TW200428496A - III-V compound semiconductor and method for producing same - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 62
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 75
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 154
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 32
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 8
- -1 V-V compound Chemical class 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 5
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DIIIISSCIXVANO-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dimethylhydrazine Chemical compound CNNC DIIIISSCIXVANO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQPCIBKZKWLGFX-UHFFFAOYSA-N C(C)C1(C=CC=C1)CC.[Mg] Chemical compound C(C)C1(C=CC=C1)CC.[Mg] GQPCIBKZKWLGFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007948 ZrB2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N boron;zirconium Chemical compound B#[Zr]#B VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- PNZJBDPBPVHSKL-UHFFFAOYSA-M chloro(diethyl)indigane Chemical compound [Cl-].CC[In+]CC PNZJBDPBPVHSKL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- DZEYGJJYMLPRLL-UHFFFAOYSA-N cyclopenta-1,3-diene;magnesium Chemical compound [Mg].C1C=CC=C1 DZEYGJJYMLPRLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010437 gem Substances 0.000 description 1
- 229910001751 gemstone Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M indium(1+);chloride Chemical group [In]Cl APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- HDZGCSFEDULWCS-UHFFFAOYSA-N monomethylhydrazine Chemical compound CNN HDZGCSFEDULWCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 1
- 230000005070 ripening Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- YBRBMKDOPFTVDT-UHFFFAOYSA-N tert-butylamine Chemical compound CC(C)(C)N YBRBMKDOPFTVDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N triethylaluminium Chemical compound CC[Al](CC)CC VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCULRUJILOGHCJ-UHFFFAOYSA-N triisobutylaluminium Chemical compound CC(C)C[Al](CC(C)C)CC(C)C MCULRUJILOGHCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen
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Description
200428496 ⑴ 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於具有一般式InxGayAlzN(x + y + z=l, 0<χ<1,0<y<l,0$ζ<1)所示量子井層,與挾持該量子井 層之2個阻隔層所得之量子井構造之]Π-V族化合物半導 體。 【先前技術】 紫外、藍色或綠色之發光二極體或紫外、藍色或綠色 之激光二極體等之發光元件之材料,已知如一般式 InaGabAlcN(但是,a + b + c= l,OSag 1,1,OScS 1) 之m -v族化合物半導體。以下,此一般式中之a,b及c 各自稱爲InN混晶比,GaN混晶比,A1N混晶比。有關該 皿-V族化合物半導體,特別是含InN爲混晶比5%以上 者,由於可視光範圍因應InN混晶比之發光波長可調整, 對顯示用途特別重要。 該瓜-V族化合物半導體嘗試於藍寶石、GaAs,ZnO 等種種之基板上成膜,由於晶格係數或化學性質與該化合 物半導體極大的不同,不能得到充分高品質之結晶。由 此,嘗試首先成長與該化合物半導體與晶格係數、化學性 質近似之GaN結晶,再於其上成長該化合物半導體得到 良好結晶(日本特公昭5 5 · 3 8 3 4號公報)。 又’已有由 InaGabAlcN(但是,a + b + c= l,0<a<l, 0<b<l ’ OS c<l)半導體作爲量子井構造,可實現高效率之 -5- (2) 200428496 發光元件之報告(日本專利第3 064 89 1號公報),以輝度之 觀點未必得到充分的滿足。
一方面,已知滲雜Si之GaN上於660〜78(TC以下溫 度成長InGaN層,成長中斷5〜10秒後,以此條件重複成 長InGaN層及成長GaN形成多重量子井構造,接著於 1040°C,由成長p-GaN層製造半導體之方法,亦知成長 p-GaN層時,InGaN層被破壞,析出I η金屬或InN結 晶,如此輝度顯著下降(Journalofcrystalgrowth248, 498(2003)) 【發明內容】 [發明之揭示] 本發明之目的,爲提供得到高輝度發光元件之m -V 族化合物半導體,其製造方法及其用途。 本發明者等,於此狀況下經深入硏究結果,由多重量 子井構造之X線繞射測定之量子井層相關之平均InN混 晶比,相對於注入電荷產生之發光波長所求得之InN混晶 比爲42.5 %以下之具有特定平均InN混晶比之化合物半導 體,發現可得到高輝度之發光元件,同時量子井層成長終 了後至阻隔層成長開始爲止之成長中斷,於量子井層之成 長溫度進行超過1 0分鐘時間或高於量子井層之成長溫度 之溫度之特定條件下進行,發現可製造得到高輝度發光元 件之化合物半導體。 即本發明係,[1 ]提供具有由至少含有2個以上由 -6- (3) (3)200428496
InxGayAlzN(x + y + z=l,0<χ<1,0<y<i,〇^ζ<1)所示量子 井層與,挾持該量子井層之2個阻隔層所得之多重量子井 構造之m -v族化合物半導體,該多重量子井構造經X光 繞射所得之量子井層之平均InN混晶比,相對於具有該多 重量子井構造瓜-V族化合物半導體注入電荷產生之發光 波長所求得之InN混晶比爲42.5 %以下爲其特徵之]Π -V 族化合物半導體。 又,本發明爲,[2]具有由InxGayAlzN(x + y + z= l, 0<χ<1,0<y<l,〇$ζ<1)所示量子井層與,挾持該量子井 層之2個阻隔層所得之單一量子井構造之m -V族化合物 半導體,當該阻隔層與該量子井層重複複數次形成多層量 子井層構造時,該多重量子井構造經X光繞射所得之量 子井層之平均InN混晶比,相對於對該瓜-V族化合物半 導體注入電荷產生之發光波長所求得之InN混晶比爲 4 2.5 %以下爲其特徵之瓜-V族化合物半導體。 又,本發明係,[3]提供當製造具有由 InxGayAlzN(x + y + z= l,0 < x < 1,0<y<l ’ 〇€ ζ<1)戶斤不里子 井層與,具有挾持該量子井層之2個阻隔層構造所得之量 子井構造之瓜-V族化合物半導體時,量子井層成長終了 後至阻隔層成長開始爲止之成長中斷,以量子井層之成長 溫度進行超過10分鐘時間或高於量子井層之成長溫度之 溫度之特定條件下進行爲其特徵之m -v族化合物半導體 之製造方法。 (4) (4)200428496 [用以實施發明之最佳型態] 本發明有關之m -v族化合物半導體,係具有由 InxGayAlzN(x + y + z= l,〇<χ< 1,0<y< 1,〇$ζ<1)所示量孑 井層與’具有挾持該量子井層之2個阻隔層所得之量子井 構造者。 該量子井層,其厚度通常爲 5〜90Α。理想爲 10〜70Α,更理想爲15〜6〇Α。 又該量子井層,滲雜或不滲雜雜質均可。滲雜時,其 濃度過高時結晶性下降,通常爲1021 cm3以下。 又該阻隔層,通常使用如InaGabAleN(a + b + c=l,〇$ a <1,O^bSl,OScSl)之皿-V族化合物半導體。此 層,可滲雜或不滲雜雜質。雜質可列舉如Si,Zn,Mg, 〇等元素。此等元素可複數滲雜。滲雜雜質時,其量通常 爲1016cm3〜l〇21cm3。挾持量子井層之阻隔層可爲相同或 相異。 阻隔層之膜厚,通常爲 30〜1 000A,理想爲 50〜500A,更理想爲1〇〇〜300A。 量子井構造係由如上述之量子井層,與如上述之阻隔 層所構成,於本發明,以具有2個以上量子井構造爲理 想。當然單一之量子井構造亦可。 本發明之m-v族之化合物半導體,爲具有上述量子 井構造者,具有多重量子井構造時’該多重量子井構造由 X線折射所測定之量子井層相關量子井層之平均1nN混晶 比,相對於具有該多重量子井構造111 -V族化合物半導體 -8 - (5) (5)200428496 注入電荷產生之發光波長所求得之InN混晶比爲42·5%爲 其特徵,又具有單一量子井構造時該阻隔層與該量子井層 以重複複數次形成之多層量子井層構造時,該多重量子井 構造經X光繞射所得之量子井層之平均ΙηΝ混晶比’相 對於具有該多重量子井構造Μ - V族化合物半導體注入電 荷產生之發光波長所求得之1 η Ν混晶比爲4 2 · 5 %爲其特 徵。 由多重量子井構造X線繞射測定量子井層中之平均 InN混晶比,相對於具有該多重量子井構造瓜-V族化合 物半導體注入電荷產生之發光波長所求得之InN混晶比以 4 0 %以下爲理想,3 5 %以下者更爲理想,最理想爲3 0 %以 者。 此處,InN混晶比之測定以X線折射進行。例如,可 由多層量子戶構造之超晶格之衛星反射測定之InN混晶 比,爲量子井層與阻隔層之平均之InN混晶比,由量子井 層與阻隔層膜厚比例,算出量子層之InN混晶比。 又,由注入電荷生發光波長,所得量子井層之InN混 晶比,說明如下。 使用一般發光裝置之半導體發光波長λ(ηηι),爲該半 導體之頻帶能Eg(Bandgapenergy)時,可由下式表示, λ =1240/Eg (1) 一方面,爲化合物半導體時之頻帶能係可由其混晶比 -9- (6) (6)200428496 算出。例如,InN與GaN混晶之InxGai_xN時’
InN之頻帶能爲〇.8eV,GaN之頻帶能爲3.42eV,該半導 體之頻帶能Eg,可由下式所示’
Eg=0.8x+3.42(l-x) (2) 因此,該化合物半導體之InN混晶比X,可由(1)及(2) 自算出, χ = (3.42-( 1 240/λ ))/(3.42-0.8)。 發光波長爲470nm時,X爲0.298。 具有上述InN混晶比之量子井構造由熱處理製造而 得。量子井層,通常以 6 5 0〜8 5 0 °C ,阻隔層通常以 6 5 0〜1 0 0 0 °C成長。例如由成長此量井層終了後,開始成長 其次之阻隔層爲止之成長中斷,於由量子井層成長溫度以 超過1 〇分鐘之時間進行或以比量子井層成長溫度高的溫 度進行製造而得。 該中斷以量子井層成長溫度進行時,其中斷時間理想 爲1 2分鐘以上,更理想爲1 5分鐘以上,上限無特別限 制,通常爲60分鐘程度爲止。 又該中斷以高於量子井層成長溫度進行時,比量子井 層成長溫度高1 0 °C以上程度爲理想。更理想爲3 〇它以 上,最理想爲5 0 °C以上。上限無特別限制,通常以比量 子井層成長溫度高1 〇 〇 °C以下實施。其中斷時間理想爲1 分鐘以上,更理想爲5分鐘以上,最理想爲7分鐘以上, -10- (7) 200428496 上限無特別限制,通常爲6 0分鐘程度爲止。相關之 時間,以量子井層成長後之阻隔層之成長開始爲止之 時間爲理想。 又成長中斷時,停止瓜族原料之供給。V族原料 氣可供給或不供給,以供給v族原料爲理想,由此 可防止量子井層相關氮元素之減少。 如上述之熱處理,由多重量子井構造之X線繞 定之量子井層有關之平均InN混晶比可減低,可製造 具有如上述特定ΙιιΝ混晶比之量子井構造。 該中斷條件以外,以公知之條件爲準,製造得到 明之m -V族化合物半導體。 其次,使用本發明之m -V族化合物半導體元件 造之1例如圖1所示。圖1所示之例,在η型GaN 之上,層合無滲雜GaN層2,更交互層合5層作爲阻 之GaN層3及作爲量子井層之InGaN層4之層上由 層5 (第1間隙層)之阻隔層所得量子井構造,與Mg AlGaN層6(第2間隙層),p型GaN層7,依此順序 者。η型GaN層1設置電極9,p型GaN層7設置 8,由順方向施加電壓,由注入電流之量子井層得 光。 如上述m -V族化合物半導體之製造方法,可列 分子線激光(以下,以Μ B E記述)法,有機金屬氣相 (以下稱之爲MOVPE)法,氫化物氣相成長(HVPE)法 此等方法之中,MOVPE法由於可大面積,均勻的成 中斷 昇溫 ,載 供給 射測 得到 本發 之構 層1 隔層 GaN 滲雜 層合 電極 以發 舉如 成長 等。 長結 (8) (8)200428496 晶爲重要。 又MOVPE法可使用以下之原料。 ΠΙ族原料可列舉如三甲基鎵[(CH3)3Ga,以下稱爲 TMG],三乙基鎵[(c2H5)3Ga,以下稱爲TEG]等之一般式 此處,R〗,r2,r3所示爲低級烷基)所示之三烷 基鎵;三甲基鋁[(CH3)3A1,以下稱爲TMA],三乙基鋁 [(C2H5)3A1,以下稱爲 TEA],三異 丁基鋁[(i_[(C4H9)3Al 寺之一*般式R】R2R3A1(此處,R!,R2,R3所不爲低級院基) 所示之三烷基鋁;三甲胺氫鋁[(CH3)3N : A1H3];三甲基 銦[(CH3)3In]等之一般式 此處,Ri,R2,R3 所 示爲低級烷基)所示之三烷基銦,氯化二乙基銦 [(C2H5)2InCl]等之三烷基銦1至3之烷基爲鹵原子所取代 者,氯化銦[InCl]等一般式ΙηΧ(Χ爲鹵子)所示之鹵化銦 等。此等,可單獨或混合使用。 其次’ V族原料可列舉如氨,聯氨,甲基聯氨,i,1 _ 二甲基聯氨,1,2-二甲基聯氨,t-丁胺,乙二胺等。此等 可單獨或混合使用。此等原料中,氨及聯氨,由於分子中 不含碳原子,半導體中之碳污染少爲合適。 成長該HI -V族化合物半導體之基板,可單獨以藍寶 石,ZnO,ZrB2等之金屬硼化物,SiC,GaN,A1N,或使 用複數之基板所層合者。 又化合物半導體之P型層,由IngGahAliNk + h + hl, OSgSl,OShSl,OSigl)所示之羾―V族化合物半導 體以P型滲雜劑滲雜形成。使用Mg,Zn,Ca等之金屬p -12- (9) (9)200428496 型滲雜劑。P型滲雜劑以有機金屬形態供給爲理想。 特別是,P 型層爲含 In 之1nj_GakN(j+k=l,0<j $ 1,〇 5 k< 1 )所示之DI -V族化合物半導體,以比較低的溫度如 6 5 0〜9 5 0 °C可成長結晶者,可容易抑制量子井構造之熱劣 化。 成長P型層後,於電極形成前或電極形成後,爲得到 與電極有良好之接觸電阻,亦可進行熟化。進行熟化之環 境於惰性氣體中亦可。實質上含氫亦可,或此等氣體中加 入含氧氣體亦可。熟化之溫度,通常爲200〜1000 °C,理 想爲4 0 0〜8 0 0 °C。 量子井層與P型層間之間隙層,形成含1層或2層 Ini Gam AlnN (l + m + n= 1,0 S 1 S 1,0 S m S 1,0 S n S 1)亦 可。特別是含有AIN混晶時可提高耐熱性,發光層之相 分離等之熱劣化可抑制。該間隙層爲Mg,Zn,Ca等之p 型滲雜劑及/或Si’ 0,S,Se等之η型滲雜劑滲雜亦可。 製造本發明m -V族化合物半導體時,理想使用之 MOVPE之結晶成長裝置,可使用公知之構造者。具體 的’可列舉如由基板之上方噴鍍原料者,由基板之側方噴 鍍原料者。此等,可使用基板向上安置,或向下安置者。 此時,原料可由基板下方供給,或由基板之側方噴鍍者。 此等之反應爐,基板之角度,不必爲正確的水平方向,可 含幾乎垂直,或完全垂直情形。又,應用此等之基板與氣 體之配置,可同時處理複數之基板之成長裝置亦同。 -13- (10) (10)200428496 【實施方式】 以下以實施例詳細說明本發明,本發明不限於實施 例。 實施例1 監寶石C面上,以TMG及氨爲原料,使用氫氣爲載 氣於49〇°c,成長約50nmGaN之低溫成長緩衝層。其 次’停止T M G之供給,昇溫至丨〇 9 〇,以τ μ G與氨及 石夕院爲原料,使氫氣爲載氣,成長約3//m之η型GaN 層’停止矽烷之供給形成約〇 · 3 // m之無滲雜G aN層。其 次’停止T M G之供給,降溫至7 2 0 °C後,以T E G與Τ ΜI 與氨爲原料,使用氮氣爲載氣,重複5次成長15nmGaN 層及3nm之inGaN層。詳細的成長順序爲,供給氨與 TEG,形成1 5nm無滲雜GaN層後,停止供給TEG,實施 僅氨與載氣之成長中斷3分鐘。在其後,再度供給丁⑷ 與 TEG,形成約 3nmInGaN層。其後,停止 TMI跑 TEG,僅供給氨與載氣,實施15分鐘成長中斷。 此成長GaN層,成長中斷GaN層,成長InGaN層, 重複5次成長InGaN層後,供給TEG與氨,成長18化 之無滲雜GaN層。在成長此無滲雜GaN層後昇溫至8〇q °C,供給Τ Μ A與T E G及氨與作爲p型滲雜原料之二乙趣 環戊二烯鎂,成長25//m之A]GaN層。成長無滲雜G, 層後,停止供給TMA與TEG與二乙基環戊二烯鎂,昇跑 至1 0 5 0 °C,供給T M G與氨與作爲p型滲雜原料之二乙_ -14- (11) (11)200428496 環戊二烯鎂,成長2 00nm之p型GaN,其次,由反應爐 取出基板,於氨及含氧之氮氣流下,於800 °C熟化48秒 製造瓜-V族化合物半導體。 由X線評價多重量子井構造之衛星反射時’ InN混晶 比,多層量子井全體之平均爲1 .96%,由此顯示InGaN活 性層之InN混晶比爲1 1.76%。 所得之試料,形成NiAu之p電極,A1之η電極。如 此所得之LED試料通以20mA之順方向電流時’任一試 料均顯示明確之藍色發光。輝度爲1795mcd’發光波長爲 470.8nm。由此發光波長所求得於InGaN活性層中,InN 混晶比爲2 9.8 %。 實施例2 於實施例1,形成3nm In GaN層後之成長中斷’由15 分變更爲20分以外,依實施例爲準製造瓜-V族化合物半 導體。 由X線評價多重量子井構造之衛星反射時,InN混晶 比,多層量子井全體之平均爲1.915%,由此顯示InGaN 活性層之InN混晶比爲1 1 .49%。 所得之試料,形成NiAu之p電極,A1之η電極。如 此所得之LED試料通以20mA之順方向電流時,任一試 料均顯示明確之藍色發光。輝度爲1 175mcd,發光波長爲 4 7 6nm。由此發光波長所求得於InGaN活性層中,InN混 晶比爲3 1 . 1 %。 -15- (12) (12)200428496 實施例3 以實施例1爲基準,成長GaN低溫成長緩衝層約 5 0nm,η型GaN層約3 // m,無滲雜GaN層約0.3 // m。 其次,停止T M G之供給後,降溫至7 7 0。(:,以T E G與 ΤΜΙ與氨爲原料,使用氮爲載氣,成長15nmGaN層,及 於720 °C成長3nm之InGaN層,重複成長5次GaN層及 In GaN層。詳細之成長順序爲,供給氨與 TEG,形成 1 5nm無滲雜GaN層後,停止供給TEG,實施僅氨與載氣 之成長中斷5分鐘。此成長中斷中降溫至720 °C,在其 後,再度供給TMI與TEG,成長約3nmInGaN層。其後, 停止TMI與TEG,僅供給氨與載氣,實施15分鐘成長中 斷。此成長中斷中再度昇溫至770 °C,再度成長GaN層。 此成長GaN層,成長中斷GaN層,成長InGaN層, 成長中斷(昇溫)InGaN層,重複5次後,以實施例1爲 準,由成長無滲雜GaN層,AlGaN層,p型GaN層,製 造皿-V族化合物半導體。 由X線評價多重量子井構造之衛星反射時,InN混晶 比,多層量子井全體之平均爲1 .53%,由此顯示InGaN活 性層之InN混晶比爲9.1 8 %。
所得之試料,形成N i A11之p電極,A1之η電極。如 此所得之LED試料通以20mA之順方向電流時,任一試 料均顯示明確之藍色發光。輝度爲3 5 4 8 mcd’發光波長爲 4 82.9nm。由此發光波長所求得於 InGaN活性層中,InN (13) 200428496 混晶比爲3 2.5 %。 比較例1 於實施例1,成長3nmInGaN層之成長中斷,由15分 變更爲5分鐘以外,依實施例1爲基準,製造m -V族化 合物半導體。
由X線評價多重量子井構造之衛星反射時,InN混晶 比’多層量子井全體之平均爲3.29%,由此顯示InGaN活 性層之InN混晶比爲1 9.74%。 所得之試料,形成NiAu之p電極,A1之η電極。如 此所得之LED試料通以20mA之順方向電流時,任一試 料均顯示明確之藍色發光。輝度爲46mcd,發光波長爲 480nm。由此發光波長所求得於InGaN活性層中,InN混 晶比爲3 1 . 9 %。 比較例2 於實施例1,成長3nmInGaN層之成長中斷,由15分 變更爲1 〇分鐘以外,依實施例1爲基準,製造瓜-V族化 合物半導體。 由X線評價多重量子井構造之衛星反射時,InN混晶 比,多層量子井全體之平均爲2.26%,由此顯示InGaN活 性層之InN混晶比爲! 3 . 5 6%。 所得之試料,形成NiAu之p電極,A1之η電極。如 此所得之LED試料通以20mA之順方向電流時,任一試 -17- (14) (14)200428496 料均顯示明確之藍色發光。輝度爲163mcd,發光波長爲 464nm。由此發光波長所求得於I n G aN活性層中,I nN混 晶比爲2 8 · 5 %。 圖2以實施例1〜3及比較例1〜2由發光波長所求得 InN混晶比(百分比)爲縱軸,由多重量子井構造之X線折 射測定之InN混晶比(百分比)爲橫軸繪製曲線。實施例與 比較例之曲線,注入電荷產生之波長所算出之InN混晶 比,與由X線折射所得InN混晶比爲42.5 %之曲線,可明 確的區別。 圖3以實施例1〜2與比較例1〜2相關量子井層之成長 終了後至次一阻隔層成長開始爲止之成長中斷時間爲橫 軸,由多重量子井構造之X線折射測定之InN混晶比及 注入電荷產生之發光波長爲縱軸繪製曲線。非常的驚訝’ 顯示雖然由X線折射測定之InN混晶比減少,由多重量 子井構造之X線折射測定之InN混晶比幾乎無變化。此 係,明確的顯示控制X線折射測定活性層中之InN混晶 比不變化發光波長可高輝度化。 [產業上之利用領域] 本發明之m -V族化合物半導體,由X繞射所得多層 量子井層中之InN混晶比,相對於注入電荷產生之波長所 求得之InN混晶比爲42.5 %以下之故,得到高輝度之發光 元件。 又,依本發明,量子井層成長終了後至阻隔層成長開 -18- (15) (15)200428496 始爲止之成長中斷,以量子井層之成長溫度進行超過10 分鐘或高於量子井層之成長溫度之溫度之特定條件下實 施,可製造得到高輝度發光元件之化合物半導體。 【圖式簡單說明】 圖1所示爲本發明之一實施型態相關之元件構造斷面 圖。 圖2所示爲由X線繞射所得InN混晶比與由注入電 荷之發光波長所求得之InN混晶比。虛線爲由發光波長求 出之氮化銦混晶比與由X線繞射而求得之氮化銦混晶比 爲0.4 2 5之線。 圖3所示爲成長中斷時間與由X線繞射所得發光層 InN混晶比,及成長中斷時間與由發光波長所求得之InN 混晶比之關係圖。 又,圖中之符號爲如下所示。 1 η型GaN層 2 無滲雜GaN層 3 GaN層(阻隔層) 4 InGaN層(量子井層) 5 GaN層(阻隔層,第1間隙層) 6 Mg滲雜AlGaN層(第2間隙層) 7 p型GaN層 8 ρ電極 9 η電極 -19-
Claims (1)
- (1) (1)200428496 拾、申請專利範圍 1· 一種m - v族化合物半導體,其爲具有由至少含有 2 個以上由 InxGayAlzN(x + y + z=l,0<x<l,〇<y<l,〇Sz<l) 所不重子井層與,挟持該量子井層之2個阻(½層所得里子 井的多重量子井構造之m -v族化合物半導體,其特徵 爲,該多重量子井構造經X光繞射所得之量子井層中之 平均InN混晶比,相對於具有該多重量子井構造瓜-V族 化合物半導體注入電荷產生之發光波長所求得之InN混晶 比爲42.5 %以下者。 2. —種瓜一 V族化合物半導體,其爲具有由 InxGayAlzN(x + y + z= l,0 <x < 1,0 <y < 1,0S ζ<1)戶斤不量子 井層與,挾持該量子井層之2個阻隔層所得之單一量子井 構造之m -V族化合物半導體,其特徵爲,當該阻隔層與 該量子井層重複複數次形成多層量子井層構造時,該多重 量子井構造經X光繞射所得之量子井層之平均InN混晶 比,相對於對該ID -V族化合物半導體注入電荷產生之發 光波長所求得之InN混晶比爲42.5 %以下。 3 . —種瓜-V族化合物半導體之製造方法,其特徵 爲,當製造具有由 InxGayAlzN(x + y + z= l ,(Kx'l , 0<y<l,0€ζ<1)戶斤不量子井層與,挟持該量子井層之2個 阻隔層所得之量子井構造之m -V族化合物半導體時,量 子井層成長終了後至阻隔層成長開始爲止之成長中斷,以 量子井層之成長溫度進行超過ίο分鐘或高於量子井層之 成長溫度之溫度之特定條件下進行者。 -20- (2) (2)200428496 4 .如申請專利範圍第3項之m -V族化合物半導體之 製造方法,其中成長中斷係於停止供給m族原料下實施 者。 5 . —種]π -V族化合物半導體發光元件,其特徵爲使 用由如申請專利範圍第1項至第2項之m -V族化合物半 導體或由如申請專利範圍第3項至第4項之製造方法所得 之m -V族化合物半導體所得者。-21 -
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003154745A JP2004356522A (ja) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 3−5族化合物半導体、その製造方法及びその用途 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200428496A true TW200428496A (en) | 2004-12-16 |
TWI360163B TWI360163B (zh) | 2012-03-11 |
Family
ID=33487330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW093115357A TW200428496A (en) | 2003-05-30 | 2004-05-28 | III-V compound semiconductor and method for producing same |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7754515B2 (zh) |
JP (1) | JP2004356522A (zh) |
KR (1) | KR101125408B1 (zh) |
CN (1) | CN1788358B (zh) |
DE (1) | DE112004000936T5 (zh) |
GB (1) | GB2419466B (zh) |
TW (1) | TW200428496A (zh) |
WO (1) | WO2004107460A1 (zh) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100513923B1 (ko) * | 2004-08-13 | 2005-09-08 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 질화물 반도체층을 성장시키는 방법 및 이를 이용하는 질화물 반도체 발광소자 |
DE112005002319T5 (de) * | 2004-09-28 | 2007-08-23 | Sumitomo Chemical Co., Ltd. | Gruppe-III-V-Verbindungshalbleiter und Verfahren zur Herstellung desselben |
JP4908453B2 (ja) | 2008-04-25 | 2012-04-04 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物半導体レーザを作製する方法 |
KR100962898B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2010-06-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
USRE48774E1 (en) | 2008-11-14 | 2021-10-12 | Suzhou Lekin Semiconductor Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device |
US8604461B2 (en) * | 2009-12-16 | 2013-12-10 | Cree, Inc. | Semiconductor device structures with modulated doping and related methods |
US8536615B1 (en) | 2009-12-16 | 2013-09-17 | Cree, Inc. | Semiconductor device structures with modulated and delta doping and related methods |
JP5671244B2 (ja) * | 2010-03-08 | 2015-02-18 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物系半導体発光素子 |
US10090433B2 (en) * | 2016-12-02 | 2018-10-02 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Semiconductor heterostructure polarization doping |
US11557693B2 (en) * | 2017-07-31 | 2023-01-17 | Xiamen San'an Optoelectronics Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device |
CN114038958B (zh) * | 2021-08-05 | 2023-03-24 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 发光芯片外延片及其制作方法、发光芯片 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2780691B2 (ja) | 1994-12-02 | 1998-07-30 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
US6346720B1 (en) | 1995-02-03 | 2002-02-12 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Layered group III-V compound semiconductor, method of manufacturing the same, and light emitting element |
JPH0936429A (ja) | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Sumitomo Chem Co Ltd | 3−5族化合物半導体の製造方法 |
JP3304787B2 (ja) * | 1996-09-08 | 2002-07-22 | 豊田合成株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP3543628B2 (ja) | 1998-08-13 | 2004-07-14 | ソニー株式会社 | 窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法および半導体発光素子の製造方法 |
JP2001102633A (ja) | 1999-07-26 | 2001-04-13 | Sharp Corp | 窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法 |
JP3710339B2 (ja) | 1999-08-31 | 2005-10-26 | シャープ株式会社 | GaN系化合物半導体発光素子の製造方法 |
JP3929008B2 (ja) * | 2000-01-14 | 2007-06-13 | シャープ株式会社 | 窒化物系化合物半導体発光素子およびその製造方法 |
JP3726252B2 (ja) * | 2000-02-23 | 2005-12-14 | 独立行政法人理化学研究所 | 紫外発光素子およびInAlGaN発光層の製造方法 |
FR2807909B1 (fr) | 2000-04-12 | 2006-07-28 | Centre Nat Rech Scient | COUCHE MINCE SEMI-CONDUCTRICE DE GaInN, SON PROCEDE DE PREPARATION; DEL COMPRENANT CETTE COUCHE ET DISPOSITIF D'ECLAIRAGE COMPRENANT CETTE DEL |
-
2003
- 2003-05-30 JP JP2003154745A patent/JP2004356522A/ja active Pending
-
2004
- 2004-05-28 GB GB0525436A patent/GB2419466B/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-05-28 CN CN2004800127740A patent/CN1788358B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-05-28 TW TW093115357A patent/TW200428496A/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-05-28 WO PCT/JP2004/007792 patent/WO2004107460A1/ja active Application Filing
- 2004-05-28 KR KR1020057022054A patent/KR101125408B1/ko active IP Right Grant
- 2004-05-28 US US10/558,427 patent/US7754515B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-05-28 DE DE112004000936T patent/DE112004000936T5/de not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101125408B1 (ko) | 2012-03-27 |
GB2419466B (en) | 2007-07-18 |
CN1788358B (zh) | 2010-04-21 |
CN1788358A (zh) | 2006-06-14 |
DE112004000936T5 (de) | 2006-11-16 |
US7754515B2 (en) | 2010-07-13 |
KR20060015609A (ko) | 2006-02-17 |
WO2004107460A1 (ja) | 2004-12-09 |
GB0525436D0 (en) | 2006-01-25 |
TWI360163B (zh) | 2012-03-11 |
GB2419466A (en) | 2006-04-26 |
JP2004356522A (ja) | 2004-12-16 |
US20060243960A1 (en) | 2006-11-02 |
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