RU99104176A - Способ создания струйной печатающей головки, печатающая головка для эжекции жидкости и маска многоплотностного уровня - Google Patents
Способ создания струйной печатающей головки, печатающая головка для эжекции жидкости и маска многоплотностного уровняInfo
- Publication number
- RU99104176A RU99104176A RU99104176/12A RU99104176A RU99104176A RU 99104176 A RU99104176 A RU 99104176A RU 99104176/12 A RU99104176/12 A RU 99104176/12A RU 99104176 A RU99104176 A RU 99104176A RU 99104176 A RU99104176 A RU 99104176A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- slow
- crosslinking material
- layer
- image
- liquid
- Prior art date
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 16
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 5
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 4
- 239000000975 dye Substances 0.000 claims 4
- 150000002118 epoxides Chemical class 0.000 claims 3
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 claims 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 3
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 2
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
Claims (10)
1. Способ создания струйной печатающей головки, имеющей полупроводниковую подложку (20), содержащую первую поверхность и вторую поверхность, имеющую множество подающих жидкость прорезей (30), проходящих через полупроводниковую подложку (20) и соединенных со множеством подающих жидкость каналов (44) на указанной второй поверхности, отличающийся тем, что включает стадии нанесения слоя медленносшивающегося материала (34) на первую поверхность полупроводниковой подложки (20), переноса изображения жиклера (42) и изображения жидкостной полости (43) на нанесенный слой медленносшивающегося материала (34) и проявления тех частей слоя медленносшивающегося материала (34), где перенесенное изображение жиклера (42) располагается с определением местоположения соответствующего жиклерного отверстия, а перенесенное изображение жидкостной полости (43) располагается с определением местоположения соответствующего отверстия жидкостной полости.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что стадия нанесения медленносшивающегося материала (34) дополнительно включает стадию выбора медленносшивающегося материала (34) из группы, состоящей из различных слоев фотокопирующего полимера и оптических красителей, смесей фотокопирующего полимера и оптических красителей, и фотокопирующего полимера.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что стадия нанесения медленносшивающегося материала (34) дополнительно включает стадию выбора медленносшивающегося материала (34) из группы, состоящей из различных слоев фотокопирующего эпоксида и оптических красителей, смесей фотокопирующего эпоксида и оптических красителей, и фотокопирующего эпоксида.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что стадия нанесения слоя медленносшивающегося материала (34) дополнительно включает стадию нанесения наносимого слоя медленносшивающегося материала (34) толщиной 8-34 мкм.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что стадия переноса изображения жиклера (42) и изображения жидкостной полости (43) включает дополнительно облучение медленносшивающегося материала (34) электромагнитной энергией через маску многоплотностного уровня.
6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что стадия переноса изображения жиклера (42) и изображения жидкостной полости (43) дополнительно включает облучение медленносшивающегося материала (34) высокой дозой электромагнитной энергии с использованием шаблона и облучение медленносшивающегося материала (34) низкой дозой электромагнитной энергии с использованием шаблона.
7. Печатающая головка для эжекции жидкости, использующая полупроводниковую подложку, отличающаяся тем, что содержит полупроводниковую подложку (20), имеющую первую и вторую поверхности, пакет тонкопленочных слоев (50), присоединенный к первой поверхности полупроводниковой подложки (20), причем пакет тонкопленочных слоев (50) дополнительно содержит рассеивающий энергию элемент (32), и определяет подающую жидкость прорезь (30), слой медленносшивающегося материала (34), имеющий выполненный в нем жиклер (42), причем медленносшивающий материал (34) нанесен на пакет тонкопленочных слоев (50), жиклер (42) расположен сверху рассеивающего энергию элемента (32), а слой медленносшивающегося материала (34) имеет выполненную в нем жидкостную полость (43), при этом жидкостная полость (43) расположена сверху подающей жидкость прорези (30); и подающий жидкость канал (44), расположенный во второй поверхности полупроводниковой подложки (20) и выходящий в подающую жидкость прорезь (30).
8. Маска многоплотностного уровня, отличающаяся тем, что содержит проницаемую кварцевую подложку (200); выполненный по шаблону слой полупроницаемого диэлектрического материала (212), нанесенный на проницаемую кварцевую подложку (200); и выполненный по шаблону слой непроницаемого материала (224), нанесенный на выполненный по шаблону слой полупроницаемого диэлектрического материала (212).
9. Маска многоплотностного уровня по п. 8, отличающаяся тем, что выполненный по шаблону слой полупроницаемую диэлектрического материала (212) является полупроницаемым в оптическом интервале длин волн 365-436 нм.
10. Маска многоплотностного уровня по п. 8, отличающаяся тем, что выполненным по шаблону слоем полупроницаемого диэлектрического материала (212) является FeO2.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/033,987 US6162589A (en) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | Direct imaging polymer fluid jet orifice |
US09/033,987 | 1998-03-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU99104176A true RU99104176A (ru) | 2001-02-10 |
RU2221701C2 RU2221701C2 (ru) | 2004-01-20 |
Family
ID=21873622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU99104176/12A RU2221701C2 (ru) | 1998-03-02 | 1999-03-01 | Способ создания струйной печатающей головки, печатающая головка для эжекции жидкости и маска многоплотностного уровня |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6162589A (ru) |
EP (2) | EP1595703A3 (ru) |
JP (1) | JP4233672B2 (ru) |
KR (1) | KR100563356B1 (ru) |
CN (1) | CN1142856C (ru) |
BR (1) | BR9900203A (ru) |
DE (1) | DE69928978T2 (ru) |
ES (1) | ES2251153T3 (ru) |
RU (1) | RU2221701C2 (ru) |
TW (1) | TW404893B (ru) |
Families Citing this family (97)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6543884B1 (en) | 1996-02-07 | 2003-04-08 | Hewlett-Packard Company | Fully integrated thermal inkjet printhead having etched back PSG layer |
US6305790B1 (en) | 1996-02-07 | 2001-10-23 | Hewlett-Packard Company | Fully integrated thermal inkjet printhead having multiple ink feed holes per nozzle |
US6162589A (en) * | 1998-03-02 | 2000-12-19 | Hewlett-Packard Company | Direct imaging polymer fluid jet orifice |
US6336714B1 (en) | 1996-02-07 | 2002-01-08 | Hewlett-Packard Company | Fully integrated thermal inkjet printhead having thin film layer shelf |
TW525078B (en) | 1998-05-20 | 2003-03-21 | Sony Computer Entertainment Inc | Image processing device, method and providing media |
TW369485B (en) * | 1998-07-28 | 1999-09-11 | Ind Tech Res Inst | Monolithic producing method for chip of ink-jet printing head |
IT1309735B1 (it) * | 1999-12-27 | 2002-01-30 | Olivetti Lexikon Spa | Testina a canali multipli di alimentazione dell'inchiostro |
US6482574B1 (en) * | 2000-04-20 | 2002-11-19 | Hewlett-Packard Co. | Droplet plate architecture in ink-jet printheads |
US6402301B1 (en) | 2000-10-27 | 2002-06-11 | Lexmark International, Inc | Ink jet printheads and methods therefor |
US6375313B1 (en) * | 2001-01-08 | 2002-04-23 | Hewlett-Packard Company | Orifice plate for inkjet printhead |
US7594507B2 (en) * | 2001-01-16 | 2009-09-29 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thermal generation of droplets for aerosol |
US6481832B2 (en) * | 2001-01-29 | 2002-11-19 | Hewlett-Packard Company | Fluid-jet ejection device |
US6520628B2 (en) * | 2001-01-30 | 2003-02-18 | Hewlett-Packard Company | Fluid ejection device with substrate having a fluid firing device and a fluid reservoir on a first surface thereof |
GB0113639D0 (en) * | 2001-06-05 | 2001-07-25 | Xaar Technology Ltd | Nozzle plate for droplet deposition apparatus |
US6561632B2 (en) | 2001-06-06 | 2003-05-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead with high nozzle packing density |
US6922203B2 (en) | 2001-06-06 | 2005-07-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Barrier/orifice design for improved printhead performance |
US6626522B2 (en) | 2001-09-11 | 2003-09-30 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Filtering techniques for printhead internal contamination |
US6604814B2 (en) | 2001-09-28 | 2003-08-12 | Hewlett-Packard Development Company, Lp | Arrangements of interconnect circuit and fluid drop generators |
US6652072B2 (en) | 2001-09-28 | 2003-11-25 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Interconnect circuit |
US6499835B1 (en) | 2001-10-30 | 2002-12-31 | Hewlett-Packard Company | Ink delivery system for an inkjet printhead |
US6543879B1 (en) | 2001-10-31 | 2003-04-08 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead assembly having very high nozzle packing density |
US6464343B1 (en) * | 2001-10-31 | 2002-10-15 | Hewlett-Packard Company | Ink jet printhead having thin film structures for improving barrier island adhesion |
KR100396559B1 (ko) * | 2001-11-05 | 2003-09-02 | 삼성전자주식회사 | 일체형 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법 |
US7357486B2 (en) * | 2001-12-20 | 2008-04-15 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of laser machining a fluid slot |
EP1769872A3 (en) * | 2001-12-20 | 2007-04-11 | Hewlett-Packard Company | Method of laser machining a fluid slot |
US20030155328A1 (en) | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Huth Mark C. | Laser micromachining and methods and systems of same |
JP3912663B2 (ja) * | 2002-02-26 | 2007-05-09 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルター用画素の形成方法、液晶表示装置用カラーフィルター、液晶表示装置用スペーサー及び配向制御用突起の形成方法、液晶表示装置用スペーサー及び配向制御用突起 |
KR100413693B1 (ko) * | 2002-04-02 | 2004-01-03 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법 |
US6675775B2 (en) * | 2002-04-10 | 2004-01-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | System and method for delivering combustible liquids |
US6527368B1 (en) | 2002-04-30 | 2003-03-04 | Hewlett-Packard Company | Layer with discontinuity over fluid slot |
JP2004012564A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像形成方法 |
US6607264B1 (en) | 2002-06-18 | 2003-08-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid controlling apparatus |
KR100428793B1 (ko) * | 2002-06-26 | 2004-04-28 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조 방법 |
US6739519B2 (en) * | 2002-07-31 | 2004-05-25 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Plurality of barrier layers |
KR100474471B1 (ko) * | 2002-08-20 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 모노리식 버블 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
KR100445004B1 (ko) * | 2002-08-26 | 2004-08-21 | 삼성전자주식회사 | 모노리틱 잉크 젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법 |
CN100532103C (zh) * | 2002-09-24 | 2009-08-26 | 柯尼卡美能达控股株式会社 | 静电吸引式液体喷射头的制造方法,喷嘴板的制造方法,静电吸引式液体喷射装置 |
US6824246B2 (en) * | 2002-11-23 | 2004-11-30 | Kia Silverbrook | Thermal ink jet with thin nozzle plate |
US6672709B1 (en) * | 2002-11-23 | 2004-01-06 | Silverbrook Research Pty Ltd | Self-cooling thermal ink jet printhead |
US6926390B2 (en) | 2003-02-05 | 2005-08-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming mixed-phase compressive tantalum thin films using nitrogen residual gas, thin films and fluid ejection devices including same |
US6916090B2 (en) * | 2003-03-10 | 2005-07-12 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Integrated fluid ejection device and filter |
US6709805B1 (en) | 2003-04-24 | 2004-03-23 | Lexmark International, Inc. | Inkjet printhead nozzle plate |
US6893116B2 (en) | 2003-04-29 | 2005-05-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device with compressive alpha-tantalum layer |
US6955835B2 (en) * | 2003-04-30 | 2005-10-18 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for forming compressive alpha-tantalum on substrates and devices including the same |
EP1489460A3 (en) * | 2003-06-20 | 2008-07-09 | FUJIFILM Corporation | Light-sensitive sheet comprising support, first light-sensitive layer and second light-sensitive layer |
US7309467B2 (en) * | 2003-06-24 | 2007-12-18 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluidic MEMS device |
WO2005035255A1 (en) | 2003-09-17 | 2005-04-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Plurality of barrier layers |
US7029099B2 (en) * | 2003-10-30 | 2006-04-18 | Eastman Kodak Company | Method of producing ink jet chambers using photo-imageable materials |
US20050130075A1 (en) * | 2003-12-12 | 2005-06-16 | Mohammed Shaarawi | Method for making fluid emitter orifice |
US20050145715A1 (en) | 2003-12-31 | 2005-07-07 | Koegler John M.Iii | Drop ejector for ejecting discrete drops of liquid |
US20050260522A1 (en) * | 2004-02-13 | 2005-11-24 | William Weber | Permanent resist composition, cured product thereof, and use thereof |
US7497536B2 (en) | 2004-04-19 | 2009-03-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device |
US7278703B2 (en) | 2004-04-19 | 2007-10-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device with identification cells |
US7384113B2 (en) | 2004-04-19 | 2008-06-10 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device with address generator |
US7722144B2 (en) | 2004-04-19 | 2010-05-25 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device |
US7278715B2 (en) | 2004-04-19 | 2007-10-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Device with gates configured in loop structures |
KR100570822B1 (ko) * | 2004-05-11 | 2006-04-12 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 헤드의 제조방법 및 그에 의해 제조된 잉크젯 헤드 |
US7449280B2 (en) * | 2004-05-26 | 2008-11-11 | Microchem Corp. | Photoimageable coating composition and composite article thereof |
CN100496980C (zh) * | 2004-06-02 | 2009-06-10 | 佳能株式会社 | 头基板、记录头、头盒及记录装置 |
US7325309B2 (en) * | 2004-06-08 | 2008-02-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of manufacturing a fluid ejection device with a dry-film photo-resist layer |
US7322104B2 (en) * | 2004-06-25 | 2008-01-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for producing an ink jet head |
US7267431B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-09-11 | Lexmark International, Inc. | Multi-fluid ejection device |
JP4280732B2 (ja) | 2004-07-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 記録装置、データ処理装置、マスク製造方法およびマスクパターン |
US7169538B2 (en) * | 2004-09-10 | 2007-01-30 | Lexmark International, Inc. | Process for making a micro-fluid ejection head structure |
US7585616B2 (en) * | 2005-01-31 | 2009-09-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for making fluid emitter orifice |
JP2006347072A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、および液体吐出記録装置 |
US8043517B2 (en) * | 2005-09-19 | 2011-10-25 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming openings in substrates and inkjet printheads fabricated thereby |
US7364268B2 (en) * | 2005-09-30 | 2008-04-29 | Lexmark International, Inc. | Nozzle members, compositions and methods for micro-fluid ejection heads |
EP1957282B1 (en) * | 2005-12-02 | 2013-04-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head producing method |
KR100754201B1 (ko) * | 2006-01-10 | 2007-09-03 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯헤드 제조방법 |
DE102006005419B4 (de) * | 2006-02-03 | 2019-05-02 | Infineon Technologies Ag | Mikroelektromechanisches Halbleiterbauelement mit Hohlraumstruktur und Verfahren zur Herstellung desselben |
US7807506B2 (en) | 2006-02-03 | 2010-10-05 | Infineon Technologies Ag | Microelectromechanical semiconductor component with cavity structure and method for producing the same |
JP4834426B2 (ja) | 2006-03-06 | 2011-12-14 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
US20080055363A1 (en) * | 2006-09-06 | 2008-03-06 | Eastman Kodak Company | Large area array print head |
US7926917B2 (en) * | 2006-12-06 | 2011-04-19 | Canon Kabushiki Kaisha. | Liquid recording head |
US7857422B2 (en) * | 2007-01-25 | 2010-12-28 | Eastman Kodak Company | Dual feed liquid drop ejector |
KR101155989B1 (ko) * | 2007-06-21 | 2012-06-18 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 |
JP5058719B2 (ja) | 2007-08-30 | 2012-10-24 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 |
EP2242652B1 (en) * | 2007-12-19 | 2015-03-18 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fuse chambers on a substrate |
WO2009082391A1 (en) * | 2007-12-20 | 2009-07-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Droplet generator |
JP5087681B2 (ja) * | 2008-02-06 | 2012-12-05 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | ノズルから流体を吐出させるための装置及び発射セル |
RU2443566C1 (ru) * | 2008-05-22 | 2012-02-27 | Кэнон Кабусики Кайся | Головка для выбрасывания жидкости и способ изготовления головки для выбрасывания жидкости |
JP5679665B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2015-03-04 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
JP5698739B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2015-04-08 | ヴィデオジェット テクノロジーズ インコーポレイテッド | 耐溶媒性サーマルインクジェット印刷ヘッド |
US8960886B2 (en) | 2009-06-29 | 2015-02-24 | Videojet Technologies Inc. | Thermal inkjet print head with solvent resistance |
US8531952B2 (en) | 2009-11-30 | 2013-09-10 | The Hong Kong Polytechnic University | Method for measurement of network path capacity with minimum delay difference |
US8806751B2 (en) * | 2010-04-27 | 2014-08-19 | Eastman Kodak Company | Method of manufacturing printhead including polymeric filter |
JP5506600B2 (ja) | 2010-08-25 | 2014-05-28 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
CN102191289B (zh) * | 2011-03-18 | 2012-08-15 | 宁夏伊品生物科技股份有限公司 | 赖氨酸的发酵制备 |
JP5546504B2 (ja) * | 2011-07-14 | 2014-07-09 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッドの製造方法 |
US8870345B2 (en) * | 2012-07-16 | 2014-10-28 | Xerox Corporation | Method of making superoleophobic re-entrant resist structures |
US8778599B2 (en) * | 2012-11-21 | 2014-07-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing ink ejection head |
US9006845B2 (en) * | 2013-01-16 | 2015-04-14 | Infineon Technologies, A.G. | MEMS device with polymer layer, system of a MEMS device with a polymer layer, method of making a MEMS device with a polymer layer |
CN104669787B (zh) * | 2013-11-28 | 2017-11-03 | 珠海赛纳打印科技股份有限公司 | 液体喷射装置及其制造方法 |
US9586399B2 (en) | 2015-03-30 | 2017-03-07 | Funai Electric Co., Ltd. | Fluid ejection device for depositing a discrete quantity of fluid onto a surface |
CN108349254B (zh) * | 2015-10-12 | 2020-10-30 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 打印头 |
CN111269335A (zh) * | 2020-04-08 | 2020-06-12 | 中国石油大学(华东) | 一种缓交联主客体包合凝胶深部调驱剂及其制备方法、应用 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4394670A (en) * | 1981-01-09 | 1983-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method for fabrication thereof |
IT1137506B (it) * | 1981-03-13 | 1986-09-10 | Anic Spa | Composizione per il rivestimento delle pareti dei reattori e delle apparecchiature collegate,destinate alla polimerizzazione di composti vinilici,idonea ad evitare o ridurre depositi ed incrostazioni delle stesse apparecchiature e metodo per la sua utilizzazione |
US4456371A (en) * | 1982-06-30 | 1984-06-26 | International Business Machines Corporation | Optical projection printing threshold leveling arrangement |
JPS60128447A (ja) | 1983-12-14 | 1985-07-09 | Fujitsu Ltd | フオトマスク |
JP2635043B2 (ja) * | 1986-04-28 | 1997-07-30 | ヒューレット・パッカード・カンパニー | 熱インクジエツト式プリントヘツド |
US4770947A (en) * | 1987-01-02 | 1988-09-13 | International Business Machines Corporation | Multiple density mask and fabrication thereof |
US4789425A (en) * | 1987-08-06 | 1988-12-06 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead fabricating process |
DE69127801T2 (de) * | 1990-12-19 | 1998-02-05 | Canon Kk | Herstellungsverfahren für flüssigkeitsausströmenden Aufzeichnungskopf |
US5198834A (en) * | 1991-04-02 | 1993-03-30 | Hewlett-Packard Company | Ink jet print head having two cured photoimaged barrier layers |
US5160577A (en) * | 1991-07-30 | 1992-11-03 | Deshpande Narayan V | Method of fabricating an aperture plate for a roof-shooter type printhead |
US5278584A (en) * | 1992-04-02 | 1994-01-11 | Hewlett-Packard Company | Ink delivery system for an inkjet printhead |
JPH07156409A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-06-20 | Xerox Corp | 一体形成した流路構造を有するインクジェット・プリントヘッドおよびその作製方法 |
US5376483A (en) * | 1993-10-07 | 1994-12-27 | Micron Semiconductor, Inc. | Method of making masks for phase shifting lithography |
US5589303A (en) * | 1994-12-30 | 1996-12-31 | Lucent Technologies Inc. | Self-aligned opaque regions for attenuating phase-shifting masks |
US6461798B1 (en) * | 1995-03-31 | 2002-10-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for the production of an ink jet head |
US5658471A (en) * | 1995-09-22 | 1997-08-19 | Lexmark International, Inc. | Fabrication of thermal ink-jet feed slots in a silicon substrate |
US6162589A (en) * | 1998-03-02 | 2000-12-19 | Hewlett-Packard Company | Direct imaging polymer fluid jet orifice |
US5914202A (en) * | 1996-06-10 | 1999-06-22 | Sharp Microeletronics Technology, Inc. | Method for forming a multi-level reticle |
US6045215A (en) * | 1997-08-28 | 2000-04-04 | Hewlett-Packard Company | High durability ink cartridge printhead and method for making the same |
US6520627B2 (en) * | 2000-06-26 | 2003-02-18 | Hewlett-Packard Company | Direct imaging polymer fluid jet orifice |
US6644789B1 (en) * | 2000-07-06 | 2003-11-11 | Lexmark International, Inc. | Nozzle assembly for an ink jet printer |
-
1998
- 1998-03-02 US US09/033,987 patent/US6162589A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-22 TW TW087117510A patent/TW404893B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-12-02 CN CNB981223761A patent/CN1142856C/zh not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-01-08 BR BR9900203-5A patent/BR9900203A/pt not_active IP Right Cessation
- 1999-02-26 KR KR1019990006436A patent/KR100563356B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-03-01 EP EP05076861A patent/EP1595703A3/en not_active Ceased
- 1999-03-01 RU RU99104176/12A patent/RU2221701C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1999-03-01 JP JP05337299A patent/JP4233672B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-01 DE DE69928978T patent/DE69928978T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-01 ES ES99301512T patent/ES2251153T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-01 EP EP99301512A patent/EP0940257B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-06-26 US US09/605,081 patent/US6447102B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-06-06 US US10/165,508 patent/US6902259B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU99104176A (ru) | Способ создания струйной печатающей головки, печатающая головка для эжекции жидкости и маска многоплотностного уровня | |
RU2221701C2 (ru) | Способ создания струйной печатающей головки, печатающая головка для эжекции жидкости и маска многоплотностного уровня | |
US5686224A (en) | Ink jet print head having channel structures integrally formed therein | |
KR100224952B1 (ko) | 잉크 프린터용 프린트헤드, 잉크 프린터용 프린트 카트리지 및 프린트 방법 | |
US20080024574A1 (en) | Fluid ejection devices and methods of fabrication | |
KR20030037772A (ko) | 일체형 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법 | |
JPH0698762B2 (ja) | 加熱インク・ジェット・プリントヘッド製造方法 | |
ES2116478T3 (es) | Metodo para la fabricacion de un cabezal para impresion por chorros de tinta. | |
KR100517515B1 (ko) | 모놀리틱 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 | |
CN101209619A (zh) | 制造喷墨打印头的方法 | |
JP2005212486A (ja) | インクジェットプリントヘッドを作製する方法 | |
JP7134831B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2007216415A (ja) | 液体噴射記録ヘッド、およびその製造方法 | |
US6684504B2 (en) | Method of manufacturing an imageable support matrix for printhead nozzle plates | |
KR19980065807A (ko) | 프린트 헤드의 잉크 분사 장치 구조 | |
US7275815B2 (en) | Die attach methods and apparatus for micro-fluid ejection device | |
US20030132990A1 (en) | Inkjet recording head, recording apparatus including the inkjet recording head, and method for manufacturing the inkjet recording head | |
JP3077444B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
US7560223B2 (en) | Fluid ejection device structures and methods therefor | |
KR100208343B1 (ko) | 잉크젯 프린터헤드의 제조방법 | |
JPH106512A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP2005507566A (ja) | 表面上へのマスクの形成方法 | |
KR0139987Y1 (ko) | 잉크분사 장치 | |
JP2021094774A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 | |
JPH0929981A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |