RU97118789A - Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями - Google Patents
Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелямиInfo
- Publication number
- RU97118789A RU97118789A RU97118789/02A RU97118789A RU97118789A RU 97118789 A RU97118789 A RU 97118789A RU 97118789/02 A RU97118789/02 A RU 97118789/02A RU 97118789 A RU97118789 A RU 97118789A RU 97118789 A RU97118789 A RU 97118789A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- stack
- reaction chamber
- gas phase
- substrates
- preforms
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims 5
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 title claims 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims 2
- 238000004326 stimulated echo acquisition mode for imaging Methods 0.000 title 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 13
- 238000005056 compaction Methods 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N precursor Substances N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000001603 reducing Effects 0.000 claims 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 claims 1
Claims (10)
1. Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов материалом, расположенным внутри последних, который включает загрузку уплотняемых субстратов внутрь реакционной камеры печи инфильтрации, расположение субстратов по меньшей мере кольцеобразно или полым штабелем, который простирается в продольном направлении реакционной камеры и который разграничивает внутренний канал с промежутками, оставленными между субстратами, впуск вблизи первого продольного конца реакционной камеры газовой фазы, содержащей по меньшей мере один предшественник внесенного материала и удаление остаточных газов через выход, расположенный вблизи продольного конца реакционной камеры, противоположного первому, отличающийся тем, что газовая фаза вводится в реакционную камеру через канал к одному из двух объемов, образованных внутренней и внешней частью штабеля или штабелей субстратов на его конце, наиболее близком к первому продольному концу реакционной камеры и объем, в котором газовая фаза имеет канал, закрыт на его конце, наиболее удаленном от первого продольного конца реакционной камеры, так что циркуляция газовой фазы между впуском в реакционную камеру и удалением из реакционной камеры производится из внутренней части к внешней части штабеля или каждого штабеля или наоборот газовая фаза проходит через промежутки между субстратами и просачивается внутрь последних.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, предварительно нагревают пропусканием через зону предварительного нагрева, расположенную в первом конце реакционной камеры, и что отвод газовой фазы к внутренней или внешней части штабеля или каждого штабеля осуществляют на выходе из зоны предварительного нагрева.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что отвод поступающей газовой фазы осуществляют к наиболее маленькому из двух объемов, образованных внутренней и внешней частью штабеля или штабелей субстратов.
4. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что внутри штабеля или каждого штабеля размещают компенсационный элемент, имеющий возрастающее сечение в направлении истечения газовой фазы, чтобы компенсировать боковые утечки через субстраты и между последними сокращением пропускного сечения внутри штабеля и чтобы поддерживать постоянную скорость вытекания газовой фазы в продольном направлении внутри штабеля.
5. Способ по любому из пп. 1-4 для уплотнения субстратов, имеющих форму кругового движения с центральным отверстием, отличающийся тем, что субстраты расположены по меньшей мере штабелем, который разграничивает внутренний объем, образованный центральными отверстиями субстратов.
6. Способ по п. 5 для уплотнения кольцеобразных предформ для тормозных дисков, отличающийся тем, что устанавливают между предформами штабеля или каждого штабеля промежутки шириной по меньшей мере 5 мм.
7. Способ по п. 5 или 6 для уплотнения кольцеобразных предформ для томозных дисков, отличающийся тем, что загружают предформы в реакционной камере несколькими параллельными штабелями.
8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, отводят к внутреннему объему штабелей предформ.
9. Способ по п. 5 для уплотнения предформ расходящихся патрубков двигателей, отличающийся тем, что газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, отводят к объему, расположенному снаружи предформ.
10. Способ по п. 5 или 9 для уплотнения предформ расходящихся патрубков двигателей, отличающийся тем, что предформы расположены одни выше других, так, что одна предформа частично введена внутрь другой.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9504586A FR2733254B1 (fr) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | Procede d'infiltration chimique en phase vapeur pour la densification de substrats poreux disposes en piles annulaires |
FR9504586 | 1995-04-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU97118789A true RU97118789A (ru) | 1999-08-20 |
RU2167217C2 RU2167217C2 (ru) | 2001-05-20 |
Family
ID=9478184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU97118789/02A RU2167217C2 (ru) | 1995-04-18 | 1996-04-17 | Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5904957A (ru) |
EP (1) | EP0821744B1 (ru) |
JP (1) | JP3815796B2 (ru) |
CA (1) | CA2218317C (ru) |
DE (1) | DE69603593T2 (ru) |
FR (1) | FR2733254B1 (ru) |
RU (1) | RU2167217C2 (ru) |
UA (1) | UA44309C2 (ru) |
WO (1) | WO1996033295A1 (ru) |
Families Citing this family (70)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19607625C1 (de) * | 1996-02-29 | 1996-12-12 | Mtu Muenchen Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Präparation und/oder Beschichtung der Oberflächen von Hohlbauteilen |
FR2754813B1 (fr) * | 1996-10-18 | 1999-01-15 | Europ Propulsion | Densification de substrats poreux disposes en piles annulaires par infiltration chimique en phase vapeur a gradient de temperature |
US6669988B2 (en) * | 2001-08-20 | 2003-12-30 | Goodrich Corporation | Hardware assembly for CVI/CVD processes |
US7476419B2 (en) * | 1998-10-23 | 2009-01-13 | Goodrich Corporation | Method for measurement of weight during a CVI/CVD process |
US6062851A (en) * | 1998-10-23 | 2000-05-16 | The B. F. Goodrich Company | Combination CVI/CVD and heat treat susceptor lid |
US6168827B1 (en) * | 1999-08-30 | 2001-01-02 | General Electric Company | Fiber coating method |
CA2299225C (en) * | 1999-09-06 | 2006-09-19 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing ceramic-based composite member |
FR2801304B1 (fr) * | 1999-11-24 | 2002-02-15 | Snecma | Procede de fabrication d'un bol en materiau composite thermostructural, notamment pour une installation de production de silicium monocristallin |
FR2818291B1 (fr) * | 2000-12-19 | 2003-11-07 | Snecma Moteurs | Densification de substrats poreux creux par infiltration chimique en phase vapeur |
FR2821859B1 (fr) * | 2001-03-06 | 2004-05-14 | Snecma Moteurs | Procede pour la densification par infiltration chimique en phase vapeur de substrats poreux ayant un passage central |
FR2824084B1 (fr) | 2001-04-30 | 2003-08-01 | Messier Bugatti | Alimentation aiguilleteuse par bande spirale continue |
US6793966B2 (en) * | 2001-09-10 | 2004-09-21 | Howmet Research Corporation | Chemical vapor deposition apparatus and method |
US6953605B2 (en) * | 2001-12-26 | 2005-10-11 | Messier-Bugatti | Method for densifying porous substrates by chemical vapour infiltration with preheated gas |
FR2834713B1 (fr) * | 2002-01-15 | 2004-04-02 | Snecma Moteurs | Procede et installation pour la densification de substrats par infiltration chimique en phase vapeur |
ATE398193T1 (de) * | 2002-10-24 | 2008-07-15 | Goodrich Corp | Verfahren und vorrichtung zur stückweisen und zur kontinuierlichen verdichtung durch chemische dampfphaseninfitration (cvi) |
UA84862C2 (en) * | 2003-03-03 | 2008-12-10 | Месье-Бугатти | Substrate |
US7335397B2 (en) * | 2004-02-16 | 2008-02-26 | Goodrich Corporation | Pressure gradient CVI/CVD apparatus and method |
US7332195B2 (en) * | 2004-08-26 | 2008-02-19 | Honeywell International Inc. | Chemical vapor deposition method |
FR2881145B1 (fr) * | 2005-01-24 | 2007-11-23 | Snecma Propulsion Solide Sa | Procede d'infiltration chimique en phase gazeuse pour la densification de substrats poreux par du carbone pyrolytique |
FR2882064B1 (fr) * | 2005-02-17 | 2007-05-11 | Snecma Propulsion Solide Sa | Procede de densification de substrats poreux minces par infiltration chimique en phase vapeur et dispositif de chargement de tels substrats |
US20060194059A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Honeywell International Inc. | Annular furnace spacers and method of using same |
US20060194060A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Honeywell International | Furnace spacers for spacing preforms in a furnace |
US8057855B1 (en) | 2005-05-31 | 2011-11-15 | Goodrich Corporation | Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method |
US7691443B2 (en) | 2005-05-31 | 2010-04-06 | Goodrich Corporation | Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method |
FR2886640B1 (fr) * | 2005-06-02 | 2007-08-24 | Snecma Propulsion Solide Sa | Procede et preforme pour la realisation de pieces en materiau composite par densification cvi et pieces obtenues |
US20070014990A1 (en) * | 2005-07-14 | 2007-01-18 | Honeywell International Inc. | Support structure for radiative heat transfer |
CN101395298B (zh) * | 2006-10-29 | 2011-10-05 | 马塞尔-布加蒂股份有限公司 | 致密化多孔制品的方法 |
US7959973B2 (en) * | 2006-11-29 | 2011-06-14 | Honeywell International Inc. | Pressure swing CVI/CVD |
FR2919309B1 (fr) * | 2007-07-25 | 2011-07-22 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif d'infiltration d'une structure en materiau poreux par depot chimique en phase vapeur. |
IL198123A0 (en) | 2008-04-18 | 2009-12-24 | Snecma Propulsion Solide | A heat treatment oven with inductive heating |
US10655219B1 (en) * | 2009-04-14 | 2020-05-19 | Goodrich Corporation | Containment structure for creating composite structures |
US10689753B1 (en) * | 2009-04-21 | 2020-06-23 | Goodrich Corporation | System having a cooling element for densifying a substrate |
FR2945529B1 (fr) | 2009-05-13 | 2011-06-17 | Messier Bugatti | Piece a base de materiau composite c/c et procede pour sa fabrication. |
FR2953826B1 (fr) * | 2009-12-16 | 2019-10-11 | Safran Landing Systems | Procede de fabrication d'une piece de friction a base de materiau composite c/c |
FR2967170B1 (fr) | 2010-11-10 | 2013-09-20 | Messier Bugatti | Procede de fabrication d'une piece de friction a base de materiau composite c/c |
FR2980486B1 (fr) | 2011-09-28 | 2013-10-11 | Snecma Propulsion Solide | Dispositif de chargement pour la densification par infiltration chimique en phase vapeur en flux dirige de substrats poreux de forme tridimensionnelle |
DE102012100176B4 (de) * | 2012-01-10 | 2016-11-17 | Cvt Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur chemischen Gasphaseninfiltration von wenigstens einem refraktären Stoff |
FR2993044B1 (fr) * | 2012-07-04 | 2014-08-08 | Herakles | Dispositif de chargement et installation pour la densification de preformes poreuses tronconiques et empilables |
FR2993555B1 (fr) * | 2012-07-19 | 2015-02-20 | Herakles | Installation d'infiltration chimique en phase vapeur a haute capacite de chargement |
US11326255B2 (en) * | 2013-02-07 | 2022-05-10 | Uchicago Argonne, Llc | ALD reactor for coating porous substrates |
FR3004732B1 (fr) * | 2013-04-18 | 2015-05-08 | Herakles | Outillage de maintien, chargement et installation pour la densification de preformes poreuses de revolution |
US9852905B2 (en) * | 2014-01-16 | 2017-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Systems and methods for uniform gas flow in a deposition chamber |
JP6020483B2 (ja) * | 2014-02-14 | 2016-11-02 | トヨタ自動車株式会社 | 表面処理装置と表面処理方法 |
KR101589965B1 (ko) * | 2014-02-26 | 2016-02-05 | (주) 데크카본 | 밀도화 장비 |
FR3018526B1 (fr) | 2014-03-14 | 2021-06-11 | Herakles | Installation de densification cvi comprenant une zone de prechauffage a forte capacite |
US10648075B2 (en) * | 2015-03-23 | 2020-05-12 | Goodrich Corporation | Systems and methods for chemical vapor infiltration and densification of porous substrates |
US10982319B2 (en) | 2015-08-21 | 2021-04-20 | Flisom Ag | Homogeneous linear evaporation source |
TWI624554B (zh) * | 2015-08-21 | 2018-05-21 | 弗里松股份有限公司 | 蒸發源 |
RU2607401C1 (ru) * | 2015-09-25 | 2017-01-10 | Олег Викторович Барзинский | Способ получения углерод-углеродого композиционного материала |
US9963779B2 (en) | 2016-02-29 | 2018-05-08 | Goodrich Corporation | Methods for modifying pressure differential in a chemical vapor process |
US10407769B2 (en) * | 2016-03-18 | 2019-09-10 | Goodrich Corporation | Method and apparatus for decreasing the radial temperature gradient in CVI/CVD furnaces |
US10131985B2 (en) | 2016-03-21 | 2018-11-20 | Goodrich Corporation | System and method for enhancing a diffusion limited CVI/CVD process |
US10364491B2 (en) | 2016-11-02 | 2019-07-30 | Georgia Tech Research Corporation | Process to chemically modify polymeric materials by static, low-pressure infiltration of reactive gaseous molecules |
FR3059679B1 (fr) * | 2016-12-07 | 2021-03-12 | Safran Ceram | Outillage de conformation et installation pour l'infiltration chimique en phase gazeuse de preformes fibreuses |
US10480065B2 (en) * | 2017-09-19 | 2019-11-19 | Goodrich Corporation | Gas distribution for chemical vapor deposition/infiltration |
FR3083229B1 (fr) * | 2018-06-27 | 2020-09-11 | Safran Ceram | Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaires poreux |
FR3084892B1 (fr) | 2018-08-10 | 2020-11-06 | Safran Ceram | Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaire poreux |
EP3647459A1 (en) | 2018-10-31 | 2020-05-06 | Petroceramics S.p.A. | Method and an assembly by chemical vapor infiltration of porous components |
IT201800009953A1 (it) | 2018-10-31 | 2020-05-01 | Petroceramics Spa | Metodo ed un assieme di infiltrazione e la deposizione rapida da fase vapore di componenti porosi |
FR3095213B1 (fr) | 2019-04-19 | 2022-12-23 | Safran Ceram | Installation de densification CVI |
US11111578B1 (en) | 2020-02-13 | 2021-09-07 | Uchicago Argonne, Llc | Atomic layer deposition of fluoride thin films |
FR3119389B1 (fr) | 2021-01-29 | 2023-11-17 | Safran Landing Systems | Procede de sechage d’une ebauche impregnee et procede de fabrication et systeme et ensemble associes |
WO2022233177A1 (zh) * | 2021-05-06 | 2022-11-10 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 辅助工装及预制件承载装置及用于预制体增密的装炉结构 |
FR3129468B1 (fr) | 2021-11-25 | 2024-04-26 | Safran Landing Systems | Dispositif de sechage d’ebauches et systeme et ensemble et procede associes |
FR3129294B1 (fr) | 2021-11-25 | 2024-05-24 | Safran Landing Systems | Diffuseur pour diffuser un flux de gaz au sein d’une pile d’ébauches et ensembles associés |
FR3129954B1 (fr) | 2021-12-06 | 2023-12-15 | Safran Ceram | Installation d’infiltration chimique en phase gazeuse à double chambre de réaction |
US12000046B1 (en) * | 2021-12-29 | 2024-06-04 | Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. | Load assemblies for loading parts in a furnace |
US11932941B1 (en) | 2021-12-29 | 2024-03-19 | Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. | Load assemblies for loading parts in a furnace |
US11901169B2 (en) | 2022-02-14 | 2024-02-13 | Uchicago Argonne, Llc | Barrier coatings |
FR3141700A1 (fr) | 2022-11-08 | 2024-05-10 | Safran Ceramics | Installation d’infiltration chimique en phase gazeuse à double traitement |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6011104B2 (ja) * | 1977-07-22 | 1985-03-23 | 工業技術院長 | 気相メツキ法 |
FR2594119B1 (fr) * | 1986-02-10 | 1988-06-03 | Europ Propulsion | Installation pour l'infiltration chimique en phase vapeur d'un materiau refractaire autre que le carbone |
DE3913132A1 (de) * | 1989-04-21 | 1990-12-20 | Hoechst Ag | Verfahren zum gleichmaessigen einleiten eines fluids und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
US5221354A (en) * | 1991-11-04 | 1993-06-22 | General Electric Company | Apparatus and method for gas phase coating of hollow articles |
US5348774A (en) * | 1993-08-11 | 1994-09-20 | Alliedsignal Inc. | Method of rapidly densifying a porous structure |
AU4240196A (en) * | 1994-11-16 | 1996-06-06 | B.F. Goodrich Company, The | Pressure gradient cvi/cvd apparatus, process and product |
US5480678A (en) * | 1994-11-16 | 1996-01-02 | The B. F. Goodrich Company | Apparatus for use with CVI/CVD processes |
-
1995
- 1995-04-18 FR FR9504586A patent/FR2733254B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-04-17 JP JP53151696A patent/JP3815796B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-17 WO PCT/FR1996/000582 patent/WO1996033295A1/fr active IP Right Grant
- 1996-04-17 EP EP96913599A patent/EP0821744B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-17 US US08/945,325 patent/US5904957A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-17 DE DE69603593T patent/DE69603593T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-17 CA CA002218317A patent/CA2218317C/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-17 RU RU97118789/02A patent/RU2167217C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1996-04-17 UA UA97105081A patent/UA44309C2/uk unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU97118789A (ru) | Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями | |
RU2167217C2 (ru) | Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями | |
RU2004118418A (ru) | Способ и устройство для уплотнения пористого субстрата путем химической инфильтрации газовой фазой | |
US4509456A (en) | Apparatus for guiding gas for LP CVD processes in a tube reactor | |
SU720996A3 (ru) | Устройство дл непрерывного осаждени слоев из газовой фазы | |
CA1307166C (en) | Thermal decomposition furnace | |
SU1634127A3 (ru) | Реактор дл получени синтез-газа и способ его получени | |
JP2002004054A (ja) | 基板上に薄膜を成長させる方法 | |
CA2440063A1 (en) | Chemical vapour infiltration method for densifying porous substrates having a central passage | |
EP0719984A3 (en) | Improved regenerative thermal combustion device | |
US4394118A (en) | Method and arrangement for reducing NOx emissions from furnaces | |
KR960701235A (ko) | 화학적 증착(cvd) 반응기에 반응제를 증기 형태로 공급하는 방법 및 장치(apparatus and method for delivering reagents in vapor form to a cvd reactor) | |
FI952154A0 (fi) | Menetelmä ja laite kiertomassatyyppisen leijukerrosreaktorisysteemin käyttämiseksi | |
US4378981A (en) | Gas separation apparatus | |
KR930000977A (ko) | 밀봉 피복 광 파이버의 제조 방법과 그 제조 장치 | |
ES2159860T3 (es) | Reactor para llevar a cabo reacciones de fase gaseosa/fase liquida/fase solida y un procedimiento para llevar a cabo estas reacciones usando dicho reactor. | |
RU2010126636A (ru) | Новый реактор, позволяющий осуществлять реакции при сверхвысокой температуре и высоком давлении | |
US4952139A (en) | Gas feed device comprising tubes with narrowed zones | |
GB2044900A (en) | Incinerator and method for treating gases for removing impurities | |
US5149259A (en) | Grateless regenerative incinerator | |
RU1836434C (ru) | Герметизирующий узел шлюзовой камеры доменной печи | |
PL308913A1 (en) | Method of an apparatus for conveying dry particles from one chamber into another | |
CA1238310A (en) | Exchanger with even flow fluid distribution | |
EP4001754A1 (en) | Vortex chamber | |
JPH05155643A (ja) | カーボンコート用反応容器 |