SU1046177A1 - Устройство дл транспортировани и подачи на рабочую позицию плоских деталей - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ПОДАЧИ НА РАБОЧУЮ ПОЗИЦИЮ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ, включакидее основание , транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод и механизм подъема и опускани  транспортирующих шнуров, отличающеес  тем, что, с целью расширени  технологических возможностей устройства, ведомый и ведущий шкив калодого транспортирующего шнура соединены между собой посредством планки, при этом транспортирующие шнуры имеют мех-анизм раз движени , выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек, кажда  из которых жестко св зана с одной из планок и установлена на основании посредством цилиндрической направл ющей с возможностью поворота, причем цилиндрические направл ющие расположены в горизонтальной плоскости перпенди (Л кул рно планкам. о |

Description

Изобретение относитс  к транспортирующим устройствам и может быт использовано, в частности, в гюлупр водниковом производстве дл  подачи полупроводниковых пластин и фотошаблонов на позицию обработки.

Известно устройство дл  транспортировани  и подачи на рабочую позицию плоских деталей, включающее основание, транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод и механизм подъема и опускани  транспортирующих шнуров Недостатком данного устройства  вл етс  передача изделий одних типоразмеров и подача их только на рабочую позицию, расположенную выше транспортирующих шнуров.

Известно устройство дл  транспортировани  и подачи на рабочую поз-ицию плоских деталей, включающее .основание, транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы привод и механизм подъема и опускани  транспортирующих шнуров .

Недостатком данного устройства  вл етс  передача изделий одних типоразмеров с незначительным их подъемом и опусканием, что снижает технологические возможности устройства при передаче деталей разных размеро и расположении рабочей позиции над и под транспортирующими шнурами на значительных рассто ни х. При этом транспортирующие шнуры преп тствуют процессу обработки полупроводниковыпластин и фотошаблонов, например в центрифугах или в ванных за счет их расположени  в этих зонах.

Цель изобретени  - расширение технологических возможностей устройства .

Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  транспортировани  и подачи на рабочую позицию плоских деталей, включающем основание , транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод и механизм подъема и опускани  транпортирующих шнуров, ведомый и ведущий шкив каждого транспортирующего шнура соединены между собо.й посредством планки, при этом транспортирующие шнуры имеют механизм раздвижени , выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек, кажда  из .которы жестко св зана с одной-из планок и установлена на основании посредством цилиндрической направл ющей с возможностью поворота, причем цилиндричес15ие направл ющие расположены в горизонтальной плоскости перпендикул рно планкам о

На фиг.1 изображено устройство, общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1о

Устройство дл  т ранспортировани  и подачи на рабочую позицию плоских деталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4 ролики, попарно соединенные между собой планками 5 и 6 и огибаемые транспортирующими шнурами 7 и 8, смонтированные на основании цилиндрические направл ющие 9 и 10, механизм раздвижени  в виде, цилиндрических зубчатых реек 11 и 12, электропривода 13 и закрепленной на его валу шестерни 14, вход щей в зацепление с цилиндрическими зубчатыми рейками, механизм подъема и опускани  в виде эксцентрика 15 с приводом 16 и привод транспортирующих шнуров, содержащий, электропривод 17, нат жные ролики 18, приводной ремень 19. Планка 5 посредством кронштейна 20 жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 11. Планка 6 посредством кронштейна 21 жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 12. Эксцентрик 15 установлен с возможностью взаимодействи - с ведомыми роликами 3. Цилиндрические направл ющие 9 и 10 расположены в горизонтальной.плоскости перпендиКул рно планкам 5 и 6.

Устройство дл  транспортировани  и подачи изделий на рабочую позицию работает следующим образом.

В исходном положении эксцентрик 1 обращен своим наибольшим радиусом (относительно оси вращени ) к ведоMfciM роликам 3, при этом транспортирующие шнуры 7 и 8 располагаютс  выш плоскости рабочей позиции 2. В исходном положении рассто ние между внутренними ветв ми транспортирующих шнуров несколько меньше соответствующего габаритного размера транспортирующего издели . Изде.лие, например полупроводникова  пластина или заготовка фотошаблона из кассеты( не показана) загружаетс  на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещаетс  на них до совмещени  с рабочей позицией 2, представл ющей собой, например ротор центрифуги. При совмещении издели  с позицией обработки электропривод 17 отключают и вк.лючают привод 16. При этом эксцентрик 15 поворачиваетс  вокрг своей оси на 180 вследствие чего планки 5 и б поворачиваютс  вокруг соответствующих осей направл ющих 9 и 10, транспортирующие шнуры 7 и В опускаютс  ниже плоскости рабочей позиции 2 и обрабатываемое изделие устанавливаетс  на рабочую позицию. В этом положении включают привод 13. Шестерн  14, поворачива сь вокруг своей оси, перемещает цилиндрические зубчатые рейки 11 и 12, по направл ющим 9 и 10 во взаимно противоположных направлени х . При этом закрепленные на

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ПОДАЧИ НА РАБОЧУЮ ПОЗИЦИЮ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ, включающее основание, транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод и механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров, отличающееся тем, что, с целью расширения технологических возможностей устройства, ведомый и ведущий шкив каждого транспортирующего шнура соединены между собой посредством планки, при этом транспортирующие шнуры имеют механизм раздвижения, выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек, каждая из которых жестко связана с одной из планок и установлена на основании посредством цилиндрической направляющей с возможностью поворота, причем цилиндрические направляющие расположены в горизонтальной плоскости перпендикулярно планкам.

   гз «ь» f t

   Wat f t