RU2167217C2 - Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями - Google Patents

Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями Download PDF

Info

Publication number
RU2167217C2
RU2167217C2 RU97118789/02A RU97118789A RU2167217C2 RU 2167217 C2 RU2167217 C2 RU 2167217C2 RU 97118789/02 A RU97118789/02 A RU 97118789/02A RU 97118789 A RU97118789 A RU 97118789A RU 2167217 C2 RU2167217 C2 RU 2167217C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gas phase
reaction chamber
substrates
stack
stacks
Prior art date
Application number
RU97118789/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU97118789A (ru
Inventor
Кристэн Франсуа
Добиньи Пьер
Делорен Пьер
Лелюан Жан-Люк
Original Assignee
Сосьете Насьональ Д'Этюд э де Констрюксьон де Мотер Д'Авиасьон "СНЕКМА"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=9478184&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2167217(C2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Сосьете Насьональ Д'Этюд э де Констрюксьон де Мотер Д'Авиасьон "СНЕКМА" filed Critical Сосьете Насьональ Д'Этюд э де Констрюксьон де Мотер Д'Авиасьон "СНЕКМА"
Publication of RU97118789A publication Critical patent/RU97118789A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2167217C2 publication Critical patent/RU2167217C2/ru

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к изготовлению композиционных материалов. Субстраты загружают внутрь реакционной камеры печи инфильтрации, размещая их кольцеобразным штабелем, который разграничивает внутренний проход с промежутками, оставленными между субстратами. Газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, отводят через канал на выходе из зоны предварительного нагрева к одному из объемов, образованных внутренней и внешней частью штабеля или штабелей субстратов, предпочтительно к наиболее маленькому. Объем закрыт на его противоположном конце так, что циркуляция газовой фазы между подачей в реакционную камеру и удаления из реакционной камеры производится из внутренней части к внешней части штабеля или штабелей, или наоборот, газовая фаза проходит через промежутки между субстратами и просачивается внутрь последних. Изобретение направлено на устранение модификации микроструктуры пироуглерода при инфильтрации. 1 с. и 9 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Настоящее изобретение относится к способу химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, размещенных кольцеобразно штабелями, т. е. субстратов, обладающих круговым движением с центральным проходом или отверстием, которые расположены по меньшей мере в виде штабеля, ограничивающего внутренний проход, образованный центральными отверстиями субстратов, или субстратов, имеющих необязательно кольцеобразную форму, но расположенных так, чтобы образовывать штабель с внутренним проходом, ограниченным штабелированными субстратами.
Областью применения по изобретению является, в частности, изготовление деталей из композиционных материалов, содержащих субстрат или заготовок пористую, уплотненную матрицей.
Для изготовления деталей из композиционного материала, в частности, деталей из термоструктурного композиционного материала, образованных из огнеупорной волокнистой заготовки (например, углеродные или керамические волокна), уплотненной огнеупорной матрицей (например, углерод или керамика), обычно прибегают к способам химической инфильтрации в паровой фазе. Примерами таких деталей являются патрубки ходовых двигателей из композита углерод-углерод (C-C) или тормозные диски, в частности тормозные диски в самолетах, из композита C-C.
Уплотнение пористых субстратов химической инфильтрацией в паровой фазе заключается в помещении субстратов в реакционную камеру установки инфильтрации с помощью переносного набора инструментов и в действии в камере газовой фазы, один или несколько компонентов которой представляют предшествующие продукты материала, вводимого внутрь субстратов, чтобы гарантировать их уплотнение. Условия инфильтрации, особенно состав и расход газовой фазы и температура, и давление в камере выбирают для обеспечения возможности диффузии газовой фазы в пределах достижимой внутренней пористости субстратов, с целью реакции желаемого вводимого материала разложением компонента газовой фазы или реакции между несколькими компонентами этой газовой фазы.
Условия химической инфильтрации в паровой фазе пиролитического углерода или пироуглерода уже давно известны специалисту. Предшественником углерода является алкан, алкил или алкен, обычно пропан, метан или их смесь. Инфильтрацию осуществляют при температуре около 1000oC при давлении, например, около 1 кПа. Условия химической инфильтрации в паровой фазе других материалов кроме углерода, особенно керамических материалов, также хорошо известны. Можно сослаться, в частности, на патент Франции A-2401888.
В промышленной установке химической инфильтрации в паровой фазе обычно загружают реакционную камеру несколькими субстратами или заготовками для одновременного уплотнения, используя набор инструментов, включающий, в частности, тарелки и распорки. Если заготовки кольцеобразные, то они могут быть расположены штабелями в продольном направлении к реакционной камере. Газовая фаза, содержащая один или несколько предшественников материала, помещенного внутри заготовок, поступает на продольном конце реакционной камеры, тогда как остаточные газы выводят на противоположном конце, откуда их удаляют с помощью откачки. Обычно предусмотрены средства для предварительного нагревания газовой фазы, перед тем как она достигает заготовок для уплотнения, например, в форме перфорированных тарелок предварительного нагрева, через которые проходит газовая фаза, поступающая в реакционную камеру.
Реальной трудностью, которая встречается в известных способах химической инфильтрации в паровой фазе, является гарантирование стойкости микроструктуры материала, вводимого внутрь субстратов. В особом случае для деталей из композиционного материала, необходимо в соответствии со свойствами, ожидаемыми от этих деталей, чтобы микроструктура матрицы была постоянной и соответствовала этому требовании. Таким образом, в примере инфильтрации пиролитического углерода или пироуглерода даже минимальные изменения условий инфильтрации могут приводить к модификациям микроструктуры пироуглерода. Следовательно, пироуглероды ламинарного ровного, ламинарного неровного и изотопного типов имеют очень различные свойства. Если стараются получить, например, графитированную пироуглеродную матрицу термообработкой, то должна быть получена предпочтительно, микроструктура ламинарного неровного типа. На самом деле, вопреки заботам о контроле условий инфильтрации, были установлены модификации микроструктуры пироуглерода, внесенного внутрь заготовок, особенно более удаленных от доступа газовой фазы в реакционную камеру. Эти нарушения микроструктуры могут доходить до образования сажи и до образования нежелательных древовидных наростов в реакционной камере.
Чтобы решить эту проблему, пытались значительно увеличить расход газовой фазы, поступающей в реакционную камеру, так, чтобы газовая фаза находилась, в общем, напротив различных загруженных заготовок. Но в этом случае необходимо предусматривать более мощное, следовательно, более дорогое средство откачки и расход газовой фазы является более значительным. Кроме того, эффективность предварительного нагрева уменьшается, если газовая фаза проходит более быстро через тарелки предварительного нагрева. Для доведения газовой фазы до желаемой температуры позднее при ее первом контакте с заготовкой для уплотнения необходимо увеличить число тарелок предварительного нагрева, однако это идет в ущерб полезному объему внутри реакционной камеры, следовательно, общему выходу установки.
Предметом настоящего изобретения является создание способа, позволяющего избегать вышеупомянутых недостатков, т.е. способа химической инфильтрации в паровой фазе, позволяющего гарантировать постоянство микроструктуры внутри уплотняемых субстратов без увеличения расхода газовой фазы или ограничения объема загрузки, невыгодных, другими словами, для стоимости и выхода установки.
Этой цели достигают, благодаря способу химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов материалом, вводимым внутрь последних, который включает загрузку уплотняемых субстратов внутрь реакционной камеры печи инфильтрации, расположение субстратов по меньшей мере кольцеобразно или полым штабелем, который простирается в продольном направлении реакционной камеры и который разграничивает внутренний канал с промежутками, оставленными между субстратами, впуск вблизи первого продольного конца реакционной камеры газовой фазы, содержащей по меньшей мере один предшественник вводимого материала, и удаление остаточных газов через выход, расположенный вблизи продольного конца реакционной камеры, противоположного первому.
Способ согласно изобретению отличается тем, что газовую фазу вводят в реакционную камеру, через канал к одному из двух объемов, образованных внутренней и внешней частью штабеля или штабелей субстратов на его конце, наиболее близком к первому продольному концу реакционной камеры; объем, в котором газовая фаза имеет канал, закрыт на его конце, наиболее удаленном от первого продольного конца реакционной камеры, так, что циркуляция газовой фазы между впуском в реакционную камеру и удалением из реакционной камеры производится из внутренней части к внешней части штабеля или каждого штабеля или наоборот газовая фаза проходит через промежутки между субстратами и просачивается внутрь последних.
Выгодно, когда газовую фазу подают в реакционную камеру после предварительного нагрева пропусканием через зону предварительного нагрева, расположенную в первом конце реакционной камеры, отвод газовой фазы внутри или снаружи каждого штабеля осуществляют на выходе из зоны предварительного нагрева.
Этот способ вносит определенное улучшение условий инфильтрации, чтобы достигнуть искомой цели, в частности, по сравнению с известными способами, в которых газовую фазу подают одинаково в реакционную камеру, т.е., когда реакционная камера содержит один или несколько штабелей субстратов, с подачей газовой фазы одновременно внутри и снаружи штабеля или каждого штабеля.
Очень важным преимуществом способа по изобретению является то, что время пребывания газа в реакционной камере может быть значительно сокращено без изменения расхода потока. В самом деле, газовая фаза поступает только в объем, представленный или свободным промежутком, образованным одним или несколькими центральными каналами одного или нескольких штабелированных субстратов, или свободным промежутком вокруг штабелированных субстратов. Этот объем весьма значительно сокращен по отношению к полному объему реакционной камеры, не занятому загрузкой (субстраты и набор инструментов), т.е. полный объем так называемых свободных промежутков, так, что само количество газа вытекает гораздо быстрее. В промышленной установке инфильтрации в паровой фазе пироуглерода способ по изобретению позволяет легко ограничивать время пребывания величиной, самое большее равной 1 сек. Снижением времени пребывания избегают чрезмерного созревания и ухудшения газовой фазы, которое может приводить к изменению микроструктуры внесенного материала.
Кроме того, так как предложена возможность сильного сокращения времени пребывания для одинакового расхода, можно при измерении, когда полученные результаты остаются приемлемыми, довольствоваться меньшим сокращением времени пребывания и даже сохранять его неизменным; расход газовой фазы в этом случае уменьшен. Сокращение расхода выражается экономией потребления газовой фазы. Оно позволяет также снижать габариты средств предварительного нагрева, а следовательно, увеличивать полезный объем печи и иметь меньшие средства откачки. Для оптимизирования сокращения времени пребывания и/или расхода газовой фазы, предпочтительно, отвод поступающей газовой фазы осуществлять к меньшему из двух объемов, образованных внутренней и внешней частью штабелированного или штабелированных субстратов.
Дополнительное преимущество способа заключается в том, что, заставляя газовую фазу циркулировать из внутренней части к внешней части штабеля или каждого штабеля субстратов или наоборот, гарантируют постоянное обновление газовой фазы, которая омывает поверхности субстратов и на основе которых происходит диффузия внутрь субстратов. Когда газовая фаза поступает одновременно в объемы, образованные внутренней и внешней частью штабеля или штабелей субстратов на одном конце их и эти объемы не закрыты на своем другом конце, происходит вытекание предпочтительно в продольном направлении. Постоянное обновление газовой фазы не может быть гарантировано в этом случае в промежутках между субстратами, если только предусматривать достаточно широкие промежутки. Следовательно, непроточность газовой фазы в промежутках между субстратами означает большое время пребывания, т.е. повреждение микроструктуры внесенного материала. И, если субстраты удалены одни от других на расстояние, довольно большое для благоприятной циркуляции газовой фазы между ними, это наносит ущерб количеству загрузки субстратов в печь инфильтрации.
При способе по изобретению циркуляция происходит обязательно непрерывно в промежутках между субстратами из внутренней части к внешней каждого штабеля или наоборот. В этом случае возможно, чтобы промежутки, оставленные между субстратами штабеля, имели небольшую ширину, просто достаточную для гарантирования уравновешивания давления между внутренней и внешней частью штабеля. Это позволяет оптимизировать степень наполнения печи субстратами.
Желательно поддерживать постоянную скорость истечения газовой фазы в продольном направлении во внутренний или внешний объем, к которому ведет канал, вопреки потерям загрузок, вызванных боковыми утечками в промежутках между субстратами и диффузией внутри них. С этой целью можно размещать в этом объеме по меньшей мере компенсационный элемент, который простирается в продольном направлении с поперечным сечением, возрастающим в направлении истечения газовой фазы.
Способ по изобретению выгодно применяется для уплотнения кольцеобразных заготовок тормозных дисков. Заготовки могут быть расположены одним штабелем или несколькими штабелями, параллельными в продольном направлении реакционной камеры. Предпочтительно газовая фаза поступает в этом случае через канал к внутренней части штабелей заготовок.
Способ по изобретению можно также применять для уплотнения других кольцеобразных или заметно кольцеобразных заготовок, в частности заготовок расходящихся патрубков двигателя. Заготовки расположены в этом случае одни над другими, предпочтительно, таким образом, что одна заготовка частично введена в другую. Внутреннее отверстие каждой заготовки имеет относительно большой диаметр, и газовая фаза поступает в этом случае через канал к внешней части каждого штабеля заготовок, имеющей обычно меньший объем, чем внутренняя часть.
Способ по изобретению может применяться также для уплотнения необязательно кольцеобразных субстратов, т. е. необязательно обладающих круговым движением с центральным проходом или отверстием. В этом случае штабелирование субстратов осуществляют таким образом, чтобы образовывать кольцеобразный или полый штабель с внутренним отверстием, окаймленным штабелированными субстратами.
Примеры применения способа по изобретению поясняют его, но не имеют ограничительного характера. На прилагаемых чертежах показаны:
- фиг. 1 иллюстрирует схематически загрузку реакционной камеры установки химической инфильтрации в паровой фазе по известному способу;
- фиг. 2 иллюстрирует схематически пример применения способа по изобретению для уплотнения кольцеобразных заготовок тормозных дисков;
- фиг. 3 иллюстрирует схематически другой пример применения способа по изобретению для уплотнения предформ расходящихся патрубков двигателя и
- фиг. 4 иллюстрирует схематически другую загрузку субстратов, позволяющую применять способ по изобретению.
На фиг. 1 схематически показана реакционная камера 1 установки химической инфильтрации в паровой фазе. Реакционная камера 1 имеет обычную цилиндрическую форму с вертикальной осью. Кольцеобразные волокнистые заготовки 2, предназначенные, например, для изготовления тормозных дисков самолетов из композиционного материала углерод-углерод, загружают в реакционную камеру 1 обычной формы уровня техники.
Заготовки 2 расположены в несколько штабелей, которые простираются в вертикальном продольном направлении реакционной камеры 1 (представлены только два штабеля). Штабели поддерживаются оборудованием, включающим нижнюю загрузочную тарелку 5a и промежуточные 5b, снабженные отверстиями 5 для прохода газов, и распорными балками 5c между тарелками. Система покоится на основании реакционной камеры.
Чтобы обеспечивать уплотнение заготовок 2, газовую фазу, содержащую предшественник углерода, такой как пропан, смешанную с метаном или природным газом, вводят в реакционную камеру 1. В данном примере газовую фазу подают через несколько каналов 6, которые выходят в нижней части реакционной камеры и распределены приблизительно равномерно. Остаточные газы удаляют в верхней части реакционной камеры через каналы 7.
В нижней части реакционной камеры газовая фаза проходит через зону предварительного нагрева 8, содержащую перфорированные тарелки предварительного нагрева, перед достижением нижней загрузочной тарелки 5a. Тарелки предварительного нагрева расположены в реакционной камере 1a, они постоянно близки к температуре, преобладающей в последней, и позволяют обеспечивать эффективный предварительный нагрев газовой фазы.
Внутренний обогрев реакционной камеры производят нагревательным элементом из графита 9, образующим спаренный электромагнитный якорь с индуктором (не представленным). Нагревательный элемент 9 разграничивает внутренний объем камеры с вертикальной осью с основанием 1a, через которое проходят каналы 6, и крышку 1b, через которую проходят каналы 7. Основание и крышка также выполнены из графита, как и распорки, находящиеся в реакционной камере.
Уплотнение волокнистых заготовок 2 обеспечивают хорошо известным способом путем подачи внутрь последних пиролитического углерода, образованного разложением предшественника, содержащегося в газовой фазе, диффундирующей внутри заготовок при допустимой внутренней пористости. Газовая фаза циркулирует в реакционной камере 1 между зоной предварительного нагрева 8 и выпускными трубами 7, проходя внутри и снаружи штабелированных субстратов 2. Чтобы обеспечить доступ к газовой фазе на поверхностях предформ 2, последние в каждом штабеле поддерживаются на расстояниях одни от других при помощи распорок 3, которые оставляют промежутки между субстратами.
Чтобы осуществлять уплотнение кольцеобразных заготовок по способу в соответствии с изобретением, загрузку реакционной камеры изменяют, как представлено на фиг. 2.
Как показано на фиг. 2, реакционная камера 11 имеет цилиндрическую форму с вертикальной осью, разграниченную нагревательным элементом из графита 19, основание 11a из графита, закрывающее реакционную камеру в ее нижней части, и крышку из графита 11b, закрывающую реакционную камеру в ее верхней части.
Как хорошо известно, установка инфильтрации включает индуктор (не представлен), который ограждает нагревательный элемент 19. Индуктор соединен с нагревательным элементом 19, образующим якорь, чтобы нагревать реакционную камеру 11. Питанием индуктора управляют таким образом, чтобы поддерживать при желаемой величине температуру, преобладающую в реакционной камере 11, измеренную при помощи датчика (не представленного).
Заготовки 12 представляют собой заготовки из волокон углерода, предназначенные для уплотнения матрицей пиролитического углерода, например. Заготовки тормозных дисков в самолетах. Они образованы из слоев волокнистого углерода, наложенных друг на друга, связанных между собой ориентированием. Способ изготовления заготовок из волокнистого углерода, образованных слоями, уложенными в штабели плашмя, описан в патенте Франции FR-A-2 584 106.
Газовую фазу, содержащую один или несколько предшественников углерода, вводят в реакционную камеру 11 через подводящие трубопроводы 16, примыкающие к нижнему концу реакционной камеры через основание 11a. Газовая фаза, дающая пиролитический углерод, образована, например, пропаном, предшественником углерода, и природным газом. Остаточные газы удаляют в верхней части реакционной камеры при помощи отводящих трубопроводов 17 через крышку 11b. Отводящие трубопроводы соединены с откачивающим устройством (не представлено), позволяющим устанавливать желаемое давление внутри реакционной камеры.
Газовую фазу, проникающую в реакционную камеру 11, предварительно нагревают пропусканием через перфорированные тарелки предварительного нагрева 20, разделенные промежутками одни от других, и основание 11a через распорки 21. Тарелки предварительного нагрева 20 и распорки 21 выполнены из графита. Пропусканием через тарелки 20 газовую фазу доводят до температуры, близкой к температуре, преобладающей в реакционной камере 11.
Газовая фаза, предварительно нагретая, проходит затем через тарелку диффузора 22, которая устанавливается на основании 11a при помощи опоры 23. Тарелка 22 имеет отверстия 22a с регулярными интервалами, чтобы распределять газовую фазу почти одинаково по всей реакционной камере 11.
Предформы 12 являются одинаковыми и расположены вертикальными штабелями 30 на круглых опорных тарелках 15a, 15b. Последние имеют отверстия 15 и разделены промежутками одни от других через распорки 24. Опорные тарелки 15a, 15b и распорки 24 выполнены, например, из графита. Нижняя опорная тарелка 15a покоится на тарелке диффузора 22 при помощи установочных клинов 25, которые сохраняют промежутки этой последней. Перфорированная верхняя круглая тарелка 26 может быть расположена выше загрузки, чтобы термически гомогенизировать загрузку, образуя защитную перегородку относительно теплового излучения заготовок, расположенных в верхней части загрузки. Тарелка 26 покоится на верхней опорной тарелке при помощи распорок 27. Несколько штабелей заготовок образованы и распределены почти равномерно на поверхности тарелок 15a, 15b (на фиг. 2 показаны только два штабеля). Каждый штабель 30 включает несколько заготовку 12, расположенных одни над другими, имеющих одну и ту же вертикальную ось и простирающихся в промежутке между двумя тарелками. Заготовки уложенные в штабели на различных тарелках 15a, 15b, выстроены в ряд вертикально с отверстиями 15, эти последние имеют диаметр, равный или немного выше внутреннего диаметра заготовок 12. Таким образом, штабели 30 предформ, выстроенных в ряд вертикально, определяют центральный проход в форме трубы 31, образованной центральными отверстиями кольцеобразных предформ 12 и отверстиями 15 в тарелках. Эти проходы 31 закрыты в своей верхней части сплошными защитными перегородками 32.
Предварительно нагретую газовую фазу, выходящую из тарелки диффузора 22, отводят через канал к объему, образованному внутренними проходами 31 штабелей 30. С этой целью установочные клины 25, расположенные между тарелкой диффузора 22 и нижней опорной тарелкой 15a, представляют кольца с внутренним диаметром, равным или немного выше внутреннего диаметра отверстий 15, и выстроены в ряд с последними, чтобы направлять газовую фазу исключительно к проходам 31. Тарелка диффузора 22 оснащена отверстиями 22a только в соответствии с проходами 31.
Прокладочные элементы 33 небольшой толщины расположены в каждом штабеле между заготовками 12 или по меньшей мере между группами уложенных в штабели заготовок. Подобные прокладочные элементы расположены также между опорными тарелками и первыми заготовками, которые на них находятся, так же как между последними заготовками штабелей 30 и защитных перегородок 32. Эти прокладочные элементы 33 оберегают каналы утечки 34 газовой фазы между внутренней и внешней частью заготовок, уравнивая давление между проходами 31 и внутренним объемом камеры 11, и обеспечивая диффузию газовой фазы, начиная с основных ровных поверхностей заготовок 12. Таким образом, газовую фазу, выходящую из зоны предварительного нагрева, направляют через канал к внутренним проходам 31 штабелей 30, затем она проходит из внутренней в наружную часть каждого штабеля 30, в объем внешней камеры 36 на штабели 30, откуда ее удаляют через перфорированную тарелку 26 и через выпускные трубопроводы 17.
Чтобы компенсировать потери загрузки, вызванные этими боковыми утечками, к которым присоединяется диффузия газовой фазы в заготовках, а также поддерживать постоянную скорость потока газовой фазы в проходах 31, круглое пропускное сечение последних может быть постепенно уменьшено в зоне циркуляции газовой фазы снизу вверх. Это ограничение пропускного сечения может быть получено путем включения в каждый проход 31 вертикального центрального элемента 35 оснащения сечения, возрастающего в направлении вытекания газового потока. Этот элемент 35 оснащения (один представлен на фиг. 2) в форме "сталактита" закреплен, например, под защитной перегородкой 32, расположенной в верхней части прохода.
Значительное преимущество способа по изобретению заключается в сокращении времени пребывания газовой фазы в реакционной камере 11 по сравнению с расположением, показанным на фиг. 1, для такого же расхода введенной газовой фазы, и в гарантировании постоянного обновления газовой фазы, омывающей внешние поверхности заготовок.
Время пребывания измеряют в реакционной камере промышленной печи. Для данного расхода притока время пребывания, измеренное между впускными трубопроводами 16 и верхом штабелей заготовок, составляет 0,4 сек с расположением, показанным на фиг. 2, тогда как оно составляет 1,8 сек для расположения на фиг. 1. Это уменьшение времени пребывания, вызванное тем, что газовая фаза направлена через канал к небольшому объему, образованному внутренними проходами штабелей, гарантирует постоянную микроструктуру пироуглерода, нанесенного на всей длине штабелей заготовок.
Кроме того, осуществляя обязательную циркуляцию между внутренней и внешней частью каждого штабеля, получают непрерывное обновление газовой фазы в промежутках между уложенными в штабели заготовками, снабженными распорками 34. Таким образом, эти промежутки могут иметь небольшую ширину, гораздо ниже 5 мм, например, между приблизительно 0,1 мм и 5 мм, позволяющую оптимизировать степень наполнения печи. Напротив, при расположении на фиг.1 предпочтительная циркуляция газовой фазы устанавливается в направлении, вертикальном к внутренней и внешней части штабелей заготовок. Чтобы обеспечить существование достаточной циркуляции в промежутках между уложенными штабелями заготовками, промежутки должны иметь достаточно большую ширину в ущерб степени наполнения печи. За отсутствием этого существует риск непроточности газовой фазы в промежутках между заготовками и, следовательно, риск повреждения микроструктуры пироуглерода, внесенного диффузией этой газовой фазы.
Кроме того, так как расход является постоянным, время пребывания может быть сильно сокращено в способе по изобретению при постоянном времени пребывания, расход может быть снижен в такой же пропорции. Таким образом, если значительное сокращение времени пребывания не является полезным для обеспечивания постоянства микроструктуры пироуглерода, внесенного в реакционную камеру, расход газовой фазы может быть уменьшен. Потребление предшественника углерода в этом случае снижается, габарит зоны предварительного нагрева может быть уменьшен, не оказывая влияния на качество предварительного нагрева, а следовательно, повышается полезный объем реакционной камеры и потребности откачки, чтобы поддерживать давление в реакционной камере при желаемой величине, снижаются.
Способ по изобретению может быть применен с кольцеобразными другими пористыми субстратами, кроме приведенных на фиг. 2, обычно с субстратами, имеющими форму кругового движения с проходом или центральным осевым отверстием.
Таким образом, в реакционной камере установки инфильтрации, показанной схематически на фиг. 3, пористые субстраты для уплотнения представляют собой волокнистые предформы с расходящимися патрубками для двигателей. Речь идет, например, о заготовках из углеродных волокон, предназначенных для уплотнения матрицей из пиролитического углерода.
Как это иллюстрирует фиг. 3, реакционная камера 41 имеет форму цилиндра с вертикальной осью и разграничена нагревательным элементом из графита 49, основание 41a из графита, закрывающее реакционную камеру в нижней части и крышку из графита 41b, закрывающую реакционную камеру в ее верхней части. Нагревательный элемент 49 образует якорь, связанный с индуктором (не представлен), окружающим реакционную камеру.
Газовую фазу, содержащую один или несколько предшественников углерода, вводят в реакционную камеру 41 через подводящие трубопроводы 46, заканчивающиеся на нижнем конце реакционной камеры, через основание 41a. Газовая фаза включает, например, пропан, смешанный с метаном, или природный газ. Остаточные газы удаляют в верхней части реакционной камеры при помощи отводных трубопроводов 47 через крышку 41b. Отводные трубопроводы связаны с откачивающим устройством (не представлено), позволяющим устанавливать желаемое давление внутри реакционной камеры.
Газовую фазу, проникающую в реакционную камеру 41, предварительно нагревают в зоне предварительного нагрева 48 пропусканием через перфорированные тарелки предварительного нагрева, разделенные промежутками одни от других, и основание 41a через распорки 51. Тарелки предварительного нагрева и распорки 51 выполнены, например, из графита. Пропусканием в зону предварительного нагрева 48, через тарелки 50, газовую фазу доводят до температуры, близкой к температуре, преобладающей в реакционной камере 41. Затем предварительно нагретая газовая фаза проходит через тарелку диффузора 52, имеющую отверстия 52a и установленную на основании 41a с помощью опоры.
Заготовки для уплотнения 42a, 42b, 42c, в примере в количестве трех, расположены таким образом, что их оси совмещены с вертикальной осью реакционной камеры 41 и они расходятся, открываясь вниз. Их форма усеченного конуса или форма "кокетки" позволяет размещать заготовки таким образом, чтобы они частично вкладывались одни в другие, образуя вертикальный штабель, вершины заготовок 42a, 42b расположены соответственно внутри заготовок 42b, 42c.
Предформы поддерживаются при помощи соответствующих горизонтальных тарелок, соответственно нижней тарелки 45a и двух кольцеобразных промежуточных тарелок 45b, 45c, поддерживаемых с промежутками одни от других с помощью распорок 54. Круглая верхняя тарелка находится на верхней заготовке 42a. Она имеет центральное отверстие 58, расположенное в линию с вертикальным проходом 51, образованным установкой по прямой линии центральных каналов заготовок.
Предварительно нагретую газовую фазу, выходящую из тарелки диффузора 52, направляют по каналу к объему 66, расположенному в реакционной камере 41 снаружи заготовок 42a, 42b, 42c. С этой целью предварительно нагретую газовую фазу отводят к калиброванным отверстиям, образованным в периферической зоне тарелки 45a, снаружи зоны, где находится нижний конец заготовки 42a, и также через калиброванные отверстия 45, образованные в периферических зонах тарелок 45b, 45c, снаружи зон, где находятся нижние концы заготовок 42b, 42c. Нижняя тарелка 45a может иметь кольцеобразную форму, чтобы иметь меньший вес; в этом случае кольцо 53 расположено между тарелкой диффузора 52 и нижней тарелкой 45a, чтобы препятствовать доступу к газовой фазе через проход 61 на выходе из зоны предварительного нагрева. В этом случае тарелка диффузора 52 просверливается только в периферической зоне.
Промежуточные опорные тарелки 45b, 45c имеют центральное отверстие 67, стенка которого может иметь форму усеченного конуса, соответствующую форме внешней поверхности заготовок, которые их окружают и размер которых определен так же, как высота распорок 54; поэтому тарелки 45b, 45c щадят внешние поверхности заготовок 42a, 42b промежутков предназначенной пониженной ширины, например, одна или несколько десятых мм. Промежуток подобной ширины обеспечивается при помощи распорок 64 между вершиной заготовки 42c и верхней тарелкой 56.
Можно использовать такие дополнительные элементы оснащения, как кольцеобразные прокладки 68, закрывающие пространства между внешними краями опорных тарелок 45a, 45b, 45c и внутренней стенкой нагревательного элемента 49 и верхней тарелкой 56 вокруг внешней поверхности заготовки 42c, чтобы разграничивать уменьшенный объем вокруг этой последней. Стенка в форме усеченного конуса 69 закреплена под верхней тарелкой 56.
Опорные тарелки, распорки и другие элементы оснащения, используемые в реакционной камере 41, выполнены, например, из графита.
С расположением, описанным выше, вытекание газовой фазы происходит начиная от внешнего в штабеле 60 к внутреннему проходу 61, откуда ее удаляют через отводные каналы 47. Интервалы между предформами 42a, 42b и промежуточными опорными тарелками 45b, 45c позволяют уравновешивать давления между внутренней и внешней частью штабеля 60 и обеспечивать непрерывную циркуляцию газовой фазы в этих интервалах, чтобы внешние поверхности заготовок 42a, 42b постоянно омывались обновляемой газовой фазой до их вершины. Интервал между вершиной заготовки 42c и верхней тарелкой 56 также позволяет выравнивать давление и обеспечивает удаление газовой фазы, поступающей в вершину объема 66.
Отвод газовой фазы, выходящей из зоны предварительного нагрева к внешнему объему 66 на заготовках, скорее, чем к внутреннему объему 61, предпочитают для оптимизирования времени пребывания. В самом деле, в противоположность выполнению по фиг. 2, внешний объем на заготовках меньше, чем внутренний объем, и более значительное снижение времени пребывания получают, направляя газовую фазу к меньшему из этих двух объемов. Калиброванные отверстия 45 позволяют контролировать вытекание потока, тогда как стенка 69 способствует уменьшению объема 66, обеспечивая достаточный промежуток вокруг заготовки 42c.
Таким образом, здесь снова имеют место преимущества, обусловленные значительным сокращением времени пребывания, особенно, что касается постоянства микроструктуры материала, расположенного внутри субстратов на всем продольном направлении реакционной камеры 41, и возможности, представленной для сокращения расхода поступающей газовой фазы.
Следует отметить, что число заготовок может отличаться от трех в зависимости от их размеров и от размера камеры инфильтрации, и необязательно, чтобы они частично были введены одни в другие, при этом интервал между соседними заготовками может быть закрытым за исключением промежутка, ширина которого уменьшена элементами оснащения, комплектующими в случае необходимости опорные тарелки.
Способ по изобретению можно применять необязательно с кольцеобразными субстратами. В этом случае достаточно размещать субстраты таким образом, чтобы разделять реакционную камеру на один или несколько объемов, внутри которых принимают газовую фазу, и на один или несколько объемов, из которых удаляют остаточную газовую фазу после прохождения между субстратами или диффузии через них. Субстраты расположены в форме одного или нескольких кольцеобразных или полых штабелей, имеющих внутренний проход, разграниченный субстратами.
Подобное расположение показано схематически на фиг.4. Субстраты 70 имеют форму перекладин в виде параллелепипеда, которые уложены штабелями в виде слоев, накладываемых один на другой таким образом, чтобы образовывать в каждом слое закрытый или почти закрытый многоугольник, например треугольник. В штабеле перекладины 70 разграничивают также проход или внутренний объем 80 и внешний объем 81. Распорки 71 расположены между перекладинами 70, накладываемыми одна на другую, чтобы легко поддерживать интервалы одних от других.
Субстраты 70 загружают в реакционную камеру вертикальными штабелями, например так, как показано на фиг. 2. Существенное отличие заключается в замене каждого кольцеобразного субстрата несколькими субстратами, расположенными с возможностью получения многоугольной формы.
В случае надобности разделение внутреннего объема реакционной камеры на два объема, из которых в один газовая фаза поступает, а из другого ее удаляют, может быть выполнено путем комбинации субстратов и элементов оснащения. Это может иметь место в том случае, когда субстраты различных форм и/или различных размеров загружают одновременно.
Хотя в предыдущих примерах было предусмотрено уплотнение предформ пиролитическим углеродом, само собой разумеется, что изобретение применимо к химической инфильтрации в паровой фазе других материалов, кроме углерода, в частности керамики, в частности для изготовления деталей из композиционного материала с керамической матрицей.
Кроме того, питание реакционной камеры в газовой фазе и удаление остаточных газов может быть осуществлено соответственно в верхней части и в нижней части реакционной камеры, т.е. с вытеканием газовой фазы в реакционной камере сверху вниз, не отказываясь от принципов изобретения.

Claims (10)

1. Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов материалом, вводимым внутрь последних, предусматривающий расположение субстратов, по меньшей мере, кольцеобразно или полым штабелем с промежутками между субстратами, который простирается в продольном направлении одной реакционной камеры одной печи инфильтрации, приводящей к первому продольному концу реакционной камеры, газовую фазу, содержащую, по меньшей мере, один предшественник вводимого материала, и удаление остаточных газов через выход, расположенный на втором конце реакционной камеры, отличающийся тем, что промежутки между субстратами расположены у внутренней и у внешней части каждого штабеля, таким образом уравновешивая давление внутри и снаружи, газовая фаза после ввода направляется в реакционную камеру к одному из двух объемов, образованных внутренней и внешней поверхностями штабеля или штабелей, начиная с одного из концов реакционной камеры, причем объем, в который направляется газовая фаза, является закрытым на своем конце, наиболее удаленном от первого конца камеры, таким образом, что циркулирование газовой фазы между подачей в реакционную камеру и выводом из нее осуществляется в направлении от внутренней части штабеля или каждого из штабелей к внешней части или наоборот проходя промежутки между субстратами или внутри их.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, предварительно нагревают пропусканием через зону предварительного нагрева, расположенную в первом конце реакционной камеры, а отвод газовой фазы к внутренней или внешней части штабеля или каждого из штабелей осуществляют на выходе из зоны предварительного нагрева.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что отвод поступающей газовой фазы осуществляют к наименьшему из двух объемов, образованных внутренней и внешней частью штабеля или штабелей субстратов.
4. Способ по любому из пп.1 - 3, отличающийся тем, что внутри штабеля или каждого из штабелей размещают компенсационный элемент, имеющий возрастающее сечение в направлении истечения газовой фазы для компенсации боковых утечек через субстраты и между последним сокращением пропускного сечения внутри штабеля или для поддержания постоянной скорости вытекания газовой фазы в продольном направлении внутри штабеля.
5. Способ по любому из пп.1 - 4, отличающийся тем, что для уплотнения заготовок, имеющих форму вращения с центральным отверстием, их располагают, по меньшей мере, штабелем с внутренним объемом, образованным центральными отверстиями заготовок.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что для уплотнения кольцеобразных заготовок тормозных дисков между заготовками штабеля или каждого из штабелей устанавливают промежутки шириной, по меньшей мере, 5 мм.
7. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что для уплотнения кольцеобразных заготовок для тормозных дисков их загружают в реакционную камеру несколькими параллельными штабелями.
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, отводят к внутреннему объему штабелей заготовок.
9. Способ по п.5, отличающийся тем, что для уплотнения заготовок расходящихся патрубков двигателей газовую фазу, поступающую в реакционную камеру, отводят к объему, расположенному снаружи заготовок.
10. Способ по любому из пп.5 - 9, отличающийся тем, что для уплотнения заготовок расходящихся патрубков двигателей заготовки располагают одну выше другой так, что одна заготовка частично введена внутрь другой.
RU97118789/02A 1995-04-18 1996-04-17 Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями RU2167217C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9504586A FR2733254B1 (fr) 1995-04-18 1995-04-18 Procede d'infiltration chimique en phase vapeur pour la densification de substrats poreux disposes en piles annulaires
FR9504586 1995-04-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU97118789A RU97118789A (ru) 1999-08-20
RU2167217C2 true RU2167217C2 (ru) 2001-05-20

Family

ID=9478184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97118789/02A RU2167217C2 (ru) 1995-04-18 1996-04-17 Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5904957A (ru)
EP (1) EP0821744B1 (ru)
JP (1) JP3815796B2 (ru)
CA (1) CA2218317C (ru)
DE (1) DE69603593T2 (ru)
FR (1) FR2733254B1 (ru)
RU (1) RU2167217C2 (ru)
UA (1) UA44309C2 (ru)
WO (1) WO1996033295A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2445405C2 (ru) * 2006-10-29 2012-03-20 Мессье-Бугатти Способ уплотнения пористых изделий
RU2607401C1 (ru) * 2015-09-25 2017-01-10 Олег Викторович Барзинский Способ получения углерод-углеродого композиционного материала
RU2751708C2 (ru) * 2016-12-07 2021-07-16 Сафран Серамикс Формовочный инструмент и установка для химической инфильтрации в газовой фазе волокнистых заготовок

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19607625C1 (de) * 1996-02-29 1996-12-12 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Präparation und/oder Beschichtung der Oberflächen von Hohlbauteilen
FR2754813B1 (fr) * 1996-10-18 1999-01-15 Europ Propulsion Densification de substrats poreux disposes en piles annulaires par infiltration chimique en phase vapeur a gradient de temperature
US6669988B2 (en) * 2001-08-20 2003-12-30 Goodrich Corporation Hardware assembly for CVI/CVD processes
US7476419B2 (en) * 1998-10-23 2009-01-13 Goodrich Corporation Method for measurement of weight during a CVI/CVD process
US6062851A (en) * 1998-10-23 2000-05-16 The B. F. Goodrich Company Combination CVI/CVD and heat treat susceptor lid
US6168827B1 (en) * 1999-08-30 2001-01-02 General Electric Company Fiber coating method
CA2299225C (en) * 1999-09-06 2006-09-19 Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. Method and apparatus for manufacturing ceramic-based composite member
FR2801304B1 (fr) * 1999-11-24 2002-02-15 Snecma Procede de fabrication d'un bol en materiau composite thermostructural, notamment pour une installation de production de silicium monocristallin
FR2818291B1 (fr) * 2000-12-19 2003-11-07 Snecma Moteurs Densification de substrats poreux creux par infiltration chimique en phase vapeur
FR2821859B1 (fr) * 2001-03-06 2004-05-14 Snecma Moteurs Procede pour la densification par infiltration chimique en phase vapeur de substrats poreux ayant un passage central
FR2824084B1 (fr) 2001-04-30 2003-08-01 Messier Bugatti Alimentation aiguilleteuse par bande spirale continue
US6793966B2 (en) 2001-09-10 2004-09-21 Howmet Research Corporation Chemical vapor deposition apparatus and method
US6953605B2 (en) * 2001-12-26 2005-10-11 Messier-Bugatti Method for densifying porous substrates by chemical vapour infiltration with preheated gas
FR2834713B1 (fr) * 2002-01-15 2004-04-02 Snecma Moteurs Procede et installation pour la densification de substrats par infiltration chimique en phase vapeur
EP1452624B1 (en) * 2002-10-24 2008-06-11 Goodrich Corporation Process and apparatus for batch and continuous densification by chemical vapor infiltration (CVI)
UA84862C2 (en) * 2003-03-03 2008-12-10 Месье-Бугатти Substrate
US7335397B2 (en) * 2004-02-16 2008-02-26 Goodrich Corporation Pressure gradient CVI/CVD apparatus and method
US7332195B2 (en) * 2004-08-26 2008-02-19 Honeywell International Inc. Chemical vapor deposition method
FR2881145B1 (fr) * 2005-01-24 2007-11-23 Snecma Propulsion Solide Sa Procede d'infiltration chimique en phase gazeuse pour la densification de substrats poreux par du carbone pyrolytique
FR2882064B1 (fr) * 2005-02-17 2007-05-11 Snecma Propulsion Solide Sa Procede de densification de substrats poreux minces par infiltration chimique en phase vapeur et dispositif de chargement de tels substrats
US20060194059A1 (en) * 2005-02-25 2006-08-31 Honeywell International Inc. Annular furnace spacers and method of using same
US20060194060A1 (en) * 2005-02-25 2006-08-31 Honeywell International Furnace spacers for spacing preforms in a furnace
US7691443B2 (en) * 2005-05-31 2010-04-06 Goodrich Corporation Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method
US8057855B1 (en) 2005-05-31 2011-11-15 Goodrich Corporation Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method
FR2886640B1 (fr) * 2005-06-02 2007-08-24 Snecma Propulsion Solide Sa Procede et preforme pour la realisation de pieces en materiau composite par densification cvi et pieces obtenues
US20070014990A1 (en) * 2005-07-14 2007-01-18 Honeywell International Inc. Support structure for radiative heat transfer
US7959973B2 (en) * 2006-11-29 2011-06-14 Honeywell International Inc. Pressure swing CVI/CVD
FR2919309B1 (fr) * 2007-07-25 2011-07-22 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif d'infiltration d'une structure en materiau poreux par depot chimique en phase vapeur.
IL198123A0 (en) 2008-04-18 2009-12-24 Snecma Propulsion Solide A heat treatment oven with inductive heating
US10655219B1 (en) * 2009-04-14 2020-05-19 Goodrich Corporation Containment structure for creating composite structures
US10689753B1 (en) * 2009-04-21 2020-06-23 Goodrich Corporation System having a cooling element for densifying a substrate
FR2945529B1 (fr) 2009-05-13 2011-06-17 Messier Bugatti Piece a base de materiau composite c/c et procede pour sa fabrication.
FR2953826B1 (fr) * 2009-12-16 2019-10-11 Safran Landing Systems Procede de fabrication d'une piece de friction a base de materiau composite c/c
FR2967170B1 (fr) 2010-11-10 2013-09-20 Messier Bugatti Procede de fabrication d'une piece de friction a base de materiau composite c/c
FR2980486B1 (fr) 2011-09-28 2013-10-11 Snecma Propulsion Solide Dispositif de chargement pour la densification par infiltration chimique en phase vapeur en flux dirige de substrats poreux de forme tridimensionnelle
DE102012100176B4 (de) * 2012-01-10 2016-11-17 Cvt Gmbh & Co. Kg Verfahren zur chemischen Gasphaseninfiltration von wenigstens einem refraktären Stoff
FR2993044B1 (fr) 2012-07-04 2014-08-08 Herakles Dispositif de chargement et installation pour la densification de preformes poreuses tronconiques et empilables
FR2993555B1 (fr) * 2012-07-19 2015-02-20 Herakles Installation d'infiltration chimique en phase vapeur a haute capacite de chargement
US11326255B2 (en) * 2013-02-07 2022-05-10 Uchicago Argonne, Llc ALD reactor for coating porous substrates
FR3004732B1 (fr) * 2013-04-18 2015-05-08 Herakles Outillage de maintien, chargement et installation pour la densification de preformes poreuses de revolution
US9852905B2 (en) * 2014-01-16 2017-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Systems and methods for uniform gas flow in a deposition chamber
JP6020483B2 (ja) * 2014-02-14 2016-11-02 トヨタ自動車株式会社 表面処理装置と表面処理方法
KR101589965B1 (ko) * 2014-02-26 2016-02-05 (주) 데크카본 밀도화 장비
FR3018526B1 (fr) 2014-03-14 2021-06-11 Herakles Installation de densification cvi comprenant une zone de prechauffage a forte capacite
US10648075B2 (en) * 2015-03-23 2020-05-12 Goodrich Corporation Systems and methods for chemical vapor infiltration and densification of porous substrates
TWI624554B (zh) * 2015-08-21 2018-05-21 弗里松股份有限公司 蒸發源
US10982319B2 (en) 2015-08-21 2021-04-20 Flisom Ag Homogeneous linear evaporation source
US9963779B2 (en) 2016-02-29 2018-05-08 Goodrich Corporation Methods for modifying pressure differential in a chemical vapor process
US10407769B2 (en) * 2016-03-18 2019-09-10 Goodrich Corporation Method and apparatus for decreasing the radial temperature gradient in CVI/CVD furnaces
US10131985B2 (en) 2016-03-21 2018-11-20 Goodrich Corporation System and method for enhancing a diffusion limited CVI/CVD process
US10364491B2 (en) 2016-11-02 2019-07-30 Georgia Tech Research Corporation Process to chemically modify polymeric materials by static, low-pressure infiltration of reactive gaseous molecules
US10480065B2 (en) * 2017-09-19 2019-11-19 Goodrich Corporation Gas distribution for chemical vapor deposition/infiltration
FR3083229B1 (fr) * 2018-06-27 2020-09-11 Safran Ceram Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaires poreux
FR3084892B1 (fr) 2018-08-10 2020-11-06 Safran Ceram Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaire poreux
IT201800009953A1 (it) 2018-10-31 2020-05-01 Petroceramics Spa Metodo ed un assieme di infiltrazione e la deposizione rapida da fase vapore di componenti porosi
EP3647459A1 (en) 2018-10-31 2020-05-06 Petroceramics S.p.A. Method and an assembly by chemical vapor infiltration of porous components
FR3095213B1 (fr) 2019-04-19 2022-12-23 Safran Ceram Installation de densification CVI
US11111578B1 (en) 2020-02-13 2021-09-07 Uchicago Argonne, Llc Atomic layer deposition of fluoride thin films
FR3119389B1 (fr) 2021-01-29 2023-11-17 Safran Landing Systems Procede de sechage d’une ebauche impregnee et procede de fabrication et systeme et ensemble associes
WO2022233177A1 (zh) * 2021-05-06 2022-11-10 隆基绿能科技股份有限公司 辅助工装及预制件承载装置及用于预制体增密的装炉结构
US12065738B2 (en) 2021-10-22 2024-08-20 Uchicago Argonne, Llc Method of making thin films of sodium fluorides and their derivatives by ALD
FR3129294B1 (fr) 2021-11-25 2024-05-24 Safran Landing Systems Diffuseur pour diffuser un flux de gaz au sein d’une pile d’ébauches et ensembles associés
FR3129468B1 (fr) 2021-11-25 2024-04-26 Safran Landing Systems Dispositif de sechage d’ebauches et systeme et ensemble et procede associes
FR3129954B1 (fr) 2021-12-06 2023-12-15 Safran Ceram Installation d’infiltration chimique en phase gazeuse à double chambre de réaction
US12000046B1 (en) * 2021-12-29 2024-06-04 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Load assemblies for loading parts in a furnace
US11932941B1 (en) 2021-12-29 2024-03-19 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Load assemblies for loading parts in a furnace
US11901169B2 (en) 2022-02-14 2024-02-13 Uchicago Argonne, Llc Barrier coatings
FR3141700A1 (fr) 2022-11-08 2024-05-10 Safran Ceramics Installation d’infiltration chimique en phase gazeuse à double traitement

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6011104B2 (ja) * 1977-07-22 1985-03-23 工業技術院長 気相メツキ法
FR2594119B1 (fr) * 1986-02-10 1988-06-03 Europ Propulsion Installation pour l'infiltration chimique en phase vapeur d'un materiau refractaire autre que le carbone
DE3913132A1 (de) * 1989-04-21 1990-12-20 Hoechst Ag Verfahren zum gleichmaessigen einleiten eines fluids und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US5221354A (en) * 1991-11-04 1993-06-22 General Electric Company Apparatus and method for gas phase coating of hollow articles
US5348774A (en) * 1993-08-11 1994-09-20 Alliedsignal Inc. Method of rapidly densifying a porous structure
US5480678A (en) * 1994-11-16 1996-01-02 The B. F. Goodrich Company Apparatus for use with CVI/CVD processes
CA2205087A1 (en) * 1994-11-16 1996-05-23 Mark J. Purdy Pressure gradient cvi/cvd apparatus, process and product

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2445405C2 (ru) * 2006-10-29 2012-03-20 Мессье-Бугатти Способ уплотнения пористых изделий
RU2607401C1 (ru) * 2015-09-25 2017-01-10 Олег Викторович Барзинский Способ получения углерод-углеродого композиционного материала
RU2751708C2 (ru) * 2016-12-07 2021-07-16 Сафран Серамикс Формовочный инструмент и установка для химической инфильтрации в газовой фазе волокнистых заготовок

Also Published As

Publication number Publication date
EP0821744B1 (fr) 1999-08-04
CA2218317A1 (en) 1996-10-24
JP3815796B2 (ja) 2006-08-30
WO1996033295A1 (fr) 1996-10-24
UA44309C2 (uk) 2002-02-15
US5904957A (en) 1999-05-18
FR2733254B1 (fr) 1997-07-18
EP0821744A1 (fr) 1998-02-04
FR2733254A1 (fr) 1996-10-25
DE69603593D1 (de) 1999-09-09
DE69603593T2 (de) 2000-02-24
CA2218317C (en) 2002-01-08
JPH11503795A (ja) 1999-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2167217C2 (ru) Способ химической инфильтрации в паровой фазе для уплотнения пористых субстратов, расположенных кольцеобразно штабелями
US6669988B2 (en) Hardware assembly for CVI/CVD processes
US6942893B2 (en) Densifying hollow porous substrates by chemical vapor infiltration
US6572371B1 (en) Gas preheater and process for controlling distribution of preheated reactive gas in a CVI furnace for densification of porous annular substrates
JP4960264B2 (ja) 化学蒸気浸透により薄い多孔質基体を高密度化する方法、及び当該基体のローディング装置
US7182980B2 (en) Chemical vapor infiltration method for densifying porous substrates having a central passage
US7959973B2 (en) Pressure swing CVI/CVD
EP1728889B1 (en) CVI method
CA2849876C (en) A device for loading porous substrates of three-dimensional shape in order to be densified by directed flow chemical vapor infiltration
US9828670B2 (en) Loader device and an installation for densifying stackable frustoconical porous preforms
US7476419B2 (en) Method for measurement of weight during a CVI/CVD process
US11512024B2 (en) Method for densifying porous annular substrates by chemical vapour infiltration
CA2445501A1 (en) Method and installation for the densification of substrates by means of chemical vapour infiltration
CA2268729A1 (en) Densification of substrates arranged in ring-shaped stacks by chemical infiltration in vapour phase with temperature gradient
TW200835805A (en) Method of densifying porous articles
US8057855B1 (en) Non-pressure gradient single cycle CVI/CVD apparatus and method

Legal Events

Date Code Title Description
PC4A Invention patent assignment

Effective date: 20070926

PC43 Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions

Effective date: 20141014

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150418