SU901355A1 - Способ изготовлени масок дл нанесени на подложку - Google Patents

Способ изготовлени масок дл нанесени на подложку Download PDF

Info

Publication number
SU901355A1
SU901355A1 SU721845753A SU1845753A SU901355A1 SU 901355 A1 SU901355 A1 SU 901355A1 SU 721845753 A SU721845753 A SU 721845753A SU 1845753 A SU1845753 A SU 1845753A SU 901355 A1 SU901355 A1 SU 901355A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pattern
photoresist
mask
protective coating
metal base
Prior art date
Application number
SU721845753A
Other languages
English (en)
Inventor
Боллингер Хельмут
Корнелиус Ханс-Дитер
Эльбе Детлеф
Фляйшер Вернер
Геринг Элимар
Науман Лотар
Петцольд Клаус
Швенке Вольфганг
Original Assignee
Феб Хохвакуум Дрезден (Инопредприятие)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Феб Хохвакуум Дрезден (Инопредприятие) filed Critical Феб Хохвакуум Дрезден (Инопредприятие)
Priority to SU721845753A priority Critical patent/SU901355A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU901355A1 publication Critical patent/SU901355A1/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Изобретение относитс  к способам производства радиоаппаратуры, в час ности масок дл  изготовлени  печатных схем и электронш 1х деталей. Известен способ изготовлени  масок дл  нанесени  на подложку, например вакуумным испарением, рисунка электронных элементов и печатных проводников, включакхций выполнение методами фотолитографии рисунка из фоторезиста иа металлической основе маски {11 . Однако известный способ изготовлени  масок не позвол ет получить сложный рисунок тонкопленочных элементов за один цикл нанесени , так как необходимо примен ть последовательно несколько масок. Цель изобретени  - получение сло ного рисунка за один цикл нанесени  Указанна  цель достигаетс  тем, что В способе изготовлени  масок дл нанесени  на подложку, например вакуумным испаре1шем, рисунка электронных элементов н печатных проводников , включак цем выполнение методами фотолитографии рисунка из фоторезиста на металлической основе маски, рисунок из фоторезиста 3if полн ют иа металлической основе маски в виде сетки, на рисунок из фоторезиста и на пробельные места сетки нанос т маскирующее защитное псжрытие, стойкое к травильным растворам , после чего удалением фоторезиста с нанесенным на него маскирующим защитным покрытием получают рисунок маски. На чертеже схематически изображено осуществление предлагаемого способа . На подложку I, изготовленную из фенольной смолы, дл  улучшени  сцеплени  нанесенного, например вакуумньм испарением, рисунка структурного сло  2 наноситс  сцепл ющее вещество Зо

Claims (1)

  1. Формула изобретения 5 Способ изготовления масок для нанесения на подложку, например вакуумным испарением, рисунка электронных элементов и печатных провод• ников, включающий выполнение метоуд дами фотолитографии рисунка из фоторезиста на металлической основе маски, отличающийся тем, что, с целью получения сложного рисунка за один цикл нанесения, рисунок из фоторезиста выполняют на металлической основе маски в виде сетки, на рисунок из фоторезиста и на пробельные места сетки наносят маскирующее защитное покрытие, по20 еле чего удалением фоторезиста с нанесенным на него маскирующим защитным покрытием получают рисунок маски.
SU721845753A 1972-11-01 1972-11-01 Способ изготовлени масок дл нанесени на подложку SU901355A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU721845753A SU901355A1 (ru) 1972-11-01 1972-11-01 Способ изготовлени масок дл нанесени на подложку

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU721845753A SU901355A1 (ru) 1972-11-01 1972-11-01 Способ изготовлени масок дл нанесени на подложку

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU901355A1 true SU901355A1 (ru) 1982-01-30

Family

ID=20531940

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU721845753A SU901355A1 (ru) 1972-11-01 1972-11-01 Способ изготовлени масок дл нанесени на подложку

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU901355A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4115120A (en) Method of forming thin film patterns by differential pre-baking of resist
DK0664016T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling og anvendelse af en serigrafiskabelon med ophøjede kanter
ES450758A1 (es) Procedimiento para la fabricacion de dispositivos de memoriade semiconductores.
US3222173A (en) Method of making an electrical unit
ATE82529T1 (de) Verfahren zur herstellung mehrschichtiger halbleiterplatten.
SU901355A1 (ru) Способ изготовлени масок дл нанесени на подложку
US2961314A (en) Method of manufacturing color image reproducer
DE2626851C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Masken für die Röntgenlithographie
JPS55158999A (en) Screen printing plate and manufacturing of the same
FR2040016A5 (en) Printed circuit plates with continuous - coated holes
DE112017004155T5 (de) Leiterplatte und Verfahren zur Herstellung derselben
JPS58151023A (ja) 多層よりなるレジスト層の形成方法
GB1005943A (en) Multilayer electrical circuit assemblies and processes for producing such assemblies
CN109750254B (zh) 一种金属掩膜板的制作方法
JPS59197041A (ja) スクリ−ン印刷版の製造方法
JPS5649541A (en) Multilayer wiring structure for integrated circuit
JPS56165244A (en) Manufacture of multilayer thin film electrode
JPS5867048A (ja) 半導体装置の製造方法
JPS5710989A (en) Pattern manufacture for jusephson-junction element
DE2436568C3 (de) Verfahren zur Strukturierung dünner Schichten
JPH08204313A (ja) ファインパターン印刷回路
JPS5452473A (en) Forming method for coating for fine pattern
DE1765945A1 (de) Verfahren zum Herstellen einer gedruckten Schaltung mit in mehreren Ebenen verlaufenden flaechenhaften Leiterzuegen
JPS6019095B2 (ja) 螢光表示管用陽極基板の製造方法
JPS6355235B2 (ru)