基）碘鏽 六氟磷酸鹽、苯基（對-十八氧基苯基）碘鑌六氟磷酸鹽、（對 -曱苯基）（對-異丙基苯基）碘鏽六氟磷酸鹽、曱基萘基碘鏽 六氟磷酸鹽、乙基萘基碘鏽六氟磷酸鹽等碘鏽六氟磷酸鹽。 同時，可舉例如三苯基硫鑌六氟磷酸鹽、三（對-甲苯 基）硫鑌六氟磷酸鹽、三（對-異丙基苯基）硫鏽六氟磷酸 鹽、三（2, 6-二曱基苯基）硫鑌六氟磷酸鹽、三（對-第三-丁基苯基）硫鑌六氟磷酸鹽、三（對-氰基苯基）硫鑌六氟磷 酸鹽、三（對-氯苯基）硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基萘基硫鑌六 氟磷酸鹽、二乙基萘基硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基（甲氧基） 25 320409 200912535 硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基（乙氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二曱 基（丙氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、、二曱基（丁氧基）硫鑌六氟 '磷酸鹽、二甲基（辛氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二曱基（十八烷 氧基）硫鏽六氣磷酸鹽、二甲基（異丙氧基）硫鑌六氟磷酸 -鹽、二曱基（第三丁氧基）硫鏽六氟磷酸鹽、二甲基（環戊氧 -基）硫鑌六氟磷酸鹽、二曱基（環己氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、 二甲基（氟曱氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二曱基（2-氯乙氧基） 硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基（3-溴丙氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、 二甲基（4 -氰基丁氧基）硫鐵六氟構酸鹽、二曱基（8 -石肖基_辛 氧基）硫鏽六氟磷酸鹽、二甲基（18-三氟曱基十八烷氧基） 硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基（2-羥基異丙氧基）硫鑌六氟磷酸 鹽、或二曱基（三（三氯甲基）甲基）硫鏽六氟磷酸鹽等硫鑌 六氟填酸鹽。 同時，可舉例如二苯基碘鑌六氟砷酸鹽'、雙（對-曱苯 基）碘鑌六氟砷酸鹽、雙（對-第三-丁基苯基）碘鏽六氟珅酸 鹽、雙（對-辛基苯基）蛾鏽六氟坤酸鹽、雙（對-十八基苯基） 碘鑌六氟砷酸鹽、雙（對-辛氧基苯基）碘鏽六氟砷酸鹽、雙 (對-十八氧基苯基）碘鑌六氟砷酸鹽、苯基（對-十八氧基苯 基）碘鑌六氟砷酸鹽、（對-曱苯基）（對-異丙基苯基）碘鑌六 氟砷酸鹽、曱基萘基碘鑌六氟砷酸鹽、乙基萘基碘鑌六氟 砷酸鹽等碘鑌六氟砷酸鹽。 同時，可舉例如三苯基硫鑌六氟砷酸鹽、三（對-曱苯 基）硫鏽六氟砷酸鹽、三（對-異丙基苯基）硫鑌六氟砷酸 鹽、三（2, 6-二曱基苯基）硫鑌六氟砷酸鹽、三（對-第三- 26 320409 200912535 丁基苯基）硫鏽六氟砷酸鹽、三（對-氰基苯基）硫鑌六氟砷 酸鹽、三（對-氯苯基）硫鑌六氟坤酸鹽、二甲基萘基硫鑌六 氟砷酸鹽、二乙基萘基硫鏽六氟珅酸鹽、二曱基（曱氧基） 硫鑌六氟砷酸鹽、二曱基（乙氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、二甲 基（丙氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、二甲基（丁氧基）硫鏽六氟砷 酸鹽、二曱基（辛氧基）硫鑌六氟珅酸鹽、二曱基（十八烧氧 基）硫鏽六氟砷酸鹽、二甲基（異丙氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、 二曱基（第三丁氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二曱基（環戊氧基） 硫鑌六氟砷酸鹽、二曱基（環己氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、二 曱基（氟甲氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二曱基（2-氯乙氧基）硫 鑌六氟砷酸鹽、二甲基（3-溴丙氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、二 甲基（4-氰基丁氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、二甲基（8-硝基辛氧 基）硫鑌六氟砷酸鹽、二曱基（18-三氟曱基十八烷氧基）硫 鑌六氟·砷酸鹽、二甲基（2-羥基異丙氧基）硫鑌六氟砷酸 鹽、或二曱基（三（三氯曱基）曱基）硫鑌六氟砷酸鹽等硫鏽 六氟砷酸鹽。 同時，可舉例如二苯基碘鏽六氟銻酸鹽、雙（對-曱苯 基）碘鏽六敦銻酸鹽、雙（對-第三-丁基苯基）碘鑌六氟銻酸 鹽、雙（對-辛基苯基）碘鑌六氟銻酸鹽、雙（對-十八基苯基） 碘鑌六氟銻酸鹽、雙（對-辛氧基苯基）碘鑌六氟銻酸鹽、雙 (對-十八氧基苯基）碘鏽六氟銻酸鹽、苯基（對-十八氧基笨 基）碘鏽六氟銻酸鹽、（對-曱苯基）（對-異丙基苯基）碘鑌六 氟銻酸鹽、甲基萘基碘鑌六氟銻酸鹽、乙基萘基碘鑌六氟 銻酸鹽等碘鑌六氟銻酸鹽。 27 320409 200912535 同時，可舉例如三苯基硫鑌六氟銻酸鹽、三（對-甲苯 基）硫鏽六氟銻酸鹽、三（對-異丙基苯基）硫鑌六氟銻酸 鹽、三（2, 6-二甲基苯基）硫鏽六氟銻酸鹽、三（對-第三-丁基苯基）硫鑌六氟銻酸鹽、三（對-氰基苯基）硫鏽六氟銻 酸鹽、三（對-氣苯基）硫鏽六氟録酸鹽、二曱基萘基硫鑌六 氟銻酸鹽、二乙基萘基硫鑌六氟銻酸鹽、二曱基（甲氧基） 硫鑌六氟銻酸鹽、二曱基（乙氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二甲 基（丙氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二曱基（丁氧基）硫鏽六氟銻 酸鹽、二曱基（辛氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二甲基（十八烷氧 基）硫鑌六氟銻酸鹽、二甲基（異丙氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、 二曱基（第三丁氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二甲基（環戊氧基） 硫鑌六氟銻酸鹽、二甲基（環己氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二 曱基（氟甲氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二曱基（2-氯乙氧基）硫 鑌六氟銻酸鹽、二甲基（3-溴丙氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二 曱基（4-氰基丁氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二曱基（8-硝基辛氧 基）硫鑌六氟銻酸鹽、二甲基（18-三氟曱基十八烷氧基）硫 鏽六氟銻酸鹽、二甲基（2-羥基異丙氧基）硫鏽六氟銻酸 鹽、或二曱基（三（三氯曱基）甲基）硫鏽六氟銻酸鹽等硫鑌 六氟銻酸鹽。 同時，可舉例如二苯基碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、雙 (對-曱苯基）碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、雙（對-第三-丁基 苯基）碘鑌四（五氟苯基）酸鹽、雙（對-辛基苯基）碘鑌四 (五氟苯基）酸鹽、雙（對-十八基苯基）碘鏽四（五氟苯基） 硼酸鹽、雙（對-辛氧基苯基）碘鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、雙 28 320409 200912535 (對-十八氡基苯基）碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、苯基（對— 十八氧基苯基）碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、（對_甲苯基）（對 -異丙基苯基）碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、f基萘基碘鑌四 (五氟苯基）硼酸鹽、乙基萘基碘鏽四（五氟苯基）硼酸鹽等 块鏽四（五氟苯基）删酸鹽^ 同日^，可舉例如三苯基硫鏽四（五氟苯基）蝴酸鹽、三 (對-甲苯基）硫鏽四〈五氟苯基）硼酸鹽、三（對_異丙基苯基） 硫鎘四（五氟苯基）硼酸鹽、三（2, 6_二甲基苯基）硫鏽四（五 氟苯基）硼酸鹽、三（對—第三-丁基苯基）硫鏽四（五氟苯基） 蝴I鹽、二（對-氰基苯基）硫鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、三（對 -氯苯基）硫鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、二甲基萘基硫鑌四（五 氟笨基）蝴酸鹽、二乙基萘基硫鑌四（五氟苯基）删酸鹽、二 甲基（甲氧基）硫鏽四（五氟苯基）獨酸鹽、二甲基（乙氧基） 硫鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、二甲基（丙氧基）硫鏽四（五氟苯 基）硼酸鹽、二甲基（丁氧基）硫鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、二 曱基（辛氧基）硫鏽四（五氟苯基）蝴酸鹽、二甲基（十八院氧 基）硫鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、二甲基（異丙氧基）硫鏽四 (五氟苯基）硼酸鹽、二曱基（第三丁氧基）硫鏽四（五氟苯基） 硼酸鹽、二曱基（環戊氧基）硫鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、二 甲基（環己氧基）硫鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、二甲基（氟甲氧 基）硫鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、二甲基（2_氣乙氧基）硫鏽四 (五氟苯基)硼酸鹽、二甲基(3-演丙氧基)硫鏽四(五氟苯基） 蝴酉文严一甲基（4-氰基丁氧基）硫鑌四（五氟苯基）棚酸 鹽、二曱基（8-硝基辛氧基）硫鏽四（五氟笨基）硼酸鹽、二 320409 29 200912535 曱基（18-三氟甲基十八烷氧基）硫鑌四（五氟苯基）硼酸 鹽、二甲基（2-羥基異丙氧基）硫鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、 ‘二曱基（三（三氯曱基）曱基）硫鑌四（五氟苯基）硼酸鹽等。 較佳者可舉例如雙（對-曱苯基）碘鑌六氟磷酸鹽、（對-甲苯 ·.基）（對-異丙基苯基）碘鑌六氟磷酸鹽、雙（對-第三-丁基 苯基）硫鑌六氟磷酸鹽、三苯基硫鏽六氟磷酸鹽、三（對-第三-丁基苯基）硫鑌六氟磷酸鹽、雙（對-曱苯基）碘鑌六氟 砷酸鹽、（對-曱苯基）（對-異丙基苯基）碘鑌六氟砷酸鹽、 雙（對-第三-丁基苯基）硫鑌六氟砷酸鹽、三苯基硫鑌六氟 砷酸鹽、三（對-第三-丁基苯基）硫鏽六氟砷酸鹽、雙（對-甲苯基）碘鏽六氟銻酸鹽、（對-曱苯基）（對-異丙基苯基） 碘鑌六氟銻酸鹽、雙（對-第三-丁基苯基）硫鏽六氟銻酸 鹽、三苯基硫鑌六氟銻酸鹽、三（對-第三-丁基苯基）硫鑌 六氟銻酸鹽、雙（對-曱苯基）碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、（對· -曱苯基）（對-異丙基苯基）碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、雙 (對-第三-丁基苯基）碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、三苯基硫 鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、三（對-第三-丁基苯基）硫鏽四（五 氟苯基）硼酸鹽等。更好的是如雙（對-曱苯基)碘鑌六氟銻 酸鹽、（對-曱苯基）（對-異丙基苯基）碘鑌六氟銻酸鹽、雙 (對-第三-丁基苯基）碘鑌六氟銻酸鹽、三苯基硫鑌六氟銻 酸鹽、三（對-第三-丁基苯基）硫鑌六氟銻酸鹽、雙（對-甲 苯基）碘鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、（對-曱苯基）（對-異丙基 苯基）碘鏽四（五氟苯基）硼酸鹽、雙（對-第三-丁基苯基） 碘鑌四（五氟苯基）硼酸鹽、三苯基硫鑌四（五氟苯基）硼酸 30 320409 200912535 :二(:氟第苯三基—):基酸?、 種以合起始劑⑻’可分別單獨使 之陽樹脂組成物的固形份'本發明中的鏽鹽 mu在料範圍㈣，时抑㈣化後料像” 本备明的感光性樹脂組成物含有溶劑（c)，至於 =;可物的領物使用的:種 於"、具體例，可舉例如乙二醇單甲基喊 、乙二醇單丙基職乙二醇單丁 私早烷基醚類； 予G — 一乙—醇—甲基醚、二乙二二 、-一 1 基醚、_乙-旷 甘 知一乙土I 一乙二醇乙基甲 1 一乙—醇二丙基礙以及二乙二醇二丁基醚等_ 醇二燒基峻類； ’—乙一 甲基赛路蘇醋酸醋及乙基賽珞蘇醋酸醋等乙二 酸酯類； 碎况基醚醋 丙-醇單曱基醚醋酸酯、丙二醇單乙基醚醋酸酯 一 單丙基醚醋酸酯、丙二醇單丙基醚醋酸酯 二醇 酯及曱4 I糾 半U基醋酸 乳戍基黾酸酯等烷二醇烷基醚醋酸酯類； ^ 甲本、二甲苯及均三曱苯的芳香族烴類； 曱基乙基酮、丙_、甲基戊基酮、曱基異丁基 J久硪已西同 320409 31 200912535 等_類； 乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環己 〇_7 ^ A G —知及甘油等醇類； 乳基丙酉夂乙醋及3-甲氧基丙酸甲g旨等g旨類； r-丁内酯等環狀酯類等。 、’ 在上述的溶劑之中，就塗布性、 ,^ , 乾梃性之觀點，是以 上述洛劑中的滞點在i 00至200〇Γ之古她_ 士 ,^ ^ UU U之有機溶劑為佳，並以 如烧一醇院基鱗醋酸酯類、g同類、 ， q "社 4艰如0一乙氧基丙酸乙酯及 3-甲軋基丙酸甲酯的醋類較佳’而更好的是丙二醇單甲基 ㈣酸醋、丙二醇單乙基㈣酸酉旨，網、3 一乙氧基丙 酸乙酯及3-曱氧基丙酸甲酯。 這些溶劑（C)可分別單獨使用，或混合二種以上後使 用。 相對於感光性樹脂組成物，本發明的感光性樹脂組成 物中的溶劑（C)之含有量的質量分率，通常為6〇至9〇質量 %，並以70至85質量％更佳。當溶劑（c)的含有量在前述 範圍内時，因在以旋轉塗布機、細縫及旋轉塗布機、細缝 塗布機（也可稱為模壓塗布機、簾布塗布機）、噴墨塗布等 塗布裝置塗布時’有塗布性良好的傾向而佳。 至於其他的成分，本發明的感光性樹脂組成物中可依 須要，而使其含有增感劑（E)、多酚化合物（F)、交聯劑（G)、 聚合性單體〇〇 〇 至於前述的增感劑（E)，可舉例如卜萘酚、2_萘紛、 1，2-二羥基萘、1，3-二羥基萘、L4 —二羥基萘、u—二羥 基萘、1，6-二羥基萘、1，7-二羥基萘、1，8-二羥基萘、2, 3- 320409 32 200912535 ，羥基萘、2, 6-二羥基萘、2, 7 —二羥基萘、4_曱氧基_卜 •萘酚等萘酚類；如噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻 噸酮、2, 3 —二乙基噻噸酮、2, 4-二氯噻噸酮、卜氯—4-丙氧 基噻噸酮、2-環己基噻噸酮、4_環己基噻噸酮等噻噸酮類。 尤其以卜萘酚、2-萘酚、4-曱氧基-1-萘酚、2, 4_二乙基 -π塞嘲酮為佳。 在含有前述的增感劑（Ε)時，相對於感光性樹脂組成物 的固形份，其含有量之質量分率是以0.1至10質量％為 佳，亚以〇. 1至5質量％時更佳。當增感劑（Ε)的含有量在 前述的範圍内時，因可促進陽離子聚合起始劑的分解、防 止硬化後解像度的降低，並且所得塗膜之可見光透過率不 會降低至造成實用上的問題而佳。 前述的多酚化合物（F)，是以在分子中具有二個以上的 酚性殘基之化合物為佳。前述的多酚化合物.(F)，可舉例如 與醌二疊氮化合物中同樣的三羥基二苯甲酮類、四羥基二 I苯曱酮類、五羥基二苯甲酮類、六羥基二苯甲酮類、（聚羥 基苯基）炫類等多紛類等。 同時，前述的多酚化合物（F)可舉例如至少以羥基苯乙 烯為原料單體的聚合物。至於多酚化合物（F)，具體上可舉 例如聚減苯乙婦、經基苯乙稀甲基）丙稀酸t醋共聚 物、羥基苯乙烯/(甲基）丙烯酸環己酯共聚物、羥基^乙 烯/苯乙稀共聚物、絲苯乙埽/烧氧基苯乙料^物等 使經基苯乙婦聚合的樹脂。並且，可舉例如使選自紛類、 曱酚類及兒茶酚類所成族群中的至少一種之化合物聚2而 320409 33 200912535 得的紛酸清漆樹脂等。 當含有前述的多酚化合物（F)時 ’成物的固形份’其含有量之質量分率是以、〇?、性樹脂組 為佳，並以0.1至40質量％較佳，而以〗· 40質量％ 、更佳。當多酚化合物（F)的含有量在125質量％時 .會使所得膜的可見光透過率降低^的㈣内時，因不 述的交聯劑⑹，可舉例如㈣基化合物。 〃至於所述的經甲基化合物，可舉例如燒匕 氣胺樹脂、燒氧甲基化脲樹脂等烧氧甲基化胺基 此處，烷氧曱基化三聚氛胺樹 土曰專。 装几-取— 八篮上可舉例如甲氧甲 :二赠樹脂、乙氧甲基化三聚ι胺樹脂 美 =三聚氛胺樹脂、丁氧甲基化三聚氛胺樹脂等，而 基化脲樹脂可舉例如甲氧甲基化服: ::;.，化脲樹脂、丁氧甲基化脲樹4 = 聯劑，可分別單獨使用或將二種以上組合後使用。又 =㈣綱的含有量在前述的範圍内時，4 = 侍膜的可見光透過率降低而佳。 勿輯 由至於前述的聚合性單體⑻，可舉例如可經由加教使自 料1而得的聚合性單體、陽離子聚合而得的聚合 體4，並以陽離子聚合而得的聚合性單體為佳。 ，於前述使自由基聚合而得的聚合性單體，可舉例如 合性碳-碳不飽和鍵的化合物，可騎官能的聚合性 320409 34 200912535 ，體:也可為二官能的聚合性單體或三官能以上的聚合性 單體等，也可為多官能的聚合性單體。 * 至於前述單官能的聚合性單體，可舉例如丙烯酸壬基 苯基卡比醇酯、（甲基）丙烯酸壬基苯基卡比醇酯、丙烯^ 2-羥基-3-苯氧丙酯、（甲基）丙烯酸2_羥基_3_苯氧基丙 :酯、丙烯酸2-乙基己基卡比醇酯、（甲基）丙婦酸2_乙基己 基卡比醇酯、丙烯酸2-羥乙酯、飞甲基）丙烯酸2_羥乙基乙 酯、Ν-乙烯基四氫吼咯酮等。 至於前述二宫能的聚合性單體，可舉例如丨，6_己二醇 二丙烯酸酯、1,6-己二醇二（甲基）丙烯酸酯、乙二醇二丙 稀酉文S曰、乙一醇二（甲基）丙烯酸酯、新戊二醇二丙稀酸酯、 新戊二醇二（甲基）丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙 二醇二（曱基）丙烯酸酯、雙酚Α的雙（丙烯醯氧基乙基） 歧、3 -曱基戊一醇二丙稀酸g旨、3二甲基戊二醇二（甲基）丙 烯酸酯等。 同時’在前述的三官能以上的聚合性單體方面，可舉 例如三經甲基丙烧三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三（甲基）丙 稀酸醋、異戊四醇三丙烯酸酯、異戊四醇三（甲基）丙烯酸 酯、異戊四醇四丙烯酸酯、異戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、 異戊四醇五丙烯酸酯、異戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、二異 戊四醇六丙烯酸酯、二異戊四醇六（甲基）丙烯酸酯等。在 前述的聚合性單體之中，是以使用二官能或三官能以上的 聚合性單體為佳。具體上，以使用異戊四醇四丙烯酸酯、 二異戊四醇六（甲基）丙烯酸酯等為佳，並以異戊四醇六（曱 35 320409 200912535 基）丙稀酸酯更佳。同睥 人性單舻，盥〜 使二官能或三官能以上的聚 • ^生早體i與早官能的聚合性單體組合後使用。 二述的陽離子聚合而得的聚合性單體，可舉例如 ，、有乙婦謎基、丙炼_其、冉放 -—处甘 碲t基虱雜％丁基等陽離子聚合性的 ，g此基之聚合性單體。且駚μ人+ .舉例如含有三乙：醇S有乙稀喊的化合物，可 醚 —一乙烯醚、L4-環己烷二甲醇二乙埽 醚、4-羥丁基乙烯醚、+ 一 1 ,.,,* —土乙烯醚等，而含有丙烯醚基 '?可舉例如含有4 —U —丙稀氧基甲基）_1，3 —二氧 等，至於含有氧雜環丁基的化合物，可舉例 如含有雙{3-(3-乙基氧雜璟丁其、田甘〕 衣丁基）甲基}醚、1，4-雙{3-(3- 乙基氧雜環丁基）甲氧基}苯、1 基）甲氧基丨甲基苯、U—雙丨3_(3乙又其丨3/3-乙基乳雜每丁 環己院、u-雙i3-(3 1基氣雜環丁基）甲氧基j 燒、3 η η 乳雜環丁基）甲氧基丨甲基環己 :(3'乙基氧雜環丁基）甲氧化祕清漆樹脂等。 在使用前述的聚合性單體（1〇時，可單 以上组人德/古田士，+ 使用次將一種 且.^錢。在制聚合性單料，相對性 月曰組成物的固形份，其添加 是 質量％為佳。 貝里刀革疋以〇·1至20 在本發明的感光性樹脂組成物中 埴劑、i紬沾山\ 可依須要而併用充 、_ 〃他的鬲分子化合物 '界面活性劑、密 几氧化劑、紫外線吸收劑、抗 ％ h' 劑等之添加劑。 破聚劑、鏈轉移 至於充填劑，可例如為玻蹲、氧化石夕、 至於其他的高分子化合物，可舉例胃、 衣虱樹脂、順丁 320409 36 200912535 _ =二醯亞胺樹脂等硬化性樹脂，或聚乙烯醇、聚丙烯酸、 • \乙一醇單纟元基醚、聚氟烧基丙烯酸醋、聚醋、聚胺甲酸 酯等熱塑性樹脂等。 • ^至於界面活性劑，可使用市售的界面活性劑，例如為 二聚矽氧系、氟系、酯系、陽離子系、陰離子系、非離子系、 .兩性等界面活性劑等，這些界面活性劑可分別單獨使用或 將二種以上組合後使用。至於前述的界面活性劑之例，除 了可舉例如聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基苯基鲢類、 =乙二醇二酯類、脫水山梨糖醇脂肪酸酯類、脂肪酸改質 t酉曰類一級胺改質聚胺甲酸酯類、聚乙烯亞胺類等之外， 還有商品名為SH系列（東麗道康寧T〇ray ·此-沉以叩公 司製）、KP(信越化學工業（股）製y、p〇LYFL〇w(共榮化學（股） 製）、F-t〇P(T0HCHEM Products 公司製）、Megafac(大日本 油墨化學工業（股）製）、Flu〇rad(住友⑽（股）製）、 AsahiGuard、Surf ι〇η(以上旭硝子（股）製）、8〇1邛打％ (Zeneca(股）製）、EFKA(EFKA Chemicals 公司製）pB82i (味 之素（股）製）等。 至於密著性促進劑的具體例，有乙烯三甲氧矽烷、乙 烯三乙氧石夕貌' 乙烯三（2一甲氧乙氧基）石夕院、N_(2一胺基乙 基）-3-胺基丙基二甲氧石夕烧、N_(2_胺基乙基）_3_胺基丙基 三甲氧石夕貌、3-胺基丙基三乙氧石夕烧、3'縮水甘油氧基二 基三甲氧錢、3_縮水甘油氧基丙基甲基二甲氧石夕烧、 2-α4-環氧基環己基）乙基三甲氧我、3_氣丙基甲基二 甲氧石夕燒、3-氯丙基三？氧石夕院、3 —(甲基Μ埽醯氧基丙 320409 37 200912535 .基三甲氧錢、3-硫醇基丙基三，氧錢等。 • 在抗乳化劑的具體例中，可舉例如2 2，坊I姑 基-6-第三-丁其於、。 牛Z，2 —硫基雙（4~甲 在紫外绩土 、 ，6_二—第三—丁基-4—f基酚等。 ·,基+經基〜基苯基）+氯苯並 弟+—丁 -等。 王汍虱基一苯基酮 ί:=劑的具體例中，可舉例如聚丙烯酸韵等。 甲基+戊稀等。 十-基㈣、2士二苯基+ 本發日㈣感絲樹颜絲，心不含 文 中的樹腊成分，故相對於貯存前的黏度時，里貯存 度之變化小而佳。 "、存後的黏 本發明的感歧樹脂組絲，可經由將前 的各成分、並依須要之iD)? ίίη 』至（匸） 方法，而易於調整 Ο成分以任意順序混合等的 本^明的感光性樹脂組成物可依須要而含有着色材料 )。别述的着色材料⑴可任意為顏料人染料。例如在為 ::時，可以是通常使用在顏料分散阻射的有機顏料或 …、機顏料。至於無機顏料，可舉例如金屬氧化物或金屬錯 鹽的金屬化合物，具體上可舉例如鐵、鈷、鋁、鎘、鉛、曰 ，m、鋅、録等的金屬氧化物或複合金屬_ 物。在有機顏料或無機頻料的具體例中，可舉例如顏色索 ^ICColor Index)(The Society of Dyers and Col〇rists 出版）中分類在顏料（Pigment)的化合物。更具體古 320409 38 200912535 可列舉如以下的顏色索引（Color Index)(C. I.)編號的顏 料’但並不僅偈限於這'些化合物。 C.I.顏料黃（pigment yellow) 20、24、31、53、83、86、 93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、 150 、 153 、 154 、 166 、 173 及 180 ; C. I.顏料撥（卩1忌1116111:〇『&11运6) 13、31、36、38、40、42、 43 、 51 、 55 、 59 、 61 、 64 、 65 及 71 ; C.I.顏料紅（pigment red) 9、97、105、122、123、144、 149 、 166 、 168 、 176 、 177 、 180 、 192 、 215 、 216 、 224 、 242 、 254 、 255 及 264 ; C.I.顏料紫（pigment violet) 14、19、23、29、32、33、 36 、 37 及 38 ; C. I.顏料藍（pigment blue) 15(15 : 3、15 : 4、15 : β 等）、21、28、60、64 及 76 ; C. I.顏料綠（pigment green) 7、1〇、15、25、36 及 〇 ; C· I.顏料棕（pigment brown) 28; C. I·顏料黑（pigment black) 1 及 7 等。 這些着色材料（I)可分別單獨使用，或將二種以上組合 後使用。着色材料（I)在以着色感光性樹脂組成物中的全固 形分量曰為基準時，通常可使用3至60質量％，並以5至 55質量％的範圍内為佳。當着色材料（D)的含有量以& 速5至6G質量％之範圍内時’因即使形成薄膜時^ 可付充为的晝素之色濃度，不會降低顯像 的脫落性，故有不易產生殘渣的傾向而 —U如 320409 39 200912535 m上成的層⑴，例如可應用在基板 ⑵上、！由塗布感光性樹脂組成物的方法等而形成。塗布是 應用例如旋轉塗布法、流延塗布法、滾塗法、細縫及旋轉 ί布法或細缝塗布法等進行。塗布後，經加熱乾燥（預培） 或減壓乾Μ再加熱’使溶劑等揮發性成分揮發後，即可 形成感光性樹脂組成物層⑴。此時的加熱溫度，通 L至/啊，並以80至130°c時為佳。該感光性樹脂組成 物層（以乎不含揮發性成分。同時，前述感光性樹脂 物層的厚度約為1. 5至5/zm。 之後，將感光性樹脂組成物層（1)隔著光罩（3)，照射 放射線⑷。光罩⑶的圖案可依目的的圖案形狀而作適宜 選擇。至於放射線，可使甩例如§線或i線等光線。放射 線係橫跨感光性樹脂組成物層⑴的全面而呈平行昭射，例 如宜使用光罩對準曝光機（mask aligner)或光學步進機 (stepper)等而照射。經由如此的照射放射線後，即可正確 地使光罩（3)與感光性樹脂組成物層（1)的位置一致。 …、射後即進行顯像。顯像是使曝光後的感光性樹脂 組成物層（1)，應用例如打漿攪拌（paddle)法、浸塗法或淋 /合法等進仃顯像。至於顯像液，通常是使用鹼性水溶液。 至於鹼性水溶液，可使用鹼性化合物的水溶液，鹼性化合 物可以是無機鹼性化合物，也可以是有機鹼性化合物。 至於前述的無機鹼性化合物，可舉例如氫氧化鈉、氳 氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二 氨錄、鱗酸二.氫鉀、矽酸鈉、矽酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、 320409 40 200912535 碳酸氫鈉'礙酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀或氨等。 至於別述的有機驗性化合物，可舉例如四曱基氫氧化 銨、2-經乙基三甲基氫氧化銨、單曱基胺、二甲基胺、三 曱基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、 '、二異丙基胺或乙醇胺等。 _ 前述的鹼性化合物，可單獨使用，也可將二種以上組 合後使用。顯像液中的驗性化合物之含有量，通常在顯像 厂液每100質量份時為0 01至1〇質量份，並以〇1至5 量份為佳。 顯像液也可以含有界面活性劑。至於界面活性劑，可 舉例如非離子系界面活性劑、陽離子系界面活性劑或陰離 子糸界面活性劑等。 -至於非離子系界面活性劑，可舉例如聚氧乙婦烧基 物.^乳乙烯芳基轉、聚氧乙烯烧芳基鱗等聚氧乙婦街生 ^乙細/氧丙烯塊狀聚合物、脫水山梨糖醇脂肪酸醋、 酸r乙山梨糖醇脂肪酸醋、聚氧乙婦山梨糖醇月旨肪 胺1。甘油月曰肪酸醋、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙婦炫基 至於陽離子系界面活性劑， 等胺鹽、十二其：田舉例如十八基胺鹽酸鹽 土一甲基氣化銨等四級錢鹽等。 、至於陰離子系界面活性劑，可舉例如十 鈉或油醇硫酸酯鈉等高級醇硫 ：：+曰 叫芳_等。這些界面活性劑可單=奈： 320409 41 200912535 可將二種以上組合後使用。 。 同¥，顯像液也可含有有機溶 劑，可舉例如甲醇、^#u 至於刖述的有機溶 、乙料水溶性的有機 藉由顯像，即可使感光性樹月旨組成物声 曝光令受放射線照射到的放射線照射_中於先前 液中，而放射綠去π冷％於顯像 、，泉未a射到的放射線未照射 ^ 於顯像液中而殘留形成樹脂圖案⑸。 戍⑴）則不洛 驗性顯像後，通常是水洗再使其乾燥 你 所得樹脂圖案⑸之部份或全面。該放射線= 3有300至45〇nm波長的放射線之光源為佳。 _ 形成的樹脂圖案⑸，就提高其耐熱性或耐溶劑 料而言’宜再使其加熱處理（後培）。加熱處理 ^ 樹脂圖案⑸的部份或遍及全面的基板，以 、、汉芝；:月在…風烤箱（clean 〇ven)等加熱裝置予以加熱的方 法為佺加熱溫度宜為150至250〇C，並以180至240°C护 更佳。。:熱時間宜為5至120鐘，並以大約15至9〇分鐘 更佳。經由加熱處理後，可使樹脂圖案（5)硬化，而形成硬 化樹脂圖案（6)。 由此而开> 成的硬化樹脂圖案（6 )，可使用作為例如組成 1隔物垂直配向型液晶顯示元件用的凸出物之硬化樹脂 圖案。 .

[發明的效果] 本發明的間隔物形成用之感光性樹脂組成物，可提供 i-L^ I > _)r^_ y 奸’且表面平滑性良好的圖案，同時所得的圖案之 42 320409 200912535 優異’在樹脂的合成製程中不易生成含在組成物 .之粒狀異物，而適用於如間隔物、液晶配向控制用的凸 出物之圖案形成，也可同時形成間隔物與液晶配向控制用 的凸出物，因此本發明極適用在工業方面。 '[實施例] :^雖然已在上述說明有關本發明的實施形態，但上述中 所》兄明的本發明之實施形態僅為例示，而本發明的範圍並 ^不侷限於這些實施例。本發㈣範圍可依_請專利範圍表 不亚且含有與申請專利範圍均等之意義及範圍内的所有 二更以下將依照實施例更加詳細說明本發明，但本 並不侷限於這些實施例。 x 將貫施例卜實施例2及比較例中所使用的黏合 脂之結構等，表示於式（X)、式（Y)及表1中。表丨中"，: 至h是表示組成單位及莫耳比。 a 由於在黏合劑樹脂中不能使用異氰酸酯化合物，故無 I來自異氰酸酯化合物的特有臭氣。 . …、 32〇4〇9 43 200912535

組成單位之說明 a :從共聚物1中的（A1)導出之組成單位 b :從共聚物.1中的（A2)導出之組成單位 c:從共聚物1中的（A4)導出之組成單位上，使（A3)於源、 (A4)的環氧部位上反應而導出之組成單位 d:在由共聚物1的（A4)與（A3)之反應生成的共聚物2之（A4) 與（A3)反應生成的經基之部位上，使（A5)反應而得的共聚 物中之（A5)所導出的組成單位 '、入 e ··從共聚物3中的（A1)導出之組成單位 f :從共聚物3中的（A2)導出之組成單位 g:從共聚物3中的（A3)導出之組成單位 320409 44 200912535 h:從使（A4)在共聚物3中反應而得的共聚物中之（A4)導出 的組成單位 [表1] 樹脂A 樹脂B 樹脂c a 0. 10 0 0 b 0. 40 —---------- 0 0 c 0. 15 —--------- _ 0 0 d 0. 35 0 0 e 0 0. 09 0 f ----—-1 —. g __ 0 _ 0.35 0. 70 0 0. 43 h 0 0. 13 〇 Ri ^ ch3 CHs 卜 0 Mw _9, 000 ---_ 10, 000 10, 000 Mw/Mn 2. 2 2. 1 2. 2 有關上述的黏合劑聚合物換算成聚苯乙烯的重量平均 ^分子量（1^)及數平均分子量（111)之測定，可使用6?(：法於 下述條件下進行。 裝置：HLC-8120GPC(東曹（股）製） 分離柱：TSK-GELG4000HXL+TSK-GELG2000HXL(串聯）

柱溫度：4(TC 溶劑：THF 流速：1. 0 m 1 / m i η 注入量：5 〇 #1 ‘檢測器：RI 45 320409 200912535 •測定試料濃度：0.6質量％(溶劑：thf) ，校正用標準物質：TSK STANDARD P〇LYSTYRENE f_40、F-4、 F-l、A-2500、A-500(東曹（股）製） 將上述所得的重量平均分子量及數平均分子量之比作 為分子量分布（||w/Mn)。 : 實施例1 將樹脂A(l〇〇質量份）、以下式（1)表示的化合物（3〇 質里伤）（醌二疊氮化合物（B))、作為密著性促進劑的2-(3, 4-裱氧基環己基）乙基三曱氧矽烷之ΚβΜ-3〇3(信越矽 利光製’ 3質量份）、作為溶劑（c)的二乙二醇乙基曱基醚 (350質量份）、作為聚矽氧系界面活性劑的SH84〇〇(東麗道 康寧（Toray Dow Corning)製，〇.〇3質量份）（二甲基、甲 基（聚環氧乙烷醋酸酯）矽氧烷）混合後’可得感光性樹脂組 成物1 〇

(但是，式（1 )的左式之三個Q4中的至少一個是以式（丨）的 右式表示之基’其餘的Q4為氫原子。） t施例2 將樹脂A(100質量份）、以下式（2)表示的化合物（2〇 質量份）、KBM-303(3質量份）、二乙二醇乙基甲基醚（350 46 320409 200912535 質量份）、SH8400(0. 03質量份）混合後，可得感光性樹脂 組成物2 〇

〇

(2) (但是，式（2)的左式之P!至P4中的至少一個是以式（2)的 右式表示之基，其餘的P1至P4為氫原子。） 將樹脂B(100質量份）、以式（1)表示的化合物（3〇質 i份）、KBM- 3 03(3質量份）、二乙二醇乙基曱基趟（350質 置份）、SH8400(0. 03質量份）混合後，可得感光性樹脂組 成物3。

將樹脂B(100質量份）、以式（2)表示的化合物（20質 里伤）、KBM-303(3質量份）、二乙二醇乙基曱基醚（35〇質 星伤）、SH8400 (0. 03質量份）混合後，可得感光性樹脂組 成物4。 將樹脂C( 10 0質量份）、以式（1)表示的化合物（3 〇質 里份）、KBM-303(3質量份）、二乙二醇乙基甲基醚（350質 里份）、SH8400(0. 03質量份）混合後’可得感光性樹脂組 成物5。

47 320409 200912535 • 將樹脂C(100質量份）、以式（2)表示的化合物（2〇質 #量伤）、KBM-303(3質量份）、二乙二醇乙基甲基驗（mo質 量份）、SH8400(0.03質量份）混合後，可得感光性樹脂組 成物6。 二 將上述所得的感光性樹脂組成物1至6，旋轉塗布在 -透明玻璃基板（# 1 737 ;康寧公司製）上後，使用精密熱風 烤箱以100°C加熱（預焙）3分鐘，可形成厚度2/zro的感光 性樹脂組成物層。膜厚是以膜厚計（DEKTAK3 ;(股）ulvac 製）測定。 之後，使用接觸對準曝光器（c〇ntact alignei〇 (M-2Li ; Mikasa社（股）製）隔著光罩以放射線（以波長 365nm為基準的強度為15〇mJ/cm2)照射在所得的感光性 樹脂組成物層上，使其曝光。此時所使用的光罩，為含有 線/空間（line/space) = 30㈣/3〇心、心 m/2〇^、 9/zm/9"、8/zm/8"、7_/7"、6 # ιη/ 6 /z m、5 /z id/ 5 // m 的圖案者。 於^曝光後，浸潰在23。(：的顯像液（含有質量分率〇1%的 風氧化銨、非離子系界面活性劑之水溶液）中15〇秒後使其 顯像《後’以超純水清洗、觸後，經22(Γ(：/3ϋ分鐘的 後培後，可得着色樹脂圖案。利用掃描型電子顯微鏡觀察 所得的着色樹脂圖案，結果可確認其以以上的 線/空間（丨i n e / s p a c e )圖案而形成樹脂圖案，此圖案可使 用在例如液晶控制用凸出物等上。 針對所得的硬化樹脂圖案的下述項目進行測定等的結 320409 48 200912535 果’如表2中所示。 [表2]

(表2中的說明） 财NMP性·於曝光步驟中，除了不使用光罩之外，在進行 與實施例中同樣的操作後，製成塗膜。將製成的塗膜浸潰 於N-甲基四氫料鲷（3〇tx3〇分鐘)後，測定浸潰前後的 膜厚變化。當浸潰前後之間的膜厚變化（=(浸潰後的膜厚 (‘# 浸潰前的膜厚（#n〇)xl00)在103%以下時為 〇，而超過103%時為“χ” 。 Ί 表面平滑性的基準是藉由目視以觀察表面 f 澤時為，而呈白濁（不透明）時為‘V，。 “由目視以嬈察表面時，只要無異物即為 ◦，而有異物時為“〆，。 。 形狀：將相對於垂亩 的利用卿觀察=圖案的基板等之截面’與上述同樣 由凸的圖形所形成之 : 的圓弧狀者為佳。） 「為〇 ( 以上方為凸 “△”，σ ，、要是上底比下底還小的正錐形者為 ’，、要是長方形者為‘V，。 、 320409 49 200912535 .物，在鱼月的 '施例^至實施例4之感光性樹腊組成 ♦表面平^ 乂存η及比較例2比較時，可知可得耐朦性、 時形成間隔物與垂直配向型液=及1，而可適用於同 成。 夜日日顯不疋件用的凸出物之形 [產業上之可利用性] 人铷tv:感光性樹脂組成物，由於未使用異氰酸酯化 :'，，、、、c的問題，形成的塗膜或圖案之耐溶劑性良 表面平滑性優異，不產生粒狀異物等的塗布缺陷， 氓像至5、ΐ 50#m的微細圖案，而可使非晝素部份的 伤之脫洛性良好，故可適用於如垂直配向型液晶顯 不兀件用凸出物、間隔物的圖案形成用上。 t發明的感光性樹月旨組成物’除了可使用於液晶顯示 义 的間隔物與控制液晶配向用的凸出物之同時形成之 外也可使用於絶緣膜（接觸孔形成）、上塗膜 (平坦化膜）之形成上。並且，可使用作為該等之接著上所 使用的接著劑。按者上所 【圖式簡單說明】 益〇

…N 【主要元件符號說明】 M. 〇 320409 50

Claims (1)

1. 200912535 •十、申請專利範圍： <丨· 種感光性樹脂組成物，係含有黏合劑樹脂（A)、醌二 豐虱化合物（B)及溶劑（c)的感光性樹脂組成物，其中， ::合，旨⑴是由下述⑴、⑵、(3)及⑷組成的樹 月曰’或是由下述（1)、（2)、（5)及（6)組成的樹脂， (1) ··源自（A1)之組成單位 (2) ··源自（A2)之組成單位 (3) ·源自使（A4)的環氧基部位與（A3)反應而得的反應 物之組成單位 叫 (4) .源自由（A4)與（A3)反應生成之羥基的部位與（A5) 反應而得的反應物之組成單位 (5) :源自（A3)之組成單位 (6) :源自（A4)之組成單位 (A1).—分子中具有選自三環癸烷骨架及雙環戊二婦骨 架所成族群中的至少一種骨架，與不飽和鍵的化合物 (A3) (A4) (A5) (但是 (A2) ·可與⑷）及㈤）共聚並具有不餘和鍵之化合物 具有不飽和鍵基的羧酸 一分子中具有不飽和鍵與環氧基的化合物 酸酐 ’（A1)至（A5)互為不同者）。 一種感光性樹脂組成物，係含有黏合劑樹脂⑴、醒二 叠氮化合物⑻及溶劑（C)的感光性樹腊組成物，其中， 黏合劑樹脂（A)是含有下述共聚物中的至少一種之黏合 劑樹脂，該共聚物係：在使下述⑼至（A3)共聚而= 320409 51 2. 200912535 •共聚物3上，再與（A4)反應而得的共聚物；.或使下述 嘴 A1) (A2)及（A4)共聚而得共聚物1，再將所得的共聚 物1與⑽於源自共聚物丨的⑽之環氧基部位上反應 而得絲物2 ’再使所得的絲物2與⑽在共聚物1 、#(Α4)與⑽反應生成_基部位上反應而得的共聚 物， 刀子中具有選自三環癸燒骨架及雙環戊二稀骨 架所成族群中的至少—種骨架，與不飽和鍵的化合物 (A2).可與（A1)及（A4)共聚並具有不飽和鍵之化合物 _ (A3):具有不飽和鍵基的羧酸 (A4). —分子中具有不飽和鍵與環氧基的化合物 (A5):酸酐 (但是，（A1)至（A5)互為不同者）。 3. 如申請專利範圍第1或2項的感光性樹脂組成物，其 中’m(ai)為選自（甲基）丙烯酸雙環戊酉旨、（甲基）丙稀酸 雙％戊烯酯、（曱基）丙烯酸雙環戊氧基乙酯及（甲基） 丙稀酸雙壤戊稀氧基乙醋所成族群中的至少一種之化 合物。 4. 如申請專利範圍第i至3項中任—項之感光性樹脂组成 物，其中，（A2)為選自苯乙烯' α―甲基苯乙烯、（曱基） 丙烯酸苄酯、Ν-取代順丁烯二醯亞胺化合物所成族群中 的至少一種之化合物。 •如申请專利範圍第1至4項中任_項之感光性樹脂組成 物，其中，（A3)為選自丙烯酸及（曱基）丙烯酸所成族群 320409 52 200912535 中的至少一種之化合物。 6. 如申請專利範圍第】至5項中任一項之感光性樹脂組成 物，其中’（A4)為選自丙烯酸縮水甘油酯及（曱基）丙烯 酸縮水甘油酯所成族群中的至少一種之化合物。 7. 如申請專利範圍第K 6項中任一項之感光性樹脂組成 物，其中，（Α5)為選自順丁烯二酸酐、琥珀酸酐、衣康 酸酐、酞酸酐、四氫酞酸酐、六氫酞酸酐、曱基内亞甲 基四氳酞酸酐（methyl en(i0 methylene tejrahydrophthalic anhydride)、甲基四氫酞酸酐及 偏本一甲酸軒所成族群中的至少一種之化合物。 8. —種硬化樹脂圖案，係使用申請專利範圍第丨至7項中 任項之感光性樹脂組成物所形成者。 9. 如申請專利範圍苐8項的硬化樹脂圖案，其中，硬化樹 月曰圖案為間隔物。 *m 10·如申請專利範圍第8項的硬化樹脂圖案，其中，硬化樹 脂圖案為垂直配向型液晶顯示元件用的凸出物。 11·如申請專利範圍第8項的硬化樹脂圖案，其中，硬化樹 脂圖案為絶緣膜。 12, 如申請專利範圍第8項的硬化樹脂圖案，其中，硬化名 月旨圖案為上塗層。 13. -種彩色遽光片，係由含有選自間隔物、絶緣膜、上垄 層及液晶配向控制用的凸出物所成族群中之至少一種 f硬，圖案而形成，其I該硬化圖案是使用申請專利 乾圍第1至7射任―項之感紐樹麵絲而所形成 320409 53 200912535 200912535 七、指定代表圖：本案無圖式。 (一） 本案指定代表圖為：第（）圖。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明：

   八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：

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