TW200409154A - Electrolytic capacitor and a fabrication method therefor - Google Patents

Description

200409154 玖、發明說明 [發明所屬之技術領域] 本發明係關⑥··使陽極產生陽極 雪暂恳平亚在表面形#八 貝g之琶解電容器，特別係關於 成；丨 成之晤k 士 使由欽或鈦合金m娃 成之％極產生陽極氧化，而在 ”所構 ^ B 衣曲形成介電解皙η士 工地埠行陽極氧化之電解電容器。 、寸可 [先前技術f_ 近年來，伴隨著電子機器的小型 電容器的㈣發…要乂丨， 小型且大容量之 吊^日形重要，在小型且大容量 1發種使陽極產生陽極氧化 ^ 解質之電解電容器。 八表面形成介電 在此，在上述之電解電容器中， 鈮之陽炻旱力丄a %極中，以使用鈕或 匕之％極取為大家所熟知，但由於 主 飞 將導致成本提高之門顥.. 一^ ，·匕十刀叩貝，如此 捉阿之問碭。此外，將 陽極氡化而獲得之介電當馬沾人命 -次鈮的％極產生 或得所望之小型且大玄… 吊數未必…故無法 I丑大谷ϊ的電容器。 S1此’近年來，有如辟 案，在陽極使用M [方/ _ 1275號公報所示之方 故㈣洛夕入 %極產生陽極氧化，形成由氧化 斂所構成之介電質層之電解電容器。 在此，如上所述將使用 之氧化鈦的介電質層，相較 極氧化而羧得之介電質層， 獲得小型且大容量的電容器 銥之陽極予以陽極氧化而獲得 於將使用鈕或鈮的陽極予以陽 因其介電常數相當地高，而能

如上所述在對使 用鈦之陽極進行陽極氧化時 315036 200409154 在進行陽極氧化的過程中因鈦的結晶化導致絕緣性的下 降，如此不但使得陽極氧化的速度變緩，在配置氧化欽的 介電質層時亦將耗費相當長的時間。 [發明内容] 將使用鈦或鈦合金之陽極產生陽 本發明之目的在於 極氧化，在陽極的表面形成介電常數高的介電質層之電解 電容器中’在進行陽極氧化時抑制因介電f層產生結晶化 而導致之絕緣性的下降，並使陽極氧化在短時間内進行， 輕鬆地獲得南電容量之電解電容器。 使掺雜有氮之鈦或由鈦合 並在該陽極表面形成介電 在本發明之電解電容器中 金所構成之陽極產生陽極氧化 質層。 养，於由S月中’在製造上述電解電容器時，使1 合金所構成之陽極後，使該陽極產生陽相 虱化，並在该％極的表面形成介電質層。 此外’在本發明中，在掣 將氮摻雜於由鈦或鈦合金解電容器時，在 ^ ^ ^ . 陽極後’使該陽極產生 %極乳化，並在該陽極的表面形成介電質層。 此外，如上所述在將氮接 陽極後，使該陽極產生陽極氧化，=或：合金所構成之 時藉由摻雜之氮即可抑制介電 =極氧化 快速地進二= ” 成介電常數高的介電質層，，㈣ 传小型且高電容量的電解電容哭。 二易地名又 335036 6 200409154 在此對於使用在陽極之上述欽h 別之限制，但使用在銳中添加由鎢、叙、鋅、 龙無特 錯、以及銳中選擇至ψ 銘、麵、I合、 ί時，在進行陽極氧化時可以更進-步抑：二銘合 日曰化，亚在更短的時間内形成介電質層。-貝層的結 此外，在上述之鈦合金中，添加於 的量過多時，在進行陽 上述添力D金屬 的結晶化，因此鈦合金^ 4抑制介電質層 重ϊ比以下較佳。特別 有ϊ以在5°/〇 &特上述添加金屬 在〇·〇5至2.5重量％ :的含有量設定 ., 」以適切地抑制八$ 、*，口晶化，並輕易地在更 ；1 %質層的 的―間内形成介電質層。 陽Ρ °上所述在將氮摻雜於由鈦或鈦合全所心 ?極時，所摻雜之氮的含有量不論是過多咬過^構成之 %極乳化時均無法充分地抑制 夕在進盯 對於鈦或鈦合金盥气的油θ s 日日化，因此， ^ 孔的’以摻雜0.01至5重晉。/6^ 杈铨，而以摻雜0.02至 里/〇的氮 王1直里。/〇的氮更為理想。 此外’在使用於陽極氧化之水溶液中八 子之水溶液，可以更近一牛 L 3鼠離 ^地抑制介電質層的处a 輕易地在更短的時間内形成介電質層。且，此:日日:二亚 層中即形成摻雜有氧的狀態。在此，做為介電質 之光、、六y 此做為包含上述氟離子 冷液，以由氟化銨、氟化鉀、 斤

1 η 弗U匕"及氣氣酸中；H 擇其中]種水溶液來使用較佳。 此外，在製造電解電容器時， 合金所構成之山 於由鈦或鈦 ’错由在氮氣環境下熱處理由鈥或鈦 3)5036 7 200409154 合金所構成之陽極，即可將氮摻雜於其中。 在此’如上所述在氮氣環境下熱處理由鈦或鈦合金所 構成之陽極時，熱處理的溫度未滿300t時，即益法充分 地將氮摻雜於陽極中，作另一 。 一另 方面陽極溫度如超過1500 °C ’將導致陽極中摻雜過多 <夕日J虱不淪溫度過高或過低， 在進行陽極氧化時泊益、、土古八α ^ & 勺…、法充刀地抑制介電質層的結晶化。 =此’在將氮氣摻雜於由鈦或欽合金所構成之陽極時，熱 :理的溫度以設定在300至150吖的範圍為佳而以設定 在500至90CTC的範圍更佳。 本舍明之该寺目的、優點及拉 — 彳炎”及4寸欲可猎由與具體描繪本 明之附圖相關的下列說明獲得進-步的理解。 以下具體說明本發明夕本说如 ，、 么月之貝轭例。此外’提出比較例， 明不在本發明之實施例φ，菇 ^ ^ ^ ^ . 耩由使由鈦或鈦合金所構成之 心入 在險極的表面形成介電質層，即可抑 hi電質層之結晶化，快速地進 + w b t 琨仃％極乳化，並在短時間 内形成介電質層。此外，本發 本毛月之電解電容器以及其製造 方法亚未侷限於下詔夕杏饮α , 卜°己之K施例，在不超出本發明之要旨的 範圍内可適當地變更實施。 [實施方式] 實施例1 ^例1中，係將⑽㈣鈦㈤在真空中以1500 度加壓使之形成1〇〇”的厚度，並將其切斷為lcm X 5cm的大小’以製作由鈦箔所構成的陽極。 接著，將由鈦箔所構成的陽極， ^政虱3衣境下以7 〇 〇 335036 8 200409154 中C的=進：5小時的熱處理，使氮得以摻雜於該陽極 之滴定法二t根據JISG 1228之以氨蒸顧分離氨基項酸 /疋里/刀析#雜於該陽極之氮含量，其、纟士 喊表％極之氮含量為〇·〗重量％。 :::例2中，相對於99g的鈦粉末’添加。之 使之二仏合粉末在真空中以15〇〇t的溫度加愿 之形成⑽P的厚度，並將其切斷為一⑽的大 以製作鈦中的鎢擴散而由合金 箱所構成之陽極。 d化之鈦·鶴合金⑺-W) 極中之後’與上述實施例1的情形相同，將氮摻雜於該陽 此外，在該陽極中，摻雜之氮含量亦為〇 ι重量％。 3 在實施例2中，相對於99§的鈦粉末，添加之叙⑺ig 為添加金屬，再利用轉動搖動式混合裝置以20分鐘的時 :將其混合後，將該混合粉末在真空中以1 500Μ溫度加 二吏之t成1GG" m的厚度，並將其切斷為1 emx 5em的大 '衣作鈦中的釩擴散而由合金化之鈦-釩合金（Ti-V)结 所構成之陽極。 之後’與上述實施例1的情形相同，將氮接雜於該陽 者此外，在該陽極中’摻雜之氮含量亦為(M重量。/。。 一貝祐，例4 在實施例4中，相對於99g的欽粉末，添加]g之鋅（zn) 315036 9 做為添加金屬，具刹 paτ動接動式混合裝置以2 0分4童日卑 間將其混合後，將該、、曰八 衣置以20刀4里的恰 壓使之形成100 ’吧〇々末在真空中以1 500°C的溫度加 、、％ 攻 100 # m 的 、， 小，以製作鈦中的鋅擴亚將其a斷為1emx 5em的大 落所構成之陽極。”而由合金化之鈦-鋅合金（Ti-Zn) 之後，與上述實施例 極中。此外，在該陽極中

的情形相同，將氮摻雜於該陽 摻雜之氮含量亦為〇.丨重量％。

在貫施例5中，；I：日普4· u A 做為六Λ入η 子；"g的鈦粉末，添加lg之鋁（Α1〕 丨乂冷添加金屬，再利用 間蔣甘 轉動搖動式混合裝置以20分鐘的時 間將其混合後，將該混 屙祐— σ如末在真空中以15001：的溫度加 &使之形成100# m的.疮4 ) 、 子又’並將其切斷為1 cmx 5cm的大 、’以製作鈦中的|呂供畔 笱& ^ s放而由合金化之鈦-鋁合金（Ti-Al) >白所構成之陽極。 之後’與上述實施例 極中。此外，在該陽極中

的情形相同，將氮摻雜於該陽 摻雜之氮含量亦為〇 · 1重量％。 # ^例6中’相對於99§的鈦粉末，添加1 g之鉬（Mo) η 力孟屬，再利用轉動搖動式混合裝置以20分鐘的時 間將其混合後，將人 ^ μ此σ物末在真空中以1 500。(：的溫度加 ^ 3， jrr/ y, 小、:乂 ] 00从m的厚度，並將其切斷為1 cmx 5c】ri的大 〜、衣作鈦中的鉬擴散而由合金化之鈦-鉬合金（丁i-Mo) %所構成之陽極。 之坟，與上述實施例]的情形相同，將氮摻雜於該陽 ]〇 315036 200409154 極中。此夕卜’在該陽極中，摻雜之氮含量亦為〇 ι重量％ Ψ ^ A.I -7

、在貝鈀例7中，相對於99g的鈦粉末，添加丨g之銓（Hf) 做為添加金屬，再利用轉動搖動式混合裝置以20分鐘的時 β將/、’匕合後，將该混合粉末在真空中以1 500。(：的溫度加 壓使之形们叫m的厚度，並將其切斷為5請的大 i以製作鈦中的銓擴散而由合金化之鈦-鈴合金（Ti-Hf) 泊所構成之陽極。 極中之後’與上述實施例1的情形相同1氮摻雜於該陽 ^二此外，在該陽極中，摻雜之氣含量亦為(M重量。 在實施例8中，相對於99g的鈦中X古； 做為添加八η g的鈦如末，添加lg之錘（Zr) 〜 至屬’再利用轉動搖動式混入梦罢 \ i 間將复、、b八# 助式此σ放置以20分鐘的時 一此合後，將該混合粉末在直 壓使之拟λ、 仕具工T U 1 500°C的溫度加 之形成的厚度，並將其切 小，以制从丄 巧馬lcmx 5cm的大 ^ 、太中的錯擴散而由合全化之4士 箱所構成之陽極。 “化之t鍅合金(τα) 後與上述實施例1的愔形相1^1 u 極中。从从 r月升y相同’將氮摻雜於該陽 卜’在该陽極中，摻雜之衝冬θ 童^^ I滅之乳3夏亦為0.1重量％。 在戶'施例9中，相對於9 9 2的钟拎士 做為添加全尸s , g ^鈦如末’添加]g之鈮（Nb) 間將1、、θ 77八心σ衣置以20分鐘的時 一化合後，將該混合粉末 壓使之彤、、 在真工中u ] 500Τ：的溫度加 乂战]0 0 " m的厚度，並將豆 ，/、 # 為]cmx 5cm 的大 315036 11 200409154 小’以製作鈦中的鈮擴散而由 羯所構成H 。孟化之鈦·^金（Ti-Nb) 極中,:外與广施例1的情形相同’將氮摻雜於該陽 如二外，在該陽極中，雜之氮含量亦為。」重量%。 辞粉中，㈣於％的鈦粉末，添加…的 動式混”：.5g的紹粉末以做為添加金屬’再利用轉動搖 在直:;=。2°分鐘的時間將其混合後，將該混合粉末 ”工中以1500 C的溫度加塵 並將苴切鼢或 &使之形成100// m的厚度， 〆、刀_為lcmx 5cm的大 散而由八八扎 以衣作鈦中的鋅與鋁擴 極。。之獻-辞^呂合金（丁卜〜,落所構成之陽 極中之Γ外與上述實施例1的情形相同，將氮摻雜於該陽 在該陽極中，㈣之氮含量亦為。…。 在比較例1中，盥上述f 構成之陽極的同時，；使二二t目同在製作_所 了 个便虱摻雜於該陽極中。 接著’比較以上述方式製作 h…… 、万氕衣作之貝施例1至10的各陽極 與比較例之各陽極，在使陽極產 生陽極氧化所需之時間。 …電質層時產 在此，在使上述各陽極產生陽極氧化時，如第i圖所 不’使收容於不錄鋼製容器1内之〇·6體積％的墙酸水溶 液2維持在航的溫度，並將陽極10浸潰於該構酸水溶 液2中’再藉由電源3施加25V的定電壓使陽極以 ]15026 ]2 200409154 產生陽極氧化。 接著，如上所述在使陽極產生陽極氧化的同時，利用 電流計4分別測定漏洩電流，以測定各陽極1 〇產生陽極氧 化漏浪電流達到500 # A為止所需的時間。 乳 、之後，將上述實施例1之陽極產生陽極氧化漏洩電流 達M〇G // A為止所需的時間設定為}⑽以做為其指數， 求得各陽極之陽極氧化的時間，並將其結果圖示於下記的 f 1此外，貫施例1之陽極產生陽極氧化漏洩電流達到 # A為止所需的時間為2分鐘。 【表1】

陽極材料及重量比 (°C) •極氧化時fE

由上述之結果可以清楚地得知， 合金所構成之陽“爹#於由鈦或 氮摻雜於比較例丨的陽極，〜'^極，相較於不 之時間。 ”可大幅地短縮陽極氧化戶/j 315036 13 200409154 此外，在比較實施例i至10的陽極時，在鈦中添加有 以鎢、釩、鋅、紹、翻、給、錯、鈮所組成之添加金屬之 口孟化鈦5孟之只轭例2至1 〇的陽極，相較於使用鈦之， 施例！的陽極’實施例2至1〇的陽極氧化所需時間較短： 特別是，鈦中添加有讀H ϋ所組成之添加 ^屬之合金化I太合金之實施例3,5,7,9的陽極，可更加縮短 陽極氧化所需之時間。 (實施例5 · 1至5 · 6 ) 在貫施例5.1至5.6中，與上述實施例$的情形相同， 對於鈦粉，添加鋁粉末以做為添加金屬。 此外’實施例5」至5.6,係與上述實施们相同，兩 之差異僅在於變更鈦粉末與銘粉末間混合的重量比例， 除此之外，則以斑卜WΑ ， ^ ^貝知例5相同之方式製作各陽極5 〇 在此’有關鈦粉末盘名伞 ,,^ , 冬/、鋁‘末的混合重量比，在實施例 5·1 中為 99.95:005，A 每从 在貝她例5·2中為99·9 : 〇·1，在本 施例5.3中為99.5 : 〇 5，名奋w υ 丄 只 — 在員知例5 · 4中為9 7 · 5 : 2 · 5，名： 二施例5·5中為95 : 5，在實施例5.6中為92.5 : 7 5 ㈣中，之含有量如下記之表”斤示。 · 朽Μ ’使以上述方式製作之實施们」至5.6的各陽 極，與上述實施例5的陽 _ 相同產生險極氧化，測定各陽 極產生陽極氧化漏洩 ^ 瓜達到5〇〇 μ Α為止所需之時間， 亚將上述貫施例5的之 _ 產生％極乳化為止所需的時間 …]。。做為其指數，以求得實施例5·… ’ 極產生陽極氧化的時門、， ^ 〇 ^ 才3 ’亚將該結果圖示於表2。此外， 315036 14

在實施例5 · 1至5 6 B 艾乂6的各陽極中，斛格μ 重量％。 彳乡雜之氮含量為〇. j 【表2】

由上述之結果可 主 極中㈣含有量在5重1\得知n合金所構成之陽 至5爾陽極，㈣L=之實施例5以及實施例5.1 A A 7 5 #曰。/ 、％木中鋁的含有量超過5重量％ 而為/ ·!)直1 〇/0之眚公 、 ·6的陽極，其可大幅地縮短陽極 氧化所需之時間，牯則θ β 寸別疋’ ％極中鋁的含有量在〇1至25 重量％範圍之實施例5 者 以及貝轭例5 · 1至5.3的各陽極，可 更加短縮陽極氧化所需之時間。 此外’上述之實施例中，僅針對在鈦中添加鋁使其產 生口金化之使用鈦’合金之陽極為例進行說明，但欽中除 了鋁以外可由鎢、I凡、鋅、鉬、銓、鉻、鈮中選擇其一做 為添加孟屬1¾使用該合金化之鈦合金，亦可獲得相同之 結杲。 (實施例1 · I至1 .9) 中，係使用與上述實施例]相同 在實施例].]至 15 315036 200409154 之方式所製造之由鍅和 名所構成之陽極，在_ $ 理該陽極使氮摻雜 '在虱虱％^兄下熱處 中日可5猎由變更氮氧 的溫度，以變更摻雜认々 又旯虱虱％)兄下熱處理 盘奋#仞& η > ^ 陽極之氮素量，除此之外，係以 一施例相同之方式製作陽極。 在此，有關在麵* a乳％境下熱處理由鈦荡 時的溫度，如下即夕主 日π稱成惑眛極 ϋ 表3所示，在實施例1·1為200°c， 在貫施例1 · 1為2 ο ο °Γ ^ . C，貫轭例1.2為30〇t，實施例13 為5 0 0 C ’貫施例1 · 4為q Ω Λ 〇r ^ 為900 C ’貝施例ι·5為95〇〇c，實 施例1.6為l〇〇〇°c，訾你如7 π & 、 。 、例I·7為1250°c，實施例1·8為 1 500 C，實施例 ι·9 為 16〇〇〇c。 再且，與上述第1實施例的情況相同，將掺雜於各陽 極之氮含量，利用根據_ 1228之以氨蒸館分離氨基綠 酸之毅法進衫量分析，其結果如下記表3所示，實施 例1.1之陽極的氮含量4 0·05重量％，實施例12之陽極 的氮含量為0.01重量。/。’實施们·3之陽極的氮含量為〇〇2 重量％’實施你".4之陽極的氮含量為】重量％，實施例 L5之陽極的氮含量為L5重量％，實施例16之陽極的氮 含量為3重量％，實施例"之陽極的氮含量為4重量％， 實施例1.8之陽極的氮含量為5重量％，實施例丨9之陽極 的氮含量為6重量％。 再且，使以上述方式製作之實施例至】·9的各陽 極，與上述實施例]的陽極相同產生陽極氧化，測定各陽 極產生陽極氧化漏汽電流達到500 V A為止所需之時間， 並將上逑實施例]之陽極產生陽極氧化、漏洩電流達到5〇〇 315036 16 200409154 A為止所需之時間設定為1〇〇做為其指&，以求得實施 至1.9的各陽極產生陽極氧化的時間，並將該結果 圖示於表3。 【表3】

由上述之結果可以清楚地得知，將由欽荡所構成之陽 極置於氮氣環境下並將熱處理的範圍設定在3〇〇至i5〇〇t>c 的範圍’使摻雜於陽極之氮量在〇·〇1 i 〇 5重量％之實施 例i以及實施例m U的各陽極，相較於將熱處理的 溫度設定在未達300。(：的200〇C，摻雜#塔卜 . ^嫌表陽極之氮量設定在 未滿0.01重量％的0.005重量。/。之眚# n 里之貝施例1·1的陽極，或熱 處理溫度超過1 500〇c的1600〇c，摻雜w塔托 卜 士 〇嫌於隋極之氮量設定在 超過5重量。/❶的6重量％的實施例】·9的陽極，其可大幅地 紐縮陽極氧化所需之時間，特別是1熱處理溫度設定在 5〇〇至900°C的範圍之實施例]、實施例]3以及實施例丨4 之各陽極，可以更加短縮陽極氧化所需之時門 3)5036 17 200409154 (實施例1 ·10至1 ·13) 在實施例1 · 1 〇至1.13中，以與上述實施例1相同之 方式，在氮氣環境下熱處理由鈦箔所構成之陽極，使用摻 雜有1重量％氣之陽極。 此外，實施例1 · 1 0至1 · 1 3中，在使上述陽極產生陽 極氧化時’取代保持在60°C之0·6體積％之燐酸水溶液， 實施例1·1〇中係採用保持在60°C之〇·5重量％之氟化氨水 溶液，實施例1.11中係採用保持在6〇t：之〇·5重量％之氟 化_水溶液，貫施例1 · 1 2中係採用保持在6 〇它之〇 · 5重量 %之氟化納水溶液，實施例i.13中係採用保持在6(rc之 〇·5重量％之氫氟酸水溶液，除此之外，以與上述實施例工 相同之方式，陽極氧化上述之陽極。 此外，如上所述在使各陽極丨〇產生陽極氧化的同時， 利用電流計4分別測定漏茂電流，測定各陽極⑺產生陽極 氧化洩電流達到500 # A為止所需之時間。 、亡、此外’將上述實施例！之陽極產生陽極氧化、漏茂電 ，到5G0 // A為止所需之時間設^ }⑽做為其指數， ’侍各陽極產生陽極氧化的時間，並將該結果圖示於 ^ 化所述11由x光電m(ESCA)分析陽極氧 至各介電質層之結果，可以確認上述實施例110 3的各介電質層中摻雜有氮。 3)5036 18 200409154 【表4】

、⑺衣"」以清楚地得知，

用包含氟離子之水溶液 進彳了陽極氧化時 例㈣⑴之陽極，：:::二於介電質… 以更加短縮陽極陽化所需之時間。心例1之％極’ 此外’在上述各實施例中， 曰1 ， 僅例不使用由鈦箔所構 之％極，但如使用在鈦中添加 月田螞、飢、鋅、紹、鉬 鈴、錄、铌所選擇之添加金屬之合金化鈦合金亦可獲 相同之結果。 以上雖已根據各實施例法姑、+、 ' 疋闡迷過本發明，但除此之 外應注意到各種變更或修正也同樣適用於本發明。 因此，只要該等變更與修正不逸脫本發明之主旨，均 可適用本發明。 [圖式簡單說明] 第1圖係顯示，在本發明之實施例與比較例中，使陽 極產生陽極氧化，並在陽極的表面形成介電質層之略說明 圖。 315036 39 200409154 1 不銹鋼製容器 2 燐酸水溶液 3 電源 4 電流計 10 陽極

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Claims (1)

1. 拾、申請專利範圍： 1 · 一種電解電容器，使由 極產生陽極氧化，在:陽t氣之欽或欽合金所構成之陽 , ^ ％極的表面形成介電質声。 2·如申請專利範圍第 、曰 …電解電容器，其中，上述之鈦 5孟‘在欽中添加由搞 士 凡mm 金。 種冰加金屬而形成之合金化鈦合 3·如申請專利範圍第 全中之-力八！ 解電容器，其中，上述鈦合 孟τ之添加金屬的合右旦 驾曰]3有里係在5重量％以下。 4·如申請專利範圍第 弟3項之電解電容器，其中，上述鈦入 圍。 ’3有里係在〇.。5至2.5重量%的範 5 ·如申請專利範圍第 闺弟1項之電解電容器，其中 述鈦或鈦合金中氮的棘 ，雜方；上 圍。 鼠的摻雜！係在。·01至5重量%的範 6·如申請專利範圍第 祀图弟5項之電解電容器，其 述鈦或鈦合金φ Λ 4於上 w中虱的#雜量係在〇 02至 圍。 王丄重夏％的範 7 ·如申請專利筋圍笼n 1 _ 圍弟1項之電解電容器，其中， 質層中摻雜有氟。 τ 上迷介電 8· 一種電解電容器的萝止 或鈦合金所構成將氮摻雜於由欽 產生陽極氧I 步驟·’使摻雜有氮之上述陽極 "在4 極上形成介電質 9.如申請專利r已圍楚,s 貝層\步驟。 π Q弟δ項之電解電容器之製造方法，其 315036 2] 200409154 中，在氮氣環境下熱處理由鈦或鈦合金所構成之陽極， 使氮摻雜於由鈦或鈦合金所構成之陽極中。 10·如申請專利範圍第9項之電解電容器之製造方法，其 中，在氮氣環境下熱處理由鈦或鈦合金所構成之陽極的 溫度係在300至1 500°C的範圍。 11。如申請專利範圍第1 0項之電解電容器之製造方法，其 中，在氮氣環境下熱處理由鈦或鈦合金所構成之陽極的 溫度係在500至900°C的範圍。 12·如申請專利範圍第8項之電解電容器之製造方法，其 中，上述鈦合金係為在鈦中添加由鐫、飢、鋅、紹、钥、 給、結、銳中選擇其中一種添加金屬而形成之合金化鈦 合金。 13·如申請專利範圍第12項之電解電容器之製造方法，其 中，上述鈦合金中之添加金屬的含有量係在5重量％以 下。 14·如申請專利範圍第13項之電解電容器之製造方法，其 中，上述鈦合金中之添加金屬的含有量係在0.05至2.5 重量％的範圍。 15·如申請專利範圍第8項之電解電容器之製造方法，其 中，使由上述之欽或鈒合金所構成之陽極產生陽極氧化 之溶液，係使用包含氟離子之水溶液。 1 6.如申請專利範圍第1 5項之電解電容器之製造方法，其 中，上述之包含氟離子之水溶液係由氟化銨、氟化鉀、 氟化鈉以及氫氟酸中選擇其中一種水溶液。 22 315036