Изобретение относитс к транспорти рующим устройствам, .используемым, в частности, в полупроводниковом производстве дл подачи заготовок фотошаблонов пр моугольной формы на рабочую позицию. По основному авт. св. № 1046177 известно устройство дл транспортировани и подачи на рабочую позицию плоских деталей, включающее основание транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод, механизм подъема и опускани транспортирующих шнуров, соединение ведомого и ведущего шкивов каждого транспортирующего шнура между собой планкой, механизм раздвижени транспортирующих шнуров, выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндtiH4ecKHX реек, кажда из которых жестко св зана с одной из планок и установлена на основании посредством цилиндрической направл ющей с возможностью поворота, причем цилиндрические направл ющие расположены перпен . дикул рно планкам в горизонтальной плоскости 1. Известное устройство позвол ет осуществл ть в автоматическом режиме загрузку изделий на рабочую позицию, расположенную как над конвейером, так и под ним, что- делает его универ ,сальным, пригодным дл использовани в различном технологическом оборудовании . Однако в процессе выполнени таких операций, как нанесение фоторезиста запщтного покрыти ,наносимый материал попадает на боковые поверхности обрабатываемых пластин, что приводит к залипанию их между планками , соедин ющими ведущие и ведомые шкивы транспортирующих шнуров. Это существенно снижает надежность устройства в работе, ведет к непроизводительным затратам рабочего времени и повреждению обрабатываемых пластин. Целью изобретени вл етс повьш1ение надежности в работе устройства путем исключени залипани плоских дет.алей между планками, соедин ющими ведущие и ведомые шкивы транспортирующих шнуров. Эта цель достигаетс тем, что устройство дл транспортировани и подачи на рабочую позицию плоских дета .лей снабжено двухступенчатыми роликами , установленными на цланках в месте размещени рабочей позиции с возможностью взаимодействи большей ступенью с транспортирующими шнурами, а меньшей - с плоскими детал ми. На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство дл транспортировани и подачи на рабочую позицию плоских деталей; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг. 1. Устройство дл транспортировани и подачи- на рабочую позицию плоских деталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4 ролики, попарно соединенные между собой планками 5 и 6, транспортирующие шнуры 7 и 8, расположенные в горизонтальной плоскости перпендику-. л рно планкам, цилиндрические направл ющие 9 и 10, механизм раздвижени транспортирующих шнуров в виде цилиндрических зубчатых реек 11 и 12 (фиг. 2) и закрепленной на валу электродвигател 13 шестерни 14, вход щей в зацепление с цилиндрическими зубчатыми рейками, механизмом подъема и опускани транспортны шнуров в виде эксцентрика 15 с приводом 16, и привод транспортирующих шнуров, содержащий электропривод 17, нат жные ролики 18 (фиг. 1), приводной ремень 19. Планка 5 посредством кронштейна 20 (фиг. 2) жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 11. Планка 6 посредством кронштейна 21 жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 12. Эксцентрик 15 установлен с возможностью взаимодействи с ведомыми .роликами 3. На планках 5 и 6 симметрично рабочей поз.иции 2 установлены двухступенчатые ролики 22, взаимодействующие большей ступенью с транспортирующими шнурами 7 и 8 (фиг. 3), а меньшей - с транспортируемыми детал ми 23, причем та поверхность роликов которой.они соприкасаютс с обрабатываемыми детал ми , покрыта материалом, который практически не смачиваетс фоторезистом , лаком . и другими подобными материалами . Конструктивно это покрытие выполнено в виде кольца 24 из фторопласта . Устройство дл транспортировани и подачи изделий на рабочую позицию работает следующим образом, В исхбдном положении эксцентрик 15 обращен своим наибольшим радиусом ( относительно оси вращени ) к ведомым роликам 3, при этом транспортирующие шнуры 7 и 8 располагаютс выше плоскости рабочей позиции 2. В ис ходном положении рассто ние между внутренними ветв ми транспортирующих шнуров несколько меньше соответствующего габаритного размера транспорти руемого издели . Изделие, например полупроводникова пластина или заготовка фотошаблона -из кассеты (не показана ), загружаетс на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещаетс на них до совмещени с рабочей позицией 2, представл ющей собой, например , ротор центрифуги. При совмещении издели с позицией обработки при вод 17 отключают и включают привод 16 При этом эксцентрик 15 поворачиваетс вокруг своей оси на 180 , вследствие чего рейки 11 и 12 поворачиваютс вокруг соответствующих осей направл ющих 9 и 10, планки 5 и 6 с транспортирующими шнурами 7 и 8 опускаютс ниже плоскости рабочей по зиции 2 и обрабатываемое изделие устанавливаетс на рабочую позицию. В этом положении включают электродви гатель 13. Шестерн 14, поворачива сь вокруг своей оси, перемещает цилиндрические зубчатые рейки 11 и 12 по направл ющим 9 и 10 во взаимно противоположных направлени х. При этом закрепленные на рейках 11 и 12 планки 5 и 6 вместе с ведомьми 3 и ведущими 4 роликами и транспортирующими шнурами 7 и 8 раздвигаютс и транспортирующие шнуры 7 и 8 выход т из зоны обработки. После этого рабоча позици 2 накрываетс специальным колпаком (не показан), под которым производитс технологическа операци , например нанесение сло фоторезиста на подложку или ее отмыв ка. По истечении определенного времени колпак снимают и включают привод 13 Шестерн 14 поворачива сь вокруг своей оси, перемещает рейки 11 и 12 с закрепленными на них планками 5 и 6 и транспортирующими шнурами 7 и В навстречу друг другу. При этом транспор тирующие шнуры 7 и 8, сближа сь, оказываютс под обрабатываемым изделием. Так как один из нат жных роликов 18, кинематически св занный с привоДОМ 17, не вращаетс (привод 17 отключен ) , то при сближении планок 5 и 6 вследствие изменени межцентрового рассто ни между ведущими роликами Д и нат жными роликами 18 ведущие ролики 4 начинают вращатьс и сообщают вращательное движение посредством шнуров 7 и 8 двухступенчатым роликам 22, .В момент максимального сближени планок 5 и 6 включают привод 16 поворота эксцентрика 15, последний поворачиваетс на 180 , при этом транспортирующие шнуры 7 и 8 поднимаютс вверх и поднимают обрабатываемое изделие с рабочей позиции. Одновременно включают привод 17, который через приводной ремень 19 приводит в движение транспортирующие шнуры 7 и 8. С этого момента времени вращательное движение двухступенчатым роликом 22 сообщаетс посредством транспортирующих шнуров 7 и 8. Вращающиес двухступенчатые ролики 22 своими меньшими ступен ми контактируют с обрабатываемой деталью 23(фиг. 3). При этом обрабатываемое изделие подаетс в приемную кассету, а очередное изделие из подающей кассеты поступает на транспортирующие шнуры (кассеты не показаны). Цикл повтор етс . Так как в момент сн ти с позиции обработки деталь 23 контактирует с вращающимис роликами, рабочие поверхности которых выполнены из фторопласта, то залипани детали не происходит несмотр на наличие на ее боковых поверхност х фоторезиста или лака, обладающих повышенной адгезией к контактирующим с ними предметам . Кроме того, двухступенчатые ролики 22, боковые поверхности которых выступают за пределы планок 5 и 6, дополнительно ориентируют образом , что при дальнейшем перемещении кра не задевают планки 5 и 6. Таким образом, предлагаемое изобретение позвол ет полностью исключить залипание обрабатываемых деталей между планками, вследствие чего повьш1аетс его надежность в работе, а за счет исключени простоев оборудовани , возникающих вследствие устранени последствий залипани деталей между планками, возрастает его производительность .
5
W
-2
6-6
2J
-2