JPS584323A - 動翼付ロ−タ−の成形法 - Google Patents
動翼付ロ−タ−の成形法Info
- Publication number
- JPS584323A JPS584323A JP10023081A JP10023081A JPS584323A JP S584323 A JPS584323 A JP S584323A JP 10023081 A JP10023081 A JP 10023081A JP 10023081 A JP10023081 A JP 10023081A JP S584323 A JPS584323 A JP S584323A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- blades
- blade
- moving blades
- mobilization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/006—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass turbine wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は動翼付ローターさらに詳しくはターボ分子ポン
プに使用するローターの成形法に関しその目的とすると
ころは、製作工程が大幅に簡略化で目的とともに製作日
数が短縮でき且つローターの設計が任意に可能となる全
く画期的な動員付ローターの成形法を提供するにある。
プに使用するローターの成形法に関しその目的とすると
ころは、製作工程が大幅に簡略化で目的とともに製作日
数が短縮でき且つローターの設計が任意に可能となる全
く画期的な動員付ローターの成形法を提供するにある。
従来この種ローターの成形法としては、ロータ部分と動
翼部分を夫々別個に製作し、これを組み合わせて圧入す
ることにより、動翼付ローターを成形してなるものであ
る。すなわち第６図（イ）に示すように動翼部分は、ま
ず板体（１０）から円板（１１）を打抜き、該円板（１
１）に孔（１２）を９＆しその後該円板０１１の外周面
を切割加工によ如動属と＆為ぺ（薄板（１１り状に形成
し、次に薄板０１ｆ部分をフッ２イスで切−１して通常
１器枚〜ｎｏ秋のブレード（１）としてＦ！！ｌｉｔ、
その後パリ取りを行なって１枚の動翼軸を成形すゐもの
であ為。
翼部分を夫々別個に製作し、これを組み合わせて圧入す
ることにより、動翼付ローターを成形してなるものであ
る。すなわち第６図（イ）に示すように動翼部分は、ま
ず板体（１０）から円板（１１）を打抜き、該円板（１
１）に孔（１２）を９＆しその後該円板０１１の外周面
を切割加工によ如動属と＆為ぺ（薄板（１１り状に形成
し、次に薄板０１ｆ部分をフッ２イスで切−１して通常
１器枚〜ｎｏ秋のブレード（１）としてＦ！！ｌｉｔ、
その後パリ取りを行なって１枚の動翼軸を成形すゐもの
であ為。
こ九に対しロータ一本体・ηの部分は、同＃Ａｔ口）の
ように円柱体・４１１−１１ＪＤ出して上下の円筒部拳
鴫、参−を動員Ｉ場内径と一致せしめる。
ように円柱体・４１１−１１ＪＤ出して上下の円筒部拳
鴫、参−を動員Ｉ場内径と一致せしめる。
次に同図（ハ）のようにロータ一本体重の土偶の円筒部
−に高真空側動翼６１を複数枚順次圧入せしめ、他方下
側の円筒ｉＩａ輌に低真’２’ｌｌ動翼・ｌを複数枚順
次圧入せしめ、その後各動員錦Ｏ外方側に動員押え＃場
を圧入する。
−に高真空側動翼６１を複数枚順次圧入せしめ、他方下
側の円筒ｉＩａ輌に低真’２’ｌｌ動翼・ｌを複数枚順
次圧入せしめ、その後各動員錦Ｏ外方側に動員押え＃場
を圧入する。
その後、各動員ｌｌｓ及び動真押えａ＠とロータ一本・
一体重の接触１ａｔｓ接するととによ）同図に）のよう
な動員付ローター拳ηを成形してなるものであゐ。
一体重の接触１ａｔｓ接するととによ）同図に）のよう
な動員付ローター拳ηを成形してなるものであゐ。
しかしながら前記Ｉ１．彫法によると、動員１６枚、動
員押えｌ ａｙ １枚、菅−ターの各構ＷＩＬ部品が夫
々別個に材料手配、加工を行なわなければがらず且つ加
工後−一ターＫＷｈ翼、動員押えを圧入しなければなら
１に１他、各動員、動翼押えを嬉接しなければならず酸
形工程が非常Ｋｍ雑な為ため製造原価が高く１に為等の
欠点が生じた。
員押えｌ ａｙ １枚、菅−ターの各構ＷＩＬ部品が夫
々別個に材料手配、加工を行なわなければがらず且つ加
工後−一ターＫＷｈ翼、動員押えを圧入しなければなら
１に１他、各動員、動翼押えを嬉接しなければならず酸
形工程が非常Ｋｍ雑な為ため製造原価が高く１に為等の
欠点が生じた。
さらＫＷ−ターに動員を圧入す為１１％適正な隙ｍがＷ
哀されるため、ローター外径と動翼内径との寸法精度が
製作時非常Ｋ１１Ｉｌｌａとなり０また％−−ターと動
翼とは組み合わ破後、溶接してなゐ九め、重カパッンス
が取り龜い他、濤接費が大となる難点がある。
哀されるため、ローター外径と動翼内径との寸法精度が
製作時非常Ｋ１１Ｉｌｌａとなり０また％−−ターと動
翼とは組み合わ破後、溶接してなゐ九め、重カパッンス
が取り龜い他、濤接費が大となる難点がある。
その他、動員のグレード削り出しのための溝加工をノタ
ルソー加工としているため、パリの発生が多く、會た削
抄出し後のブレードのタオレも多いため、機絨加工後の
手作業工数が多くなる一点がある。
ルソー加工としているため、パリの発生が多く、會た削
抄出し後のブレードのタオレも多いため、機絨加工後の
手作業工数が多くなる一点がある。
以上のように従来の冒−ター成形法は、工程数が多く作
業性が非常に悪（製作費も高価となる等積々の欠点があ
った。
業性が非常に悪（製作費も高価となる等積々の欠点があ
った。
本発明は上記のように従来のローターの成形法の欠点が
ローターと動員を別個に製作しこれを組み会わせゐこと
に起因するものであることに着目し、よって両者を別個
ＦＣｌ２作することな（同時に一体的Ｋｉｔ形する方法
を開発したものでその特徴とするところは、円柱体から
なゐ成形体を切削等によ如所定の形状からなる円筒状の
ロータ一本体七動員となるべく複数の円板全同時に形成
し１次に該円板を放電加工により所望のブレードに形成
し、その後表面処理を行なう乙とによ）動員付ローター
を成形する方法にある。
ローターと動員を別個に製作しこれを組み会わせゐこと
に起因するものであることに着目し、よって両者を別個
ＦＣｌ２作することな（同時に一体的Ｋｉｔ形する方法
を開発したものでその特徴とするところは、円柱体から
なゐ成形体を切削等によ如所定の形状からなる円筒状の
ロータ一本体七動員となるべく複数の円板全同時に形成
し１次に該円板を放電加工により所望のブレードに形成
し、その後表面処理を行なう乙とによ）動員付ローター
を成形する方法にある。
以下その具体的方法につｈて図面に示した一実施例に従
って説明する。
って説明する。
まず１１１１図のような円柱体からなる成形体ｉ鳳ｌ
１用意し、該成形体（１１の中央部に上面開口部（２）
及び下面開口部（３）並びに両者の連通孔（４）を切削
等の手段にて穿孔形成し第１１図のようなロータ一本体
（暴１を製作すると同時ＫＭロータ一本体ｉ１１の外周
面を削珈出しながら所望のピッチからなる動員となるべ
（複数の（１１−−−−を１ｕｉｉする＊（ｍｓ図参照
）その後、前記番円板俤ＩＫ放電加工を施すことによ珈
１１４−のようＫ１Ｆｒ宣の角度からな為ブレード（１
ト・・を成形す為。
１用意し、該成形体（１１の中央部に上面開口部（２）
及び下面開口部（３）並びに両者の連通孔（４）を切削
等の手段にて穿孔形成し第１１図のようなロータ一本体
（暴１を製作すると同時ＫＭロータ一本体ｉ１１の外周
面を削珈出しながら所望のピッチからなる動員となるべ
（複数の（１１−−−−を１ｕｉｉする＊（ｍｓ図参照
）その後、前記番円板俤ＩＫ放電加工を施すことによ珈
１１４−のようＫ１Ｆｒ宣の角度からな為ブレード（１
ト・・を成形す為。
このようにして＊＊＊れたブレード（マ）をカセイソー
ダ、希硝酸等で化学研磨によりて衰ｍｌＢ１ｍを行なう
仁とによ伽＊ｆＭ”図のような動員付四−声一体）の劇
作が売威す為のであみ。
ダ、希硝酸等で化学研磨によりて衰ｍｌＢ１ｍを行なう
仁とによ伽＊ｆＭ”図のような動員付四−声一体）の劇
作が売威す為のであみ。
上記方決にて製作富れたローター（＄）は、動員（９）
・−・・・−盲−タ一本体（１） Ｋ一体的Ｋｊｌ成さ
れ且り動員押えが１に％Ａ丸め、金体が非常にプンバタ
トな外観＊＊と１ｋｈ・ 本−明は上記の如く一本の円柱体を穿孔、削如出し、放
電加工等の手段にて曽−タ一本体、動員、グレードとし
て一工程で製作すゐもので、従来のようＫＷ−タ一本体
と動員を別工程で製作して後、１１４会わせて製作すゐ
のに比し、製作工＠が大幅に簡略化審＃Ｌ４ｋＩＩＩｔ
ｆｌ亭を著しく向上することＫＩＥ功したもので島ゐ。
・−・・・−盲−タ一本体（１） Ｋ一体的Ｋｊｌ成さ
れ且り動員押えが１に％Ａ丸め、金体が非常にプンバタ
トな外観＊＊と１ｋｈ・ 本−明は上記の如く一本の円柱体を穿孔、削如出し、放
電加工等の手段にて曽−タ一本体、動員、グレードとし
て一工程で製作すゐもので、従来のようＫＷ−タ一本体
と動員を別工程で製作して後、１１４会わせて製作すゐ
のに比し、製作工＠が大幅に簡略化審＃Ｌ４ｋＩＩＩｔ
ｆｌ亭を著しく向上することＫＩＥ功したもので島ゐ。
尚、該実施例にシーては円柱体からなＪｈ成形体からロ
ータ一本体を製作、すゐ手段として穿孔手段を使用すゐ
が、その具体約方法は従来公知の手段であればよく決し
て限定１れるものではなり、またローターの形状や動員
の歇、ブレードの傾斜角も決して実施例に限定され為も
のズはない。
ータ一本体を製作、すゐ手段として穿孔手段を使用すゐ
が、その具体約方法は従来公知の手段であればよく決し
て限定１れるものではなり、またローターの形状や動員
の歇、ブレードの傾斜角も決して実施例に限定され為も
のズはない。
、 畝上のように本発明は一本の円柱体から動翼付ロ
ーターを製作するため、従来のようＫＩＣＩ−ターと動
翼部分を別々に製作すゐに比し工程が大幅に簡略化され
為とと４１１Ｃ製作コストが１割〜−割低減化で會る他
、製作日数が例えば小型Ｓ機種を計４０台製作する場合
、約ＳＯ日の短縮化を図ゐこ七ができた。
ーターを製作するため、従来のようＫＩＣＩ−ターと動
翼部分を別々に製作すゐに比し工程が大幅に簡略化され
為とと４１１Ｃ製作コストが１割〜−割低減化で會る他
、製作日数が例えば小型Ｓ機種を計４０台製作する場合
、約ＳＯ日の短縮化を図ゐこ七ができた。
さらに重要な点はポンプ性能に多大な影響を与えゐロー
ターの設計が自由となる。すなわち動翼、ブレードの厚
み、段数、角度が自由に設計で自ゐ、特に放電加工によ
るため電極の形を自由Ｋ１１ｌみ会わせすゐことＫよ如
ブレードの角度、大童畜等を任意に設計できる格別な効
果をえた。
ターの設計が自由となる。すなわち動翼、ブレードの厚
み、段数、角度が自由に設計で自ゐ、特に放電加工によ
るため電極の形を自由Ｋ１１ｌみ会わせすゐことＫよ如
ブレードの角度、大童畜等を任意に設計できる格別な効
果をえた。
また四−タ一本体の肉厚を薄くすゐことｋよ伽暢量化し
て振ｔ＃に対す為安定度を高めゐことがで―る他、嬉Ｉ
ＩＩがな（１に為丸めピンホールの発生等を防止で自為
。
て振ｔ＃に対す為安定度を高めゐことがで―る他、嬉Ｉ
ＩＩがな（１に為丸めピンホールの発生等を防止で自為
。
さもＫｍｍ泳法は、アライスによ為カットなるため、ブ
レードの角度を傭種類も変えた拳、グレードの長１を何
遍如にもすると治具中作業性の面で非常に煩雑上１に為
欠点があるが、本発明の放電加工によ伽作業部品点歇が
非常に少なく作業性が非常ＫｊＩＬ好と＊、＆格別な効
果をえた。
レードの角度を傭種類も変えた拳、グレードの長１を何
遍如にもすると治具中作業性の面で非常に煩雑上１に為
欠点があるが、本発明の放電加工によ伽作業部品点歇が
非常に少なく作業性が非常ＫｊＩＬ好と＊、＆格別な効
果をえた。
以上の如く本発明に係る動翼付ローターの成形法は従来
の成形法に比し、作業性、作業工程、生産性、生産費等
の点において格別すぐれその成形法としては、この種タ
ーボ分子ポンプのローターにおいて全く新規で画期的な
方法となるに至った。
の成形法に比し、作業性、作業工程、生産性、生産費等
の点において格別すぐれその成形法としては、この種タ
ーボ分子ポンプのローターにおいて全く新規で画期的な
方法となるに至った。
第１図は成形体の斜視図。
第２図はローター本体の断面図。
第３図は動翼付ローターの斜視図。
第４図はブレードの一部を示すローターの斜視図。
第５図は成形後のローターの縦断面図。
第６図は従来のローターの製造工程説明図。
（１）・・・・・・成形体 （５）・・・ローター本体
（７）・・・・・・ブレード （９）・・・動翼出願人
株式会社大収真空機器製作所 代理人 弁理士膝 末 昇市マワ
１ｆ２１１１３１１ −１： １４１１ １ＢＩＩ １１６１１（イ） １１６１Ｉ
（７）・・・・・・ブレード （９）・・・動翼出願人
株式会社大収真空機器製作所 代理人 弁理士膝 末 昇市マワ
１ｆ２１１１３１１ −１： １４１１ １ＢＩＩ １１６１１（イ） １１６１Ｉ
Claims (1)
- 円柱体からなる成形体を切削等により所定の形状からな
る円筒状のローター本体と動翼となるべく複数の円板を
同時に形成し、次に該円板を放電加工により所望のプレ
ードに形成し、その後表面処理を行なうことにより動翼
付ローターを成形することを特徴とする動翼付ローター
の成形法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10023081A JPS584323A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 動翼付ロ−タ−の成形法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10023081A JPS584323A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 動翼付ロ−タ−の成形法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS584323A true JPS584323A (ja) | 1983-01-11 |
Family
ID=14268468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10023081A Pending JPS584323A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 動翼付ロ−タ−の成形法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS584323A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61210293A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-18 | バルツェルスープファイファー・ゲーエムベーハー | 翼羽を有する円板およびその製造方法および装置 |
| JPS6429290U (ja) * | 1987-08-13 | 1989-02-21 | ||
| EP1402975A1 (en) * | 2002-09-06 | 2004-03-31 | VARIAN S.p.A. | Method of manufacturing vacuum pump rotors, and rotors obtained thereby |
| CN110722324A (zh) * | 2019-08-29 | 2020-01-24 | 武汉船用机械有限责任公司 | 顶杆孔的加工方法 |
-
1981
- 1981-06-26 JP JP10023081A patent/JPS584323A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61210293A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-18 | バルツェルスープファイファー・ゲーエムベーハー | 翼羽を有する円板およびその製造方法および装置 |
| JPS6429290U (ja) * | 1987-08-13 | 1989-02-21 | ||
| JPH0732956Y2 (ja) * | 1987-08-13 | 1995-07-31 | セイコー精機株式会社 | タ−ボ分子ポンプ |
| EP1402975A1 (en) * | 2002-09-06 | 2004-03-31 | VARIAN S.p.A. | Method of manufacturing vacuum pump rotors, and rotors obtained thereby |
| CN110722324A (zh) * | 2019-08-29 | 2020-01-24 | 武汉船用机械有限责任公司 | 顶杆孔的加工方法 |
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