SU957746A1 - Устройство дл проведени плазмохимических процессов - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, содержащее реакционную камеру, нижний элект род, верхний электрод, систему подачи и отвода реакционных газов, источник энергии, устройство дл  перемещени  обрабатываемых пластин, отличающеес  тем, что, с целью повыиени  производительности плазмохимических процессов и упеличени  выхода годных изделий, устройство дл  перемещени  обрабатываемых пластин относительно нижне го электрода выполнено в виде группы вертикально расположенных штырей с возможностью возвратно-поступательного движени , на концах которых располагаютс  пластины, а в нижнем электроде выполнены отверсти  дл  перемещени  штырей.

Description

19 Изобретение относитс  к технической физике и премен етс  дл  проведе ни  плазмохимических процессов. Известно устройство дл  проведени плазмохимических процессов, содержащее реакционную камеру, верхний и нижний электроды, устройство дл  перемещени  нижнего электрода с пласти нами, систему подачи и отвода реакционных газов. Недостатком этого уст ройства  вл етс  неэффективное использование реакционных газов и низкое качество обработки из-за подтрав ливани  образцов. Известно также уст ройство дл  проведени  плазмохимичес ких процессов, содержащее реакционну камеру, нижний и верхний электроды, систему подачи и отвода реакционных газов, источник энергии. Недостатком этого устройства  вл етс  низка  производительность плазмохимических процессов и низкий выход годных изделий . Цель изобретени  - повьшение производительности плазмохимических процессов и увеличение выхода годных изделий. Цель достигаетс  тем, что в устройстве дтт  проведени  плазмохимичес ких процессов, содержащем реакционную камеру, нижний электрод, верхний электрод, систему подачи и отвода ре акционных газов, источник энергии, устройство дл  перемещени  обрабатываемЬ1Х пластин, последнее выполнено в виде группы вертикально расположенных штырей с возможностью возврат но-поступательного движени , на концах которых располагаютс  пластины, а в нижнем электроде вьшолнены отверсти  дд  перемещени  штырей. Изобретение по сн етс  чертежом, на котором изображено устройство 6 дл  проведени  плазмохимических процессов , содержащее реакционную камеру 1 с крышкой 2, нижний электрод 3 с выступом 4, верхний электрод 5с токовводом 6, систему 7 подачи реакционных газов, систему 8 отвода реакционных газов (отверсти ), устройство 9 дл  вертикального перемещени  обрабатываемых пластин 10 со штыр ми 11. Устройство работает следующим образом . При помощи ступенчатого вращени  нижнего электрода 3 загрузочными штыр ми 11 и их устройствами 9 обрабатываемые пластины 10 устанавливаютс  на месте обработки на выступе 4 нижнего электрода 3. Объем реакционной камеры 1 вакуумируетс  через систему (отверсти ) 8, и через сопло системы 7 подачи в реакционную камеру 1 напускают реакционные газы. Через токовводь 6 на электрод 5 подаетс  высокочастотна  энерги , в результате чего между электродом 5 и электродом 3 возбуждаетс  плазменный разр д. При этом, нар ду с другими процессами, имеющими место в плазменном разр де (возбуждение и ионизаци  молекул и атомов), происходит образование химически активных радикалов , посредством которых осуществл етс  процесс плазмохимической обработки поверхности пластин 10, размещенных на электроде 3. Мен   состав газообразных реагентов , а также услови  в реакционной камере 1 (давление, температуру), возможно осуществление процесса плазмохимического осаждени  материалов. Использование в устройстве подъемных штырей позвол ет автоматизировать процесс загрузки-выгрузки обрабатываемых пластин, исключить загр знение их оператором, т.е. повысить качество обработки.

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ щее реакционную жения, на концах которых располагаются пластины, а в нижнем электроде полнены отверстия для перемещения штырей.

   I , содержакамеру, нижний элект-

   777777

   SU ...957746