SU1696354A2 - Устройство дл транспортировани и подачи на рабочую позицию плоских деталей - Google Patents

Description

Изобретение относится к транспортирующимустройствам, может быть использовано в полупроводниковом производстве для подачи полупроводниковых пластин и фотошаблонов на позицию обработки и является усовершенствованием устройства по авт.св.№ 1046177.

Целью изобретения - повышение надежности работы устройства.

На фиг.1 изображено описываемое устройство. вид сверху: на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.1; на фиг.4 - вид ES на фиг.2.

Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4 шкивы в виде .роликов, попарно соединенные между собой планками 5 и 6. огибаемые транспортирующими шнурами 7 и 8. Планки 5 и 6 20 снабжены натяжными роликами 9, ведущие шкивы 4 - эластичными кольцами 10. На основании 1 в горизонтальной плоскости перпендикулярно плоскостям 5 и 6 смонтированы цилиндрические направляющие 11 и 12 и ось 13. На направляющих 11 и 12 смонтированы цилиндрические зубчатые рейки 14 и 15, сопряженные с шестерней 16, закрепленной на валу электропривода 17. На зубчатых рейках 14 и 15 жестко закреплены планки 5 и 6. Транспортные шнуры 7 и 8 имеют механизм подъема и опускания, выполненный в виде смонтированной на оси 13 вилки 18, на которой установлен тонвал 19, снабженный шкивом 20. Вилка 18снабжена35 плоской пружиной 21, на которую воздействует посредством регулируемого упора 22 кулачок 23, закрепленный на валу электропривода 24. Шкив 20 соединен со шкивом 25, закрепленным на валу электропривода 26 гибким шнуром 27. На планках 5 и 3 установлены регулируемые упоры 28, а на кронштейнах 29 — регулируемые упоры 30. Электропривод 26 является приводом транспортных шнуров 7 и 8.

Устройство работает следующим образом.

В исходном положении кулачек 23 своим большим радиусом обращен к регулируемому упору 22, при этом вилка 13 повернута вокруг оси 13 в верхнее положение, тонвал 19 взаимодействует с эластичными кольцами 10, а планки 5 и 6 установлены в верхнее положение, ограни- 55 чем ное регулируемым упором 30. Регулиру-. емым упором 22 установлено усилие деформации плоской пружины 21, определяющее усилие прижатия тонвала 19 к эластичным кольцам 10 ведущих шкивов 4.

Верхние образующие транспортирующих шнуров 7 и 8 располагаются <зыше плоскости рабочей позиции 2. а расстояние между ними меньше габаритного размера транс5 портируемого изделия.

Изделие, например полупроводниковая пластина, из кассеты (не показана) загружается на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещается на них до совмещения с ра10'· бочей позиции 2, представляющей собой, например, ротор центрифуги, после чего электропривод 26 отключают и включают электропривод 24. При этом кулачок 23 поворачивается на 180°, вследствие чего вил15 ка 18 под действием гибкого шнура 27 опускается, проворачиваясь вокруг оси 13 до выхода из контакта тонвала 19 с эластичными кольцами 10. Планки 5 и 6 при этом опускаются до соприкосновения регулируемого упора 28 с осью 13. Электропривод 24 выключают и включают электропривод 17. Шестерня 16, поворачиваясь вокруг своей оси, перемещает цилиндрические зубчатые рейки 14 и 15 по направляющим 11 и 12 во 25 взаимно противоположных направлениях.

При этом, закрепленные на рейках 14 и 15 планки 5 и 6 вместе с ведомыми 3 и ведущими 4 шкивами и транспортирующими шнурами 7 и 8 раздвигаются и выходят из зон;.: 30 обработки. Рабочая позиция 2 закрывается специальным колпаком (не показан), под которым производится технологическая операция, например проявление или нанесение фоторезиста. По истечении времени обработки колпак снимают и включают электропривод 17 в обратном направлении. Планки 5 и 6 перемещаются по направляющим 11 и 12 и оси 13 до положения, при котором транспортирующие 40 шнуры 7 и 8 оказываются под обрабатываемым изделием, после чего электропривод 17 выключают и включают электропривод 24. Кулачок 23, поворачиваясь на 180°, воздействует на вилку 18, поворачивая ее вверх оси 45 13. При этом тонвал 19. воздействуя на эластичные кольца 10, поворачивает планки 5 и 6 вокруг направляющих 11 и 12 до занятия планками 5 и 6 положения, определяемого регулируемым упором 30. тонвал 19 вступа50 ет в контакт с эластичными кольцами 10, а транспортирующие шнуры 7 и 8 поднимают изделия с рабочей позиции 2. Включается электропривод 26, который через гибкий шнур 27 приводит во вращение тонвал 19 и посредством эластичных колец 10 γ ведущий шкив 4. При этом изделие подается с приемную кассету, а очередное изделие из подающей кассеты поступает на транспортирующие шнуры 7 и 8 (кассеты не показаны). Цикл повторяется.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  транспортировани  и подачи на рабочую позицию плоских деталей по авт.св.Ы; 1046177, отличаю щее- с   тем, что, с целью повышени  надежности в работе устройства, оно снабжено установленными на ведущих шкивах эластичными

   // / // 15

   / / /У

   кольцами, при этом механизм подьема и опускани  транспортных шнуров выполнен в виде смонтированной на основании приводной двуплечей поворотной вмлки с уста- новленным на ней с возможностью взаимодействи  с эластичными кольцами тонвалом, св занным с приводом транспортных шнуров

   5 1

   / /

   15

   Фм.1

   5-6

   01/г.з

   ,

   r$

   Si t 3

   j ГФ 1

   . tnny

   r-тч }.; ; , ,

   ;. г ;i; ,

   t -ч

   frj С.с

   К S i i

   (,™, . -, „

   5 Г ;

   a .

   (.. , j:;;rj f if

   , : e rj i s; .

   -, -fa ч- -H j-« , ; Ј...:x L . « « S MI

   ,2Г Г s -

   та

   a/ т