JPH05155643A - カーボンコート用反応容器 - Google Patents
カーボンコート用反応容器Info
- Publication number
- JPH05155643A JPH05155643A JP3349239A JP34923991A JPH05155643A JP H05155643 A JPH05155643 A JP H05155643A JP 3349239 A JP3349239 A JP 3349239A JP 34923991 A JP34923991 A JP 34923991A JP H05155643 A JPH05155643 A JP H05155643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- reaction vessel
- carbon
- carbon coating
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ススが堆積することなく円滑な原料ガスの流
れが得られて、長時間の連続運転が可能となるカーボン
コート用反応容器を提供すること。 【構成】 光ファイバＦが導入される反応容器１のカー
ボンコーティング室６が、コーティング領域部６ａと排
気領域部６ｂとからなり、上記排気領域部６ｂの外端部
１ｂの径Ｙが、上記コーティング領域部６ａの径Ｘより
も大きく設定され、かつ、この外端部１ｂが外方へ開放
されて、上記コーティング領域部６ａの熱分解された原
料ガスＣを、排気領域部６ｂの開放側へ排出する構成と
した。 【効果】 反応容器の内部にスス成分が堆積することが
なく、円滑な原料ガスの流れがえられて、光ファイバ表
面に均一なカーボンコートがなされるとともに、反応容
器の長時間運転が可能となる。
れが得られて、長時間の連続運転が可能となるカーボン
コート用反応容器を提供すること。 【構成】 光ファイバＦが導入される反応容器１のカー
ボンコーティング室６が、コーティング領域部６ａと排
気領域部６ｂとからなり、上記排気領域部６ｂの外端部
１ｂの径Ｙが、上記コーティング領域部６ａの径Ｘより
も大きく設定され、かつ、この外端部１ｂが外方へ開放
されて、上記コーティング領域部６ａの熱分解された原
料ガスＣを、排気領域部６ｂの開放側へ排出する構成と
した。 【効果】 反応容器の内部にスス成分が堆積することが
なく、円滑な原料ガスの流れがえられて、光ファイバ表
面に均一なカーボンコートがなされるとともに、反応容
器の長時間運転が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバにカーボン
コーティングを施す反応容器に関する。
コーティングを施す反応容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ裸線表面にカーボンコーティ
ングする方法として、反応容器中で炭化水素やハロゲン
含有炭化水素の原料ガスを熱分解して、上記光ファイバ
表面をこの熱分解された原料ガスと接触させてなされて
いる。
ングする方法として、反応容器中で炭化水素やハロゲン
含有炭化水素の原料ガスを熱分解して、上記光ファイバ
表面をこの熱分解された原料ガスと接触させてなされて
いる。
【０００３】この種の反応に使用される装置として、図
４で示すものが知られている。同図において、１は反応
容器で、その内部が光ファイバＦを挿通する孔４ａ，５
ａが形成された仕切り部材４，５で仕切られてカーボン
コーティング室６が形成されている。上記反応容器１の
側面部には、導入管９および排出管１０が設けられ、導
入管９から原料ガスＣをカーボンコーティング室６へ導
入し排出管１０から外部へ排出するようになっている。
４で示すものが知られている。同図において、１は反応
容器で、その内部が光ファイバＦを挿通する孔４ａ，５
ａが形成された仕切り部材４，５で仕切られてカーボン
コーティング室６が形成されている。上記反応容器１の
側面部には、導入管９および排出管１０が設けられ、導
入管９から原料ガスＣをカーボンコーティング室６へ導
入し排出管１０から外部へ排出するようになっている。
【０００４】７，８はシール室で、上記仕切り部材４，
５と対向する反応容器１の光ファイバ導入面２および導
出面３との間にそれぞれ形成される。この各シール室
７，８には、導入管１１，１３および導出管１２，１４
がそれぞれ設けられて、上記導入管１１，１３から不活
性ガスＡを上記各シール室７，８へ導入し、導出管１
２，１４から外部へ排出するようになっている。この各
シール室７，８に不活性ガスＡを供給し充満させること
により、上記カーボンコーティング室６内の原料ガスＣ
がシールされる。なお、上記反応容器１の光ファイバ導
入面２および導出面３には、光ファイバＦを挿通する孔
２ａ，３ａがそれぞれ形成されている。
５と対向する反応容器１の光ファイバ導入面２および導
出面３との間にそれぞれ形成される。この各シール室
７，８には、導入管１１，１３および導出管１２，１４
がそれぞれ設けられて、上記導入管１１，１３から不活
性ガスＡを上記各シール室７，８へ導入し、導出管１
２，１４から外部へ排出するようになっている。この各
シール室７，８に不活性ガスＡを供給し充満させること
により、上記カーボンコーティング室６内の原料ガスＣ
がシールされる。なお、上記反応容器１の光ファイバ導
入面２および導出面３には、光ファイバＦを挿通する孔
２ａ，３ａがそれぞれ形成されている。
【０００５】２０は紡糸炉で、光ファイバ裸線Ｆを紡糸
するものである。３０は塗装機で、カーボンコーティン
グされた光ファイバＦの表面に塗料を被覆するものであ
る。４０はＵＶ硬化装置で、光ファイバＦの表面に被覆
された塗料を硬化させるものである。
するものである。３０は塗装機で、カーボンコーティン
グされた光ファイバＦの表面に塗料を被覆するものであ
る。４０はＵＶ硬化装置で、光ファイバＦの表面に被覆
された塗料を硬化させるものである。
【０００６】上記構成によると、紡糸炉２０で紡糸され
た光ファイバ裸線Ｆが反応容器１に導入され、シール室
７を通過してカーボンコーティング室６で熱分解された
原料ガスＣと接触して光ファイバＦ表面にカーボンコー
ティングがなされる。ついで、このカーボンコーティン
グされた光ファイバＦは、シール室８を通過して外部へ
導出されて、塗装機３０で表面塗装され、つぎにＵＶ硬
化装置４０で塗膜が硬化されて製品となる。
た光ファイバ裸線Ｆが反応容器１に導入され、シール室
７を通過してカーボンコーティング室６で熱分解された
原料ガスＣと接触して光ファイバＦ表面にカーボンコー
ティングがなされる。ついで、このカーボンコーティン
グされた光ファイバＦは、シール室８を通過して外部へ
導出されて、塗装機３０で表面塗装され、つぎにＵＶ硬
化装置４０で塗膜が硬化されて製品となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
反応容器１では、熱分解された原料ガスＣのスス成分が
カーボンコーティング室６の排出管１０の入口近傍１０
ａに堆積して目詰まりし、上記原料ガスＣの円滑な流れ
が阻害され、光ファイバＦに均一なカーボンコーティン
グがえられなくなる。この結果、反応容器１は５〜１０
分程度の連続運転しか出来ないという課題があった。
反応容器１では、熱分解された原料ガスＣのスス成分が
カーボンコーティング室６の排出管１０の入口近傍１０
ａに堆積して目詰まりし、上記原料ガスＣの円滑な流れ
が阻害され、光ファイバＦに均一なカーボンコーティン
グがえられなくなる。この結果、反応容器１は５〜１０
分程度の連続運転しか出来ないという課題があった。
【０００８】本発明は、上記課題を解決するものであっ
て、反応容器内部にスス成分が堆積せず、常に円滑な原
料ガスの流れが保持できて、光ファイバに均一なカーボ
ンコーティングがなされるとともに、長時間の連続運転
が可能となるカーボンコート用反応容器を提供すること
を目的とする。
て、反応容器内部にスス成分が堆積せず、常に円滑な原
料ガスの流れが保持できて、光ファイバに均一なカーボ
ンコーティングがなされるとともに、長時間の連続運転
が可能となるカーボンコート用反応容器を提供すること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のカーボンコート
用反応容器は、カーボンコーティング室がコーティング
領域部と排気領域部とからなり、上記排気領域部の外端
部の径が、上記コーティング領域部の径よりも大きく設
定され、かつ、この外端部が外方へ開放されて、上記コ
ーティング領域部の熱分解された原料ガスを、排気領域
部の開放側へ排出する構成としたことを特徴とする。
用反応容器は、カーボンコーティング室がコーティング
領域部と排気領域部とからなり、上記排気領域部の外端
部の径が、上記コーティング領域部の径よりも大きく設
定され、かつ、この外端部が外方へ開放されて、上記コ
ーティング領域部の熱分解された原料ガスを、排気領域
部の開放側へ排出する構成としたことを特徴とする。
【００１０】また、排気領域部の外端を閉塞するととも
に、側面に少なくとも１個の排出管を設けて、排気領域
部の熱分解された原料ガスを、外部へ排出する構成とし
たことを特徴とする。
に、側面に少なくとも１個の排出管を設けて、排気領域
部の熱分解された原料ガスを、外部へ排出する構成とし
たことを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明のカーボンコート用反応容器によれば、
コーティング領域部の熱分解された原料ガスが排気領域
部の開放側へ排出されて、反応容器内部にスス成分が堆
積することがなくなる。また、排気領域部の外端を閉塞
した場合であっても、排気領域部の体積がコーティング
領域部より大きく設定されるので、コーティング領域部
から排気領域部へ流れる原料ガスは、この排気領域部で
拡散されて希薄になり、スス成分が減少する。このよう
な状態の原料ガスが、排出管１０から強制的に外部へ排
出されるので、スス成分が排出管１０に堆積して目詰ま
りすることがなくなる。したがって、反応容器の内部で
熱分解された原料ガスの流れが円滑になり、光ファイバ
表面に均一なカーボンコーティングがなされるととも
に、反応容器の長時間運転が可能となる。
コーティング領域部の熱分解された原料ガスが排気領域
部の開放側へ排出されて、反応容器内部にスス成分が堆
積することがなくなる。また、排気領域部の外端を閉塞
した場合であっても、排気領域部の体積がコーティング
領域部より大きく設定されるので、コーティング領域部
から排気領域部へ流れる原料ガスは、この排気領域部で
拡散されて希薄になり、スス成分が減少する。このよう
な状態の原料ガスが、排出管１０から強制的に外部へ排
出されるので、スス成分が排出管１０に堆積して目詰ま
りすることがなくなる。したがって、反応容器の内部で
熱分解された原料ガスの流れが円滑になり、光ファイバ
表面に均一なカーボンコーティングがなされるととも
に、反応容器の長時間運転が可能となる。
【００１２】
【実施例】以下、図面に示す実施例について説明する。
図１は、この発明のカーボンコート用反応容器の一実施
例を示す断面図である。なお、図４で示す前記従来の反
応容器と同一箇所には同一符号を付して、その詳細な説
明を省略する。
図１は、この発明のカーボンコート用反応容器の一実施
例を示す断面図である。なお、図４で示す前記従来の反
応容器と同一箇所には同一符号を付して、その詳細な説
明を省略する。
【００１３】１は石英ガラス製反応容器で、その内部に
はカーボンコーティング室６が形成されている。このカ
ーボンコーティング室６は、円筒状のコーティング領域
部６ａとラッパ状の排気領域部６ｂとで構成されてい
る。この排気領域部６ｂの外端部１ｂは、その径Ｙが上
記コーティング領域部６ａの径Ｘよりも大きく設定さ
れ、かつ、外方へ開放されている。
はカーボンコーティング室６が形成されている。このカ
ーボンコーティング室６は、円筒状のコーティング領域
部６ａとラッパ状の排気領域部６ｂとで構成されてい
る。この排気領域部６ｂの外端部１ｂは、その径Ｙが上
記コーティング領域部６ａの径Ｘよりも大きく設定さ
れ、かつ、外方へ開放されている。
【００１４】上記コーティング領域部６ａの上部側面に
は導入管９が設けられ、この導入管９から原料ガスＣと
してプロパンが２００ｃｃ／分および塩素ガスが２００
ｃｃ／分の流速でカーボンコーティング室６へ連続供給
されるようになっている。上記反応容器１のカーボンコ
ーティング室６は加熱器（図示せず）で１４００℃に加
熱され、上記供給された原料ガスＣは、ここで熱分解さ
れる。
は導入管９が設けられ、この導入管９から原料ガスＣと
してプロパンが２００ｃｃ／分および塩素ガスが２００
ｃｃ／分の流速でカーボンコーティング室６へ連続供給
されるようになっている。上記反応容器１のカーボンコ
ーティング室６は加熱器（図示せず）で１４００℃に加
熱され、上記供給された原料ガスＣは、ここで熱分解さ
れる。
【００１５】上記反応容器１は、上記石英ガラス製の他
に、上記原料ガスを熱分解する高温度加熱に耐性を有す
るもの、例えばステンレスなどの金属、窒化ケイ素など
のセラミック等の材料で成形することができる。
に、上記原料ガスを熱分解する高温度加熱に耐性を有す
るもの、例えばステンレスなどの金属、窒化ケイ素など
のセラミック等の材料で成形することができる。
【００１６】上記構成によると、コーティング領域部６
ａの原料ガスＣが、排気領域部６ｂの外端部１ｂの開放
側へ円滑に流れて外部へ排出されるので、原料ガスＣの
スス成分が反応容器１の内部に堆積することがなくな
る。したがって、光ファイバＦは、円滑な原料ガスＣの
流れの中を通過するので、その表面に均一なカーボンコ
ーティングがなされ、また、この反応容器の長時間運転
が可能となる。
ａの原料ガスＣが、排気領域部６ｂの外端部１ｂの開放
側へ円滑に流れて外部へ排出されるので、原料ガスＣの
スス成分が反応容器１の内部に堆積することがなくな
る。したがって、光ファイバＦは、円滑な原料ガスＣの
流れの中を通過するので、その表面に均一なカーボンコ
ーティングがなされ、また、この反応容器の長時間運転
が可能となる。
【００１７】図２は、この発明の他の実施例を示す断面
図である。なお、図１および図４と同一箇所には同一符
号を付して、その詳細な説明を省略する。同図におい
て、前記図１と相違するところは、容器１の端部１ａを
閉塞したものとし、その内部に仕切り部材４，５を設け
てカーボンコーティング室６とシール室７，８を形成し
たことである。このカーボンコーティング室６の排気領
域部６ｂの下側面に、導出管１０を設けて強制排気手段
（図示せず）で排気させるようにしている。また、上記
各シール室７，８の側面に導入管１１，１３および導出
管１２，１４をそれぞれ設け、上記シール室７，８にア
ルゴンガスを供給して、カーボンコーティング室６内の
原料ガスＣをシールしたことである。
図である。なお、図１および図４と同一箇所には同一符
号を付して、その詳細な説明を省略する。同図におい
て、前記図１と相違するところは、容器１の端部１ａを
閉塞したものとし、その内部に仕切り部材４，５を設け
てカーボンコーティング室６とシール室７，８を形成し
たことである。このカーボンコーティング室６の排気領
域部６ｂの下側面に、導出管１０を設けて強制排気手段
（図示せず）で排気させるようにしている。また、上記
各シール室７，８の側面に導入管１１，１３および導出
管１２，１４をそれぞれ設け、上記シール室７，８にア
ルゴンガスを供給して、カーボンコーティング室６内の
原料ガスＣをシールしたことである。
【００１８】上記構成によると、カーボンコーティング
室６の排気領域部６ｂの体積がコーティング領域部６ａ
より大きいので、コーティング領域部６ａから排気領域
部６ｂへ流れる原料ガスＣは、この排気領域部６ｂで拡
散されて希薄になり、スス成分が減少する。この状態の
原料ガスＣが、排出管１０から強制的に外部へ排出され
るので、スス成分が排出管１０に堆積して目詰まりする
ことがなくなる。このように反応容器１の内部にスス成
分が堆積しないので、原料ガスＣの流れが円滑になり、
カーボンコーティング室６で分解された原料ガスＣで光
ファイバＦ表面に均一なカーボンコーティングがなされ
る。また、排出管１０がスス成分で目詰まりしないの
で、反応容器の長時間運転が可能となる。
室６の排気領域部６ｂの体積がコーティング領域部６ａ
より大きいので、コーティング領域部６ａから排気領域
部６ｂへ流れる原料ガスＣは、この排気領域部６ｂで拡
散されて希薄になり、スス成分が減少する。この状態の
原料ガスＣが、排出管１０から強制的に外部へ排出され
るので、スス成分が排出管１０に堆積して目詰まりする
ことがなくなる。このように反応容器１の内部にスス成
分が堆積しないので、原料ガスＣの流れが円滑になり、
カーボンコーティング室６で分解された原料ガスＣで光
ファイバＦ表面に均一なカーボンコーティングがなされ
る。また、排出管１０がスス成分で目詰まりしないの
で、反応容器の長時間運転が可能となる。
【００１９】図３は、この発明の他の実施例を示す断面
図である。なお、前記図２と同一箇所には同一符号を付
し、その詳細な説明を省略する。同図において、前記図
２と相違するところは、排気領域部６ｂを、その径Ｙが
コーティング領域部６ａの径Ｘのほぼ１０倍とした円筒
状のものとし、上記コーティング領域部６ａと同心上に
形成したことである。さらにこの排気領域部６ｂには、
２本の排出管１０ａ，１０ｂを設けたことである。この
構成によると、上記排気領域部６ｂの希薄原料ガスＣが
複数の排出管１０ａ，１０ｂから外部へ強制的に排出さ
れ効果的な排気がなされるので、スス成分が排出管１０
ａ，１０ｂに堆積されることがない。
図である。なお、前記図２と同一箇所には同一符号を付
し、その詳細な説明を省略する。同図において、前記図
２と相違するところは、排気領域部６ｂを、その径Ｙが
コーティング領域部６ａの径Ｘのほぼ１０倍とした円筒
状のものとし、上記コーティング領域部６ａと同心上に
形成したことである。さらにこの排気領域部６ｂには、
２本の排出管１０ａ，１０ｂを設けたことである。この
構成によると、上記排気領域部６ｂの希薄原料ガスＣが
複数の排出管１０ａ，１０ｂから外部へ強制的に排出さ
れ効果的な排気がなされるので、スス成分が排出管１０
ａ，１０ｂに堆積されることがない。
【００２０】なお、上記実施例では、反応容器の形状と
して三角フラスコ形状、三角フラスコの底部開放形状、
二重構造円筒状を示したが、フラスコ状、二重構造角柱
状、瓢箪状などの形状のものも使用できる。
して三角フラスコ形状、三角フラスコの底部開放形状、
二重構造円筒状を示したが、フラスコ状、二重構造角柱
状、瓢箪状などの形状のものも使用できる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、反応容器の内部にスス
成分が堆積することがなく、原料ガスの流れが円滑とな
って、光ファイバ表面に均一なカーボンコートがなされ
るとともに、反応容器の長時間運転が可能である。
成分が堆積することがなく、原料ガスの流れが円滑とな
って、光ファイバ表面に均一なカーボンコートがなされ
るとともに、反応容器の長時間運転が可能である。
【図１】この発明のカーボンコート用反応容器の一実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図２】この発明のカーボンコート用反応容器の他の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図３】この発明のカーボンコート用反応容器の他の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図４】従来の光ファイバにカーボンコートする製造装
置を示す概略図である。
置を示す概略図である。
１ 反応容器 １ｂ 外端部 ６ カーボンコーティング室 ６ａ コーティング領域部 ６ｂ 排気領域部 Ｃ 原料ガス Ｆ 光ファイバ Ｘ コーティング領域部の径 Ｙ 排気領域外端部の径
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森澤 正明 兵庫県伊丹市池尻４丁目３番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 田中 紘幸 兵庫県伊丹市池尻４丁目３番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内
Claims (2)
- 【請求項１】 カーボンコーティング室へ導入される光
ファイバ表面に熱分解された原料ガスでカーボンコート
する反応容器であって、カーボンコーティング室がコー
ティング領域部と排気領域部とからなり、上記排気領域
部の外端部の径が、上記コーティング領域部の径よりも
大きく設定され、かつ、この外端部が外方へ開放され
て、上記コーティング領域部の熱分解された原料ガス
を、排気領域部の開放側へ排出する構成としたことを特
徴とするカーボンコート用反応容器。 - 【請求項２】 排気領域部の外端を閉塞するとともに、
側面に少なくとも１個の排出管を設けて、排気領域部の
熱分解された原料ガスを、外部へ排出する構成とした請
求項１に記載のカーボンコート用反応容器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3349239A JPH05155643A (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | カーボンコート用反応容器 |
| US07/913,171 US5354348A (en) | 1991-05-12 | 1992-07-14 | Method for producing silica glass optical fiber with carbon coating |
| DE1992624683 DE69224683T2 (de) | 1991-07-15 | 1992-07-15 | Verfahren zur Herstellung einer optischen Silica-Glasfaser und Reaktionsapparat für Kohlenstoffbeschichtung |
| EP92402042A EP0524090B1 (en) | 1991-07-15 | 1992-07-15 | Method for producing silica glass optical fiber and reaction apparatus for carbon coating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3349239A JPH05155643A (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | カーボンコート用反応容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05155643A true JPH05155643A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18402424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3349239A Pending JPH05155643A (ja) | 1991-05-12 | 1991-12-05 | カーボンコート用反応容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05155643A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0640750A (ja) * | 1992-05-26 | 1994-02-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ハーメチックコート光ファイバの製造装置 |
| DE102015002195A1 (de) | 2014-02-27 | 2015-08-27 | Fanuc Corporation | Gaslaseroszillator mit Steuerung eines eingestellten Pegels der Laserenergieversorgung |
-
1991
- 1991-12-05 JP JP3349239A patent/JPH05155643A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0640750A (ja) * | 1992-05-26 | 1994-02-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ハーメチックコート光ファイバの製造装置 |
| DE102015002195A1 (de) | 2014-02-27 | 2015-08-27 | Fanuc Corporation | Gaslaseroszillator mit Steuerung eines eingestellten Pegels der Laserenergieversorgung |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3815796B2 (ja) | 環形状の積重ねで配された多孔性基材を強化するための化学気相浸透法 | |
| US6669988B2 (en) | Hardware assembly for CVI/CVD processes | |
| EP0954621A4 (en) | METHOD AND APPARATUS FOR REDUCING THE DEPOSITION OF MATERIAL IN THE DISCHARGE OF A REACTION OVEN | |
| JPH09506583A (ja) | 多孔質基板の高密度化方法 | |
| RU97118789A (ru) | Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями | |
| US20060269665A1 (en) | Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method | |
| US4096823A (en) | Apparatus for metallization of fibers | |
| US2285017A (en) | Coating apparatus | |
| TW206201B (ja) | ||
| RU2319680C2 (ru) | Способ и установка для высокотемпературной тепловой обработки и уплотнения углеродных конструкций химической инфильтрацией из газовой фазы | |
| US3138435A (en) | Deposition apparatus and method for forming a pyrolytic graphite article | |
| WO2004007402A1 (fr) | Procede et installation pour l'obtention de produits en carbone a partir de produits en precurseur de carbone | |
| JPH05155643A (ja) | カーボンコート用反応容器 | |
| FR2583408A1 (fr) | Procede de production d'une preforme pour fibres optiques et utilisation d'un tube en verre de quartz pour produire une telle preforme. | |
| US2328422A (en) | Method for coating bodies with carbon | |
| KR0125948B1 (ko) | 밀봉피복광파이버의 제조장치 | |
| KR100224884B1 (ko) | 화학물질 증착장치 | |
| JPH0656482A (ja) | ハーメチックコート光ファイバの製造装置 | |
| JP4014890B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の熱処理装置 | |
| JP3059389B2 (ja) | カーボン被覆装置及びカーボン被膜形成方法 | |
| EP1525342A2 (fr) | Procede et installation de traitement thermique de produits en carbone contenant du sodium | |
| JPH02212340A (ja) | 光ファイバ薄膜被覆装置 | |
| JPH04187547A (ja) | ハーメチックコート光ファイバの製造装置 | |
| CN118063087A (zh) | 一种制备掺氟光纤预制棒的气体预处理装置及方法 | |
| JPS62162646A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |