JPS61215492A - タ−ボ分子ポンプの翼の製造方法 - Google Patents
タ−ボ分子ポンプの翼の製造方法Info
- Publication number
- JPS61215492A JPS61215492A JP60055690A JP5569085A JPS61215492A JP S61215492 A JPS61215492 A JP S61215492A JP 60055690 A JP60055690 A JP 60055690A JP 5569085 A JP5569085 A JP 5569085A JP S61215492 A JPS61215492 A JP S61215492A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaped material
- disc
- vane
- blades
- dice
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Shaping Metal By Deep-Drawing, Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はターボ分子ポンプの翼の製造方法に関するもの
である。
である。
（従来の技術）
ターボ分子ポンプの回転体に装着する翼（以下回転翼と
称する）を第４図に示した。一方、ターボ分子ポンプの
静止体に装着する翼（以下静止翼と称する）を第５図に
示した。同回転翼及び同静止翼は、素材から翼を削り出
す方法、或いは翼部分の板厚を残して削り出し、その後
に翼をねじり加工する方法により、製作していた。
称する）を第４図に示した。一方、ターボ分子ポンプの
静止体に装着する翼（以下静止翼と称する）を第５図に
示した。同回転翼及び同静止翼は、素材から翼を削り出
す方法、或いは翼部分の板厚を残して削り出し、その後
に翼をねじり加工する方法により、製作していた。
（発明が解決しようとする問題点）
前記従来のターボ分子ポンプの翼の製造方法では、加工
工数が多（て、製作費が嵩むという問題があった。
工数が多（て、製作費が嵩むという問題があった。
本発明は前記の問題点に対処するもので、対向面が断面
鋸歯状に形成された一対の金型により一枚の円板状素材
をプレス加工して、連続した翼の成形と隣接する翼間の
切断とを同時に行うことを特徴としたターボ分子ポンプ
の翼の製造方法に係わり、その目的とする処は、製作費
を低減できる。
鋸歯状に形成された一対の金型により一枚の円板状素材
をプレス加工して、連続した翼の成形と隣接する翼間の
切断とを同時に行うことを特徴としたターボ分子ポンプ
の翼の製造方法に係わり、その目的とする処は、製作費
を低減できる。
材料の歩留りを向上できる。さらに均一な製品を得られ
る改良されたターボ分子ポンプの翼の製造方法を供する
点にある。
る改良されたターボ分子ポンプの翼の製造方法を供する
点にある。
（問題点を解決するための手段）
本発明のターボ分子ポンプの翼の製造方法は前記のよう
に対向面が断面鋸歯状に形成された一対の金型により一
枚の円板状素材をプレス加工して。
に対向面が断面鋸歯状に形成された一対の金型により一
枚の円板状素材をプレス加工して。
連続した翼の成形と隣接する翼間の切断とを同時に行う
ようにしており、加工工数が一工程になるので、製作費
が低減される。また従来のように削り出し工程が不要で
、材料の歩留りが向上する。
ようにしており、加工工数が一工程になるので、製作費
が低減される。また従来のように削り出し工程が不要で
、材料の歩留りが向上する。
またプレス加工されるので、形状及び表面の状態が一定
して、均一な製品が得られる。
して、均一な製品が得られる。
（実施例）
次に本発明のターボ分子ポンプの翼の製造方法を第１．
２．３図に示す一実施例により説明すると、（１）が円
板状素材、 （２）（２）が一対の金型で。
２．３図に示す一実施例により説明すると、（１）が円
板状素材、 （２）（２）が一対の金型で。
同金型（２） （２）は、対向面が断面鋸歯状に形成さ
れている。
れている。
（作用）
次に前記金型（２） （２）を使用して行われるターボ
分子ポンプの翼の製造工程を説明する。まず円板状素材
（１）を第１図に示すように金型（２） （２）の間へ
挿入し９次いで同金型（２） （２）を接近させて、同
・円板状素材（１）を加圧する。このときの状態を第２
図に示した。このプレス加工で１円板状素材（１）は、
連続した翼が成形されると同時に隣接する翼間が切断さ
れる。次いで金型（２） （２）が離されて、成形品が
取り出されるが、成形品を第３図に（１゛）により示し
た。以上の工程で２回転翼（第４図参照）も、静止翼（
第５図参照）も製作可能である。
分子ポンプの翼の製造工程を説明する。まず円板状素材
（１）を第１図に示すように金型（２） （２）の間へ
挿入し９次いで同金型（２） （２）を接近させて、同
・円板状素材（１）を加圧する。このときの状態を第２
図に示した。このプレス加工で１円板状素材（１）は、
連続した翼が成形されると同時に隣接する翼間が切断さ
れる。次いで金型（２） （２）が離されて、成形品が
取り出されるが、成形品を第３図に（１゛）により示し
た。以上の工程で２回転翼（第４図参照）も、静止翼（
第５図参照）も製作可能である。
（発明の効果）
本発明のターボ分子ポンプの翼の製造方法は前記のよう
に対向面が断面鋸歯状に形成された一対の金型により一
枚の円板状素材をプレス加工して。
に対向面が断面鋸歯状に形成された一対の金型により一
枚の円板状素材をプレス加工して。
連続した翼の成形と隣接する翼間の切断とを同時に行う
ようにしており、加エエ敗が一工程になるので、製作費
を低減できる。また従来のように削り出し工程が不要で
、材料の歩留りを向上できる。
ようにしており、加エエ敗が一工程になるので、製作費
を低減できる。また従来のように削り出し工程が不要で
、材料の歩留りを向上できる。
またプレス加工されるので、形状及び表面の状態が一定
して、均一な製品を得られる効果がある。
して、均一な製品を得られる効果がある。
以上本発明を実施例により説明したが、勿論本発明はこ
のような実施例だけに限定されるものでなく１本発明の
精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施しうる
ものである。
のような実施例だけに限定されるものでなく１本発明の
精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施しうる
ものである。
第１図乃至第３図は本発明に係わるターボ分子ポンプの
翼の製造方法を示す説明図、第４図はターボ分子ポンプ
回転翼を示す斜視図、第５図はターボ分子ポンプ静止翼
を示す斜視図である。 （１）・・・円板状素材、（１”）・・・製品、（２）
（２）・・・金型。 復代理人弁理士岡本重文外２名
翼の製造方法を示す説明図、第４図はターボ分子ポンプ
回転翼を示す斜視図、第５図はターボ分子ポンプ静止翼
を示す斜視図である。 （１）・・・円板状素材、（１”）・・・製品、（２）
（２）・・・金型。 復代理人弁理士岡本重文外２名
Claims (1)
- 対向面が断面鋸歯状に形成された一対の金型により一枚
の円板状素材をプレス加工して、連続した翼の成形と隣
接する翼間の切断とを同時に行うことを特徴としたター
ボ分子ポンプの翼の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60055690A JPS61215492A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | タ−ボ分子ポンプの翼の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60055690A JPS61215492A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | タ−ボ分子ポンプの翼の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61215492A true JPS61215492A (ja) | 1986-09-25 |
Family
ID=13005894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60055690A Pending JPS61215492A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | タ−ボ分子ポンプの翼の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61215492A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009535551A (ja) * | 2006-04-29 | 2009-10-01 | エーリコン ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ターボ分子ポンプのローター又はステーターの製造方法 |
| JP2018145917A (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-20 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよび真空ポンプの製造方法 |
-
1985
- 1985-03-22 JP JP60055690A patent/JPS61215492A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009535551A (ja) * | 2006-04-29 | 2009-10-01 | エーリコン ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ターボ分子ポンプのローター又はステーターの製造方法 |
| JP2009535550A (ja) * | 2006-04-29 | 2009-10-01 | エーリコン ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ターボ分子ポンプのローター又はステーター |
| JP2018145917A (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-20 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよび真空ポンプの製造方法 |
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