RU2435076C2 - Способ изготовления роторов и статоров турбомолекулярного насоса - Google Patents
Способ изготовления роторов и статоров турбомолекулярного насоса Download PDFInfo
- Publication number
- RU2435076C2 RU2435076C2 RU2008146813/06A RU2008146813A RU2435076C2 RU 2435076 C2 RU2435076 C2 RU 2435076C2 RU 2008146813/06 A RU2008146813/06 A RU 2008146813/06A RU 2008146813 A RU2008146813 A RU 2008146813A RU 2435076 C2 RU2435076 C2 RU 2435076C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rotors
- stators
- alloy
- plastic deformation
- blade
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
- C22C21/12—Alloys based on aluminium with copper as the next major constituent
- C22C21/14—Alloys based on aluminium with copper as the next major constituent with silicon
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/02—Selection of particular materials
- F04D29/023—Selection of particular materials especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/10—Metals, alloys or intermetallic compounds
- F05D2300/17—Alloys
- F05D2300/173—Aluminium alloys, e.g. AlCuMgPb
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49316—Impeller making
- Y10T29/4932—Turbomachine making
- Y10T29/49325—Shaping integrally bladed rotor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
Объектом изобретения является способ изготовления роторов и статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из деформируемого Аl-Cu-Mg-Mn сплава. Роторные лопасти изготавливают из отдельных дисков или сплошных тел посредством снятия стружки или термической обработки и последующим пластическим деформированием с получением желаемого угла установки. Роторы или статоры имеют малый удельный вес при одновременно высокой прочности и хорошей обрабатываемости. 2. з.п. ф-лы.
Description
Объектом изобретения является способ изготовления роторов и статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из специального алюминиевого сплава.
Для изготовления роторов турбомолекулярного насоса с роторными лопастями в качестве конструкционного материала зарекомендовал себя алюминий, так как в этом случае лучше всего сочетаются требования как можно меньшего удельного веса при одновременно высокой прочности и хорошей обрабатываемости. Так, из источника М.Вутц и др. Теория и практика вакуумной техники, второе издание, 1982, Фридр.Фивег и сын, Брауншвейг / Висбаден, стр.207/208 (М.Wutz et al., Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, zweite Aufl., 1982, Friedr.Vieweg & Sohn, Braunschweig / Wiesbaden, Seite 207/208) известно изготовление ротора и статора из специально подобранных алюминиевых сплавов.
Для изготовления производительных насосных роторов или статоров преимущественно используются алюминиевые сплавы с высокой термостойкостью. Роторы их таких материалов обычно изготавливаются с помощью способа снятия стружки, как это, например, описано в DE 10210404 А1 или DE 29715035 U1, на каждый из которых в полном объеме делается соответствующая ссылка. При этом формование лопасти является особенно затратным по времени и средствам.
В DE 101 03 230 А1 описаны роторы, у которых часть роторных лопастей имеет заднюю сторону, которая со стороны всасывания выполнена выпуклой, а со стороны давления вогнутой, или по меньшей мере часть роторных лопастей имеет переднюю сторону, которая со стороны всасывания выполнена вогнутой, а со стороны давления выпуклой.
При использовании высокопрочных сплавов необходимо учитывать их низкую способность к пластическому деформированию. Это приводит к тому, что полное формование сплошных тел или дисков приходится осуществлять с помощью способа снятия стружки, а более экономичные способы формования путем пластического деформирования, такие как кручение, чеканка или штамповка-чеканка, применяться не могут.
Конкретно, для сплавов средней прочности сочетание обработки снятием стружки (токарная обработка, фрезерование) и/или термических способов съема металла (электроэрозионная обработка) со способами пластического деформирования (кручение) зарекомендовало себя как более экономичная технология изготовления роторов или статоров.
При этом сначала из отдельных, имеющих форму диска сегментов обработкой снятием стружки получают цилиндрическое сплошное тело, которое затем аксиально надрезается электроискровой резкой. Таким образом, на каждом дисковом сегменте получаются имеющие форму диска структуры, которые последующим пластическим скручиванием вдоль продольной оси лопасти получают определенный угол установки.
В DE 100 53 664 А1 описан механический кинетический вакуумный насос с ротором из алюминиевого сплава; для повышения термостойкости и длительной прочности предлагается использовать в качестве материала ротора полученный способом порошковой металлургии сплав легкого металла, основным легирующим компонентом которого, наряду с алюминием, является медь, и который дополнительно содержит магний, марганец, цирконий и серебро, а также, при известных условиях, титан.
За счет использования нового высокопрочного и термостойкого деформируемого алюминиевого сплава, который в состоянии после холодного вылеживания имеет необычайно высокое относительное удлинение при разрыве, становится возможным использование вышеуказанных более экономичных способов обработки, которые до сих пор могли применяться только для алюминиевых сплавов низкой и средней прочности.
В WO 2004/003244 А1 описан Al-Cu-Mg-Mn - сплав для изготовления полуфабрикатов с высокими статическими и динамическими прочностными свойствами. Неожиданно было обнаружено, что описанные здесь сплавы, с одной стороны, особенно термостойки, а с другой стороны - в состоянии после холодного вылеживания имеют такую высокую пластичность, что возможно экономичное изготовление ротора обработкой снятием стружки или термическими способами съема металла и пластическим деформированием (например, кручением или гибкой).
Поэтому, в первом варианте осуществления, изобретение относится к способу изготовления роторов или статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из деформируемого Al-Cu-Mg-Mn - сплава, отличающемуся тем, что роторные лопасти изготавливают из отдельных дисков или сплошных тел посредством способа снятия стружки или термического способа съема и последующим пластическим деформированием с получением желаемого угла установки.
Таким образом, с помощью настоящего изобретения можно получать многоступенчатые, цельные роторы или статоры так же, как и роторы или статоры, состоящие из отдельных ступенчатых сегментов. Роторы или статоры имеют малый удельный вес при одновременно высокой прочности и хорошей обрабатываемости.
Особенно предпочтительно в смысле настоящего изобретения используемый деформируемый сплав имеет следующий состав:
от 0,3 до 0,7 вес.% кремния (Si)
до 0,15 вес.% железа (Fe)
от 3,5 до 4,5 вес.% меди (Cu)
от 0,1 до 0,5 вес.% марганца (Mn)
от 0,3 до 0,8 вес.% магния (Mg)
от 0,05 до 0,15 вес.% титана (Ti)
от 0,1 до 0,25 вес.% циркона (Zr)
от 0,3 до 0,7 вес.% серебра (Аg)
до 0,05 вес.% других элементов, по-отдельности
до 0,15 вес.% других элементов, суммарно, и
остальное вес.% алюминия (Al).
Используемые деформируемые сплавы имеют, по сравнению с другими ранее известными сплавами, более высокую статическую и динамическую термостойкость и улучшенное сопротивление ползучести при одновременно очень хороших свойствах механики разрушения и поэтому особенно хорошо пригодны для роторов или статоров турбомолекулярных насосов согласно изобретению. В частности, используемый согласно изобретению деформируемый сплав имеет относительное удлинение при разрыве не менее 14%, в частности, от 17 до 20% в состоянии после холодного вылеживания, определенное испытанием на разрыв по DIN EN 10002.
Понятие «деформируемый сплав» в смысле изобретения охватывает специальную обработку используемого согласно изобретению сплава, при которой литая структура преобразуется и «разминается», например, посредством горячего прессования, вальцевания или ковки при повышенной температуре. В результате этого легкий металл становится более пластичным. Поэтому деформируемые сплавы допускают дальнейшую холодную деформацию, например, вальцевание, вытяжку или ковку (например, в том числе и холодную ковку).
Из WO 2004/003244 А1 само по себе известно, что эти свойства достигаются, в частности, при соотношении «медь - магний» от 5 до 9,5, особенно при соотношении от 6,3 до 9,3.
Предпочтительно, содержание меди составляет от 3,8 до 4,2 вес.%, а содержание магния - от 0,45 до 0,6 вес.%. Содержание меди явно превышает максимальную растворимость для меди в присутствии требуемого содержания магния. Следствием этого является то, что доля нерастворимых медесодержащих фаз, даже с учетом прочих легирующих и сопутствующих элементов, очень незначительна. За счет этого получается улучшение относительно динамических свойств и вязкости разрушения роторов, изготовленных из такого сплава.
В отличие от известных из уровня техники алюминиевых сплавов, доля серебра в требуемых деформируемых сплавах выражается содержанием от 0,3 до 0,7 вес.%, предпочтительно от 0,45 до 0,6 вес.%. Во взаимодействии с кремнием (0,3-0,7 вес.%, предпочтительно 0,4-0,6 вес.%) дисперсионное твердение происходит по тем же самым механизмам, что и в не содержащих серебра Al-Cu-Mg-сплавах. Однако при более низких содержаниях кремния в результате добавки серебра осаждение протекает по-другому. Изготовленные из такого сплава роторы хотя и имеют хорошую термостойкость и сопротивление ползучести при более холодных условиях, однако не соответствуют желательным требованиям. Лишь содержание кремния, начиная с 0,3 вес.%, подавляет типичное изменение характеристик осаждения Al-Cu-Mg-Ag-сплавов, так что достижимы более высокие показатели прочности без ущерба для термостойкости и сопротивления ползучести при содержании Cu и Mg.
Содержание марганца в используемом сплаве составляет от 0,1 до 0,5 вес.%, предпочтительно от 0,2 до 0,4 вес.%. У сплавов с более высоким содержанием марганца при длительной высокотемпературной нагрузке обнаруживались нежелательные процессы осаждения, которые приводили к снижению прочности. По этой причине содержание марганца ограничено величиной 0,5 вес.%. Однако, в принципе, марганец является компонентом сплава, необходимым для контроля его структуры.
Для компенсации уменьшенных недостатков марганца относительно контроля структуры сплав получает циркон в количестве от 0,10 до 0,25 вес.%, прежде всего, 0,14-0,2 вес.%. Осаждающиеся алюминиды циркона, как правило, даже более мелкодисперсны, чем алюминиды марганца. Кроме того, оказалось, что алюминиды циркона способствуют термической стабильности сплава.
Для измельчения зерна в сплав вводят 0,05-0,15 вес.%, предпочтительно 0,10-0,15 вес.% титана. Целесообразно вводить титан в виде Al-5Ti-1B - лигатуры, благодаря чему сплав автоматически получает бор. Из него образуются тонко распределенные, нерастворимые бориды титана. Они способствуют термической стабильности сплава.
В качестве неизбежных примесей, сплав может содержать максимум 0,15%, предпочтительно 0,10%, железа.
Пластическое деформирование в смысле настоящего изобретения может, например, включать в себя кручение, гибку, чеканку и ковку с получением желаемого угла установки. При этом получение желаемого угла установки также включает получение определенного контура лопасти.
В качестве альтернативы, стадии разделения и пластического деформирования можно проводить за одну рабочую операцию, например, штамповкой.
Сами по себе рабочие стадии этого способа согласно изобретению известны, но до сих пор они были ограничены использованием алюминиевых сплавов низкой и средней прочности, так как только они имеют требующуюся способность к пластическому деформированию. С помощью настоящего изобретения этот способ применим и к определенным высокопрочным алюминиевым сплавам.
Обычно, при пластическом деформировании исходят из имеющих форму диска лопастных ступеней, в которых радиальным разделением предварительно получают лопастные сегменты. Процессы разделения в смысле настоящего изобретения охватывают такие процессы разделения, как резка лазером или водяной струей, а также электроэрозионная обработка, обработка снятием стружки, штамповка или штамповка - чеканка.
За счет комбинации обработки снятием стружки и способов пластического деформирования снижаются затраты на изготовление роторов или статоров.
Примеры осуществления:
Пример 1:
Получение установки лопастей роторов турбомолекулярного насоса пластическим деформированием
Из цилиндрического сплошного тела сплава АА 2016 (см. WO 2004/003244) обработкой снятием стружки изготавливали расположенные концентрично один над другим имеющие форму диска сегменты в соответствии с желаемым числом секций насоса. В результате этого получалось вращательно-симметричное тело, состоящее из расположенных друг над другом имеющих форму диска ребер, которые были соединены друг с другом в области втулки. Толщина ребра соответствовала толщине получаемой впоследствии лопасти. Каждый реберный диск надрезали в осевом направлении вплоть до близости от втулки через равномерные интервалы по периметру, в результате чего получались отдельные лопастные сегменты.
При этом материал был в состоянии «обработанный на твердый раствор, закаленный и естественно состаренный». В этом состоянии он обладал высокой способностью к пластической деформации.
В этом же состоянии лопастные сегменты подвергали кручению по продольной оси. При этом кручение осуществлялось с помощью вилкообразного манипулятора, который захватывал соответствующий лопастной сегмент вплоть до основания лопасти и выполнял крутильное движение по продольной оси лопасти до желаемого угла установки. При этом лопастной сегмент испытывал пластическую деформацию в области около основания лопасти. Таким образом легко получались углы кручения или установки около 45° к исходному положению, и при этом не наблюдалось никаких трещин в области основания лопасти.
С традиционными термостойкими Al-сплавами такие углы получить невозможно.
Для получения необходимой для последующей эксплуатации прочности осуществляли искусственное старение (термическое старение) для достижения максимальной прочности в соответствии с состоянием Т6.
Пример 2:
Штамповка - чеканка дисков статора
Из Al - листов указанного в примере 1 материала, диски статора изготавливаются способом штамповки-чеканки следующим образом:
Кольцевые сегменты в форме полукруга вырубают из алюминиевого листа толщиной от 0,5 до 1,0 мм. Состояние листа: «обработанный на твердый раствор, закаленный и естественно состаренный».
После этого эти кольцевые сегменты вкладывают в матрицу, которая прессованием на эту матрицу противоформы вырабатывает контур лопасти.
При этом выштамповываются кромки обтекания радиально симметрично расположенных лопастных сегментов, в то время как угол установки лопасти, напротив, получается в результате пластического деформирования в матрице. Максимальное деформирование происходит в области перехода свободной кромки обтекания лопасти к недеформированному листу.
Для получения необходимой для последующей эксплуатации прочности осуществляется искусственное старение до достижения максимальной прочности в соответствии с состоянием Т6.
Claims (3)
1. Способ изготовления роторов или статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из деформируемого Al-Cu-Mg-Mn - сплава, отличающийся тем, что роторные лопасти изготавливают из отдельных дисков или сплошных тел посредством снятия стружки или термической обработки и последующим пластическим деформированием с получением желаемого угла установки.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в нем применяют деформируемый сплав следующего состава:
от 0,3 до 0,7 вес.% кремния (Si)
до 0,15 вес.% железа (Fe)
от 3,5 до 4,5 вес.% меди (Cu)
от 0,1 до 0,5 вес.% марганца (Mn)
от 0,3 до 0,8 вес.% магния (Mg)
от 0,05 до 0,15 вес.% титана (Ti)
от 0,1 до 0,25 вес.% циркона (Zr)
от 0,3 до 0,7 вес.% серебра (Ag)
до 0,05 вес.% других элементов по отдельности
до 0,15 вес.% других элементов суммарно и
остальное вес.% алюминия (Аl).
от 0,3 до 0,7 вес.% кремния (Si)
до 0,15 вес.% железа (Fe)
от 3,5 до 4,5 вес.% меди (Cu)
от 0,1 до 0,5 вес.% марганца (Mn)
от 0,3 до 0,8 вес.% магния (Mg)
от 0,05 до 0,15 вес.% титана (Ti)
от 0,1 до 0,25 вес.% циркона (Zr)
от 0,3 до 0,7 вес.% серебра (Ag)
до 0,05 вес.% других элементов по отдельности
до 0,15 вес.% других элементов суммарно и
остальное вес.% алюминия (Аl).
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что роторы или статоры изготавливают штамповкой, штамповкой-чеканкой или кручением.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006020100 | 2006-04-29 | ||
DE102006020100.0 | 2006-04-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2008146813A RU2008146813A (ru) | 2010-06-10 |
RU2435076C2 true RU2435076C2 (ru) | 2011-11-27 |
Family
ID=38221387
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2008146813/06A RU2435076C2 (ru) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | Способ изготовления роторов и статоров турбомолекулярного насоса |
RU2008146811/06A RU2455529C2 (ru) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | Ротор или статор турбомолекулярного насоса |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2008146811/06A RU2455529C2 (ru) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | Ротор или статор турбомолекулярного насоса |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20100199495A1 (ru) |
EP (2) | EP2013483B1 (ru) |
JP (2) | JP5274446B2 (ru) |
CN (2) | CN101438063A (ru) |
DE (1) | DE502007003011D1 (ru) |
RU (2) | RU2435076C2 (ru) |
WO (2) | WO2007125106A2 (ru) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009015652A1 (de) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Light Style Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Gebrauchsproduktes aus Aluminium und danach hergestelltes Produkt |
CN102465890A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-05-23 | 致扬科技股份有限公司 | 改良的涡轮分子泵的定子结构及其制造方法 |
JP5879181B2 (ja) | 2011-06-10 | 2016-03-08 | 株式会社神戸製鋼所 | 高温特性に優れたアルミニウム合金 |
US20130084190A1 (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | General Electric Company | Titanium aluminide articles with improved surface finish and methods for their manufacture |
US9011205B2 (en) * | 2012-02-15 | 2015-04-21 | General Electric Company | Titanium aluminide article with improved surface finish |
DE102012222230A1 (de) | 2012-12-04 | 2014-06-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
ES2642118T5 (es) | 2015-03-27 | 2020-12-30 | Fuchs Kg Otto | Aleación de Al-Cu-Mg-Li así como producto de aleación fabricado a partir de la misma |
CN104847684A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-08-19 | 张金荣 | 一种车辆用耐腐蚀水泵 |
CN105958671A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-09-21 | 无锡新大力电机有限公司 | 一种新型电机定子 |
GB2552793A (en) | 2016-08-08 | 2018-02-14 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
JP6906941B2 (ja) * | 2016-12-16 | 2021-07-21 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプとこれに用いられるステータコラムとその製造方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2923632A1 (de) * | 1979-06-11 | 1980-12-18 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zur herstellung eines schaufelkranzes fuer den rotor einer tubomolekularpumpe und mit schaufelkraenzen dieser art ausgeruesteter rotor |
SU1152308A1 (ru) * | 1983-09-23 | 1990-05-15 | A D Anishin | Способ изготовления лопаточного диска турбомолекулярного насоса |
JPS61215492A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ−ボ分子ポンプの翼の製造方法 |
JPS6361798A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Hitachi Ltd | 多段一体羽根車 |
DE4239391C2 (de) * | 1991-11-27 | 1996-11-21 | Electro Chem Eng Gmbh | Gegenstände aus Aluminium, Magnesium oder Titan mit einer mit Fluorpolymeren gefüllten Oxidkeramikschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung |
JPH06173934A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-21 | Jidosha Buhin Kogyo Kk | アルミ製プロペラシャフト構造 |
DE4300274A1 (de) * | 1993-01-08 | 1994-07-14 | Leybold Ag | Vakuumpumpe mit Rotor |
DE19627921A1 (de) * | 1996-07-11 | 1998-01-15 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Wuchten eines Rotors sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Rotor |
IT1293907B1 (it) * | 1997-05-28 | 1999-03-11 | Varian Spa | Procedimento di fresatura di rotori di pompe turbomolecolari con inglobamento in resina del particolare da fresare. |
DE10053664A1 (de) * | 2000-10-28 | 2002-05-08 | Leybold Vakuum Gmbh | Mechanische kinetische Vakuumpumpe |
DE10163864A1 (de) * | 2001-12-22 | 2003-07-10 | Leybold Vakuum Gmbh | Beschichtung von Gegenständen |
DE10210404A1 (de) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Herstellung des Rotors einer Reibungsvakuumpumpe sowie nach diesem Verfahren hergestellter Rotor |
ATE303457T1 (de) * | 2002-06-29 | 2005-09-15 | Fuchs Fa Otto | Al-cu-mg-ag-legierung mit si, halbzeug aus einer solchen legierung sowie verfahren zur herstellung eines solchen halbzeuges |
FR2842212B1 (fr) * | 2002-07-11 | 2004-08-13 | Pechiney Rhenalu | Element de structure d'avion en alliage a1-cu-mg |
ITTO20020770A1 (it) * | 2002-09-06 | 2004-03-07 | Varian Spa | Metod0 per fabbricare rotori di pompe da vuoto e prodotti |
ITTO20030420A1 (it) * | 2003-06-05 | 2004-12-06 | Varian Spa | Metodo per la realizzazione di statori per pompe da vuot0 e statori cosi' ottenuti |
JP4183177B2 (ja) * | 2003-06-09 | 2008-11-19 | 住友軽金属工業株式会社 | 延性に優れた熱処理型アルミニウム合金接合材 |
GB0314692D0 (en) * | 2003-06-25 | 2003-07-30 | Boc Group Plc | Improvements in turbomolecular pumps |
-
2007
- 2007-04-27 WO PCT/EP2007/054174 patent/WO2007125106A2/de active Application Filing
- 2007-04-27 WO PCT/EP2007/054171 patent/WO2007125104A1/de active Application Filing
- 2007-04-27 US US12/298,768 patent/US20100199495A1/en not_active Abandoned
- 2007-04-27 CN CNA2007800155710A patent/CN101438063A/zh active Pending
- 2007-04-27 DE DE502007003011T patent/DE502007003011D1/de active Active
- 2007-04-27 US US12/298,562 patent/US20090180890A1/en not_active Abandoned
- 2007-04-27 EP EP07728629A patent/EP2013483B1/de active Active
- 2007-04-27 JP JP2009507092A patent/JP5274446B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-27 CN CNA2007800154027A patent/CN101432525A/zh active Pending
- 2007-04-27 JP JP2009507094A patent/JP5274447B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-27 EP EP07728626.8A patent/EP2013482B1/de not_active Not-in-force
- 2007-04-27 RU RU2008146813/06A patent/RU2435076C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2007-04-27 RU RU2008146811/06A patent/RU2455529C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2008146813A (ru) | 2010-06-10 |
JP2009535550A (ja) | 2009-10-01 |
US20090180890A1 (en) | 2009-07-16 |
EP2013483A2 (de) | 2009-01-14 |
US20100199495A1 (en) | 2010-08-12 |
WO2007125106A3 (de) | 2008-01-31 |
JP5274447B2 (ja) | 2013-08-28 |
DE502007003011D1 (de) | 2010-04-15 |
EP2013482A1 (de) | 2009-01-14 |
EP2013482B1 (de) | 2014-11-05 |
EP2013483B1 (de) | 2010-03-03 |
WO2007125106A2 (de) | 2007-11-08 |
JP5274446B2 (ja) | 2013-08-28 |
CN101432525A (zh) | 2009-05-13 |
JP2009535551A (ja) | 2009-10-01 |
CN101438063A (zh) | 2009-05-20 |
RU2008146811A (ru) | 2010-06-10 |
WO2007125104A1 (de) | 2007-11-08 |
RU2455529C2 (ru) | 2012-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2435076C2 (ru) | Способ изготовления роторов и статоров турбомолекулярного насоса | |
CN102052342B (zh) | 一种钛合金整体叶片盘的制造方法 | |
US20040159375A1 (en) | Copper-based alloy excellent in dezincing resistance | |
JP6772069B2 (ja) | チタン合金及びその製造方法 | |
JP2017503086A (ja) | 改善された高温性能を有するアルミニウム鋳造合金 | |
WO2005111251A8 (fr) | Alliage de magnesium coule de haute durete et de haute resistance et procede | |
JP2009280846A (ja) | マグネシウム合金鍛造部材及びその製造方法 | |
CN102787261B (zh) | 铝硅合金 | |
JP2015519475A5 (ja) | 改良された快削性展伸アルミニウム合金製品およびその製造方法 | |
US8858874B2 (en) | Ternary nickel eutectic alloy | |
JP3702044B2 (ja) | アルミニウム合金製羽根車及びその製造方法 | |
JP2009215631A (ja) | TiAl基合金及びその製造方法並びにそれを用いた動翼 | |
JP2569710B2 (ja) | 常温靱性を有するTi−A▲l▼系金属間化合物型鋳造合金 | |
JP6202556B2 (ja) | 熱間鍛造型TiAl基合金 | |
JP2003277855A (ja) | 無鉛快削黄銅合金材及びその製造方法 | |
JP6284232B2 (ja) | TiAl基鋳造合金及びその製造方法 | |
JP2003147468A (ja) | 切削用Al−Mg−Si系アルミニウム合金押出材 | |
JPH11189837A (ja) | 快削性アルミニウム合金 | |
JP2009155715A (ja) | 鋳造コンプレッサ羽根車 | |
KR101807799B1 (ko) | Al-Si계 주조재 합금 및 그 제조방법 | |
RU2211874C1 (ru) | Сплав на основе титана и изделие, выполненное из него | |
JP2844688B2 (ja) | Co基合金の製造方法 | |
JP2004003007A (ja) | 切削性に優れたアルミニウム合金およびその鍛造方法とその鍛造品 | |
RU2191841C2 (ru) | Сплав на основе титана и изделие, выполненное из него | |
JPH06330217A (ja) | マグネシウム合金 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160428 |