JP5274446B2 - ターボ分子ポンプのローター又はステーター - Google Patents
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Description
0.3〜0.7重量%のケイ素(Si)
最大で0.15重量%の鉄(Fe)
3.5〜4.5重量%の銅(Cu)
0.1〜0.5重量%のマンガン(Mn)
0.3〜0.8重量%のマグネシウム(Mg)
0.05〜0.15重量%のチタニウム(Ti)
0.1〜0.25重量%のジルコニウム(Zr)
0.3〜0.7重量%の銀(Ag)
最大で夫々0.05重量%であり最大で合計0.15重量%のその他の元素
残余重量%のアルミニウム(Al)
を有するAl−Cu−Mg−Mn鍛造用合金を含有するアルミニウム合金製であるローターブレードを備えたターボ分子ポンプが、有しているローター又はステーターであって、
鋳造した個々のディスク又は剛体から機械加工又は熱融除したブレードセグメントを、溶体化−焼き鈍し・焼入れ・常温時効状態により、この状態でドイツ規格EN10002に準拠した引っ張り試験における破断時伸びを少なくとも14%の値となるように形成してから、所望の迎え角となるよう捻って塑性再成形した後、人工時効を行って得られたものであることを特徴とするローター又はステーターである。
合金AA 2016(特許文献5参照)で作製された円筒状の剛体から、ポンプの所望の段数だけ機械加工することにより、同心円状に重ね合わされたディスク状セグメントを、作製した。これにより、ハブ部に結合された複数の重なり合ったディスク状のリブからなる回転対称体を、得た。ここでのリブ厚さは、後述のブレード厚さに対応している。ここでは全てのリブディスクは、軸方向に、円周方向に沿ってハブ近傍まで一定間隔毎に細長い溝が設けられて、各ブレードセグメントが形成されている。
実施例1の材料で作製したAlシートから、次のように圧印によってステーターディスクを得た。
Claims (1)
- 下記成分
0.3〜0.7重量%のケイ素(Si)
最大で0.15重量%の鉄(Fe)
3.5〜4.5重量%の銅(Cu)
0.1〜0.5重量%のマンガン(Mn)
0.3〜0.8重量%のマグネシウム(Mg)
0.05〜0.15重量%のチタニウム(Ti)
0.1〜0.25重量%のジルコニウム(Zr)
0.3〜0.7重量%の銀(Ag)
最大で夫々0.05重量%であり最大で合計0.15重量%のその他の元素
残余重量%のアルミニウム(Al)
を有するAl−Cu−Mg−Mn鍛造用合金を含有するアルミニウム合金製であるローターブレードを備えたターボ分子ポンプが、有しているローター又はステーターであって、
鋳造した個々のディスク又は剛体から機械加工又は熱融除したブレードセグメントを、溶体化−焼き鈍し・焼入れ・常温時効状態により、この状態でドイツ規格EN10002に準拠した引っ張り試験における破断時伸びを少なくとも14%の値となるように形成してから、所望の迎え角となるよう捻って塑性再成形した後、人工時効を行って得られたものであることを特徴とするローター又はステーター。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006020100 | 2006-04-29 | ||
DE102006020100.0 | 2006-04-29 | ||
PCT/EP2007/054171 WO2007125104A1 (de) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | Rotoren oder statoren einer turbomolekularpumpe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009535550A JP2009535550A (ja) | 2009-10-01 |
JP5274446B2 true JP5274446B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=38221387
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009507092A Expired - Fee Related JP5274446B2 (ja) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | ターボ分子ポンプのローター又はステーター |
JP2009507094A Expired - Fee Related JP5274447B2 (ja) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | ターボ分子ポンプのローター又はステーターの製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009507094A Expired - Fee Related JP5274447B2 (ja) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | ターボ分子ポンプのローター又はステーターの製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20100199495A1 (ja) |
EP (2) | EP2013482B1 (ja) |
JP (2) | JP5274446B2 (ja) |
CN (2) | CN101438063A (ja) |
DE (1) | DE502007003011D1 (ja) |
RU (2) | RU2435076C2 (ja) |
WO (2) | WO2007125104A1 (ja) |
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JP5879181B2 (ja) | 2011-06-10 | 2016-03-08 | 株式会社神戸製鋼所 | 高温特性に優れたアルミニウム合金 |
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DE102012222230A1 (de) | 2012-12-04 | 2014-06-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3072984B2 (de) | 2015-03-27 | 2020-05-06 | Otto Fuchs KG | Al-cu-mg-li-legierung sowie daraus hergestelltes legierungsprodukt |
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GB2552793A (en) | 2016-08-08 | 2018-02-14 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
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-
2007
- 2007-04-27 US US12/298,768 patent/US20100199495A1/en not_active Abandoned
- 2007-04-27 JP JP2009507092A patent/JP5274446B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-27 JP JP2009507094A patent/JP5274447B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-27 EP EP07728626.8A patent/EP2013482B1/de not_active Not-in-force
- 2007-04-27 EP EP07728629A patent/EP2013483B1/de active Active
- 2007-04-27 CN CNA2007800155710A patent/CN101438063A/zh active Pending
- 2007-04-27 RU RU2008146813/06A patent/RU2435076C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2007-04-27 WO PCT/EP2007/054171 patent/WO2007125104A1/de active Application Filing
- 2007-04-27 DE DE502007003011T patent/DE502007003011D1/de active Active
- 2007-04-27 WO PCT/EP2007/054174 patent/WO2007125106A2/de active Application Filing
- 2007-04-27 RU RU2008146811/06A patent/RU2455529C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2007-04-27 CN CNA2007800154027A patent/CN101432525A/zh active Pending
- 2007-04-27 US US12/298,562 patent/US20090180890A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE502007003011D1 (de) | 2010-04-15 |
JP2009535550A (ja) | 2009-10-01 |
RU2008146811A (ru) | 2010-06-10 |
US20100199495A1 (en) | 2010-08-12 |
RU2435076C2 (ru) | 2011-11-27 |
WO2007125104A1 (de) | 2007-11-08 |
EP2013483B1 (de) | 2010-03-03 |
RU2455529C2 (ru) | 2012-07-10 |
EP2013482A1 (de) | 2009-01-14 |
EP2013482B1 (de) | 2014-11-05 |
JP5274447B2 (ja) | 2013-08-28 |
CN101432525A (zh) | 2009-05-13 |
RU2008146813A (ru) | 2010-06-10 |
EP2013483A2 (de) | 2009-01-14 |
CN101438063A (zh) | 2009-05-20 |
WO2007125106A3 (de) | 2008-01-31 |
JP2009535551A (ja) | 2009-10-01 |
US20090180890A1 (en) | 2009-07-16 |
WO2007125106A2 (de) | 2007-11-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20090727 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |