SE454932B - Fluidumgenomtrengligt, porost, elektriskt vermeelement, forfarande for framstellning av elementet och anvendning av detsamma - Google Patents
Fluidumgenomtrengligt, porost, elektriskt vermeelement, forfarande for framstellning av elementet och anvendning av detsammaInfo
- Publication number
- SE454932B SE454932B SE8102972A SE8102972A SE454932B SE 454932 B SE454932 B SE 454932B SE 8102972 A SE8102972 A SE 8102972A SE 8102972 A SE8102972 A SE 8102972A SE 454932 B SE454932 B SE 454932B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- heating element
- temperature
- coating
- fluid
- heating
- Prior art date
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 73
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 21
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 claims description 4
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000007858 starting material Substances 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 5
- 239000007833 carbon precursor Substances 0.000 abstract 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 abstract 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 19
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 5
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 4
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium dioxide Chemical compound O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 241001676573 Minium Species 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical group [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000003287 bathing Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-YPZZEJLDSA-N carbon-10 atom Chemical compound [10C] OKTJSMMVPCPJKN-YPZZEJLDSA-N 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 238000011278 co-treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000013529 heat transfer fluid Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000009331 sowing Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/148—Silicon, e.g. silicon carbide, magnesium silicide, heating transistors or diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/02—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with incorporated heating or cooling means
- B29C33/04—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with incorporated heating or cooling means using liquids, gas or steam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/007—Tempering units for temperature control of moulds or cores, e.g. comprising heat exchangers, controlled valves, temperature-controlled circuits for fluids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
- C23C16/507—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges using external electrodes, e.g. in tunnel type reactors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/2933—Coated or with bond, impregnation or core
- Y10T428/2935—Discontinuous or tubular or cellular core
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/2973—Particular cross section
- Y10T428/2975—Tubular or cellular
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Oral & Maxillofacial Surgery (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Description
10
15
20
25
30
35
454 952
IL
II
DE-OS 2 822 536).
Det är ofta nödvändigt att upphetta ett fluidum, antingen en
gas eller en vätska, elektriskt och att utnyttja ett slutet flu-
idumcirkulationssystem för överföring av detta värme till and-
ra fluider eller en annan anläggning i ett värmeutbytessystem.
Ett särskilt exempel är användningen av en upphettad vätska,
t.ex. olja eller vatten, för temperaturstyrningsändamål för for-
mar, munstycken, sprutmaskiner och kalandrar, som användes in-
om plastindustrin. I existerande utformningar av sådana tempe-
raturstyrenheter har nedsänkta elektriska element av den mant-
lade typen använts, varvid den genererade värmen i dessa element
överförts genom konduktion genom mantelns metallvägg till den
omgivande vätskan, som strömmar förbi elementet. Härvid finns
en gräns för värmeöverföringskoefficienten, som kan utnyttjas
vid denna typ av element, om oljenedbrytning skall undvikas,
t.ex. 1-TO Watt/cmz för elementets ytarea. Denna faktor utövar
en väsentlig effekt på storlek och vikt för uppvärmningssyste-
met, särskilt vid höga kraftkapaciteter. Vidare är gensvaret
för sådana enheter jämförelsevis långsamt, eftersom det finns
en gräns för den mängd värme, som kan överföras till vätskan
över ett kort tidsintervall. Detta kan ha en begränsande påver-
kan pâ produktionscykeltiderna, när sådana enheter användes för
uppvärmning av formar och munstycken vid en produktionskörning
av identiska komponenter.
Uppfinningen övervinner i stor utsträckning dessa begränsning-
ar genom att utesluta det mantlade metallelementet och ersät-
ta detta med ett fluidumgenomträngligt, poröst, elektriskt vär-
meelement och cirkulering av fluidet genom det porösa värme-
elementets kropp istället för enbart över dess externa yta.
Krafttätheter på 1 kw/cm2 av värmeelementmaterialet kan uppnås
och detta leder inte bara till en reduktion av storlek och vikt
för uppvärmningsenheten för en given effekt, utan också en minskning av gen-
svarstiden, så att systemet kan reagera i praktiken omedelbart på ett krav pà
en stor stegvis ökning av det genererade värmet och överföring
10
15
20
25
30k
35
HO
i 454 932
~|
11
av detta till det cirkulerande fluidet.
Ett lämpligt element kan omfatta porös kiselkarbid med en hål-
rumsvolym på 50-98% och en bulkdensitet på 50-750 kg/m3, í
vilket de individuella värmeelementen består av fina fibrer
med en diameter inom intervallet 3-150 pm. En termisk barriär/
fördelningsanordning kan användas i förening med värmeelemen-
tet för att åstadkomma en enhetlig fluidumströmning, jämför
GB-PS 1 H66 2U0.
Det kan vara önskvärt att upprätthålla en fluidumströmnings-
hastighet genom elementet, som begränsar temperaturhöjníngen
över elementet till icke mer än cirka 5000, men detta är icke
nödvändigt och temperaturhöjningar på 2-30000 är möjliga med
en elementväggtjocklek på 2-10 mm. Värmeelementet kan ha en
förutbestämd elektrisk resistivitet vid en särskild tempera+
tur och kan vara lämpat för normalspänningsdrift utan att en
transformator erfordras.
Systemkomponenterna innefattar en cirkulationspump, ett värme-
elementaggregat, ventiler och rörledningar i vilka oljan
passerar i serie genom elementet och den form, det munstycke,
den sprutmaskin eller kalander som skall upphettas tillsam-
mans med ett styrsystem. Sådana enheter har utformats och
satts i drift för effekter på 1-15 kw för ovannämnda geometri
och med en reaktionstid på ett fåtal sekunder. Mycket kompakta
enheter kan åstadkommas och för högeffektenheter reducerar
den lilla storleken konstruktionskostnaderna avsevärt jämfört
med konventionella värmeöverföringssystem.
Uppfinningen beskrives närmare nedan i exemplifierande syfte
i anslutning till bifogade ritningar, på vilka
fig. 1 visar en schematisk vy av ett värmeöverföringssystem
för upphettning av en form,
fig. 2 visar i förstorad skala en perspektivvy av formen, som
användes i systemet enligt fig. 1,
fig. 3 visar ett medialt tvärsnitt i förstorad skala av en
elektrisk uppvärmningsanordning, för användning i systemet i
fig. 1,
fig. U visar i medialt tvärsnitt och i förstorad skala en
10
15
20
25
30
35
HO
454 932 u
sidovy av en alternativ elektrisk uppvärmningsenhet,
fíg. Ha visar en deltvärsnittsvy längs linjen Va-Va i fig. H,
fig. 5 visar grafiska kurvor över temperatur mot tid för en-
heten enligt fig. U, och
fig. 6 visar en schematisk vy av en plasmaaktiverad ångut-
fällningsanordning.
Med hänvisning till fig. 1 består värmeöverföringssystemet
huvudsakligen av en form 10, exempelvis en sprutform, förbun-
den genom rörledningar 11 till en kylenhet 13 och till en
porös elektrisk värmeenhet 14. En värmeöverförande olja i rör-
ledningen 11, t.ex. "British Petroleum (BP) Transcal N", är
anordnad att cirkuleras genom systemet av en pump 15. Ett in-
loppstermoelement 20 och ett utloppstermoelement 21 är an-
ordnat vid formen 10 för avkänning av oljans temperatur i
rörledningen 11, och ett formtemperaturstyrorgan 23 avkänner
temperaturen i formen 10 och styr driften av kylenheten 13
och värmeenheten lä för att hålla formen 10 vid önskad tem-
peratur. En by-pass-ledning 25 med en avlastningsventil 26
är förbunden med rörledningen 11 parallellt med formen 10.
Formen 10 visas i detalj i fig. 2, varav framgår att formen
består av tvâ halvor 10a och 10b och är försedd med olje-
kanaler 18 i serie med rörledningen 11 för cirkulation av
olja genom formen 10, och ett anslutningsrör 11a för för-
bindning av oljekanalerna 18 mellan halvorna 10a, 10b.
Med hänvisning till fig. 3 har den porösa elektriska värme-
enheten lä väsentligen cirkulärt tvärsnitt, och omfattar ett
fluidumgenomträngligt, p0rÖSt, fiberførmigt kisel-
karbidvärmeelement 30 med ihålig cylíndrisk form och försedd
med guldpläterade kopparelektroder 31 och 32 vid värmeele-
mentets 30 övre och nedre ände. Den nedre elektroden 32 är
försedd med en ändkåpa 3U av mässing, som är fastsatt på ett
stålrör 33, som i sin tur är hårdlött på en kopparstång 35
som är förbunden med en ej närmare visad spänningskälla genom
en klämformad anslutning 36. Två metalliska kylskivor 38 är
anordnade runt stången 35 och hålles fast genom en “Starlock"-
-stoppbricka H0, anordnad ovanför den översta kylskivan 38,
tre "Schnorr"-brickor H1 mellan kylskivorna 38 upprätthåller
10
15
20
25
30
55
UO
5 454 932
en tryckkraft på ett mellanlägg H2, som är anordnad att vila
mot en ansatsförsedd krage H3 av ett elektriskt isolerande
material. En ansatsförsedd insats H5 av ett elektriskt iso-
lerande material, såsom polyamiden Tufnol, är anbríngad i en
urtagning H6 i ett hus 57 och uppbär en O-ringtätníng UB som
är anordnad runt stången 35, och en plan, ringformíg, övre
distansbricka U9 av samma material som i den ansatsförsedda
insatsen H5, pressas mot O-ringtätningen UB av den ansatsför-
sedda kragen H3.
Huset 37, som är förenat med den övre elektroden 31 har en
inre kammare 52, förbunden med rörledningen 11, och inlopps-
öppningar 53, av vilka två visas, förbinder den inre kammaren
52 med ett utrymme 50 mellan värmeelementets inneryta och
rörets 33 ytteryta, varvid röret 33 har en övre öppning 55
och en nedre öppning 56, som förbinder rörets 33 inre hålrum
med utrymmet 5U, och fungerar som en termisk fördelare.
Huset 37 har en rördel 58 med en utvändig fläns 59, som är
fastspänd mot en utvändig fläns 62 på ett rörformígt inner-
hölje 63, i vilket värmeelementet 30 är anordnat, varvid en
'O-ríngtätning 65 är anordnad i en ringformig urtagning 66,
och en jordanslutning 60 är fastsatt i flänsen 62.
En värmeisolering, såsom Kaowool, är anordnad som en skydds-
mantel 70 mellan innerhöljet 63 och ett yttre hölje 71. Rör-
ledningen 11 sträcker sig genom den nedre delen av ytter-
höljet 71 och skyddsmanteln 70 till den nedre änden på inner-
höljet 63 och ett luftavdragningsrör 63 sträcker sig genom den
övre delen av ytterhöljet 71 och skyddsmanteln 70 till inner-
höljet 63.
Vid användning av formen 10 för formning av plastdetaljer
hålles formen 10 vid önskad driftstemperatur genom oljan, som
cirkuleras genom formen av pumpen 15. Temperaturstyrorganet
23 avkänner formens 10 temperatur och justerar flödeshastig-
heten för ett kylmedium, t.ex. vatten, genom kylenheten 13
och värdet på strömmen till den porösa elektriska värmeen-
heten lä för styrning av oljans temperatur och för att så-
lunda hålla formen 10 vid den önskade driftstemperaturen.
10
15
20
25
30
35
NO
454 932 6
..-
Termoelementen 20, 21 för oljetemperaturen ger ytterligare
övervakningskapacitet och kan påverka värmeenheten lä vid
någon viss förutbestämd temperaturdifferans.
Ett mer kompakt värmeelement kan användas för att öka oljans
hastighet genom elementen, såsom visas i fig. Ä. I fig. Ä
visas sålunda en elektrisk värmeenhet lfla, som innfattar ett
värmeelement 80 av fluidumgenomtränglig, porös, fiberformig
kiselkarbid, med ihålig cylindrísk form och typiskt cirka H5
mm ytterdiameter,.35 mm innerdiameter och 10 mm långt. Guld-
pläterade, ringformiga kopparelektroder 81 och 82 är anordna-
de vid värmeelementets 80 respektive ändar, och varje elektrod
81, 82 uppbäres på en klack 83, 8ü från en ringformig bär-
skiva 85 respektive 86 av rostfritt stål. Bärskivan 85 upp-
bäres på en ansats 87 från en ringformig elektrisk isolator
88 av polyamiden Tufnol, och bärskivan 86 uppbäres på liknan-
de sätt på en ansats 89 från en ríngformig isolator 90 av
polyamiden Tufnol. Tunna packningar, som ej visas närmare,
av ett deformerbart material såsom grafit, koppar eller alu-
minium, kan vara anordnade mellan ändarna på elementet 80 och
elektroderna 81 och 82.
Ett fördelarrör (dispenser rod) 96 av rostfritt stål
sträcker sig genom och uppbär isolatorerna 88, 90 och är för-
sedd med en cirkulär fläns 97. Isolatorn 90 hålles mot
flänsens 97 ena sida genom verkan av en tryckfjäder 98 vars
ena ände passar över en utskjutande del 110 från en hatt 99.
Den utskjutande delen 110 är anbringad runt fördelarrörets 96
ena ände och hatten 99 är fastsatt på fördelarröret 96 genom
en skruv 111. Fjäderns 98 andra ände anligger mot isolatorn
88 och pressar isolatorerna 88, 90, elektroderna 81, 82 och
isolatorn 90 tätt tillsammans. Ett axiellt hål 112 sträcker
sig i fördelarröret 96 från två axiellt åtskilda uppsättningar
av fyra, av vilka endast tre är visade, på lika avstånd
radiellt liggande utloppshål 113, 11ü, och varvid det axiella
hålet 112 sträcker sig i en riktning mot fördelarrörets 96
andra ände.
Fördelarröret 96 är på andra sidan av flänsen 97 gängat vid
115 och är anordnat i ett motsvarande gängat hål 116 i en
10
15
20
25
30
35
NO
7 454 932
*v
»-
ihålig cylindrisk bussning 117 av polyamiden Tufnol för an-
liggning mot en ansats 119, och hålles fast i det gängade hå-
let 116 av en låsmutter 121 av rostfritt stål. Bussningen 117
är gängad på sin ytteryta för placering i ett på motsvarande
sätt gängat hål 123, som sträcker sig från ena sidan av en
fastsättningsdel 125 av rostfritt stål och vilar mot en an-
sats 126, varvid bussningen 117 hålles fast däremot genom en
låsmutter 128 av rostfritt stål. Ett cylindriskt hål 130 med
relativt liten diameter vid ansatsens 119 axiella centrum och
fastsättningsdelen 125 leder till ett gängat hål 132 vid
fastsättningsdelens 125 andra sida, i vilket en tryckrörkopp-
ling 13U är anordnad för förbindning av rörledningen 11 med
fastsättningsdelen 125. Fastsättningsdelen 125 är utformad i
ett stycke med en cirkulär fläns 137, som med ett flertal
bultar 138, av vilka två visas, hålles fast mot en ring-
formig fläns 1U0 på ettihåligt cylindriskt hölje 1U2, varvid
en ringformig mjuk kopparpackning 1UU åstadkommer tätning
mellan flänsarna 137 och 1U0. Två elektrodanordningar IÄ6,
1Ä7 är anbringade i respektive hål 1U8, 1ü9'i flänsen 137 och
är svetsade till flänsen 137 för att åstadkomma en trycktät
förbindning. Varje elektrodanordning 1ü6, 1ü7 åstadkommer en
trycktät, elektrisk genomgång för respektive elektriska till-
förselledningar 150, 151 till respektive flätade elektriska
anslutningar 152, 153 av koppar, som var och en slutar vid
respektive kopparanslutningsdel 155, 156, fastsatta såsom
visas i fig. 5a till en ansats 157 på respektive elektrod
81, 82. Lämpliga sådana elektrodanordningar IU6, 1H7 kan er-
hållas exempelvis från VG Electronics Limited, Hastings,
Sussex, England eller Ferranti Limited, Hollinwood, Lancashire,
England eller Friedrichsfeld GmbH, Mannheim, West Germany,
(United Kingdom Agents: Bush Beach Engineering Limited,
Cheadle, Cheshire, England).
En ändplatta 16Ö tillsluter höljet 1H2 och har ett gängat
hål 162 för en termoelementanslutning 16ü, ett axiellt anord-
nat gängat hål 166 för en annan tryckröranslutning 13ü för
förbindning av höljets 142 inre med rörledningen 11, ett
gångat hål 168 för en hydraulisk tryckavlastningsventil 169
och ett trångt gängat hål 171 för en automatisk luftavlast-
ningsventil 172. Ett termiskt isolerande material 17U (t.ex.
10
15
20
25
30
35
HO
454 932 8
Kaowool) omger värmeenheten lüa, men visas endast partiellt
fördelat däromkring i förtydligande syfte.
Vid drift med värmeenheten lüa istället för värmeenheten lä
i värmeöverföringssystemet enligt fig. 1, strömmar olja genom
rörledningen 11, t.ex. cirka 2,5 liter/minut, och inträder i
det axiella hålet 112 i fördelarröret 96 för att strömma ut
genom utloppshålen 113, llü, inne i värmeelementet 80. Efter
strömning genom värmeelementet 80 inträder oljan i höljet 1U2
och avgår genom rörkopplingen 15U för att återinträda i rör-
ledningen 11 och cirkulera genom formen 10. Med kablarna 150,
151 förbundna med en 2U0 volts växelströmskälla, som ej visas
närmare på ritningen, åstadkommes en alstrad effekt från
värmeelementet 80 för upphettning av oljan till en önskad
temperatur, t.ex. 200-30000. Temperaturstyrorganet 23 avkän-
ner formens 10 temperatur och slår på och av den elektriska
inmatningen till värmeelementet 80 i beroende av temperaturen
på oljan som strömmar genom värmeenheten iüa och håller så-
lunda formen 10 vid den önskade driftstemperaturen. Beroende
på det snabba gensvaret för värmeelementet 80, när den
elektriska tillförseln kopplas på, erhålles en noggrann styr-
ning av formens 10 temperatur, och ett exempel på detta visas
grafiskt i fig. 5, som för ett kíselkarbidvårmeelement 80 med
en effekt på 3,U kw vid 231,5°C illustrerar en kurva över
temperatur mot tid för
(1)
(2)
(3)
olja in i formen 10
olja som lämnar formen 10
formens 10 temperatur.
Storleken på den alstrade effekten beror bland annat på
elementets 80 densitet och ligger typiskt inom intervallet
1-15 kw.
Baden av korta vertikala linjer, som hänför sig till tempera-
turen på den olja, som inträder i formen, när ett stabilt
temperaturförhållande uppnåtts, indikerar_det snabba gen-
svaret för värmeelementet 80 när elektricitetstillförseln
upprepade gånger slås på och av för att hålla formen 10 vid
den önskade driftstemperaturen, vilken i det i fig. 5 illu-
strerade fallet är 22500.
10
15
20
25
30
35
454 932
kfl
-l
ul
Det porösa kiselkarbidvärmeelementet kan åstadkommas från ett
elektriskt värmeelement av poröst kol, som exempelvis kan fram-
ställas såsom beskrives i ovannämnda patentskrifter, och be-
lagt med kiselkarbid, lämpligen pâlagd genom en plasmaaktive-
rad avsättningsprocess (PAVD). Exempel på PAVD-processer he-
skrives i brittiska patentet 1 592 063, vilket motsvarar frans-
ka patentskriften 2 392 508 och US patentet 4 212 933, och i
"Preparation of Ceramic Films by Plasma Activated Vapour Depo-
siton (PAVD)" av K.R.Linger, Proceedings of Conferens on "Ion
Plating and Allied Techniques", sidorna 223-229, juni 1977,
publicerad av CEP Consultants Limited, Edinburgh.
I PAVD användes en plasma som medium för kemisk reaktion och
avsättning av en beläggning på ett substrat, och utnyttjar sön-
derfallet av en gas i en elektriskt inducerad plasma. Närbe-
släktade tekniker beskrives i "Codeposition of Glassy Silica
and Germania inside a Tube by Plasma Activated CVD“ av D. Kup-
pers et al, Journal of the Electrochemical Society,Vol 123, No.
7, sidorna 1079-1082, juli 1976.
En typ av anordning för genomförande av PAVD-beläggningspro-
cessen visas i fig. 6, till vilken nu hänvisning göres. I fig.
6 uppbäres ett poröst elektriskt värmeelement 200 horisontellt
av ett aluminiumrör 201, inuti det centrala omrâdet i urborr-
ningen på ett cylindriskt kiselrör 202 med utvidgade ändar 204,
205, varvid aluminiumröret 201 sträcker sig axiellt inuti röret
201 från ett lock 203, som tillsluter den utvidgade änden 204.
Ett utloppsrör 206 från den utvidgade änden 204 är över en va-
kuumventil 208 förbunden med en vakuumpump 209. Den andra utvid-
gade änden 205 är tillsluten genom ett inloppslock 210, som har
ett förbindelserör 212 till en kvicksilvermanometer 214, och ett
inlopp 216 förbundet med ett grenrör 218, som matas av gastill-
förselledningar 220, 222 och 224, vardera styrt genom en resp.
ventil 221, 223 eller 225. Ett ringformigt kiselkärl 226 är rör-
ligt längs rörets 202 utsida och visas omgivande rörets 202
centrala område. Kärlet 226 uppbär en elektriskt isolerad
grafitsusceptor 228, och evakueras ned till ca 1 - 10 torr över
en vakuumventil 230 genom en vakuumpump 232. Kärlet 226 omges
10
15
20
25
30
35
H0
4s4_9z2 .O
i sig av en vattenkyld kopparspiral 236 med åtta varv och
som är kopplad till en högfrekvensgenerator 238 för åstadkom-
mande av ett frekvensintervall på 10”-108 hertz. Jordled-
ningar 2U0, 2ü1 och 2U2 går till värmeelementet 200, locket
203 och den utvidgade änden 20U. Högfrekvensgeneratorn 238 är
också jordad genom en ledning 2H6.
Under drift evakueras röret 202 ned till cirka 0,01 torr genom
vakuumpumpen 219 och fylles sedan med argon genom gastillför-
selledningen 220 till ett vakuumtryck inne i röret 202 på
mellan 0,1 och 100 torr. Högfrekvensgeneratorn 238 matas
typiskt med 1-U kV och U x 105
bygges upp runt värmeelementet 200, under det att susceptorn
hertz, och ett plasmaskikt
228 uppvärmes genom elektrisk induktion och värmer värmeele-
mentet 200. Efter cirka 15-30 minuter, när värmeelementet 200
nått temperaturjämvikt och dess yta rengjorts genom jon-
bombardemang från det joniserade gasformiga argonet, inmatas
den utvalda reaktantgasen eller -gaserna genom lämpliga gas-
tillförselledningar 222 och/eller 22Ä in i röret 221, och
trycket inne i röret 202 hålles inom intervallet 0,1-100 torr
genom justering av lämplig ventil 223, 225 och genom använd-
ning av vakuumventilen 208 och vakuumpumpen 209. En belägg-
ning pålägges nu på värmeelementet 200 genom reaktantgasen
eller -gaserna med en tjocklek som är proportionell mot
tiden. Exempelvis kan en beläggning på 1-5 }nn avsättas inom
cirka 2U timmar. Ventilerna 221, 223 och 225 stänges sedan,
högfrekvensgeneratorn 238 slås ifrån, under det att röret
202 fortsätter att evakueras genom vakuumpumpen 209 för att
tillåta värmeelementet 200 att kylas av under vakuumbetingel-
ser, t.ex. 0,01 torr, varefter värmeelementet 200 avlägsnas
från röret 202.
Därefter avlägsnas det fiberformiga kolet genom oxidation i
luft vid en temperatur över 30000, så att en kiselkarbid-
struktur kvarstår för de fiberformiga rören. En lämplig vär-
mebehandling kommer därefter att göra kiselkarbiden elektriskt
ledande. Beläggningen på det fiberformiga kolvärmeelementet
kan genomföras i anordningen enligt fig. 6, under användning
av en sílan/etylen-blandning som reaktantgaser för avsätt-
ning av en kiselkarbidbeläggning på det fiberformiga kol-
10
15
20
25
30
35
U0
11 454 932
_...
substratet. Fosfingas kan användas tillsammans med silan7etylen-
-blandningen, om så önskas, som dopningsmedel för att med-
verka i att göra kiselkarbidbeläggningen elektriskt ledande
efter värmebehandling genom samtidig avsättning av fosfor i
kiselkarbidbeläggningen. Andra lämpliga dopningsmedel kan
vara bor eller arsenik. Den åtföljande värmebehandlingen av
kiselkarbiden utföres normalt vid 1200-190000 och kan utnyt-
tjas för att uppnå en särskild resistivitet för kiselkarbiden
vid en förutbestämd temperatur. Användning av fosfingas som
dopníngsmedel möjliggör att värmebehandlingstemperaturen för
uppnående av en särskild resistivitet kan reduceras till 800-
-100000. Ett exempel på framställningen av ett sådantkisel-
karbidvärmeelement genom PAVD-processen är enligt följande:
Exempel
Värmeelement karbonisérat från utgångsmaterial vid en lämp-
lig temperatur (650-1ooo°c)
värmeelement längd 120 mm
värmeelement ytterdiameter UH mm
värmeelement innerdiameter 35 mm
Gasströmningsbetingelser Typiskt värde Intervall
60% silan/U0% etylen-
blandning 40 ml/min 10-200 ml/min
argon 260 ml/min 100-500 ml/min
2% fosfin/argon-blandning 10-20 ml/min 5-50 ml/min
reaktantgastryck 1-2 torr 0,1-10 torr
Värmeelementet placeras i röret 202 enligt fig. 6, och röret
202 evakueras därefter ned till ett vakuumtryck på cirka 0,01
torr. Argon släppes in genom gastillförselledníngen 220 till
ett vakuumtryck inne i röret 202 på cirka 1,0 torr. Hög-
frekvensgeneratorn 238 aktiveras därefter och efter cirka 1
timme införes silan/etylen-Élandningen, som skall avsätta
kiselkarbiden, in i röret 202 genom gastillförselledningen
_ 222 och fosfin/argon-blandningen införes i röret 202 genom
gastillförselledningen 220, varvid vakuumtrycket inne i röret
202 upprätthålles vid ca 1,0 torr. Efter ett lämpligt tids-
íntervall, t.ex. M8 timmar, beroende på den erforderliga
tjockleken på kiselkarbidbeläggningen, typiskt 0,5 g/timme
10
15
20
25
BO
35
H0
454 932 12
_..
_.
utfälles, stänges ventilerna 221, 223 och 225, röret 202
evakueras till cirka 0,01 torr och högfrekvensgeneratorn slås
ifrån för att tillåta att det belagda värmeelementet kyles av
under vakuumbetíngelser. Värmeelementet avlägsnas därefter
från röret 202 och skäres till lämpliga längder för att passa
användningen och vilka sedan upphettas i luft vid cirka 900°C
under cirka H timmar för att avlägsna det ursprungliga porösa
kolet från värmeelementet genom oxidation därav. Denna värme-
behandling av varje värmeelement modifierar också strukturen
för kiselkarbídbeläggningen, varigenom den blir elektriskt
ledande och ger den erforderliga elektriska resistiviteten
som en funktion av tiden vid nämnda temperatur. Det skall no-
teras, att avsättningen av kiselkarbid ej behöver vara enhet-
lig utmed hela värmeelementets längd och de kan vara nödvän-
digt att justera värmebehandlingstemperaturen från en element-
sektion till en annan, för att uppnå den erforderliga elekt-
riska resistansen. Denna justering utföres bäst i en stegvis
process i vilken resistansen reduceras i steg till det önska-
de värdet genom progressiv ökning av värmebehandlingstempera-
turen.
Efter värmebehandling hade värmeelement med längder på 10 mm
och 30 mm nedanstående elektriska egenskaper för en kiselkar-
bidbeläggníngstjocklek på mellan 3 och ölpmz
elektrisk resistans (ohm) 1,36 vid 230°C per 10 mm längd
uteffekt (kw) (i) 3,U vid 68 volt (a.c.) för ett
10 mm långt element
1U,1 vid 2U0 volt (a.c.) för ett
30 mm långt element
(ii)
Genom lämpligt val av värmebehandlingstemperatur och uppe-
hållstiden vid denna, kan kiselkarbíd-värmeelement med er-
forderliga resistiviteter produceras.
Även om beläggningen av det porösa kolet beskrivits i_anslut-
till PAVD, kan givetvis lämpliga, alternativa beläggnings-
processer utnyttjas.
De porösa elektriska värmeelementen kan ha andra former eller
10
454 952,
13
'I
IV
storlekar, än de som beskrivits ovan.
Vidare skall införstås, att uppfinningen i de ovan beskrivna
utföríngsformerna också kan användas i alternativa tillämp-
ningar, exempelvis där värmeöverföringsfluidet utgöres av en
gas.
Vidare kan ovan beskrivna porösa elektriska värmeelement an-
vändas vid alternativa tillämpningar för uppvärmning av ett
fluidum.
Det skall noteras, att uppfinningen innefattar ett fluidum-
genomträngligt poröst elektriskt värmeelement, som omfattar
elektriskt ledande, fíberformiga kiselkarbidrör.
Claims (7)
1. Fluidumgenomträngligt, poröst, elektriskt värmeelement, k ä n n e t e c k n a t av att värmeelementet (80) omfattar elektriskt ledande, fiberformiga kiselkarbidrör.
2. värmeelement enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att de individuella fiberformiga kiselkarbidrören har ett hål på cirka 10-20 um och en väggtjocklek på mellan 3 och 6 pm.
3. Förfarande för framställning av ett fluidumgenomträngligt, poröst, elektriskt värmeelement enligt krav 1, k ä n n e - t e c k n a t av bildning av ett fibröst, poröst kolutgângsma- terial, pâläggning på utgângsmaterialet av en beläggning, som omfattar kiselkarbid och ett dopmedel, som medverkat till att göra beläggningen elektriskt ledande, och uppvärmning av det belagda utgângsmateríalet i en syreinnehållande miljö vid en sådan temperatur, att det fiberformiga kolet avlägsnas genom oxidation'och för att åstadkomma en modifiering av beläggning- ens struktur, så att beläggningen blir elektriskt ledande.
4. Förfarande enligt krav 3, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen produceras genom sönderfall av en blandning av en beläggningsgas och en gas innehållande dopmedlet i ett elekt- riskt inducerat plasma. _
5. Förfarande enligt krav 4, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningsgasen omfattar en silan och etylen, och att den dop- medelsinnehâllande gasen utgöres av fosfin och argon.
6. Förfarande enligt krav 4, k ä n n e t e c k n a t av att temperaturen är mellan 800 och 1000°C.
7. Användning av värmeelement enligt något av kraven 1 och 2 för fluiduppvärmning. .ll al:
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB7920666 | 1979-06-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE8102972L SE8102972L (sv) | 1981-05-12 |
SE454932B true SE454932B (sv) | 1988-06-06 |
Family
ID=10505830
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE8004352A SE8004352L (sv) | 1979-06-14 | 1980-06-11 | Vermeoverforingselement och -system |
SE8102972A SE454932B (sv) | 1979-06-14 | 1981-05-12 | Fluidumgenomtrengligt, porost, elektriskt vermeelement, forfarande for framstellning av elementet och anvendning av detsamma |
SE8203612A SE8203612L (sv) | 1979-06-14 | 1982-06-10 | Sett att tillverka en elektriskt ledande beleggning |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE8004352A SE8004352L (sv) | 1979-06-14 | 1980-06-11 | Vermeoverforingselement och -system |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE8203612A SE8203612L (sv) | 1979-06-14 | 1982-06-10 | Sett att tillverka en elektriskt ledande beleggning |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4982068A (sv) |
JP (1) | JPS568220A (sv) |
CH (2) | CH653200A5 (sv) |
DE (1) | DE3022259A1 (sv) |
FR (3) | FR2459602A1 (sv) |
GB (3) | GB2056829B (sv) |
IT (1) | IT1147749B (sv) |
NL (1) | NL8003493A (sv) |
SE (3) | SE8004352L (sv) |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE82627T1 (de) * | 1981-12-14 | 1984-02-16 | United Kingdom Atomic Energy Authority, London | Stroemungsdurchlaessiges, poroeses, elektrisches heizelement. |
JPS58158915A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-21 | Fujitsu Ltd | 薄膜生成装置 |
US4496336A (en) * | 1982-04-29 | 1985-01-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pulley device |
GB2133866B (en) * | 1983-01-19 | 1986-02-19 | Atomic Energy Authority Uk | Gas ignition |
GB8301427D0 (en) * | 1983-01-19 | 1983-02-23 | Atomic Energy Authority Uk | Gaseous fuel ignition |
US4571481A (en) * | 1983-03-11 | 1986-02-18 | Raychem Corporation | Method and apparatus for electrically heating diesel fuel |
US4529866A (en) * | 1983-03-11 | 1985-07-16 | Raychem Corporation | Method and apparatus for electrically heating diesel fuel |
LU84838A1 (fr) * | 1983-05-31 | 1985-03-21 | Belge Isolants | Procede de fabrication de resistances electriques et d'appareils chauffants |
US5094906A (en) * | 1988-08-15 | 1992-03-10 | Exxon Research And Engineering Company | Ceramic microtubular materials and method of making same |
US5011566A (en) * | 1989-03-15 | 1991-04-30 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Method of manufacturing microscopic tube material |
US5352512A (en) * | 1989-03-15 | 1994-10-04 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Microscopic tube material and its method of manufacture |
US5117482A (en) * | 1990-01-16 | 1992-05-26 | Automated Dynamics Corporation | Porous ceramic body electrical resistance fluid heater |
US6194066B1 (en) * | 1991-04-24 | 2001-02-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Microscopic tube devices and method of manufacture |
US5789045A (en) * | 1994-04-15 | 1998-08-04 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Microtubes devices based on surface tension and wettability |
JPH06223331A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド |
US5609912A (en) * | 1995-09-08 | 1997-03-11 | Georgia Tech Research Corp. | Ceramic fabric forming method |
US20030164225A1 (en) * | 1998-04-20 | 2003-09-04 | Tadashi Sawayama | Processing apparatus, exhaust processing process and plasma processing |
ES2153737B1 (es) * | 1998-05-27 | 2001-09-16 | Serveis De Produccio Empresari | Perfeccionamientos en la refrigeracion de calandras en lineas de extrusionado. |
US6262401B1 (en) * | 1998-12-30 | 2001-07-17 | Aos Holding Company | Gold-plated water heater element and method of making same |
US6205291B1 (en) * | 1999-08-25 | 2001-03-20 | A. O. Smith Corporation | Scale-inhibiting heating element and method of making same |
EP1290916B1 (de) * | 2000-06-14 | 2003-12-17 | Elias Russegger | Elektrische heizvorrichtung |
US20030233977A1 (en) * | 2002-06-20 | 2003-12-25 | Yeshwanth Narendar | Method for forming semiconductor processing components |
DE10247203B4 (de) * | 2002-10-10 | 2004-11-04 | Wacker-Chemie Gmbh | Heizelement zum Erhitzen von aggresiven Gasen |
US6881262B1 (en) | 2002-12-23 | 2005-04-19 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Methods for forming high purity components and components formed thereby |
US6825123B2 (en) * | 2003-04-15 | 2004-11-30 | Saint-Goban Ceramics & Plastics, Inc. | Method for treating semiconductor processing components and components formed thereby |
US8396216B2 (en) * | 2003-11-21 | 2013-03-12 | Howard G. Pinder | Partial dual-encryption using program map tables |
US7501370B2 (en) * | 2004-01-06 | 2009-03-10 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | High purity silicon carbide wafer boats |
US8058174B2 (en) * | 2007-12-20 | 2011-11-15 | Coorstek, Inc. | Method for treating semiconductor processing components and components formed thereby |
DE102009039920A1 (de) * | 2009-09-03 | 2011-03-10 | Karl-Heinz Tetzlaff | Verfahren und Vorrichtung zur Nutzung von Sauerstoff bei der Dampfreformierung von Biomasse |
DE102009039837A1 (de) * | 2009-09-03 | 2011-03-10 | Karl-Heinz Tetzlaff | Elektrische Heizung für einen Wirbelschichtreaktor zur Herstellung von Synthesegas |
TW201129719A (en) * | 2009-10-20 | 2011-09-01 | Saint Gobain Ceramics | Microelectronic processing component having corrosion-resistant layer, microelectronic workpiece processing apparatus incorporating same, and method of forming an article having the corrosion-resistant layer |
WO2012050964A1 (en) * | 2010-09-29 | 2012-04-19 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Systems and methods using a glassy carbon heater |
DE102011006850A1 (de) * | 2011-04-06 | 2012-10-11 | Schunk Kohlenstofftechnik Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Widerstandsheizelements sowie Widerstandsheizelement |
GB201113655D0 (en) * | 2011-08-08 | 2011-09-21 | Surface Generation Ltd | Tool temperature control |
AT517592B1 (de) * | 2015-11-27 | 2017-03-15 | Engel Austria Gmbh | Temperiervorrichtung |
DE102017124842A1 (de) * | 2017-10-24 | 2019-04-25 | HAHN ENERSAVE GmbH | System zum Temperieren eines Formwerkzeugs mit separater Heizeinheit |
DE102019203227A1 (de) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | Audi Ag | Formwerkzeug zum Urformen oder Umformen eines Werkstücks mit einer Temperiereinrichtung |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE236454C (sv) * | ||||
GB440762A (en) * | 1935-03-09 | 1936-01-06 | Int Resistance Co | Improvements in resistance units and method of making the same |
US3390452A (en) * | 1963-03-29 | 1968-07-02 | Irc Inc | Method of making an electrical resistor |
US3409469A (en) * | 1964-03-05 | 1968-11-05 | United Aircraft Corp | Vapor coating conductive filaments utilizing uniform temperature |
CH431749A (de) * | 1964-07-28 | 1967-03-15 | J Schladitz Hermann | Widerstandserhitzer |
US4019021A (en) * | 1964-07-28 | 1977-04-19 | Schladitz-Whiskers, A.G. | Electric resistance fluid heating apparatus |
US3335049A (en) * | 1965-03-10 | 1967-08-08 | Corning Glass Works | Manufacture of silica-sheathed silicon carbide fibers and the product thereof |
FR1479015A (fr) * | 1966-05-09 | 1967-04-28 | Texas Instruments Inc | Nouveau procédé de dépôt en phase vapeur et produit obtenu par ce procédé |
GB1215002A (en) * | 1967-02-02 | 1970-12-09 | Courtaulds Ltd | Coating carbon with metal |
US3622369A (en) * | 1967-02-24 | 1971-11-23 | United Aircraft Corp | Process for forming stoichiometric silicon carbide coatings and filaments |
GB1283352A (en) * | 1968-04-30 | 1972-07-26 | British Petroleum Co | Heater |
GB1286815A (en) * | 1968-11-25 | 1972-08-23 | Morganite Resistors Ltd | Improvements in and relating to electrical resistance elements |
GB1325675A (en) * | 1969-08-06 | 1973-08-08 | Atomic Energy Authority Uk | Heat treatment of fluids |
FR2025322A5 (en) * | 1969-10-27 | 1970-09-04 | Saratovsky Zadov Elektro | Vacuum-depositing carbon on ceramics for - layer resistors |
US3700827A (en) * | 1970-01-31 | 1972-10-24 | Nippon Electric Co | Magnetic head including thin magnetic film separated by a gap spacer |
US3720536A (en) * | 1970-06-18 | 1973-03-13 | United Aircraft Corp | Treatment of carbon fibers |
US3682686A (en) * | 1970-08-06 | 1972-08-08 | Akechi Taikarengo Kk | Method of manufacturing carbonaceous refractory products |
DE2055927C3 (de) * | 1970-11-13 | 1978-04-20 | Schladitz-Whiskers Ag, Zug (Schweiz) | Poröser, elektrisch leitender Gegenstand, insbesondere elektrisches Heizelement |
US3811927A (en) * | 1971-03-10 | 1974-05-21 | Great Lakes Carbon Corp | Process for vapor deposition on glassy-carbon substrate |
CS162634B2 (sv) * | 1971-07-07 | 1975-07-15 | ||
CA977995A (en) * | 1972-01-10 | 1975-11-18 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for making rigid, electrically conductive, cellular structures |
DE2363415C3 (de) * | 1972-12-22 | 1978-06-01 | Kureha Kagaku Kogyo K.K., Tokio | Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Kohlenstoff-Fasern |
GB1444461A (en) * | 1973-02-02 | 1976-07-28 | Sigri Elektrographit Gmbh | Porous heating devices |
DE2305105B2 (de) * | 1973-02-02 | 1978-05-03 | Sigri Elektrographit Gmbh, 8901 Meitingen | Poröses Heizelement |
GB1466240A (en) * | 1973-02-26 | 1977-03-02 | Atomic Energy Authority Uk | Heating devices |
US3927186A (en) * | 1973-02-28 | 1975-12-16 | Chemotronics International Inc | Method for the preparation of carbon structures |
DE2315268C3 (de) * | 1973-03-27 | 1978-08-17 | Hermann J. Prof. 8000 Muenchen Schladitz | Elektrische Heizvorrichtung |
JPS5035730A (sv) * | 1973-07-10 | 1975-04-04 | ||
DE2356401C2 (de) * | 1973-11-12 | 1987-12-23 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Poröses Heizelement aus kohlenstoffhaltigem Material |
DE2364654A1 (de) * | 1973-12-24 | 1975-06-26 | Sigri Elektrographit Gmbh | Heizvorrichtung |
GB1514171A (en) * | 1974-01-11 | 1978-06-14 | Atomic Energy Authority Uk | Manufacture of porous carbon bodies |
GB1476327A (en) * | 1974-03-14 | 1977-06-10 | Boc International Ltd | Electric heaters |
ZA761096B (en) * | 1975-03-03 | 1977-02-23 | Ici Ltd | Fibres |
GB1503644A (en) * | 1975-04-21 | 1978-03-15 | Fogarty & Co Ltd E | Method and apparatus for forming fibrous cylindrical element |
JPS526714A (en) * | 1975-07-05 | 1977-01-19 | Tohoku Daigaku Kinzoku Zairyo | Manufacture of carbon products coated with silicon carbide |
DE2611832A1 (de) * | 1976-03-19 | 1977-09-22 | Linde Ag | Verfahren und vorrichtung zum flussmittellosen loeten |
GB1592063A (en) * | 1978-05-08 | 1981-07-01 | Chloride Silent Power Ltd | Sodium sulphur cells |
GB1600253A (en) * | 1977-05-23 | 1981-10-14 | Atomic Energy Authority Uk | Porous heater elements |
SU670341A1 (ru) * | 1978-01-02 | 1979-06-30 | Научно-исследовательский институт технологии машиностроения | Установка дл нанесени покрытий струйным обливом |
US4220846A (en) * | 1978-07-26 | 1980-09-02 | The Fluorocarbon Company | Method and apparatus utilizing a porous vitreous carbon body particularly for fluid heating |
JPH01317726A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 弗素樹脂積層板の製造方法 |
-
1980
- 1980-06-11 SE SE8004352A patent/SE8004352L/sv not_active Application Discontinuation
- 1980-06-13 FR FR8013259A patent/FR2459602A1/fr active Granted
- 1980-06-13 DE DE19803022259 patent/DE3022259A1/de active Granted
- 1980-06-13 GB GB8019459A patent/GB2056829B/en not_active Expired
- 1980-06-13 GB GB8128591A patent/GB2083330B/en not_active Expired
- 1980-06-13 GB GB8134696A patent/GB2086875B/en not_active Expired
- 1980-06-13 CH CH2919/81A patent/CH653200A5/de not_active IP Right Cessation
- 1980-06-13 CH CH4587/80A patent/CH653199A5/de not_active IP Right Cessation
- 1980-06-13 IT IT67932/80A patent/IT1147749B/it active
- 1980-06-14 JP JP8082480A patent/JPS568220A/ja active Pending
- 1980-06-16 NL NL8003493A patent/NL8003493A/nl not_active Application Discontinuation
- 1980-09-19 FR FR8020264A patent/FR2461424A1/fr active Granted
-
1981
- 1981-05-12 SE SE8102972A patent/SE454932B/sv not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-05-13 FR FR8208363A patent/FR2503589A1/fr active Granted
- 1982-06-10 SE SE8203612A patent/SE8203612L/sv unknown
-
1989
- 1989-11-28 US US07/442,896 patent/US4982068A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2459602A1 (fr) | 1981-01-09 |
GB2056829A (en) | 1981-03-18 |
US4982068A (en) | 1991-01-01 |
JPS568220A (en) | 1981-01-28 |
GB2086875A (en) | 1982-05-19 |
IT8067932A0 (it) | 1980-06-13 |
IT1147749B (it) | 1986-11-26 |
GB2086875B (en) | 1983-05-11 |
FR2461424A1 (fr) | 1981-01-30 |
DE3022259A1 (de) | 1980-12-18 |
GB2056829B (en) | 1983-09-14 |
SE8203612L (sv) | 1982-06-10 |
GB2083330A (en) | 1982-03-17 |
CH653199A5 (de) | 1985-12-13 |
FR2459602B1 (sv) | 1983-10-14 |
DE3022259C2 (sv) | 1989-10-19 |
SE8102972L (sv) | 1981-05-12 |
GB2083330B (en) | 1983-11-23 |
SE8004352L (sv) | 1980-12-15 |
FR2503589A1 (fr) | 1982-10-15 |
NL8003493A (nl) | 1980-12-16 |
CH653200A5 (de) | 1985-12-13 |
FR2503589B1 (sv) | 1983-11-18 |
FR2461424B1 (sv) | 1985-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE454932B (sv) | Fluidumgenomtrengligt, porost, elektriskt vermeelement, forfarande for framstellning av elementet och anvendning av detsamma | |
EP0734463B1 (en) | Gas diffuser plate assembly and rf electrode | |
KR890002743B1 (ko) | 화학 증착 장치 | |
US7531061B2 (en) | Gas temperature control for a plasma process | |
US5554255A (en) | Method of and apparatus for a direct voltage arc discharge enhanced reactive treatment of objects | |
US4150168A (en) | Method and apparatus for manufacturing high-purity silicon rods | |
US5177878A (en) | Apparatus and method for treating flat substrate under reduced pressure in the manufacture of electronic devices | |
US6749824B2 (en) | Chemical vapor deposition system for polycrystalline silicon rod production | |
US3720499A (en) | Process for producing pyrolytic graphite | |
KR19990021890A (ko) | 플라즈마 에칭 시스템 | |
CN2820878Y (zh) | 等离子增强热丝化学气相沉积薄膜装置 | |
EP0082627A1 (en) | An improved fluid permeable porous electric heating element | |
US3964430A (en) | Semi-conductor manufacturing reactor instrument with improved reactor tube cooling | |
US3459152A (en) | Apparatus for epitaxially producing a layer on a substrate | |
US3340848A (en) | Apparatus for producing purs semiconductor material | |
JPH11118067A (ja) | ボディーの均一加熱装置 | |
GB2264617A (en) | Porous heating element | |
JPS642668B2 (sv) | ||
JPS62256966A (ja) | 成膜装置 | |
KR19980042940U (ko) | 매엽식 저압화학기상증착용 원료개스 주입기 | |
JPS60116782A (ja) | 堆積膜の製造装置 | |
GB2243278A (en) | Gas heater |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8102972-0 Effective date: 19930109 Format of ref document f/p: F |