TW200804161A - Workpiece conveyor and method of conveying workpiece - Google Patents

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200804161 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於利用帶式輪送機及空氣等來搬送工件之 件搬送裝置及工件搬送方法。 【先前技術】

…先可’作為此種卫件搬送裝置，已為人所知的是，自拍 运工件之JL件搬送路徑向上方噴出空氣，使卫件懸浮，^ 且使=件搬送路徑之兩側較中央噴出更強之空氣，以將」 件引^至中央，於該狀態下，自設置於工件搬送路徑上々 贺出口朝向搬送方向噴出空氣，藉此對卫件施以推進力: 搬送工件（參照日本專利特開平i(M5785i號公報卜由此 上述工件搬送裝置可搬送工件而不會使工件自工

徑上脫落。 k A 、已知有如下裝置，即’使設置於滾子輸送機兩側 成對之複數組極點’自藉由滚子輸送機所搬送之工件之 側向中央移動’以將工件定位於滾子輸送機之中央（參 日本開2〇03.63636號公報）。藉此，即便在位置: 之狀態下將工件載置於滾子輸送機上，亦可利用極點而; 工件定位於中央，因此可—面搬送工件，—面對工件進; 預對準。 < 進而’已知如下裝置，即，—面使沿著—對帶式輪送才 曾卜侧相料載置對帶式輸送機上之工件而設置之辅耳 導向器點於工件，一面進行搬送（參照日本專利特開平^ 觀2號公報）。藉此，能夠可靠地搬送尺寸大致相同之多 118531.doc 200804161 品種工件。 然而，於專利文獻1之構成中，就第i之課題而言，為了 在搬达中避免工件自工件搬送路徑上脫落，必須使工件搬 送路徑之兩侧較中央喷出更強之空氣，又亦必須考慮到空 氣彼此間之衝突所導致之空氣亂流。因此，出現下述問 題’即，空氣之噴出量、喷出方向、喷出口之數量及配置 等空氣控制變得複雜，並且消耗之空氣量增多。

當工件搬送裝置搬送複數個工件時，於複數個工件間存 在間隙之狀態下’於工件搬送路徑上進行搬送。此時，先 行之工件在卫件搬祕徑上產生停科，必須維持使後行 之工件不會接觸到先行之工件的間隙。此時，就第2課題 而言’若欲藉由物自性接觸來維持複數個工件間之間隙， 則可能給工件帶來某種損傷。例如，將玻璃基板等用作工 件時’可能在接觸部分產生缺口或無法辨認之龜裂等。尤 其會出現此種龜裂等可能在檢查階段被忽略，而在產品化 之後才被發現之不良情形。 ' 钩布^亦喷叩吾，使搬送來 之工件與複數組極點接觸，以將上述m立於滾子輸送 機之中央，故會因物理性接觸而對卫件造成損傷。藉此， 例如將玻璃基板等用作工件時’可能在接觸部分產：缺口 或無法辨認之龜裂等。尤其會出現此種龜裂檢 階段被忽略’而在產品化之後才被發現之不良情/^一 有二專：文獻3之構成中’就第4課題而言，固定設置 有對▼式輸送機，因而例如當欲搬送之工件之尺寸小於 II8531.doc

200804161 一對帶式輸送機上能夠載置之工件尺寸時，則無法搬送工 件。因此，存在無法對應工件之尺寸進行搬送之問題。 【發明内容】 因此，本發明提供一種工件搬送裝置，其以簡單之構成 且較少量之空氣，即能夠對工件可靠且高效地進行空氣搬 送。又，本發明提供一種工件搬送裝置，其以避免複數個 工件彼此接觸之方式進行空氣搬運，而不會對工件產生物 理性制動力及制止力。進而，本發明提供_種工件搬送裝 置及工件搬送方法’可—面將玉件定位於帶式輸送機之中 央以進行㈣準〜面搬送工件。最後，本課題之目的在 於提供-種能夠根據工件之尺寸可靠地進行搬送之 送裝置。 本發明之第1卫件搬送裝置之特徵在於包括：工件搬送 路徑’其引導工件之搬送；及一對鼓風機構， 工 件搬送路徑之兩側，且自兩侧對工件搬送路徑二件均 勻地喷氣，以對工件給與用以搬送之推進力。 根據該構成，以對工件之兩側面均句地給與推進力之方 ^對工件進行喷氣，故可—面使卫件靠近卫件搬送師之 中，，-面搬送工件。因此，可—面維持卫件之姿勢 進行搬送，而不會使卫件自卫件搬送路徑上脫落。 此時’較好的是，各鼓風機構具有複數個推 ::傾斜搬送方向對工件之側面喷氣，並且排列於搬送; 根據該構成 使該搬送方向之向量作為 工件之推進力 而 ^8531.(100 200804161 發揮作用，且使與搬送方向 Α ^ , 又<句里作為使工件靠近中 央之力而發揮作用， 推進嘖^進仃以。又，該構成與狹縫狀 隹的嘴相比’可以較少量空氣高效地搬送工件。 門隔Ζ車又好的疋’各鼓風機構之複數個推進喷嘴之相互 間隔為工件之側面長度之1/2以下。 ^構成，可利用至少2組推進喷嘴對工件之侧面進 :嘴乱二故能夠將工件一面可靠地維持靠近中央之姿勢， 了罪地在搬送方向上付與推進力。 此：’較好的是，各鼓風機構進而包括：複數個推進噴 嘴’八自傾斜搬送方向對件 、 之側面贺氣；及複數個控制 制工/、/运方向正交之方向對卫件之侧面噴氣，控 二工之女勢；複數個推進噴嘴與複數個控制喷嘴以混人 存在狀態排列於搬送方向上。 σ 根據該構成’㈣噴嘴可將卫件以與搬送方向大致平行 文勢疋位於工件搬送路徑之中央，且於該狀態下，可 用推進噴嘴來搬送工作。 此時’較好的是’於-對鼓風機構之間，對向配置有各 推進喷嘴與各控制喷嘴。 根據該構成’自推進噴嘴對n终錢， 速度穩定。 更搬适 Ν'啟好的疋，各鼓風機構之複數個推進噴嘴 個控制噴嘴之相互間隔為工件之側面長度之Μ以下。 根據該構成’可利用控制噴嘴對工件之侧面進行噴氣， 故即使工件相對於搬送方向產生位置偏移，亦可一面修正 118531.doc 200804161 件之安勢，一面將工件定位於工件搬送特 又，由於利用推進噴嘴對工件之 +二中央。 工件-面可靠地靠近中央，…仃贺氣，故能夠將 推進力。R中央—面可靠地在搬送方向上付與 二時:較好的是’工件搬送路徑之寬度形成為

見度相比較狹窄。 卞I 根據該構成，可使工件搬送裝置精簡化。此 是’工件搬送路徑之寬度為工件寬度之1/2 件落下。 乂免工 此時，較好的是，卫件搬送路徑藉由以跨越方式載入工 件之一對分割搬送路徑而構成，且包括間距調整機構，复 使-對分割搬送路徑之至少一方沿著與搬送方向正交之： 向而移動，以對上述-對分割搬送路徑之間距進行寬 ^ ° W〇 由該構成，可根據搬送之工件尺寸’對上述—對分 其成為合適之距離1 此，可搬送預期尺寸之工件，故能夠根據工件之尺寸^ 可靠的搬送，而不會受到工件尺寸之限制。 订 此時，較好較，一冑分割搬送路經與搬送方向相互平 行地延伸，靡調整機構-面使上述一對分割搬送路徑 維持平行狀態，一面調整間距。 1 根據該構成，可設定符合工件尺寸之間距，故可搬送預 期尺寸之工件。 此時，較好的是，一對分割搬送路徑以朝向搬送方向之 118531.doc -10- 200804161 前方而變窄為「八」字狀之方式非平行延伸，且間距 機構一面使-對分割搬送路徑維持非平行狀態，一面調整 間距。 根據該構成，隨著蔣截 考將載置於一對分割搬送路徑上之工件 向搬送方向之前方播枝 h广 仫，可一面使工件靠近一對分割搬送 A之中央’面進行搬送。即，由於-對分割搬送路徑 成為」字狀’使鼓風作用隨著搬送之進展而增強， 因此工件會隨著搬送之進展而自動地定位於中心。 機：發：之第2工件搬送褒置之特徵在於包括：工件搬送 ^ 由工件㈣路而引導，且在使複數個工件於搬 ^向上存在間隙之狀態下，利用空氣來進行搬送；及複 個中間4下降空氣機構，其配設於工件搬送機構之上 上方對所搬送而來之複數個工件之各間隙喷氣，以 維持各間隙。 :據該構成，可利用中間部下降空氣機構之空氣來維持 :件彼此間之各間隙，故即使任意^個或複數個工件產生 停滯時，工件彼此亦不 接觸又，由於利用空氣來維持 二隙’故不會因物理性接觸而心件造成損傷。再者， 工件而言，可於工件之搬送過程中及搬送停止時之任 時刻噴氣，且亦可始終喷氣。 片 I好的疋，複數個中間部下降空氣機構均勻地嗔 乳，以便複數個間隙均等。 、 =據㈣成，可使複數個工件之各間隙均等，故可使搬 曰1隔固疋，亦可對工件進行簡單的定位。 n8531.d〇c -11 · 200804161 此時，較好的是， 上述工作搬送裝置進而包 其配設於工件搬送 秸.擋板， 送方向正交之方： 束位置之前方，且在與搬 方對_已=延伸;及端部下降空氣機構，其自上 工件定位於搬送結束位置。 +、贺乳，以將 同樣地，較好的是’上述工作搬送 降空氣機構，其配 i括、部下 方，且自上方朝向斜後方=送路徑之搬送結束位置之前 .斜後方對6料搬送結束位置之工件喷 將工件定位於搬送結束位置。 =據該構成，可於搬送結束位置^位卫件， 結束位置易進行工件之拾取等作業。 於搬运 二機:Π的是，複數個中間部下降空氣機構及端部下 縫狀空氣喷嘴。 …正父之方向上延伸之狹 根據該構成，可對所搬送之工件之前表面均句 故能：將複數個工件之各間隙可靠地維持及可靠地定：。’ 此化’較好的是，複數個中間部下降空 降空氣機構分別具有列設在與搬送方向正交之方向 數個空氣噴嘴。 之複 根據該構成，可對所搬送之工件之前表面均勻地嘴氣 故能夠將複數個工件之各間隙可靠地維持及可靠地定位。 又’與上述狹縫狀线喷嘴相比，可減少线消耗量。 夺車又好的疋’各中間部下降空氣機構朝向傾斜 方向噴氣。 < 118531.doc 200804161 度其在，件搬送過程中，使工件之搬送速 ::、贺軋角度整合’藉此可自工件之相對上方對工作喷 =因此，尤其能夠可靠地維持搬送過程中卫件彼此之間 上述一對鼓 此時，較好的是，工件搬送機構進而包括如 風機構。

根據該構成’以對卫件之兩侧面均句地付與推進力之方 式對工件進㈣氣’故可—面使工件靠近工件搬送路徑之 中央，—面搬送工件。因此，可一面維持工件之姿勢，一 面搬送工件’而不會使卫件自工件搬送路徑上脫落。 該等情形時，工件搬送路徑係在搬送方向上連接複數個 作動空氣板而構成，該作動空氣板係由有孔板及與有孔板 連通之空氣室所構成，且進而包括空氣供給機構，其向空 氣至供給空氣，以便使工件經由有孔板而懸浮。 根據該構成，可使工件懸浮，故可使工件與工件搬送路 仫之間所產生之摩擦力極其小，因而容易利用空氣來控制 工件之姿勢及進行工件之搬送。 此時，較好的是，上述工作搬送裝置進而包括··真空抽 吸機構’其自空氣室抽吸空氣，以便經由有孔板而吸附工 件；及切換控制機構，其切換空氣供給機構及真空抽吸機 構0 根據該構成，可對工件以真空吸附之方式固定於工件搬 送路徑上。因此，例如，於搬送結束位置拾取工件時，可 在預對準之狀態下吸附固定工件，並於拾取時不會產生工 118531.doc -13 - 200804161 件位置偏移而進行拾取。 此時’較好的是，有孔板係由多孔質板所構成。 根據該構成’可自多孔質板之整個面以較少量之空氣均 勻地喷氣。

本發月之第3工件搬送裝置之特徵在於包括：帶式輸送 機’其將工件置於皮帶上而進行搬送；及一對鼓風機構， 其等配設於帶式輪送機之兩側，並自兩側對由皮帶所搬送 而來之工件噴氣；_對鼓風機構對工件之兩側面均勻地喷 氣，以控制皮帶上之工件於平面内之姿勢。 务明之工件搬送方法之特徵在於 面維 式輸达機所搬送而來之工件之兩侧面均勻地喷氣 持工件於平面内之姿勢，一面搬送工件。 ―根據該構成，可對工件之兩側面均句地喷氣，故工件可 疋位於皮帶之中央，且以與搬送方向大致平行之姿勢搬送 工件。藉此，不會與工件接觸，故不會給工件帶來損傷， 且可面對卫件在與搬送方向正交之方向上進行預對準， 一面搬送工件。因而，盔 置“、、眉在搬运結束位置（移载位置）設 置…行預對準之裝置。再者，可於工件搬 贺氣，亦可於工件停止時 g . ' 忏拎止時賀《I，且亦可始終噴氣。 至贺嘴可為長形狹縫狀，亦可為複數個陣賴。 5 此時’較好的是，一對鼓風機構具有在與搬 ^ 之相同位置處相互成對之複數組喷氣嘴嘴。、η正乂 根據該構成，能夠朝向工件之兩側面可靠地 對工件高效地喷氣，而不會浪費所消耗之空氣。、乳，故可 118531.doc -14- 200804161 此較好的是’各喷氣喷嘴朝向對於搬送方向大致正 父之方向噴氣。 根據該構成，可朝向皮帶之中央喷氣，故可高效地利用 空氣將工件定位於中央。 ， 此時’較好的是，各鼓風機構之複數個喷氣噴嘴之相互 間隔為工件之側面長度之1/2以下。 根據該構成，可利用至少2組噴氣噴嘴對工件之侧面進 • 订喷氣，故即使工件相對於搬送方向產生位置偏移，亦可 面修正工件之姿勢，一面將工件定位於皮帶之中央。 此％，較好的是，各鼓風機構之複數個喷氣噴嘴係遍及 上述T式輸送機之搬送開始位置附近至搬送結束位置以均 等之配置間距配設。 根據該構成，即使在搬送開始位置，將工作以位置偏移 之狀態載置於皮帶上，亦可於搬送結束位置，成 地預對準之狀態。 & • 此時，較好的是，各鼓風機構之複數個上述噴氣噴嘴係 遍及上述帶式輸送機之搬送開始位置附近至搬送結束位置 配設，以配置間距隨著接近上述搬送結束位置而變得緊密 之方式配設。 . 根據該構成，隨著工件接近搬送結束位置，可將工件高 精度地預對準於皮帶之中央。 此時，較好的是，上述工作搬送裝置進而包括空氣控制 機構，其個別控制複數個上述喷氣喷嘴之空氣噴出量，且 空氣控制機構以上述工件所接受之空氣量隨著接近上述搬 118531.doc -15- 200804161 =結束位置而增多之方式控制上述各空氣喷嘴之空氣噴出 根據該構成’隨著工件接近搬送結束位置，可古 精度地預對準於皮帶之中央。 ^ 此時’較好的是，皮帶寶 較狹窄。 I度形成為與工件之寬度相比 根據該構成，可使工件搬送裝 、哀置積間化。此時，更好的

疋 皮帶之I度為工件宽产L 勹1干見度之1/2以上，以免工件落下。 本發明之第4工件搬送裝置转 輪误撫甘#… 特政在包括：一對帶式 χ ^ 谷個皮耶以跨越方式載置並搬 迗工件；及間距調整機構，其 + 士 ： ，、便對贡式輸送機之至少一 方朝向與搬送方向正交之方向移動，以對上述一 迗機之間距進行寬窄調整。 ’ ^輪 由該構成，可根據搬送之 、 、又工件尺寸，對上述一對帶式於 送機之間距進行寬窄調整， ^ 使八成為合適之距離。葬 此，可搬送預期尺寸之工件， 9 故犯夠根據工件之尺寸進行 可罪的搬送，而不會受敎件尺寸之㈣卜 仃 此時，較好的是，一對恶 . 對▼式輸送機沿著搬送方向相互平 仃地延伸，且間距調整機禮 τ

機構一面使一對帶式輸送機維持平 仃狀態，一面調整間距。 T 根據該構成，可設定符人 期尺寸之工件。 。工件尺寸之間距’故可搬送預 此時，較好的是，一對猎 W式輸送機以朝向搬送方向之前 方而變窄為「八J字狀之方 、万门之别 式非平行地延伸，且間距調整 H8531.doc -16. 200804161 機構一面使上述一對帶式輸送機維持非平行狀態，一 整間距。 ^周 根據該構成’可使載置於—對帶式輸送機上之工件，隨 著向搬送方向之前方進行搬送，而一面靠近一對帶式輪: . 冑之中央-面進行搬送。即，由於-對帶式輸送機形成： 「八」字狀，故隨著搬送之進展，工件於兩皮帶上之载置 面積會增加。因此，若工件偏向一侧皮帶而載置，則偏向 • 狀載置部分之摩擦阻力會變大，促進相反側載置部分之 載置（橫向偏移）。在此作用下，工件隨著搬送之進展而自 動地定位於中心。 匕牯車乂好的是，間距調整機構進而包括··複數個導 軌其著與搬送方向正交之方向延伸，且滑動自如地支 =上述:對帶式輸送機；及寬窄移動機構，其—端卡正於 -方之帶式輸送機上’另一端卡止於另一方之帶式輸送機 上，且形成為同時自由地拉近及分開一對帶式輸送機。 • 根據該構成，可以簡單之構成使—對帶式輸送機順利地 移動(調整間距)。又’可將-對帶式輸送機於中心處拉近 及分開而進行調整。 此時車乂好的是，寬窄移動機構包括：配設於搬送方向 月1j部之則寬窄移動機構及配設於後部之後寬窄移動機構， 且上述前寬窄移動機構及上述後寬窄移動機構形成為可個 別地移動調整之結構。 根據該構成’可依用途使-對帶式輸送機以平行狀態而 移動或者以「八」字狀之非平行狀態而移動。 118531.doc -17- 200804161 別由b:白=的是’前寬窄移動機構及後寬窄移動機構分 由'向螺絲之雙螺絲機構所構成。 根據錢成’可以簡單之構成且高精度地調整一對 輸送機之間距。真去 ^ 又螺絲機構可為手動操作之結構， 亦可為自動操作之結構。 此時車又好的是，進而包括上述一對鼓風機構。 根，該構成，由於對卫件之㈣面均勾地嘴氣，故可將

牛疋位於-料式輪送機之中央，且以與搬送方向大致 二-姿勢進行搬送。藉此，可—面對工件進行與搬送方 向正交之方向上之預對準，—面搬送工件。 該等情形時，較好的是，皮帶至少在載置卫件之位置具 有作動空氣板’其由有孔板及與有孔板連通之空氣室構 成且進而包括空氣供給機構，其向空氣室供給空氣，以 便使工件經由有孔板而懸浮。 根據該構成，可使工件懸浮，故可使工件與皮帶之間所 產生之摩擦力極其小，因而容易利用空氣來控制工件之姿 勢。再者’較好的是，、經由旋轉接合器等，向固定侧之空 氣供給機構及可動側之作動空氣板提供空氣。 此時，較好的是，上述工件搬送裝置進而包括：真空抽 吸機構’纟自空氣室抽吸空氣，以便經由有孔板而吸附工 件，及切換控制機構，其切換空氣供給機構及真空抽吸機 構。 根據該構成，可以真空吸附之方式將工件固定於各皮帶 上。因此，例如，於搬送結束位置拾取工件時，可在預對 118531.doc -18- 200804161 準之狀態下吸附固定工件，並於拾取時不會產生工件位置 偏移而進行拾取。此時，較好的是，亦可經由旋轉接合器 等，自可動側之作動空氣板向固定側之真空抽吸機構抽吸 空氣。 此日守車父好的疋’有孔板係由多孔質板所構成。 根據該構成，可自多孔質板之整個面以較少量之空氣均 勻地^氣。

【實施方式】 以下，參照隨附圖式，對本實施形態之工件搬送裝置加 以說明。可將可撓性基板（F〇G)及驅動器晶片（c〇G (chip on Glass，覆晶玻璃））等零件安裝於玻璃基板等上，於上 一階段對各零件及玻璃基板進行預對準（精度為±〇1 之後，於下一階段中，使用圖像識別裝置及精密平臺等， 對各零件及形成於玻璃基板之各對準標記進行圖像識別， 並根據該圖像_結果，制精好臺進行高精度之對準 (精度為±0.002 _)。此後，將各零件接合於玻璃基板 上，以此將各零件安裝於玻璃基板上。此時，上一階段所 進行之預對準，制以將對準標記映人圖像識別裝置之作 業。此處’該工件搬送裝置係—面藉由空氣，將載置於工 件搬运路徑上之用於液晶面板之玻璃基板等工件沿著工件 搬运路㈣行搬送’―面對卫件進行預對準者。 八^照圖1A〜1C，工件搬送裝置丨具有工件搬送路徑2、及 …者工件搬送路徑2之兩側而豎立設置之一對鼓風單元3。 -對鼓風單元3自工件搬送路徑2之搬送開始位置ps至搬送 118531.doc -19· 200804161 結束位置Pe延伸，其長度稍短於工件搬送路徑之之長度， 且朝向藉由工件搬送路徑2所搬送之工件w噴氣。

工件搬送純2係將錢個作動线板5相連㈣成 路徑，各作動空氣板5具有：作為基座之方形框狀框架7、 及嵌合於框狀框架7之上部之多孔質板8，且於多孔質板$ ^下側形成有空氣室6。各空氣室6中，於其下侧開口有空 乳連接口9,該空氣連接口9經由未圖示之轉換閥而可切換 地連接於工場内之壓縮空氣供給設備及空氣抽吸設備。若 自壓縮空氣供給設備供給空氣’則會自多孔質板8之整個 方均句地噴氣而使卫件”浮，χ，若切換轉換 閥並連接，空氣抽吸設備，則卫㈣會真空吸附於多孔質 板8上。藉此’於將複數個工件貨自搬送開始位置向搬 ，結束位置Pe進行搬送之過程中，當於搬送結束位置^進 订工件W之移除（移載）作業’或者因配置S搬送途中位置 之處理裝置對卫件W進行接取等而停止搬送時，進行直* 吸附以吸附固^件’並再次進行搬送，此時噴出空氣: 必浮#者’空氣噴出量可為使工件w稍懸浮之 度0 ，對鼓風單元3具有：—對長方體狀之线箱Π)，其沿 者工件搬送路徑2之兩側配設，1自搬送開始位置匕延伸 至搬送結束位置Pe;複數個控制噴嘴12，其與各空氣箱10 相連’且夾隔卫件搬送路徑2而對向設置，並且向與搬送 方向正交之方向噴氣·，以及複數個推進喷嘴13，其向搬送 方向與正父方向之間的傾斜方向噴氣。 118531.doc • 20 - 200804161 各空氣箱ίο在長度方向上分割成複數個’且於上述各分 割粕11上設置有3個（複數）控制噴嘴12或推進噴嘴13。即， 複數個分割箱11由如下2種而構成，即，設置有控制噴嘴 12之控制分割箱丨丨a ;(以及設置有推進噴嘴13之推進分割 箱lib ’·）且各控制分割箱lla及各推進分割箱ub以夾隔工 件搬送路徑2而對向之方式配置。複數個分割箱"上，經 由流量調節閥等分別連接有工場内之屋、缩空氣供給設備 (均省略圖示），且自壓縮空氣供給設備所供給之空氣，經 由各分割箱11，自各控制喷嘴12及各推進喷嘴13對工件w 之兩側面均勻地噴氣，以此方式進行調整而噴出空氣。再 者，更好的是，流量調節閥等設置於每一個控制噴嘴12及 推進噴嘴13上。 各空氣箱ίο之複數個控制喷嘴12及推進噴嘴13，以配置 間距為等間隔之方式列設於各空氣箱1G之上部自搬送開始 位置Ps至搬达結束位置卜之區域。控制噴嘴。將喷氣角度 調整為與工件搬送路徑2之搬送方向正交，推進噴嘴Η將 噴氣角度調整成為搬送方向與正交方向之間的傾斜方向。 複數個兩喷嘴12、13之配置間距配設成為工件W之側面長 度之1/2以下，且藉由至少2組噴嘴12、13而向工件贾噴 氣。再者’可將各分割箱"之3個控制噴嘴12及推進喷嘴 13作為一體而形成為狹縫狀。 田# i # ϋ於工件搬送路徑2上之搬送開始位置^ 時，於工件W之下表面’自多孔質板8朝向上方喷氣，以 時’藉由與工件w之兩側相對之複數組 11853Ldoc -21 - 200804161 推進噴嘴13及複數組控制喷嘴12，向工件之兩侧面均勻地 噴氣，複數組推進噴嘴13—面使工件臀靠近中央，一面進 行搬送，複數組控制噴嘴12以仿照搬迸方向之姿勢對工件 w進行姿勢控制。即，自推進噴嘴13噴出之空氣中，使其 搬送方向之向量作為工件W之推進力雨發揮作用，且使與 搬送方向正交之向量作為使工件w#近巾央之力而發揮作 用。將工件臀一面逐漸地預對準，一面進行搬送，最後以 預對準之狀態到達搬送結束位置Pe。其後，利用以真空吸 附而拾取之拾取裝置等，將卫件胃移載至下—步驟之裝置 根據以上構成，可以簡單之結構進行噴氣，以對工件W 之兩側面均句地付與推進力’故可將工件w_面進行預對 準’-面搬送，而不會使工件臀自工件搬送路徑2脫落。 再者，可使複數個控制喷嘴12及複數個推進噴嘴Η之配置 間距之間隔’隨著接近搬送結束位置pe而變得緊密，亦可 ==置間距’而在複數個控制噴嘴似複數個推進喷 社克位Ip個上設置流量調節閥’使空氣量隨著接近搬送 二可増多。藉此，隨著工件w接近搬送結束位置 、工件W以更高精度預對準於工件搬送路徑2之中

央。又，對於工彼工山 位之T 工件W ν λ ’可於搬送工件w時噴氣，亦可於 形皞中，夂^ 進而，於本實施 〜 各控制分割箱1 la及各推進分到浐 置，但亦可嗖罟#姐4 」相Ub對向而設 η始終盘工= 圖2)。藉此，由於推進喷嘴 牛w相對，故可對工件貨始終施加推進力，以 118531.doc -22- 200804161 使工件^之搬送速度固定。又，可使一對鼓風單元3 僅具有推進噴嘴13(推進分割箱llb)之構成。進 ‘、、、 C Λ c ΓΛ - J 如圖 5/〜5C所示，可使工件搬送路徑2之寬度形成為與工件W之 寬度相比較狹窄。藉此，可使工件搬送路徑2細長，因此 • 可實現工件搬送裝置1之精簡化。此時，更好的是，使工 . 件搬送路徑2之寬度形成為寬於工件贾寬度之1/2，以工 件W落下。 先工 • 又，本實施形態之變形例如圖3所示，工件搬送路徑2亦 可構成為使工件w跨越之一對分割搬送路徑15。即，1對 分割搬送路徑15具有設置於該搬送方向之前部及後部之間 距調整機構16，利用該間距調整機構16 一面維持一對分割 搬送路徑15之平行狀態，_面調整其間距，藉此可進行符 合工件W之尺寸之搬送。具體地來說明，當搬送尺寸較大 之工件W時，將兩分割搬送路徑15之間距調整為較寬，當 搬达尺寸較小之工件臀時，將兩分割搬送路徑15之間距調 Φ 整為較窄。 u 又，如圖4所示，亦可將一對分割搬送路徑15非平行地 配"又，以使其朝向搬送方向之前方而變窄為「八」字狀， • 並於刀』搬送路控15之搬送方向之前部及後部設置間距調 整機構16。藉此，若將工件w以跨越之方式載置於一對分 口’J搬迗路徑15上之後開始搬送工件w，則隨著搬送之進 & ’會對工件曹之兩側面強烈地喷氣。由此，可使工件W 在搬达結束位置pe ’處於高精度地預對準之狀態。 繼而，參照圖6A〜6C，對第2實施形態之工件搬送裝置 118531.doc -23- 200804161 加以說明。再者，為避免重複記裁， 明。該工件搬送裝置!且 、不同部分加以說 複數個工件心二：件搬送機構4,其包括作為 干w之搬达路徑之上述工件搬送 對鼓風單元3，該鼓風單 — 工及上述一 执立外w 早兀3Λ者工件搬送路徑2之兩侧而 :Γ:5置/且對工件W提供推進力；複數個中間部下降空 而ΙΓ複教Γ配設於工件搬送路徑2之上方，並維持搬送 而來之複數個工件W之間隙，·浐 路徑之搬送結束位置Pej方 其配設於工件搬送 方且沿著與搬送方向正交之 方向延伸，以及端部下降空氣單元77，其 與到達搬送結束位置Pe之工件w + 田 π抑— 卞間隙進行噴氣。一對鼓 束：二/D者：件搬达路#2 ’自搬送開始位置匕至搬送結 e而延伸’其長度稍短於工件搬送路徑2之長产， 由工件搬送路徑2所搬送之工件料與推進力又而 各中間部下降空氣單元55於工件搬送路徑2之上方向下 =二=所搬送之工件W之前後相對向之方式等間 °又再者，各間隔例如係工件W之搬送方向之長声 與應維持之工掏此之間隙的和。各中間部下降空心 心具有：複數個下降空氣噴嘴3〇,其朝向下方於鉛直方 向上噴氣’並且料在與搬送方向正交之方向上·，以及 接於下降空氣噴嘴30之下降空氣箱31;且於各下降空氣箱 31上’經由流量調節閥(省略圖示)等而連接有工場内之壓 縮空氣供給設備。藉此’可利用流量調節閥來調節自複數 個下降空氣喷嘴30所噴出之空氣量，以使複數個工件^ 118531.doc •24- 200804161 各間隙均等。 端部下降空氣單元7具有與上述中間部下降空氣單元5 5 相同之構成，且配設為朝向下鉛直方向，對設置於工件搬 迗路徑2前方之擋板66與面向搬送結束位置pe之工件臂之 間進行喷氣。此時，可由向擋板66與工件w之間喷氣，而 在工件W之停止位置（移載位置），對搬送方向（前後方向） 之位置進行預對準。即，調整擋板66之位置或調整端部下

降空氣單元7之空氣強度，藉此使工件霤於特定之移載位 置上停止。 將工件W載置於工件搬送路徑2上之搬送開始位置 時’工件W之兩側面受到鼓風單元3之噴氣，由此對所载 置之工件臀一面進行預對準，一面進行搬送。所載置之工 件資向搬送方向移於先載置之先行工件W間具有固 定間隙之㈣下’於_開純置ps上載置後行工件^ 亚使工件w朝向搬送方向移動。當先行卫件w以預對準之 狀態到達搬送結束位置peBf，㈣料下降空氣單元77, 自上方朝向工件搬送路徑2向下噴氣。當下降空氣喷至工 :搬：路徑2時，下降空氣向搬送方向之前方及後方分 抓二別方之工氣噴至擋板66，後方之空氣噴至先行工件臂 則表面@時’利用中間部下降空氣單元55，自上方朝 向'件搬送路徑2噴附下降空氣，使分流後之前方空氣噴 至先行工件w之後表面。 措此’先行之工 氣之推進力及中間 件w被向後推回，但由於對工件施以空 口P下降空氣之喷附力，因此在端部下降 118531.doc -25- 200804161 空氣單元77之空氣喷附力與鼓風單元3之空氣及中間部下 降空氧單元55之空氣推進力處於平衡位置上，先行工件W 、”擋板66具有間隙之狀態而^位，搬送結束位置ρ。 處成為停止狀態（停滯）。即，對先行工件w而言，利用一 對鼓風單元3、中間部下降空氣單元55、及端部下降空氣 單元77’對工件w之前後左右進行預對準。此後，當後行 之工件W接近先行之工件科，再利用中間部下降空氣單 元自上方對先行工件w與後行工件|之間隙喷附下降 :乳二下降空氣與上述相同’向搬送方向之前方及後方分 抓’别方之空氣噴至與擋板66具有相同作用之先行工件臀 之後表面’後方之线噴至後行卫件w之前表面。藉此， 在先行，件W與後行工件w具有間隙之狀態下，後行工件 w成為停止狀態（停滯）。 士根據以上構成，即使1個或複數個工件W處於停滞狀態 k，亦可利用空氣來保持複數個工件歡各間隙，而不會 產生物理!·生接觸’因此工件1彼此並未接觸。又，藉由中 ，部下降空氣單元55、端部下降空氣單元77、以及兩鼓風 :兀3和3，使搬送結束位置卜處之工件w成為預對準之狀 \此處，由於暫且將工件吸附至工件搬送路徑2之作動 工氣板5上並等待移載，因此可將經過預對準之工件^直 接移載至處理裝置等中。 再者’於本實施形態中，端部下降空氣單元77自上方向 與擋板66之間_行噴氣，但亦可如訊所示，無 而播板66’而將端部下降空氣單元77配設於搬送方向之前 118531.doc -26 - 200804161

方’並自上方朝向斜後方噴附下降空氣。χ，亦可替代所 =設之複數個下降空氣喷嘴3G，而使用狹縫狀下降空氣喷 嘴i進而，如圖7轉示，各中間部下降空氣單元55亦可向 斜前方搬送方向喷附下降空氣n例>，當空氣喷至 搬送過程中之工件W時，可整合卫件1之搬送速=喷氣 角度’以此對卫件_對自上方進行噴氣，故可恰當地維 持搬送過程中之工件，彼此之間隙…複數個中間部下 降空氣單元55及端部下降空氣單元77可一直進行噴氣，亦 可於先行之工件W停滯且後行之工件w接近時進行噴氣。 繼而，參照圖8A〜8C，對第3實施形態之工件搬送裝置 加以說明。該工件搬送裝置係可將例如液晶面板所使=之 玻璃基板等工件載置於帶式輸送機上而搬送，並且一面搬 送一面對工件進行預對準者。工件搬送裝置丨具有：帶式 輸送機20及一對鼓風單元3，該一對鼓風單元3沿著帶式輸 送機20豎直設置於其兩侧。一對鼓風單元3自帶式輸送機 20之搬送開始位置Ps至搬送結束位置以延伸，其長度稍短 於帶式輸送機20之長度，且自兩侧朝向由帶式輸送機2〇所 搬送之工件W喷氣。 帶式輸送機20具有：驅動皮帶輪50，其利用未圖示之驅 動馬達，經由減速齒輪列等而旋轉；從動皮帶輪6〇，其從 動於驅動皮帶輪50 ;以及循環搬送帶70，其圍繞驅動皮帶 輪50及從動皮帶輪60。帶式輸送機20使搬送帶7〇行走於驅 動皮帶輪50及從動皮帶輪60之間，以此將載置於搬送帶7〇 上之工件W(實施形態中，為複數個工件w)自搬送開始位 118531.doc -27- 200804161 置Ps搬送至搬送結束位置Pe。帶式輸送機之運轉可同時 搬送所搭載之複數個工件W，但藉由搬送開始位置Ps之工 件W之供給（載置）作業、搬送結束位置Pe之工件w之移除 (移載）作業、進而配置於搬送途中位置之處理裝置對工件 w之接取等，可適#地停止搬n —面反覆進行搬送 及停止，一面搬送工件。再者，較好的是，使用與工件 w(之載置面）之摩擦阻力較小者作為搬送帶7〇，以易於利 用鼓風單元3喷出之空氣來搬送工件界。 一對鼓風單元3具有：一對長方體狀之空氣箱1〇，其沿 著帶式輸送機20之兩側配設，且自搬送開始位置Ps延伸至 搬迗結束位置pe ;以及複數組喷氣喷嘴21，其與各空氣箱 1〇相連，且夾隔帶式輸送機2〇而對向配置。各空氣箱在 長度方向上被分割成複數個，並於上述各分割箱1〇a上設 置有3個（複數）喷氣喷嘴21。又，於複數個分割箱i〇a上， 經由流量調節閥等而分別連接有工場内之壓縮空氣供給設 備（均省略圖示），自壓縮空氣供給設備所供給之空氣經由 各分割箱10a自各喷氣喷嘴21喷向工件w。兩空氣箱1〇、 10之每一個的各喷氣喷嘴21在與搬送方向正交之位置處集 中成對（複數對），並自該複數對（複數組）噴氣噴嘴對工 件w之兩侧面均勻地喷氣，以此進行空氣調整。再者，較 好的是，於每個喷氣喷嘴21上設置有流量調節閥等。 各空氣箱10之複數個喷氣喷嘴21以配置間距為等間隔之 方式，列設於各空氣箱10之上部自搬送開始位置以至搬送 結束位置Pe之區域，並將喷氣角度調整為與帶式輸送機2〇 118531.doc -28- 200804161 搬迖方向正父。將複數個喷氣喷嘴21之配置間距配設成 彳〗面長度之1 /2以下，且藉由至少2組喷氣喷嘴21 對工件W噴氣。再者，可將各分割箱10a之3個f氣噴嘴21 乍為體而形成為狹縫狀，亦可將各空氣箱i 〇之複數個噴 J喷鳴1作為體而形成為狹縫狀。又，可將喷氣噴嘴21 - =喷氣角度調整為與移動過程中（搬送過程中）之工件w相 “直進而，如圖8C所示，可使噴氣噴嘴21之高度與工件 • W±T中間位置之高度—致，但亦可使噴氣喷嘴21稍微靠 下或者稍微向下喷氣，以使上舉之力作用於工件W。 於將工件W載置於搬送帶7Ό上之搬送開始位置h並開始 搬送時，藉由位於工㈣兩側之複數組喷氣喷嘴21，對工 件w之兩側面均句地喷氣。由此，工件w 一面由搬送㈣ 搬送，一面受吹動而逐漸靠近成對之兩喷氣喷嘴2卜21之 中，，即搬送帶70之中央，並且仿照搬送方向之姿勢而受 到文勢控制。# ’將工件w—面逐漸地預對準，—面進行 > 搬送，最後以預對準之狀態到達搬送結束位置卜。其後， 利用以真空吸附而拾取之拾取褒置等，將工件界移載至下 一步驟之裝置等中。 根據以上構成，在搬送時，卫件w並非與接腳等接觸， 故能夠對其進行預對準，而不會對工㈣造成任何損傷。 因此，無須於搬送結束位置以處，設置於移載前對工件進 行預對準之專用裝置等。再者，於本實施形態中，使嘴氣 噴嘴21之配置間距為等間隔，但亦可使配置間距隨著接近 搬送結束位置卜而變得緊密。又，亦可不改變配置_， 118531.doc -29· 200804161 而是利用上述流量調節閥(控制閱)，使空氣量越接近於搬 运結束位置Pe之噴氣噴嘴21越增多。藉此，隨著工件_ 近搬送結束位置Pe，可對卫件進行更高精度之預對準。 又，可於工件W搬送時噴氣，亦可於工件w停止時噴氣， • J'亦可始終噴氣。進而，如圖9所示，可將搬送帶7〇之寬 i ’形成為與工件W之寬度相比較狹窄。藉此，可使帶式 輸送機20變狹長’故可實現工件搬送裝置以精簡化。此 • 肖’更好的是’將搬送帶7〇之寬度形成為，寬於工件貨寬 度之1/2，以免工件w落下。 繼而，參照圖10A〜10C，對第4實施形態之工件搬送裝 置加以說明。該卫件搬送裝置i具有：―對帶式輸送機 20使工件W跨越載置於其上且進行搬送；㈤⑬調整機構 90，其設置於一對帶式輸送機2〇之搬送方向之前部及後 部，並對一對帶式輪送機2〇之間距進行寬窄調整；以及一 對鼓風單元3，其等沿著一對帶式輸送機2〇之兩側豎立設 # 置。一對鼓風單元3自一對帶式輸送機20之搬送開始位置

Ps至搬送結束位置pe延伸，其長度稍短於一對帶式輸送機 20，且朝向由一對帶式輸送機2〇所搬送之工件w進行噴 氣。 " 各帶式輸送機20具有：驅動皮帶輪50，其利用未圖示之 驅動馬達之驅動，經由減速齒輪列等而旋轉；從動皮帶輪 60，其從動於驅動皮帶輪50 ;以及循環搬送帶7〇，其環繞 驅動皮帶輪50及從動皮帶輪60，該等全體由旋轉自如地支 持各皮帶輪50、60之大致「U」字狀之前後一對支架部8〇 118531.doc -30- 200804161 支持。又，兩帶式輸送機20之兩驅動馬達以與兩搬送帶 〇刀别相同之周速(搬送速度)同步旋轉。藉此，一面 維持以跨越方式载置於兩搬送帶7〇、70上之工件W之姿 勢，-面搬送工㈣。並且，使兩搬送帶7〇同時傳動於各 •，自：驅動皮帶輪5〇及從動皮帶輪之間，以將載置於兩搬 运帶7Ό上之卫(實施形態中，為複數個卫件自搬送 開始位置ps搬送至搬送結束位置卜。 # 冑式輸送機20之運轉可同時搬送所搭载之複數個工件 w、’,但藉由搬送開始位置Ps之工件w之供給（载幻作業、 搬达結束位置Pe之工件w之卸除(移載)作業、進而配置於 搬送中途位置之處理裝置對工件*之接取等，可適當地停 止搬送。即，一面反覆進行搬送及停止，一面搬送工件。 再者，較好的是，使用與工件w(之載置面）之摩擦阻力較 小者作為搬送帶70，以易於利用鼓風單元3喷出之空氣來 移動工件w。 > 〜對4風單兀3具有：一對長方體狀之空氣箱1〇，其沿 著帶式輸送機20之兩側配設，且自搬送開始位置ps延伸至 冑送結束位置Pe;以及複數組喷氣噴嘴21，其與各空氣箱 10相連’且夾持帶式輸送機2G而對向配置。各空氣箱⑺在 |度方向上被分成複數個，並於上述各分割箱10a上設置 有3個（複數）噴氣喷嘴21。又，於複數個分割箱10a上，經 由流！調節閥等而分別連接有工場内之壓縮空氣供給設備 (均省略圖示）’自壓縮空氣供給設備所供給之空氣經由各 分割箱10a而自各噴氣噴嘴21噴向工件曹。兩空氣箱10、 118531.doc •31· 200804161 10之各自的各噴氣噴嘴21在與搬送方向正交之位置處集中 成對（複數對），並自該複數對（複數組）噴氣噴嘴21對工件 W之兩侧面均勻地噴氣，以此進行空氣調節。再者，更好 的是’於每個噴氣噴嘴21上設置流量調節閥等。 各空氣箱1〇之複數個噴氣喷嘴21以配置間距為等間隔之 方式列δ又於各空氣箱10之上部自搬送開始位置ps至搬送 結束位置Pe之區域，並將喷氣角度調整為與帶式輸送機2〇 之搬送方向正交。將複數個喷氣喷嘴21之配置間距配設成 工件w側面長度之1/2以下，且藉由至少2組噴氣喷嘴。對 工件w喷氣。再者，可使複數個喷氣噴嘴21之配置間距， 隨著接近搬送結束位置以而變得緊密，亦可不改變配置間 距，而於複數個噴氣喷嘴21之每一個上設置流量調節閥 等’以使空氣量隨著接近搬送結束位置Pe而增多。藉此， ^著工件W接近搬送結束位置Pe，可將工件w高精度之預 對準於對▼式輸送機2之中央。又，可於工件搬送時噴 氣’亦可於工件停止時喷氣，且亦可始終喷氣。 間距調整機構90具有：設置於一對帶式輸送機2〇之搬送 方向前部之前寬窄移動機構23;設置於一對帶式輸送機2〇 之搬送方向後部之後寬窄移動機構28;以及前後一對導執 29，其分別在與搬送方向正交之方向上，滑動自如地支持 一對帶式輸送機20之前部2組腳部8〇及後部2組腳部8〇。 又於該箣後一對導軌29上，亦滑動自如地支持有上述各 鼓風單元3 (詳情將於以下描述）。 前寬窄移動機構23與後寬窄移動機構28係由如伸縮螺絲 118531.doc -32- 200804161 (turnbuckle)之雙螺絲機構32所構成，且雙螺絲機構32具 有：左外螺紋構件17，該左外螺紋構件17之固定側端部固 定於一個帶式輸送機20之腳部80 ;右外螺紋構件丨8，該右 外螺紋構件18之固定侧端部固定於另一個帶式輸送機2〇之 - 腳部80 ;以及内螺紋組塊19，其將左外螺紋構件17及右外 螺紋構件18之螺紋分別螺合於其軸方向之兩端（參照圖 10C)。並且，使内螺紋組塊19圍繞軸進行正反旋轉，以此 • 經由左外螺紋構件17及右外螺紋構件18,將兩腳部8〇即兩 帶式輸送機20、20以中央為中心而拉近及分開。然而，於 f施形態中’於兩帶式輸送機2G、2G上，分別經由連結構 #33而連結有鼓風單元3，且藉由雙螺絲機構32，使兩帶 式輸送機20、20分別隨著鼓風單元3而拉近及分開。 如上所述，可藉由前寬窄移動機構23及後寬窄移動機構 28 ’對兩帶式輸送機2〇、2〇之間距進行寬窄調整。藉此， 當搬送尺寸較大之工件科，可將兩帶式輸送機2〇、2〇之 _ 目距調整為較見，當搬送尺寸較小之工件W時，可將兩帶 式輸C機20、20之間距調整為較窄，以此能夠恰當地搬送 I件’而無須使用與最大尺寸工件W對應之大型帶式輸送 冑。又，可利用一對鼓風單元3,將搬送過程中之工件W 預對準於中央中心。 —再I 好的疋’於各内螺紋組塊19上附設有刻度板。 :…、」度板之刻度為標準使内螺紋組塊19旋轉，則可 簡早地調合下述距離，，前寬窄移動機構η之兩帶式輸 送機20、20的搬送姓戾仿 、心釆位置pe侧之端部間距，與後寬窄移 118531.doc -33- 200804161 動機構28之兩帶式輸送機2〇、2〇的搬送開始位置^側之端 即’此夠一面維持兩帶式輸送機2〇、2〇之平行狀 恶，一面對其間距進行簡單地寬窄調整。又，毫無疑問， 既可以手動方式使内螺紋組塊19進行正逆旋轉，亦可以馬 達為驅動源而使内螺紋組塊19自動地進行正逆旋轉。進 而，除了前寬窄移動機構23及後寬窄移動機構以，亦可於 間距調整機構90上設置以上中間寬窄移動機構。 龜而，參照圖11，對第4實施形態之變形例加以說明。 :圖11所示，該變形例具有與上述第4實施形態相同之構 造，但藉由上述間距調整機構9〇，使一對帶式輸送機2〇、 2「〇非平：地配設，以使其朝向搬送方向之前方變窄成為 「八」字狀。即’利用後寬窄移動機構28，將一對帶式輪 則見窄移動機構23，將-對帶式輸送機2〇、2〇之搬送結束 位置Pe之間距調整為狹窄。 、σ 在將工件W以跨越載置於―對帶式輸送機2G、2〇上之後 開始搬送工件W時’將工件w一面藉由兩搬送帶7〇而靠近 中央，-面進行搬送。即’對由兩搬送帶7〇所搬送之工件 W而言’由於使所載置之兩載置面具有彼此相同之面積， 即’若兩載置面中之-個載置面之面積較大，則摩擦阻力 會變大’因此使-個載置面固定且使另—個載置面可動， 精此-面維持工件w之平衡，—面使其自動#近 輸送機20之中央。又，付a 丁从爪 》 夹位於工件〜兩側之複數組噴氣噴嘴 2 1對工件w之兩侧面均勻地喷氣，田+ 以因此工件W受到吹動而 118531.doc -34- 200804161 逐漸靠近-對帶式輪送機2G、狀中央，並且仿照搬送方 向之安勢而受到姿勢控制。以此方式，將工件w一面逐漸 呀準面進行搬送，最後以預對準之狀態到達搬送 結束位置Pe。此後，利用以真空吸附而拾取之拾取裝置 等’將工件W移載至下-步驟之裝置等中。藉此，無須接 觸件W即可雨精度地預對準，且無須設置用以預對準 之裝置即可進行拾取。 繼而，參照圖12A〜12C及圖13A〜13C，對第3實施形態及 第4實施形態之工件搬送裝置1之變形例加以說明。再者， 為避免重複記載’僅對不同部分加以說明。該卫件搬送裝 二於第3實施形態及第4實施形態之各帶式輸送機2〇之搬 达帶70上，設置有複數個作動空氣板5，藉由該複數個作 動空氣板5而使搬送過程中之工件w稍懸浮，因而易進行 預對準。 複數個作動空氣板5在無間隙地排列於搬送方向上之狀 態下，固定於搬送帶70之表面。此時，各作動空氣板5在 與搬达方向正交之方向上的搬送帶之中間位置處固定於搬 送帶70上，以使驅動皮帶輪5〇及從動皮帶輪6〇順利地通 過。又’於該圖中已省略，在驅動皮帶輪5〇及從動皮帶輪 60之間’配設有複數個導引滾筒，以防止搬送帶7〇鬆弛。 再者，亦可省略搬送帶70，將複數個作動空氣板5直接連 結成鏈狀’藉由複數個作動空氣板5而構成搬送帶。 如圖14A及圖14B所示，各作動空氣板5係將多孔質板8 肷合於方形框狀框架7之上部，並於多孔質板8之下侧構成 118531.doc -35- 200804161 工氣至6,且於框狀框架7之側面，設置有與下述空氣供給 單元26連通之空氣連接π9β多孔質板8具有多個氣孔，空 氣室6中之壓縮空氣通過該多個氣孔而使多孔質板8上之工 件W懸浮。空氣連接口 9經由空氣供給管以而連接於空氣 供給單元26,自空氣供給單元26供給至空氣室6之空氣， 自多孔質板8之整個上表面向上方喷出。 如上所述，使用多孔質板8可自多孔質板8之整個面以較 少量之空氣均勻地噴氣。再者，此時之空氣噴出量可為使 工件灣懸浮之程度。χ，於複數個空氣供給管25及空氣 供給單元26之間，介設有旋轉接合器27，當複數個空氣供 給管25受到搬送帶7G及複數個作動空氣板5之周圍帶動: 旋轉時’旋轉接合器27會隨之而旋轉，因此可使複數個空 氣供給管25圍繞複數個作動空氣板5旋轉，而不會纏繞。 將工件W載置於各帶式輸送機2〇之搬送開始位置R後， 利用自作動空氣板5向上方噴出之空氣使工件㈣浮，並 且利用位於工件w兩側之複數組噴氣噴嘴21，對工件％之 兩侧面均句地喷氣。若工㈣自作動空氣板5懸浮，則工 件W下表面（載置面）與作動空氣板5上表面之間的摩擦變為 零’因此藉由喷至工件W兩侧面之空氣，可將工件w高效 地對預對準。換言之，即使自—對鼓風單元3噴出之空氣 量較少，亦可將工件w良好地預對準。 再者’可構成為’將真空泵經由空氣抽吸管而連接於空 氣室6’並且可切換對空氣室6之空氣供給及空氣抽吸，、: 此可於搬送結束位置Pe處真空吸附卫件|。藉此，可於搬 118531.doc -36- 200804161 送結束位置Pe處，在預對準之妝能π方 千又狀態下吸附固定工件w，故 在搬送結束位置P e處拾取工件w夕^主心 之^形下，可於拾取時不 會產生工件W之位置偏移而進行拾取。 【圖式簡單說明】 圖1A〜1C係第1實施形態之工件搬送裝置之說明圖。 圖2係將推進喷嘴及控制噴嘴設置成鑛齒狀之工件搬送 裝置之說明圖。

之說明 圖3係第1實施形態之變形例1的工件搬送裝置 圖 之說明 圖4係第1實施形態之變形例2的工件搬送裝置 圖 圖5A〜5C係使工件搬送路徑之寬度狹窄的工件搬送裝置 之說明圖。 圖6A〜6C係第2實施形態之工件搬送裝置之說明圖。 圖7A及7B係第2實施形態之工件搬送裝置的變形例之說 明圖。 圖8A〜8C係第3實施形態之工件搬送裝置之說明圖。 圖9A〜9C係使皮帶寬度狹窄之工件搬送裝置之說明圖。 圖10A〜10C係第4實施形態之工件搬送裝置之說明圖。 圖11係將一對帶式輸送機配置成「八」字狀之俯視圖。 圖12A〜12C係第3實施形態之變形例的工件搬送裝置之 說明圖。 圖13A〜13C係第4實施形態之變形例的工件搬送裝置之 說明圖。 118531.doc -37- 200804161 圖14A及14B係作動空氣板之示意圖。 【主要元件符號說明】

1 工件搬送裝置 2 工件搬送路徑 3 鼓風單元 4 工件搬送機構 5 作動空氣板 6 空氣室 8 多孔質板 12 控制喷嘴 13 推進喷嘴 15 分割搬送路徑 20 帶式輸送機 21 噴氣喷嘴 23 前寬窄移動機構 26 空氣供給單元 28 後寬窄移動機構 29 導執 32 雙螺絲機構 33 連結構件 50 驅動皮帶輪 55 中間部下降空氣單元 60 從動皮帶輪 66 擋板 118531.doc -38- 200804161 70 搬送帶 77 端部下降空氣單元 80 腳部 90 間距調整機構 Ps 搬送開始位置 Pe 搬送結束位置 W 工件 118531.doc -39-

Claims (1)

1. 200804161 十、申請專利範圍·· 1. -種工件搬送裝置’其特徵在於包括： 工件搬送路徑’其引導工件之搬送；及 對豉風機構，其等# 側，自兩°又；述工件搬送路徑之兩 构側對上述工件搬送路徑上之 氣，以對上述工#仏^ 件4;勻地噴 迩工件給與用以搬送之推進力。 2·如請求項1之工件搬送裝置，其中 上述各鼓風機構具有複數個 送方向對上、十、a 再延贺嘴，其專自傾斜搬 上。迷件之侧面喻氣，並且排列於搬送方向 3·如請求項2之工件搬送裝置，其中 鼓風機構之上述複數個推進喷嘴之相互間隔為 上述工件之侧面長度之1/2以下。 4·如請求項1之工件搬送裝置，其中 上述各鼓風機構進而包括：複數個推進喷嘴，其 頁斜搬，方向對上述工件之側面噴氣；及複數個控制喷 ，，其等自與搬送方向正交之方向對上述工件之侧面喷 氣控制上述工件之姿勢；上述複數個推進噴嘴及上述 複數個控制噴嘴以混合存在之狀態排列於搬送方向上。 5·如請求項4之工件搬送裝置，其中 於上述對豉風機構之間，對向配置有上述各推進噴 嘴與上述各控制喷嘴。 6·如清求項4或5之工件搬送裝置，其中 上述各鼓風機構之上述複數個上述推進喷嘴及上述複 118531.doc 200804161 數個控制喷嘴之相互間隔為上下0 述工件之側面長度 之1/2以 如請求項1至6中任一項之工件搬送裝置，其中 件之寬 工 上述工件搬送路徑之寬度形成為窄於上述 度。 8.

   如請求項1至7中任一項之工件搬送裝置，其中 上述工件搬送路徑由以跨越方式载入工 搬送路徑構成，且 一對分割 包括間距調整機禮，1 P、+、 u 機稱其使上述一對分割搬送路 少一方沿著與搬送方向正交之方6孩如 I又炙万向移動，以對上述 分割搬送路徑之間距進行寬窄調整。 9·如請求項8之工件搬送裝置， 控與搬送方向相互平行地延伸 上述間距調整機構使上述一 上述平行狀態，一面調整間距

   其中上述一對分割搬送路 對分割搬送路徑一面維持 W如請求項8之卫件搬送裝置，其中上述—對分割搬送路 徑以朝向搬送方向之前方而變窄為「八」字狀之方式非 平行地延伸； 上述間距調整機構使上述一對分割搬送路徑一面維持 上这非平行狀態，一面調整間距。 11·種工件搬送裝置，其特徵在於包括·· 工件搬送機構，其由工件搬送路徑引導，且將複數個 ' ^方向上存在間隙之狀態下，利用空氣進行搬 送；及 11853i.doc -2 · 200804161 複數個中間部下降空氣機構，其配設於上述工件搬送 機構之上$，自丨方對所搬送而來之上述複數個工件之 上述各間隙喷氣，以維持上述各間隙。 12.如請求項u之工件搬送裝置，其中上述複數個中間部下 降空氣機構均句地噴氣’以便上述複數個間隙均等。 13·如請求項U或12之工件搬送裝置，其中進而包括： 擋板其配叹於上述工件搬送路捏之搬送結束位置之 前方，在與上述搬送方向正交之方向上延伸；及 端部下降空氣機構，J：自上方匕 、 /、目上方對上述擋板與已到達上 述搬送結束位置之上述工件 1干〈間隙贺氣，以將上述工件 定位於上述搬送結束位置。 14.如請求項11或12之工件搬送裝 卞微迗裝置，其中進而包括端部下 降空，，其配設於上述工件搬送路徑之搬送結束位 置之前方’自上方朝向斜後方對已到達上述搬送結束位 置之上述工件噴氣，以將上沭〜 迩工件疋位於上述搬送結束 位置。 15·如請求項11至14中任一瑙夕 項之工件搬送裝置，其中 上述複數個中間部下降处名撤 卜降二乳機構及上述端部下降空 機構分別具有在與搬送方向正 空氣喷嘴。 又之方向上延伸之狹縫狀 16·如請求項11至14中任_頊 項之工件搬送裝置，其中 上述複數個中間部下降空氣 ^ 轧機構及上述端部下降空氣 门正父之方向上之複數個 空氣喷嘴。 aim 118531.doc 200804161 17.如請求項"至16中任一項之工件搬送裝置，其中 上述各中間部下降空氣機構朝向傾斜搬送^向噴氣。 18·如請求項11至17中任一項之工件搬送裝置，其中 上述工件搬送機構進而包括如請求項！至6中任一項之 • 一對鼓風機構。 19.如請求項1至18中任-項之工件搬送裝置，其中 上述工件搬送路徑係在搬送方向上連接複數個作動空 • 氣板而構成，上述作動空氣板係由有孔板及與上述有孔 板連通之空氣室構成，且 進而包括空氣供給機構，其向上述空氣室供給空氣， 以便使上述工件經由上述有孔板而懸浮。 20·如請求項19之工件搬送裝置，其中進而包括： 真空抽吸機構，其自上述空氣室抽吸空氣，以便經由 上述有孔板而吸附上述工件；及 切換控制機構，其切換上述空氣供給機構及上述真空 φ 抽吸機構。 21·如睛求項19或2〇之工件搬送裝置，其中 上述有孔板係由多孔質板所構成。 22· —種工件搬送方法，其特徵在於： 自側方對由帶式輸送機所搬送而來之工件之兩側面均 句地喷氣，一面控制上述工件於平面内之姿勢，——面搬 送上述工件。 23. —種工件搬送裝置，其特徵在於包括： 帶式輸送機，其將工件置於皮帶上進行搬送；及 118531.doc 200804161 -對鼓風機構，其等配設於上述帶式輸送機之兩側， 並自兩側對由上述皮帶所搬送而來之上述工件喷氣； 上述一對鼓風機構對上述工件之兩侧面均勻地喷氣， 以控制上述皮帶上之上述工件於平面内之姿勢。 . 24.如請求項23之工件搬送裝置，其中 上述一對鼓風機構具有在與搬送方向正交之相同位置 處相互成對之複數組噴氣噴嘴。 φ 25·如請求項24之工件搬送裝置，其中 上述各喷氣噴嘴朝向對於搬送方向大致正交之方向噴 氣。 、 26·如請求項24或25之工件搬送裝置，其中 上述各鼓風機構之複數個上述噴氣噴嘴之相互間隔為 上述工件之側面長度之1 /2以下。 27·如請求項24至26中任一項之工件搬送裝置，其中 上述各鼓風機構之複數個上述噴氣噴嘴係遍及上述帶 • 式輸送機之搬送、開始位置附近至搬送結束位置以均等之 配置間距配設。 28·如請求項24至26中任一項之工件搬送裝置，其中 上述各鼓風機構之複數個上述噴氣噴嘴係遍及上述帶 式輸送機之搬送開始位置附近至搬送結束位置配設，且 以配置間距隨著接近上述搬送結束位置而變得緊密之 方式配設。 29·如請求項27或28之工件搬送裝置，其中進而包括空氣押 制機構，其個別獨控制複數個上述喷氣喷嘴之空氣噴2 118531.doc 200804161 量，且 上述空氣控制機構以上/ 过件所党到之空氣量隨著接 近上述搬送結束位置而辦 之空氣喷出量。 3夕之方式控制上述各空氣喷嘴 3〇.如請求項23至29中任-項之工件搬送裝置，直中 上述皮帶之寬度形成為窄於上述工件之寬二 31. 一種工件搬送裝置，其特徵在於包括：又 一對帶式輸送機，苴筈扁户 ^ ^ 、寺在&向排列之各個皮帶以跨越 方式載置並搬送工件；及 間距調整機構，1倍， /、使上述一對▼式輸送機之至少一方 朝向與搬送方向正交之方6欲么 之方向移動’以對上述-對帶式輸 运機之間距進行寬窄調整。 32.如請求項31之工件搬送裝置，其中 上述一對帶式輸送機沿著搬送方向相互平行地延伸； ^述間Γ調整機構使上述—對帶式輸送機-面維持上 述平行狀恶，一面調整間距。 33·如請求項31之工件搬送裝置，其中 「上述一對帶式輪送機以朝向搬送方向之前方而變窄為 「八」字狀之方式非平行地延伸； 上述間距調整機構使上述一對帶式輸送機—面 述非平行狀態，一面調整間距。 、、·、 34·如凊求項31至33中任-項之工件搬送裝置，其中上 距調整機構進而包括： 曰 複數個導軌，其等沿著與搬送方向正交之方向延伸， 118531.doc 200804161 且滑動自如地支持上述一對帶式輸送機；及 寬窄移動機構，其-端卡止於一方之上述帶式輸送機 上’另-端卡止於另-方之上述帶式輸送機± ’且構成 為同時自由地拉近及分開上述一對帶式輸送機。 35·如請求項34之工件搬送裴置，其中 上述寬窄移動機構具有配設於搬送方向前部之前寬窄 移動機構及配設於後部之後寬窄移動機構；

   上述前寬窄移動機構及上述後寬窄移動機構構成為可 個別地移動調整。 36.如請求項35之工件搬送裝置，其中 上述所寬窄移動機構及上述後寬窄移動機構分別由逆 向螺絲之雙螺絲機構構成。 37·如請求項31至36中任—項之工件搬送裝置，其中進而包 括如請求項23至29中任一項之一對鼓風機構。 38·如请求項23至37中任一項之工件搬送裝置，其中 上述皮帶至少在載置上述工件之位置具有作動空氣 板’其由有孔板及與上述有孔板連通之空氣室構成； 且進而包括空氣供給機構，其向上述空氣室供給空 氣，以便使上述工件經由上述有孔板而懸浮。 39·如請求項38之工件搬送裝置，其中進而包括： 真工抽吸機構，其自上述空氣室抽吸空氣，以便經由 上述有孔板而吸附上述工件；及 切換控制機構，其切換上述空氣供給機構及上述真空 抽吸機構。 118531.doc 200804161 40.如請求項38或39之工件搬送裝置，其中 上述有孔板係由多孔質板所構成。

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