TW200530605A - Prober for testing display panel and test apparatus therewith - Google Patents

Description

200530605 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種用於液晶（LCD)面板或有機el面板等 顯示面板測試之探測器及其測試裝置。 【先前技術】 於以半導體晶圓為測定對象之晶圓探測器中，以提高測 定精度與速度為目的，習知有專利文獻！或2所揭示之晶圓 探測器。於該等晶圓探測器中，由於需要施加電壓於半導 體之基板，因此設計成可對夹盤施加電壓。其電位並非僅 限於接地電位’因此如專利文獻2之圖2中揭示有使用主動 式防護作為雜訊對策，以防護電位進行屏蔽之技術。又， 如專利文獻1之圖3 ’習知有以導體包圍包含夾盤與測定對 象之區域作為EMI屏蔽之技術。 然而，於液晶（LCD)面板或有機E]L面板等顯示面板測試 用的顯示面板用探測器中，因顯示面板係使矽成長於絕緣 體之破璃上，因此理論上係採取s〇I(Silic〇n〇n_insuiat〇r， 、、、巴、、彖物上石夕）構造，故而無需賦予電位至絕緣體之玻璃，夹 i之电位基本為接地電位即可。由此，於測定中亦未充分 考慮雜矾之影響，而如專利文獻3之圖8中可見，於夹盤及 其屏蔽構造上並無特別考究。 ^而’最近為求降低成本，大型玻璃板之使用成為主流， 故而對於顯示面板亦開始需要考慮其影響。例如，於非晶 夕乂長中’由於使用第5代1米見方強之玻璃板，因此夾盤 台之運作範圍需要3米見方左右，若基於屏蔽的理由而要完 95596.doc 200530605 全包圍此區域’則對於成本之影響非常大。 再者，伴隨玻璃板之大型化， ^ Φ ^ ^ , 文皿本身大型化之影響亦 二^慮。將夹盤與對地之間隔設為d，於夹盤與對地之間 ;;於體之情形時’將其材質之介電常數作為“，則相 對於夾盤面積S之寄生電容（對地電容）C表示如下： c= sr*(S/d) 但第7代面板大約為2米男 9拉、 見方因此—邊之長度為第5代之 口，寄生電容為第5代之4倍。 妙力古相π i 此弟7代面板之交流阻 抗在同頻下大幅小於第5代面板，迻矣干/+铪 時，夾盤容易產生㈣作用 在測定第7代面板 旦,几入，士此外，即使藉由傳統方式大 二而：丁夹盤屏蔽，测試用測定器仍容易自其他路 仫要素而X雜訊之影響。 不同 因此，於顯示面板測試用之探測器及測試裝置中 於半導體晶圓所使用者，需要更加完善之雜訊對策。 圖5 專利文獻1:日本專利特開平6-53297號公報，圖3 專利文獻2 :日本專利特開平7_8彻现公報，圖2、 專利文獻3 .日本專利特開2_·296547號公報，圖8 _本發明所欲解決之問題在於提供一種降低雜訊影響之顯 不面板測試用探測器及其測試裝置。 、

本發明所欲解決之g M I 問碭在於提供一種可高速及高精 又疋之顯不面板測試用探測器及其測試裝置。 ^明所欲解決之又一問題係於顯示面板測試用探測器 ^測試裝置中，提供—種將夾盤台保持於高交流阻抗， 並有效實施靜電屏蔽之探測器及測試裝置。 95596.doc 200530605 本發明所欲解決之再一問題係於顯示面板測試用探測器 及其測4裝置巾’提供—種減少因探測器之馬達驅動系統 造成之雜訊影響的探測器及其測試裝置。 一因此，本發明之目的在於提供一種可解決上述問題之顯 不面板測試用探測器及其測試裝置。Λ目的藉由申請專利 範圍中獨立項所揭示之特徵組合達成。又，附屬項規定本 發明之更加有利之具體例。 【發明内容】 於本發明之顯示面板測試用探測器中包含：夾盤；支持 台’其支持夾盤；心㈣料，其屏蔽夾盤；以及外部遮 罩’其屏蔽夹盤及第！内部遮罩；外部遮罩係於底盤接地， 夾盤係藉由第！電境而連接於第】連接器，第】内部遮罩係藉 由第2¾纟見並介以阻抗器而連接於第2連接器。 又’本發明之探測器包含以下態樣，其中具備第 器，該第3連接器藉由第3電境而連接於第2電纖與糾内部

遮罩相連接之# | n ^ A 位置，以及包含以下態樣，其中第2至第3中 任-者之電繞係同軸電欖，其各自之外皮導體連接於底 盤:再者，亦包含以下態樣，其中於上述遮罩内具有屏蔽 夾i上方之第2内部遮罩，第】内部遮罩係屏蔽夾盤之下部 與側部。再者’亦包含上述阻抗器係電感器之態樣以及係 電阻之態樣。 此:，本發明之其他顯示面板測試用探測器包含：失盤； ^持台’其支持失盤；^内部遮罩，其屏蔽夾盤；以及外 P i罩〃屏敝夹盤及第1内部遮罩；外部遮罩係於底盤接 95596.doc 200530605 地，夹盤藉由第丨電纜而連 丄斤 牧％弟丄連接态，弟1内部遮罩藉 由弟2電境並介以阻抗器而連接於底盤。 •此外’本發明之測試裝置包含上述構造之探測器；約 、电壓源’其供給第1特定電壓至第1連接器以及第2電塵 T ’其連接於第2及第3連接$ ’並對該等供給第2特定電 °再者本叙明之其他測試裝置亦包含以下態樣，其中 =備第4電纜’該第4電繞係自第i電壓源介以探測器卡將供 、6至苐1連接裔之特定電壓供給至第2内部遮罩。 發明效果 藉由本發明之顯示面板用探測器及其測試裝置，將夾盤 台保持於高交流阻抗，並有效實施靜電屏蔽，因此可有效 防止夾盤之電位不受雜訊之影響，故而具有於電性測定中 亦可進行高速、高精度之測試之優點。 【實施方式】 使用圖1說明作為本發明之第1實施例之顯示面板測試用 采則=11 0及其測试裝置1 〇 〇。被測定對象（顯示面板）12 2放 置於夾盤124上，藉由設置於探測器卡118之探測器ι2〇予以 测定。探測器120連接於未圖示之測定器。於本例中，探測 器丨2〇自探測器卡118之中心開口部對被測定對象進行探 測。夾盤124夾著絕緣體126而藉由第1内部遮罩128屏蔽。 較好的是第1内部遮罩128覆蓋夾盤124之底面及側面，而側 面較佳延伸至高於被測定對象之上面高度的位置，對於夾 盤及被測定對象有效屏蔽外來雜訊。 夾盤124、絕緣體126及内部遮罩128構成夾盤台129。夾 95596.doc 200530605 盤台129藉由支持構件i6〇與支持台i32成為一體而動作，支 持台132藉由受伺服放大器140控制之伺服馬達142，可於 X、Y、Z方向移動。夾盤台129、被測定對象122以及探測 器卡118由外部遮罩U2包圍。圖中，雖僅為概念性表示， 但支持構件1 6 0係依據公知技術，成為可靈活移動而不讓外 部遮罩112之下部平面留下多餘之開口之構造。 外部遮罩112於上部具備開口部11 5，用於確認探測器針 120前端之接觸狀態等。圖中雖未特別表示，但探測器卡ιΐ8 或被測定對象122之裝卸，係將外部遮罩i 12之一部分設計 成可開閉，於該處裝卸，或者以設置可於橫向進出之托盤 等方式進行。於開口部115之下，為避免探測器卡118表面 電位影響夾盤124及被測定對象122，設有環狀之第2内部遮 罩114。第2内部遮罩114藉由將其剖面設計為l形狀，除了 於上下方向以外，亦可於橫方向、斜方向有效屏蔽。第2 内邛遮罩114兼具保持探測器卡J丨8之作用。第2内部遮罩 114之水平。卩为的形狀較佳係大致覆蓋除作為探測器1 μ之 貫通部分之中央部以外之探測器卡118之下部。

夾盤124藉由電纜136而連接於探測器之a c〇M端子 144並藉由電纜161連接於測定裝置（MEAS UNIT)148之A COM端子。測定裝置148及其A c〇M端子可以是作為測定裝 置之一部分的測試頭與設置於其上之A c〇M端子。又，測 疋裝置148之A COM端子較佳為測定裝置之共用電位，且可 供給乾淨之直流電壓，#，即使有干擾雜訊進入，亦可僅 供給不含交流成分之直流電壓的端子。 95596.doc -10- 200530605 外部遮罩112藉由電纜134而連接於控 地線（FG)點而接地（156)。 、^之底盤的屏蔽 第^内部遮罩128藉由錢138並介以阻抗器（z)i3〇而連 於弟四端子(F)155 ’藉由電纜166連接於接地單元 (gDU)152之第四端子。於此處，阻抗器⑻咖可作為電感 器：電阻器或兼作電感器及電阻器兩者。作為電感器之情 形時’可不影響直流成分而對於交流成分形成高阻抗。此 情形時’較佳的是捲繞有電流通過環形磁芯之素材的電感 器元件，且為避免損害直流特性，較佳使用較粗之線材。 作為電阻之情形時，較好的是形成低電阻，藉此直流成分 雖會產生若干損失’但對於交流成分則無論頻率高低皆可 賦予,其特定阻抗。X，阻抗器（z)13〇較好的是設置於儘量 接近第1内部遮罩128之位置’例如，設置於支持台132内部 空間等。 第1内部遮罩藉由電纜139而連接於感測端子（s)15l，藉 由電纜164連接於接地單元152之感測端子，形成凱文 (Kelvin)連接。此凱文連接較好的是將接地單元152與第工 内部遮罩128之間設計為足夠吸收雜訊之寬頻帶。接地單元 雖不要求供給乾淨程度如測定裝置148之A c0M端子之直 電壓’但較佳的是可供給較乾淨之直流電壓。 較好的是電纜136、138、139為同軸電纜，其任一者之外 皮導體均連接於探測器之底盤的屏蔽地線（FG)點而受到屏 蔽0 另者，測定裝置148之A COM端子藉由電纜162並介以設 95596.doc -11 - 200530605 置於楝測器卡1 1 8之端子1 7 、 進而’丨以跨接線1 72或探測器 &上之圖案（未圖示），進而介以螺絲或電規等之電性連接手 奴11 6而連接於第2内部遮罩〗丨4。 立精由以上構造’例如即使雜訊重疊於探測器之底盤，外 邛‘罩112之電位產生改變，第m部遮罩128介以阻抗界 130而自外部連接，因此電位難以變化。又，第！内部遮罩 與第2内部遮罩間幾乎無電位m即使於該兩者之内部 :罩間存有寄生電容’亦可幾乎抑制雜訊電流之輸入輸 出，故影響較小。故而’可保持夾盤之電位不受雜訊影響。 糟此，可以高速、高精度於被測定對象122上進行電性測試。 另’於以上說明中，係以飢文連接表示接地單元152與第 1内部遮罩128之連接法’但亦可依據雜訊之程度，不進行 飢文連接，拆掉電㈣9,而將來自接地單元152之第四電 纜166與感測電纜連接於第四端子155進行測試。 繼而使用圖2說明作為本發明之第2實施例之顯示面板測 試用探測器2Π)及其測試裝置2〇〇。卩，於圖2中，與圖冰 同之構成要素係賦予相同參照編號，省略其說明。 與圖1之不同點在於，於第1内部遮罩128上，藉由電臂238 並介以阻抗HUG而連接有探測器底盤之屏蔽地線，以及將 電境238改為單線電欖。藉此，可提供_種探測器及測試裝 置’其效果雖亦需視探測器底盤之雜訊程度而定，但無需 接地單元，可以低成本保護失盤電位不受雜訊之影響: 以上已就本發明進行說明，但於本發明之顯示面板的測 試中’並非僅限於發光元件形成後之顯示面板之測試，亦 95596.doc •12- 200530605 '含對於矩陣電路形成後、發光元件形成前之顯厂 測试。又’本發明之上述實施例之細部形狀、夂：面板的 示，本發明並非僅限於此等實施例，可藉由級二係為例 之技術進行各種變更及修正。例如，第… ^所周知 夾盤上面突出而延伸 “、、之側壁自 Τ彳一其形狀可採用各種形壯 限於筆直延伸，亦可為前端折向内側 ’並非僅 【圖式簡單說明】 ^狀。 圖1係表示本發明之第!實施例 圖。 戒置之構造的模式 圖 圖2係表示本發明之&實施例之測試裝置之構造的模式 【主要元件符號說明】 100 - 200 測試裝置 110 、 210 探測器 112 外部遮罩 114 第2内部遮罩 115 開口部 116 電性連接手段 118 探測器卡 120 探測器針 122 被測試對象（顯示面板） 124 夾盤 126 絕緣體 128 第1内部遮罩 95596.doc • 13- 200530605 129 夾盤台 130 阻抗器 132 支持台 134、 136 、 138 、 161 、 162、 164 、 166 電纜 140 伺服放大 器 142 伺服馬達 144 A COM端 子 148 測定裝置 151 感測端子 152 接地單元 155 第四端子 160 支持構件 170 端子 172 跨接線 95596.doc -14-

Claims (1)

1. 200530605 十、申請專利範圍： 1.-種顯示面板測試用探測器，其包含： 夾盤； 支持台，其支持上述夾盤； 第1内部遮罩’其屏蔽上述夹盤；以及 外部遮罩，其包圍上述夾盤及上述第1内部遮罩，· 上述外部遮罩係於底盤接土也，上 而連接於繁η查妓π 、人崖係糟由第1電纜 介以阻抗器而連接於第2連接器。1係稭由仏電繞並 2·如請求項1之探測器，苴中上诚筮]十结q #ώ 八中上述第1或第2電纜係同軸 、·見其各自之外皮導體係連接於底盤。 3·:請求们之探測器，其中包含第3連接器 =而連接於上述第2電纜與上述第i内部遮罩相連/ : 置。 4·如申請項3之探測器，其中上述第⑴項中任一者之電境 係同軸電繞，其各自之外皮導體係連接於底盤。 5· 種顯不面板測試用探測器，其包含·· 夾盤； 支持台’其支持上述夾盤； 第1内部遮罩，其屏蔽上述夾盤；以及 外部遮罩，其包圍上述夾盤及上述第1内部遮罩； 上述外部遮罩係於底盤接地，上述夾盤係藉由第1電纜 而連接於第1連接器，上述第1内部遮罩係藉由第2電纜並 介以阻抗器連接於底盤。 95596.doc 200530605 6·如請求項5之探測器，其中上述第1電纜係同軸電纜，其 外皮導體係連接於底盤。 ” 入如請求項丨至6中任一項之探測器，其中上述阻抗器包含 電感器。 S 8·如請求項丨至6中任一項之探測器，其中上述阻抗器包含 使用環形磁芯之電感器。 9·如請求項丨至6中任一項之探測器，其中上述阻抗器包含 電阻器。 3 10·如凊求項1至6中任一項之探測器，其中上述阻抗器設置 d 於第1内部遮罩附近。 H·如請求項10之探測器，其中上述阻抗器設置於上述支持 台内部。 ' 12·如請求項⑴中任—項之探測器，其中進—步於上述外 部遮罩内包含屏蔽上述夹盤上方之第2内部遮罩；上述第 1内u卩遮罩係屏蔽上述夾盤之下部與側部。 13·如請求項12之探測器，其中上述第2㈣料係環 狀。 · 14.=請求項12之探測器，其中上述第2内部遮罩係剖面為l 子形。 15·如請求項12之探測器’ &中上述第2内部遮罩包含與收容 於該第2内部遮罩上部之探測器卡之特^訊號、線相連接 之手段。 其中上述外部遮罩係 16 ·如請求項1至6中任一項之探測器 於上部具有開口部。 95596.doc -2- 200530605 1 7.如請求項1至6中任—馆+ t , T 1士項之採測器，其中卜，从Α 以包含上述夾盤之移動區竹效姊〃中上述外部遮罩係 不夕轫域整體之方式 18.如請求項丨至6中任一 匕圍之。 貝< 4木測态，盆巾μ 係覆蓋上述夾盤之底邱& / , ^上述弟1内部遮罩 之上面突出而延伸。 设風係自丈盤 19· 一種顯示面板測試裝置，其包含： 請求項1或2之探測器； 第1電壓源，其供給第1轉宏 厂 弟1特疋電壓至上述第1連接器，·以及 第2電麼源，其供仏筮 第2特定電壓至上述第2連接器。 一種顯示面板測試裝置，其包含·· 請求項5或6之探測器；以及 弟1電壓源’其供給第1特定電壓至上述第1連接器。 2 1 · —種顯示面板測試裝置，其包含： 請求項3至4中任一項之探測器； 第1電壓源，其供給第1特定電壓至上述第1連接器；以及 第2電壓源，其連接於上述第2及第3連接器，並對其等 供給第2特定電壓。 22·如請求項12之測試裝置，其中包含第4電纜，該第4電纜 係自上述第1電壓源介以上述探測器卡，將供給至上述第 1連接器之特定電壓供給至上述第2内部遮罩。 95596.doc