RU97118789A - Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями - Google Patents

Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями

Info

Publication number
RU97118789A
RU97118789A RU97118789/02A RU97118789A RU97118789A RU 97118789 A RU97118789 A RU 97118789A RU 97118789/02 A RU97118789/02 A RU 97118789/02A RU 97118789 A RU97118789 A RU 97118789A RU 97118789 A RU97118789 A RU 97118789A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
stack
reaction chamber
gas phase
substrates
preforms
Prior art date
Application number
RU97118789/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2167217C2 (ru
Inventor
Кристэн Франсуа
Добиньи Пьер
Делорен Пьер
Лелюан Жан-Люк
Original Assignee
Сосьете Насьональ Д'Этюд э де Констрюксьон де Мотер Д'Авиасьон "СНЕКМА"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FR9504586A external-priority patent/FR2733254B1/fr
Application filed by Сосьете Насьональ Д'Этюд э де Констрюксьон де Мотер Д'Авиасьон "СНЕКМА" filed Critical Сосьете Насьональ Д'Этюд э де Констрюксьон де Мотер Д'Авиасьон "СНЕКМА"
Publication of RU97118789A publication Critical patent/RU97118789A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2167217C2 publication Critical patent/RU2167217C2/ru

Links

Claims (10)

1. Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов материалом, расположенным внутри последних, который включает загрузку уплотняемых субстратов внутрь реакционной камеры печи инфильтрации, расположение субстратов по меньшей мере кольцеобразно или полым штабелем, который простирается в продольном направлении реакционной камеры и который разграничивает внутренний канал с промежутками, оставленными между субстратами, впуск вблизи первого продольного конца реакционной камеры газовой фазы, содержащей по меньшей мере один предшественник внесенного материала и удаление остаточных газов через выход, расположенный вблизи продольного конца реакционной камеры, противоположного первому, отличающийся тем, что газовая фаза вводится в реакционную камеру через канал к одному из двух объемов, образованных внутренней и внешней частью штабеля или штабелей субстратов на его конце, наиболее близком к первому продольному концу реакционной камеры и объем, в котором газовая фаза имеет канал, закрыт на его конце, наиболее удаленном от первого продольного конца реакционной камеры, так что циркуляция газовой фазы между впуском в реакционную камеру и удалением из реакционной камеры производится из внутренней части к внешней части штабеля или каждого штабеля или наоборот газовая фаза проходит через промежутки между субстратами и просачивается внутрь последних.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, предварительно нагревают пропусканием через зону предварительного нагрева, расположенную в первом конце реакционной камеры, и что отвод газовой фазы к внутренней или внешней части штабеля или каждого штабеля осуществляют на выходе из зоны предварительного нагрева.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что отвод поступающей газовой фазы осуществляют к наиболее маленькому из двух объемов, образованных внутренней и внешней частью штабеля или штабелей субстратов.
4. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что внутри штабеля или каждого штабеля размещают компенсационный элемент, имеющий возрастающее сечение в направлении истечения газовой фазы, чтобы компенсировать боковые утечки через субстраты и между последними сокращением пропускного сечения внутри штабеля и чтобы поддерживать постоянную скорость вытекания газовой фазы в продольном направлении внутри штабеля.
5. Способ по любому из пп. 1-4 для уплотнения субстратов, имеющих форму кругового движения с центральным отверстием, отличающийся тем, что субстраты расположены по меньшей мере штабелем, который разграничивает внутренний объем, образованный центральными отверстиями субстратов.
6. Способ по п. 5 для уплотнения кольцеобразных предформ для тормозных дисков, отличающийся тем, что устанавливают между предформами штабеля или каждого штабеля промежутки шириной по меньшей мере 5 мм.
7. Способ по п. 5 или 6 для уплотнения кольцеобразных предформ для томозных дисков, отличающийся тем, что загружают предформы в реакционной камере несколькими параллельными штабелями.
8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, отводят к внутреннему объему штабелей предформ.
9. Способ по п. 5 для уплотнения предформ расходящихся патрубков двигателей, отличающийся тем, что газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, отводят к объему, расположенному снаружи предформ.
10. Способ по п. 5 или 9 для уплотнения предформ расходящихся патрубков двигателей, отличающийся тем, что предформы расположены одни выше других, так, что одна предформа частично введена внутрь другой.
RU97118789/02A 1995-04-18 1996-04-17 Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями RU2167217C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9504586A FR2733254B1 (fr) 1995-04-18 1995-04-18 Procede d'infiltration chimique en phase vapeur pour la densification de substrats poreux disposes en piles annulaires
FR9504586 1995-04-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU97118789A true RU97118789A (ru) 1999-08-20
RU2167217C2 RU2167217C2 (ru) 2001-05-20

Family

ID=9478184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97118789/02A RU2167217C2 (ru) 1995-04-18 1996-04-17 Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5904957A (ru)
EP (1) EP0821744B1 (ru)
JP (1) JP3815796B2 (ru)
CA (1) CA2218317C (ru)
DE (1) DE69603593T2 (ru)
FR (1) FR2733254B1 (ru)
RU (1) RU2167217C2 (ru)
UA (1) UA44309C2 (ru)
WO (1) WO1996033295A1 (ru)

Families Citing this family (70)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19607625C1 (de) * 1996-02-29 1996-12-12 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Präparation und/oder Beschichtung der Oberflächen von Hohlbauteilen
FR2754813B1 (fr) * 1996-10-18 1999-01-15 Europ Propulsion Densification de substrats poreux disposes en piles annulaires par infiltration chimique en phase vapeur a gradient de temperature
US6669988B2 (en) * 2001-08-20 2003-12-30 Goodrich Corporation Hardware assembly for CVI/CVD processes
US7476419B2 (en) * 1998-10-23 2009-01-13 Goodrich Corporation Method for measurement of weight during a CVI/CVD process
US6062851A (en) * 1998-10-23 2000-05-16 The B. F. Goodrich Company Combination CVI/CVD and heat treat susceptor lid
US6168827B1 (en) * 1999-08-30 2001-01-02 General Electric Company Fiber coating method
CA2299225C (en) * 1999-09-06 2006-09-19 Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. Method and apparatus for manufacturing ceramic-based composite member
FR2801304B1 (fr) * 1999-11-24 2002-02-15 Snecma Procede de fabrication d'un bol en materiau composite thermostructural, notamment pour une installation de production de silicium monocristallin
FR2818291B1 (fr) * 2000-12-19 2003-11-07 Snecma Moteurs Densification de substrats poreux creux par infiltration chimique en phase vapeur
FR2821859B1 (fr) * 2001-03-06 2004-05-14 Snecma Moteurs Procede pour la densification par infiltration chimique en phase vapeur de substrats poreux ayant un passage central
FR2824084B1 (fr) 2001-04-30 2003-08-01 Messier Bugatti Alimentation aiguilleteuse par bande spirale continue
US6793966B2 (en) * 2001-09-10 2004-09-21 Howmet Research Corporation Chemical vapor deposition apparatus and method
US6953605B2 (en) * 2001-12-26 2005-10-11 Messier-Bugatti Method for densifying porous substrates by chemical vapour infiltration with preheated gas
FR2834713B1 (fr) * 2002-01-15 2004-04-02 Snecma Moteurs Procede et installation pour la densification de substrats par infiltration chimique en phase vapeur
ATE398193T1 (de) * 2002-10-24 2008-07-15 Goodrich Corp Verfahren und vorrichtung zur stückweisen und zur kontinuierlichen verdichtung durch chemische dampfphaseninfitration (cvi)
UA84862C2 (en) * 2003-03-03 2008-12-10 Месье-Бугатти Substrate
US7335397B2 (en) * 2004-02-16 2008-02-26 Goodrich Corporation Pressure gradient CVI/CVD apparatus and method
US7332195B2 (en) * 2004-08-26 2008-02-19 Honeywell International Inc. Chemical vapor deposition method
FR2881145B1 (fr) * 2005-01-24 2007-11-23 Snecma Propulsion Solide Sa Procede d'infiltration chimique en phase gazeuse pour la densification de substrats poreux par du carbone pyrolytique
FR2882064B1 (fr) * 2005-02-17 2007-05-11 Snecma Propulsion Solide Sa Procede de densification de substrats poreux minces par infiltration chimique en phase vapeur et dispositif de chargement de tels substrats
US20060194059A1 (en) * 2005-02-25 2006-08-31 Honeywell International Inc. Annular furnace spacers and method of using same
US20060194060A1 (en) * 2005-02-25 2006-08-31 Honeywell International Furnace spacers for spacing preforms in a furnace
US8057855B1 (en) 2005-05-31 2011-11-15 Goodrich Corporation Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method
US7691443B2 (en) 2005-05-31 2010-04-06 Goodrich Corporation Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method
FR2886640B1 (fr) * 2005-06-02 2007-08-24 Snecma Propulsion Solide Sa Procede et preforme pour la realisation de pieces en materiau composite par densification cvi et pieces obtenues
US20070014990A1 (en) * 2005-07-14 2007-01-18 Honeywell International Inc. Support structure for radiative heat transfer
CN101395298B (zh) * 2006-10-29 2011-10-05 马塞尔-布加蒂股份有限公司 致密化多孔制品的方法
US7959973B2 (en) * 2006-11-29 2011-06-14 Honeywell International Inc. Pressure swing CVI/CVD
FR2919309B1 (fr) * 2007-07-25 2011-07-22 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif d'infiltration d'une structure en materiau poreux par depot chimique en phase vapeur.
IL198123A0 (en) 2008-04-18 2009-12-24 Snecma Propulsion Solide A heat treatment oven with inductive heating
US10655219B1 (en) * 2009-04-14 2020-05-19 Goodrich Corporation Containment structure for creating composite structures
US10689753B1 (en) * 2009-04-21 2020-06-23 Goodrich Corporation System having a cooling element for densifying a substrate
FR2945529B1 (fr) 2009-05-13 2011-06-17 Messier Bugatti Piece a base de materiau composite c/c et procede pour sa fabrication.
FR2953826B1 (fr) * 2009-12-16 2019-10-11 Safran Landing Systems Procede de fabrication d'une piece de friction a base de materiau composite c/c
FR2967170B1 (fr) 2010-11-10 2013-09-20 Messier Bugatti Procede de fabrication d'une piece de friction a base de materiau composite c/c
FR2980486B1 (fr) 2011-09-28 2013-10-11 Snecma Propulsion Solide Dispositif de chargement pour la densification par infiltration chimique en phase vapeur en flux dirige de substrats poreux de forme tridimensionnelle
DE102012100176B4 (de) * 2012-01-10 2016-11-17 Cvt Gmbh & Co. Kg Verfahren zur chemischen Gasphaseninfiltration von wenigstens einem refraktären Stoff
FR2993044B1 (fr) * 2012-07-04 2014-08-08 Herakles Dispositif de chargement et installation pour la densification de preformes poreuses tronconiques et empilables
FR2993555B1 (fr) * 2012-07-19 2015-02-20 Herakles Installation d'infiltration chimique en phase vapeur a haute capacite de chargement
US11326255B2 (en) * 2013-02-07 2022-05-10 Uchicago Argonne, Llc ALD reactor for coating porous substrates
FR3004732B1 (fr) * 2013-04-18 2015-05-08 Herakles Outillage de maintien, chargement et installation pour la densification de preformes poreuses de revolution
US9852905B2 (en) * 2014-01-16 2017-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Systems and methods for uniform gas flow in a deposition chamber
JP6020483B2 (ja) * 2014-02-14 2016-11-02 トヨタ自動車株式会社 表面処理装置と表面処理方法
KR101589965B1 (ko) * 2014-02-26 2016-02-05 (주) 데크카본 밀도화 장비
FR3018526B1 (fr) 2014-03-14 2021-06-11 Herakles Installation de densification cvi comprenant une zone de prechauffage a forte capacite
US10648075B2 (en) * 2015-03-23 2020-05-12 Goodrich Corporation Systems and methods for chemical vapor infiltration and densification of porous substrates
US10982319B2 (en) 2015-08-21 2021-04-20 Flisom Ag Homogeneous linear evaporation source
TWI624554B (zh) * 2015-08-21 2018-05-21 弗里松股份有限公司 蒸發源
RU2607401C1 (ru) * 2015-09-25 2017-01-10 Олег Викторович Барзинский Способ получения углерод-углеродого композиционного материала
US9963779B2 (en) 2016-02-29 2018-05-08 Goodrich Corporation Methods for modifying pressure differential in a chemical vapor process
US10407769B2 (en) * 2016-03-18 2019-09-10 Goodrich Corporation Method and apparatus for decreasing the radial temperature gradient in CVI/CVD furnaces
US10131985B2 (en) 2016-03-21 2018-11-20 Goodrich Corporation System and method for enhancing a diffusion limited CVI/CVD process
US10364491B2 (en) 2016-11-02 2019-07-30 Georgia Tech Research Corporation Process to chemically modify polymeric materials by static, low-pressure infiltration of reactive gaseous molecules
FR3059679B1 (fr) * 2016-12-07 2021-03-12 Safran Ceram Outillage de conformation et installation pour l'infiltration chimique en phase gazeuse de preformes fibreuses
US10480065B2 (en) * 2017-09-19 2019-11-19 Goodrich Corporation Gas distribution for chemical vapor deposition/infiltration
FR3083229B1 (fr) * 2018-06-27 2020-09-11 Safran Ceram Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaires poreux
FR3084892B1 (fr) 2018-08-10 2020-11-06 Safran Ceram Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaire poreux
EP3647459A1 (en) 2018-10-31 2020-05-06 Petroceramics S.p.A. Method and an assembly by chemical vapor infiltration of porous components
IT201800009953A1 (it) 2018-10-31 2020-05-01 Petroceramics Spa Metodo ed un assieme di infiltrazione e la deposizione rapida da fase vapore di componenti porosi
FR3095213B1 (fr) 2019-04-19 2022-12-23 Safran Ceram Installation de densification CVI
US11111578B1 (en) 2020-02-13 2021-09-07 Uchicago Argonne, Llc Atomic layer deposition of fluoride thin films
FR3119389B1 (fr) 2021-01-29 2023-11-17 Safran Landing Systems Procede de sechage d’une ebauche impregnee et procede de fabrication et systeme et ensemble associes
WO2022233177A1 (zh) * 2021-05-06 2022-11-10 隆基绿能科技股份有限公司 辅助工装及预制件承载装置及用于预制体增密的装炉结构
FR3129468B1 (fr) 2021-11-25 2024-04-26 Safran Landing Systems Dispositif de sechage d’ebauches et systeme et ensemble et procede associes
FR3129294B1 (fr) 2021-11-25 2024-05-24 Safran Landing Systems Diffuseur pour diffuser un flux de gaz au sein d’une pile d’ébauches et ensembles associés
FR3129954B1 (fr) 2021-12-06 2023-12-15 Safran Ceram Installation d’infiltration chimique en phase gazeuse à double chambre de réaction
US12000046B1 (en) * 2021-12-29 2024-06-04 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Load assemblies for loading parts in a furnace
US11932941B1 (en) 2021-12-29 2024-03-19 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Load assemblies for loading parts in a furnace
US11901169B2 (en) 2022-02-14 2024-02-13 Uchicago Argonne, Llc Barrier coatings
FR3141700A1 (fr) 2022-11-08 2024-05-10 Safran Ceramics Installation d’infiltration chimique en phase gazeuse à double traitement

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6011104B2 (ja) * 1977-07-22 1985-03-23 工業技術院長 気相メツキ法
FR2594119B1 (fr) * 1986-02-10 1988-06-03 Europ Propulsion Installation pour l'infiltration chimique en phase vapeur d'un materiau refractaire autre que le carbone
DE3913132A1 (de) * 1989-04-21 1990-12-20 Hoechst Ag Verfahren zum gleichmaessigen einleiten eines fluids und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US5221354A (en) * 1991-11-04 1993-06-22 General Electric Company Apparatus and method for gas phase coating of hollow articles
US5348774A (en) * 1993-08-11 1994-09-20 Alliedsignal Inc. Method of rapidly densifying a porous structure
AU4240196A (en) * 1994-11-16 1996-06-06 B.F. Goodrich Company, The Pressure gradient cvi/cvd apparatus, process and product
US5480678A (en) * 1994-11-16 1996-01-02 The B. F. Goodrich Company Apparatus for use with CVI/CVD processes

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU97118789A (ru) Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями
RU2167217C2 (ru) Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями
RU2004118418A (ru) Способ и устройство для уплотнения пористого субстрата путем химической инфильтрации газовой фазой
US4509456A (en) Apparatus for guiding gas for LP CVD processes in a tube reactor
SU720996A3 (ru) Устройство дл непрерывного осаждени слоев из газовой фазы
CA1307166C (en) Thermal decomposition furnace
SU1634127A3 (ru) Реактор дл получени синтез-газа и способ его получени
JP2002004054A (ja) 基板上に薄膜を成長させる方法
CA2440063A1 (en) Chemical vapour infiltration method for densifying porous substrates having a central passage
EP0719984A3 (en) Improved regenerative thermal combustion device
US4394118A (en) Method and arrangement for reducing NOx emissions from furnaces
KR960701235A (ko) 화학적 증착(cvd) 반응기에 반응제를 증기 형태로 공급하는 방법 및 장치(apparatus and method for delivering reagents in vapor form to a cvd reactor)
FI952154A0 (fi) Menetelmä ja laite kiertomassatyyppisen leijukerrosreaktorisysteemin käyttämiseksi
US4378981A (en) Gas separation apparatus
KR930000977A (ko) 밀봉 피복 광 파이버의 제조 방법과 그 제조 장치
ES2159860T3 (es) Reactor para llevar a cabo reacciones de fase gaseosa/fase liquida/fase solida y un procedimiento para llevar a cabo estas reacciones usando dicho reactor.
RU2010126636A (ru) Новый реактор, позволяющий осуществлять реакции при сверхвысокой температуре и высоком давлении
US4952139A (en) Gas feed device comprising tubes with narrowed zones
GB2044900A (en) Incinerator and method for treating gases for removing impurities
US5149259A (en) Grateless regenerative incinerator
RU1836434C (ru) Герметизирующий узел шлюзовой камеры доменной печи
PL308913A1 (en) Method of an apparatus for conveying dry particles from one chamber into another
CA1238310A (en) Exchanger with even flow fluid distribution
EP4001754A1 (en) Vortex chamber
JPH05155643A (ja) カーボンコート用反応容器