JP5591563B2 - 位置確認装置 - Google Patents
位置確認装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5591563B2 JP5591563B2 JP2010053491A JP2010053491A JP5591563B2 JP 5591563 B2 JP5591563 B2 JP 5591563B2 JP 2010053491 A JP2010053491 A JP 2010053491A JP 2010053491 A JP2010053491 A JP 2010053491A JP 5591563 B2 JP5591563 B2 JP 5591563B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- position confirmation
- abutting
- flow rate
- positioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 title claims description 76
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 12
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
- G11B5/483—Piezoelectric devices between head and arm, e.g. for fine adjustment
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4873—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives the arm comprising piezoelectric or other actuators for adjustment of the arm
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
図1は、本発明の実施例1に係る位置確認装置を示す平面図、図2は、図1の位置確認装置の姿勢調整動作を示す斜視図、図3は、位置決め状態を確認するためのクリアランスを示す平面図、図4は、クリアランスと引込流量との関係を示すグラフである。
[圧電素子の位置決め及び確認]
本実施例の位置確認装置1では、図2のように、圧電素子3をステージ部5上で目標位置に位置決めした後、その位置決め状態の確認が行われる。
[実施例1の効果]
本実施例の位置確認装置1は、圧電素子3を載置させる位置決め用のステージ部5と、該ステージ部5に貫通形成され前記圧電素子3の位置決め状態で閉塞される貫通孔35,37と、該貫通孔35,37を介して空気を引き込み、該空気の流量に応じて圧電素子3の位置決め状態を確認する流量計測部39とを備えている。
本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、単一の貫通孔59でも引込流量差を大きくすることができる。
[その他]
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各種の変更が可能である。
3 圧電素子
5 ステージ部
7 突当部
9 付勢部
21,23 突当面
35,37 貫通孔
39 流量計測部
Claims (7)
- 平面からなる表面にヘッドサスペンションの取付部に取り付ける微小な圧電素子を載置させ大まかな位置決め用のステージ部と、
該ステージ部上の圧電素子を前記表面の面方向での突き当てによって取付部に対応した目標位置に位置決める突当部と、
前記圧電素子を前記面方向に付勢して前記突き当てを行わせる付勢部とを備え、
前記付勢部は、前記圧電素子を気体の吹き出しによって付勢する位置決め装置に用いる位置確認装置であって、
前記ステージ部に貫通形成され前記圧電素子の位置決め状態で少なくとも一部が閉塞される貫通孔と、
前記付勢部の気体の吹き出しと共に前記貫通孔を介して気体を引き込み、該気体の流量に応じて前記圧電素子の位置決め状態を確認する流量計測部とを備え、
前記突当部と前記圧電素子の端面とのクリアランスと前記流量計測部が引き込む気体の流量との相関関係を予め求め、
前記流量計測部は、前記予め得た相関関係と前記位置決め状態で前記流量計測部が引き込む気体の流量とから前記位置決め状態の確認を行う、
ことを特徴とする位置確認装置。 - 請求項1記載の位置確認装置であって、
前記ステージ部上の圧電素子を面方向で突き当てて位置決める突当部を備えている、
ことを特徴とする位置確認装置。 - 請求項2記載の位置確認装置であって、
前記圧電素子は、平面四角形であり、
前記突当部は、前記圧電素子外周の隣接する二辺に対応して設けられた一対の突当面を備えている、
ことを特徴とする位置確認装置。 - 請求項3記載の位置確認装置であって、
前記貫通孔は、前記一対の突当面に沿って複数配置されている、
ことを特徴とする位置確認装置。 - 請求項3記載の位置確認装置であって、
前記貫通孔は、前記一対の突当面の挟角部に配置されている、
ことを特徴とする位置確認装置。 - 請求項3〜5の何れかに記載の位置確認装置であって、
前記貫通孔は、前記突当面から交差方向に突出して断面形状が小さくなるように開口している、
ことを特徴とする位置確認装置。 - 請求項6記載の位置確認装置であって、
前記貫通孔の開口は、断面半円形である、
ことを特徴とする位置確認装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010053491A JP5591563B2 (ja) | 2010-03-10 | 2010-03-10 | 位置確認装置 |
US13/033,326 US8733184B2 (en) | 2010-03-10 | 2011-02-23 | Position testing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010053491A JP5591563B2 (ja) | 2010-03-10 | 2010-03-10 | 位置確認装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011187138A JP2011187138A (ja) | 2011-09-22 |
JP5591563B2 true JP5591563B2 (ja) | 2014-09-17 |
Family
ID=44558662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010053491A Active JP5591563B2 (ja) | 2010-03-10 | 2010-03-10 | 位置確認装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8733184B2 (ja) |
JP (1) | JP5591563B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5591562B2 (ja) * | 2010-03-10 | 2014-09-17 | 日本発條株式会社 | 位置決め装置 |
Family Cites Families (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3614168A (en) | 1969-09-30 | 1971-10-19 | Bowles Fluidics Corp | Bernoulli conveyor |
US3890508A (en) * | 1973-12-28 | 1975-06-17 | Texas Instruments Inc | Workpiece alignment system |
US3976330A (en) | 1975-10-01 | 1976-08-24 | International Business Machines Corporation | Transport system for semiconductor wafer multiprocessing station system |
USRE32684E (en) * | 1978-10-02 | 1988-05-31 | Precision Metal Fabricators, Inc. | Air table system |
US4299518A (en) | 1980-03-03 | 1981-11-10 | Texas Instruments Incorporated | Manufacturing work station |
JPS58178000A (ja) | 1982-04-09 | 1983-10-18 | Showa Denko Kk | ケトコラン酸又はそのエステル類の製造方法 |
JPS58178000U (ja) * | 1982-05-21 | 1983-11-28 | 富士通株式会社 | チツプ状部品の位置決め機構 |
US4543970A (en) | 1983-02-21 | 1985-10-01 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Automatic set-up system |
JPS60182689A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-18 | 日本メクトロン株式会社 | 固体蛍光素子の製造法 |
JPS6142229U (ja) * | 1984-08-22 | 1986-03-18 | アンリツ株式会社 | 自動位置決め固定装置 |
JPS61208841A (ja) | 1985-03-14 | 1986-09-17 | Sony Corp | 半導体ウエハの位置合せ装置 |
US4717263A (en) | 1985-07-26 | 1988-01-05 | Compact Spindle Bearing Corporation | Gas bearing |
CH673830A5 (ja) * | 1986-02-12 | 1990-04-12 | Will E C H Gmbh & Co | |
JPH0682911B2 (ja) * | 1988-05-31 | 1994-10-19 | ジューキ株式会社 | 回路形成装置における基板保持装置 |
JPH0217794A (ja) | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Mitsubishi Electric Corp | 端末制御監視装置に用いられる制御装置および監視装置 |
US5017052A (en) | 1988-08-15 | 1991-05-21 | Bartylla James G | Cup conveyor |
JPH02151099A (ja) * | 1988-12-02 | 1990-06-11 | Seiko Epson Corp | 電子部品装着機 |
JPH0547520Y2 (ja) * | 1989-05-18 | 1993-12-14 | ||
JPH0770504B2 (ja) | 1990-12-26 | 1995-07-31 | 信越半導体株式会社 | ウエーハのハンドリング方法及び装置 |
JPH04282408A (ja) * | 1991-03-11 | 1992-10-07 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
JP2822715B2 (ja) | 1991-08-20 | 1998-11-11 | サンケン電気株式会社 | 膜抵抗のレ−ザトリミング方法及び装置 |
JPH0586078A (ja) | 1991-09-26 | 1993-04-06 | Tokuyama Soda Co Ltd | 含リンポリチオール及びその製造方法 |
JPH08643B2 (ja) * | 1993-03-01 | 1996-01-10 | 日本電気株式会社 | 薄板位置決め装置 |
US5451125A (en) | 1994-01-14 | 1995-09-19 | Simplimatic Engineering Company | Controlled speed single file conveyor for multisize articles |
US5518545A (en) * | 1994-05-19 | 1996-05-21 | Miyano; Toshiharu T. | Apparatus for conveying discrete parts |
JP3171072B2 (ja) | 1995-11-14 | 2001-05-28 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の取扱装置、取扱方法および製造方法 |
US6203250B1 (en) | 1997-12-16 | 2001-03-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Article feeding apparatus |
US6409434B1 (en) * | 1999-02-01 | 2002-06-25 | Rensselaer Polytechnic Institute | Device for manipulation of objects on a pneumatic surface |
JP4156203B2 (ja) | 2000-05-22 | 2008-09-24 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | ディスク装置用サスペンション |
US6676365B2 (en) * | 2001-03-16 | 2004-01-13 | Toda Kogyo Corporation | Air track conveyor system for disk production |
JP4480960B2 (ja) * | 2003-06-27 | 2010-06-16 | 東北パイオニア株式会社 | 支持ユニット並びにその支持ユニットを用いた移動テーブル装置及び直動案内装置 |
JP4413789B2 (ja) | 2005-01-24 | 2010-02-10 | 東京エレクトロン株式会社 | ステージ装置および塗布処理装置 |
JP4664117B2 (ja) * | 2005-03-03 | 2011-04-06 | 住友重機械工業株式会社 | 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置 |
US8092143B2 (en) | 2005-10-21 | 2012-01-10 | Yang Dai Qiang | Pneumatic card transport system |
JP4580327B2 (ja) * | 2005-11-21 | 2010-11-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の取り出し方法及びプログラム記憶媒体並びに載置機構 |
US7513716B2 (en) | 2006-03-09 | 2009-04-07 | Seiko Epson Corporation | Workpiece conveyor and method of conveying workpiece |
JP4719124B2 (ja) | 2006-10-31 | 2011-07-06 | 三菱重工業株式会社 | 基板の位置決め方法、基板の位置決め装置、搬送装置及びプロセス装置 |
DE102007054334A1 (de) | 2007-11-14 | 2009-05-20 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Aerostatisches Lager und Verfahren zu dessen Herstellung |
JP5591562B2 (ja) * | 2010-03-10 | 2014-09-17 | 日本発條株式会社 | 位置決め装置 |
-
2010
- 2010-03-10 JP JP2010053491A patent/JP5591563B2/ja active Active
-
2011
- 2011-02-23 US US13/033,326 patent/US8733184B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110219884A1 (en) | 2011-09-15 |
JP2011187138A (ja) | 2011-09-22 |
US8733184B2 (en) | 2014-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5591562B2 (ja) | 位置決め装置 | |
JP6023440B2 (ja) | 塗布装置 | |
TW202004984A (zh) | 氣體浮上工件支持裝置 | |
JP5922803B2 (ja) | 吸着装置 | |
JP2006273576A (ja) | 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置 | |
JP5591563B2 (ja) | 位置確認装置 | |
JP2009051654A (ja) | 基板搬送装置及び基板検査装置 | |
JP6518891B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP2010260715A (ja) | 浮上ユニット及び浮上装置 | |
CA3003051A1 (en) | Punch foot for a label punch, and device and method for labeling individual packs | |
JP2009019688A (ja) | 静圧軸受 | |
JP5854398B2 (ja) | スクライブ装置 | |
JP2010264579A (ja) | 基板吸着装置 | |
JP5678703B2 (ja) | 静圧気体軸受直線案内装置、精密形状測定機、工作機械及び半導体製造装置 | |
JP2010142671A (ja) | 塵埃吸引方法及び塵埃吸引装置 | |
JP5084189B2 (ja) | リニアモータ及び部品搭載装置 | |
JP2005262084A (ja) | スリットノズルおよび基板処理装置 | |
TW200902159A (en) | Application apparatus | |
JP3753108B2 (ja) | 直線案内装置及びそれを用いたマスク検査装置 | |
WO2017145678A1 (ja) | 切断機構および切断装置 | |
JP4993418B2 (ja) | 導電性ボールの供給装置及び供給方法 | |
WO2014125686A1 (ja) | 浮上搬送装置、搬送レール、および浮上搬送方法 | |
JP2000120685A (ja) | 静圧空気軸受直線案内装置 | |
JP6685894B2 (ja) | エアベアリング装置及び測定装置 | |
JP2006043562A (ja) | スリットノズルおよびそれを用いた基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140729 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140730 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5591563 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |