SU1488235A2 - Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей - Google Patents

Description

Изобретение относится к транспортирующим устройствам и позволяет повысить надежность работы. Устройство имеет основание 1, рабочую позицию (РП) 2, ведущие и ведомые шкивы (Ш) 3, 4, огибающие их транспортирующие шнуры (ТШ) 7, 8, привод последних и их механизм подъема и опускания. Между собой Ш 3 и 4 попарно

2

соединены планками 5, 6, связанными с механизмом раздвижения ТШ 7, 8. Со стороны механизма подъема и опускания расположен связанный с ним вал 15, выполненный с продольной лыской. В центральной части вала 15 жестко смонтирован барабан 16, связанный с приводом ТШ 7, 8. Основание 1 выполнено с овальными вырезами для размещения концов вала 15, на котором расположены с возможностью продольного перемещения, Ш 4. Изделия устанавливаются на поднятые ТШ 7, 8 и перемещаются ими до РП 2. При опускании ТШ 7, 8 изделие укладывается на РП 2, а ТШ 7, 8 раздвигаются. После проведения операций над изделием ТШ 7, 8 сдвигаются навстречу друг другу, а затем при их подъеме снимают изделие с РП 2. Включается привод ТШ 7, 8 и последние отводят изделие от РП 2. 1 з. п. ф-лы, 5 ил.

8 Ц „„ 1488235

>

КЗ

ФигЛ

1488235

Изобретение относится к транспортирующим устройствам, может быть использовано в полупроводниковом производстве для подачи полупроводниковых пластин и фотошаблонов на позицию обработки, является усовершенствованием устройства по авт. св. № 1046177.

Целью изобретения является повышение надежности работы за счет обеспечения постоянной параллельности транспортирующих шнуров.

На фиг. 1 изображено устройство, вид сверху; на фиг. 2 — вид А на фиг. 1; на фиг. 3 — сечение Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 — сечение В-В на фиг. 1; на фиг. 5 — сечение Г-Г на фиг. 1.

Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие шкивы 4 в виде роликов, попарно соединенные между собой планки 5 и 6 и огибаемые транспортирующими шнурами 7 и 8, смонтированные на основании 1 цилиндрические направляющие 9, 10, механизм их раздвижения в виде цилиндрических зубчатых реек И и 12, электропривод 13 и закрепленную на его валу шестерню 14, входящую в зацепление с цилиндрическими зубчатыми рейками.

Привод вращения ведущих шкивов 4 осуществляется через вал 15 с продольной лыской, на котором в центральной его части жестко смонтирован барабан 16. На валу электропривода 17 закреплен шкив 18. Приводной ремень 19 перемещает вращение от шкива 18 на барабан 16. Электропривод 17 закреплен· на стойке 20. Вал 15 расположен со стороны механизма подъема и опускания шнуров 7 и 8, который состоит из электропривода 21, закрепленного на стойке 22, и кулачка 23. Корпус 24 имеет возможность вращения относительно стоек 25 и 26, закрепленных на основании 1. Вал 15 связан с корпусом 24 с возможностью свободного вращения. Планка 27 закреплена на корпусе 24 и несет регулировочный винт 28 с контргайкой 29, взаимодействующей с кулачком 23. В боковых стенках основания 1 выполнены овальные вырезы 30 для вала 15. На валу 15 установлены с возможностью продольного перемещения ведущие шкивы 4.

Устройство для транспортирования и подачи изделий на рабочую позицию работает следующим образом.

В исходном положении кулачок 23 своим большим радиусом обращен к регулировочному винту 28. Планка 27 закреплена на корпусе 24, который устанавливает вал 15 в верхнее положение. При этом транспортирующие шнуры 7 и 8. располагаются выше плоскости рабочей позиции 2. В исходном положении расстояние между внутренними ветвями транспортирующих шнуров несколько меньше соответствующего габаритного размера транспортирующего изделия.

Изделие, например полупроводниковая пластина или заготовка фотошаблона из кассеты (не показана), загружается на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещается на них до совмещения с рабочей позицией 2, представляющей собой, например, ротор центрифуги. При совмещении изделия с позицией обработки электропривод 17 отключают и включают электропривод 21. При этом кулачок 23 поворачивается на 180°, вследствие чего корпус 24 поворачивается относительно стоек 25 и 26. Вал 15 опускается в нижнее положение. Планки 5 и 6 поворачиваются вокруг соответствующих осей направляющих 9 и 10. Транспортирующие шнуры 7 и 8 опускаются ниже плоскости рабочей позиции 2 и обрабатываемое изделие устанавливается на рабочую позицию. В этом положении включают электропривод 13. Шестерня 14, поворачиваясь вокруг своей оси, перемещает цилиндрические зубчатые рейки 11 и 12 по направляющим 9 и 10 во взаимно противоположных направлениях. При этом, закрепленные на рейках 11 и 12 планки 5 и 6 вместе с ведомыми 3 и ведущими 4 шкивами и транспортирующими шнурами 7 и 8 раздвигаются и транспортирующие шнуры 7 и 8 выходят из зоны обработки. При раздвижении планок 5 и 6 ведущие шкивы 4 движутся вдоль вала 15, поскольку между валом 15 и отверстием в ведущих шкивах 4 есть определенный зазор.

Рабочая позиция 2 накрывается специальным колпаком (не показан), под которым производится технологическая операция, например нанесение слоя фоторезиста на подложку или ее отмывка. По истечении определенного времени колпак снимают и включают электропривод 13. Шестерня 14, поворачиваясь вокруг своей оси, перемещает рейки 11 и 12 с закрепленными на них планками 5 и 6 и транспортирующими шнурами 7 и 8 навстречу друг другу. При этом транспортирующие шнуры 7 и 8, сближаясь, оказываются под обрабатываемым изделием. После этого включают электропривод 21 поворота кулачка 23, который поворачивается на 180°. При этом транспортирующие шнуры 7 и 8 поднимаются с обрабатываемым изделием с рабочей позиции. Затем включают электропривод 17, который через приводной ремень 19 приводит во вращение вал 15, передающий вращательное движение на приводные шкивы 4. Транспортирующие шнуры 7 и 8 перемещают изделие в приемную кассету или на следующий трек, а очередное изделие из подающей кассеты поступает на транспортирующие шнуры (кассеты не показаны). Цикл повторяется.

Claims (2)

1. Формула изобретения

   1. Устройство для транспортирования и

   подачи на рабочую позицию плоских дета1488235

   5

   6

   лей по авт. св. № 1046177, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства за счет обеспечения постоянной параллельности транспортирующих шнуров, оно снабжено расположенным 5 со стороны механизма подъема и опускания транспортных шнуров и связанным с последним валом, выполненным с продольной лыской и имеющим жестко смонтированный в его центральной части барабан, связанный с приводом транспортирующих шнуров, при этом основание выполнено с овальными вырезами для размещения концов вала, а ведущие шкивы установлены на валу с возможностью продольного перемещения.
2. 2. Устройство по π. 1, отличающееся тем, что механизм подъема и опускания транспортных шнуров выполнен в виде кулачка, связанного с валом посредством соединенного с ним и поворотно установленного на основании корпуса и смонтированной на последнем планки с регулировочным винтом, установленным с возможностью взаимодействия с поверхностью кулачка.

   ЗадА

   Фаз.г

   Фаг. 3

   1488235

   4

   15

   г-г