RU2161364C2 - Пьезоэлектрический шаговый двигатель - Google Patents

Пьезоэлектрический шаговый двигатель Download PDF

Info

Publication number
RU2161364C2
RU2161364C2 RU96111313/28A RU96111313A RU2161364C2 RU 2161364 C2 RU2161364 C2 RU 2161364C2 RU 96111313/28 A RU96111313/28 A RU 96111313/28A RU 96111313 A RU96111313 A RU 96111313A RU 2161364 C2 RU2161364 C2 RU 2161364C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric
piezoelectric element
fixing
movable part
locking
Prior art date
Application number
RU96111313/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU96111313A (ru
Inventor
Ю.В.(RU) Окатов
Ю.В. Окатов
С.В.(RU) Буров
С.В. Буров
Original Assignee
Окатов Юрий Владимирович
Буров Сергей Вячеславович
Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Окатов Юрий Владимирович, Буров Сергей Вячеславович, Самсунг Электроникс Ко., Лтд. filed Critical Окатов Юрий Владимирович
Priority to RU96111313/28A priority Critical patent/RU2161364C2/ru
Priority to AU31962/97A priority patent/AU3196297A/en
Priority to JP50046798A priority patent/JP3872519B2/ja
Priority to KR1019980700789A priority patent/KR100353456B1/ko
Priority to PCT/RU1997/000175 priority patent/WO1997047072A1/ru
Priority to US09/000,376 priority patent/US6211605B1/en
Publication of RU96111313A publication Critical patent/RU96111313A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2161364C2 publication Critical patent/RU2161364C2/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/101Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors

Abstract

Изобретение относится к пьезоэлектрическим двигателям, которые могут быть использованы в качестве исполнительных механизмов. Пьезоэлектрический шаговый двигатель содержит корпус с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть. Фиксирующие узлы выполнены из не менее двух вращательно-сдвигающе-фиксирующих пьезоблоков, которые расположены внутри корпуса в продольной плоскости друг за другом. Каждый пьезоблок выполнен из вращательного пьезоэлемента, сдвигающего пьезоэлемента, фиксирующего пьезоэлемента и фрикционного элемента, разделенных изоляторами. Промежутки между пьезоблоками заполнены эластичным изоляционным материалом. Технический результат - упрощение конструкции и технологии изготовления, повышение усилия и точности позиционирования. 14 ил.

Description

Изобретение относится к области электрических двигателей, а более точно касается пьезоэлектрических шаговых двигателей, и может быть использовано в качестве исполнительного механизма в электротехнике, телемеханике, радиотехнике и автоматике.
Известен пьезоэлектрический двигатель, статор которого содержит пьезоэлектрический полый цилиндр, внутри которого расположен цилиндрический ротор, фрикционно взаимодействующий со статором (Авторское свидетельство СССР N 573828, МКИ H 01 L 41/00).
Однако этот двигатель не может осуществлять линейное перемещение цилиндрического ротора.
Наиболее близким аналогом к предлагаемому изобретению является пьезоэлектрический шаговый двигатель, содержащий корпус с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть с рабочим элементом (Авторское свидетельство СССР N 720576, МКИ H 01 L 41/04 - прототип).
Однако этот двигатель имеет сложную конструкцию и осуществляет только линейное перемещение подвижной части и не может обеспечить вращение подвижной части.
В основу предлагаемого изобретения была положена задача создания пьезоэлектрического шагового двигателя, конструктивное выполнение которого позволило бы упростить конструкцию и технологию его изготовления, повысить усилия и точность позиционирования подвижной части при ее вращении, линейном перемещении и при совместном движении (одновременное вращение и линейное перемещение).
Это достигается тем, что в пьезоэлектрическом шаговом двигателе, содержащем корпус с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть, согласно изобретению, фиксирующие узлы выполнены из не менее двух вращательно-сдвигающе-фиксирующих пьезоблоков, которые расположены внутри корпуса в продольной плоскости друг за другом, причем каждый пьезоблок выполнен из вращательного пьезоэлемента, сдвигающего пьезоэлемента, фиксирующего пьезоэлемента и фрикционного элемента, разделенных изоляторами, а промежутки между пьезоблоками заполнены эластичным изоляционным материалом.
Далее изобретение поясняется описанием конкретного примера его выполнения и прилагаемыми чертежами, на которых:
фиг. 1 изображает пьезоэлектрический шаговый двигатель, вид спереди;
фиг. 2 - то же, продольный разрез;
фиг. 3 - 8 - такты работы пьезоэлектрического шагового двигателя при линейном перемещении подвижной части, продольный разрез;
фиг. 9 - первый такт работы двигателя при вращении подвижной части, поперечные разрезы двух пьезоблоков;
фиг. 10-14 - остальные такты работы пьезоэлектрического шагового двигателя при вращении подвижной части.
Пьезоэлектрический шаговый двигатель содержит цилиндрический корпус 1 (фиг. 1 и 2), фиксирующие узлы в виде двух пьезоблоков 2 и 3 и подвижную часть 4, выполненную в виде цилиндрического стержня. Пьезоблоки 2 и 3 являются вращательно-сдвигающе-фиксирующими. Каждый пьезоблок состоит из соединенных между собой (например, склеенных) вращательного пьезоэлемента 5, сдвигающего пьезоэлемента 6, фиксирующего пьезоэлемента 7, изоляторов 8 и фрикционного элемента 9. Вращательный пьезоэлемент 5 осуществляет поворот подвижной части 4 вокруг собственной оси и вектор его начальной поляризации направлен под углом к продольной плоскости двигателя. Сдвигающий пьезоэлемент 6 имеет вектор начальной поляризации, направленный под углом к продольной оси двигателя и осуществляет перемещение подвижной части 4 вдоль продольной оси двигателя.
Фиксирующий пьезоэлемент 7 производит фиксацию подвижной части 4, вектор его начальной поляризации направлен (радиально) перпендикулярно продольной оси двигателя.
Фрикционные элементы 9 выполнены в виде разрезного кольца, что обеспечивает более плотное обжатие подвижной части 4 фиксирующими пьезоэлементами 7 пьезоблоков 2 и 3.
Каждый пьезоэлемент имеет электроды, к которым подключены провода (эти элементы на чертеже не показаны).
Промежутки между пьезоблоками 2 и 3 заполнены эластичным изоляционным материалом 10.
Двигатель работает следующим образом.
При подаче на электроды вращательного пьезоэлемента 5 (фиг. 9) положительного напряжения за счет обратного пьезоэффекта происходит поворот внутренней части кольца против часовой стрелки на угол α относительно диаметральной линии A1 А2, а при подаче отрицательного напряжения осуществляется поворот внутренней части по часовой стрелке на угол α относительно диаметральной линии A1 A2. При подаче на электроды сдвигающих пьезоэлементов 6 положительного напряжения за счет обратного пьезоэффекта происходит сдвиг внутренней части влево относительно внешней части кольца, а при подаче отрицательного напряжения - сдвиг внутренней части вправо относительно внешней части кольца. При подаче положительного напряжения на электроды фиксирующего пьезоэлемента 7 происходит обжим им подвижной части 4, а при подаче отрицательного напряжения он отжимается от подвижной части 4.
Пьезоэлектрический шаговый двигатель может осуществлять различные виды движений: линейное перемещение подвижной части; вращательное движение; совместно линейное и вращательное движение; различные комбинации этих движений.
Рабочий цикл двигателя состоит из шести тактов.
Работа двигателя в режиме линейного перемещения подвижной части показана на фиг. 3-8. При этом в работе участвуют сдвигающие пьезоэлементы 6 пьезоблоков 2 и 3 и фиксирующие пьезоэлементы 7 тех же пьезоблоков.
Первому такту соответствует положение пьезоэлементов 6 и 7 пьезоблоков 2 и 3, показанное на фиг. 3. На пьезоэлементы 6 и 7 пьезоблока 2 и на пьезоэлемент 7 пьезоблока 3 подано положительное напряжение, а на пьезоэлемент 6 пьезоблока 3 - отрицательное напряжение, при этом пьезоэлемент 6 пьезоблока 2 смещен влево, пьезоэлемент 6 пьезоблока 3 смещен вправо. Фиксирующие пьезоэлементы 7 пьезоблоков 2 и 3 зажимают подвижную часть 4. Вращательные пьезоэлементы 5 не участвуют в линейном перемещении и могут занимать любое положение, которое не изменяется во время работы двигателя в режиме линейного перемещения.
Во втором такте на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 4) пьезоблока 3 подается отрицательное напряжение, при этом он отжимается от подвижной части 4.
В третьем такте на сдвигающий пьезоэлемент 6 (фиг. 5) пьезоблока 2 подается отрицательное напряжение и он, смещаясь вправо, перемещает фиксирующий пьезоэлемент 7 и подвижную часть 4 на один шаг. Одновременно на сдвигающий пьезоэлемент 5 пьезоблока 3 подается положительное напряжение и он смещается совместно с фиксирующим пьезоэлементом 7 влево.
В четвертом такте положительное напряжение подается на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 6) пьезоблока 3, который обжимает подвижную часть 4.
В пятом такте на фиксирующий пьезоэлемент (фиг. 7) пьезоблока 2 подается отрицательное напряжение и он отжимается от подвижной части 4.
В шестом такте пьезоблоки 2 (фиг. 8) и 3 расходятся, т. е. на электроды сдвигающего пьезоэлемента 6 пьезоблока 2 подается положительное напряжение и он смещается влево, а на сдвигающий пьезоэлемент 6 пьезоблока 3 подается отрицательное напряжение и он совместно с фиксирующим пьезоэлементом 7 и подвижной частью 4 смещается вправо. Происходит перемещение подвижной части 4 еще на один шаг. На этом рабочий цикл завершается, подвижная часть переместилась на два шага.
Далее процесс линейного перемещения продолжается в той же последовательности.
При вращении подвижной части 4 работа двигателя осуществляется по схеме, представленной на фиг. 9-14.
На фиг. 9 изображено положение, соответствующее первому такту. В работе участвуют вращательные пьезоэлементы 5 и фиксирующие пьезоэлементы 7 пьезоблоков 2 и 3. Пьезоэлементы 6 в работе не участвуют и могут занимать любое положение, которое не изменяется в процессе работы. На пьезоэлементы 5 и 7 пьезоблока 2 подано положительное напряжение, при этом вращательный пьезоэлемент 5 смещает фиксирующий пьезоэлемент 7 на угол α против часовой стрелки, пьезоэлемент 7 зажимает подвижную часть 4. На вращательный пьезоэлемент 5 пьезоблока 3 подано отрицательное напряжение, при этом он смещает фиксирующий пьезоэлемент 7 на угол α против часовой стрелки, пьезоэлемент 7 зажимает подвижную часть 4.
Во втором такте на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 10) пьезоблока 3 подается отрицательное напряжение, при этом он отжимается от подвижной части 4.
В третьем такте отрицательное напряжение подается на вращательный пьезоэлемент 5 (фиг. 11) пьезоблока 2, который поворачивает совместно фиксирующий пьезоэлемент 7 и подвижную часть 4 на угол 2α по часовой стрелке. При этом на вращательный пьезоэлемент 5 пьезоблока 3 подается положительное напряжение и происходит сдвиг фиксирующего пьезоэлемента 7 на угол 2α против часовой стрелки.
В четвертом такте на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 12) пьезоблока 2 подается положительное напряжение и он обжимает подвижную часть 4.
В пятом такте на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 13) пьезоблока 2 подается отрицательное напряжение и он отжимается от подвижной части 4.
В шестом такте положительное напряжение подается на вращательный пьезоэлемент 5 пьезоблока 2, который смещается на угол 2α против часовой стрелки. На вращательный пьезоэлемент 5 пьезоблока 3 подается отрицательное напряжение и он поворачивает подвижную часть 4 на угол 2α по часовой стрелке.
За один рабочий цикл подвижная часть 4 поворачивается на угол 4α. Далее происходит повторение циклов, при этом подвижная часть 4 вращается по часовой стрелке.
Для осуществления реверса необходимо изменить порядок подачи напряжения на фиксирующие пьезоэлементы.
Предлагаемый пьезоэлектрический шаговый двигатель имеет простую конструкцию и технологию изготовления, небольшие габаритные размеры и массу, большое усилие на подвижной части и большой крутящийся момент, а также позволяет совмещать линейное движение подвижной части и ее вращение.

Claims (1)

  1. Пьезоэлектрический шаговый двигатель, содержащий корпус, с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть, отличающийся тем, что фиксирующие узлы выполнены из не менее двух вращательно-сдвигающе-фиксирующих пьезоблоков, которые расположены внутри корпуса в продольной плоскости друг за другом, причем каждый пьезоблок выполнен из вращательного пьезоэлемента, сдвигающего пьезоэлемента, фиксирующего пьезоэлемента и фрикционного элемента, разделенных изоляторами, а промежутки между пьезоблоками заполнены эластичным изоляционным материалом.
RU96111313/28A 1996-06-05 1996-06-05 Пьезоэлектрический шаговый двигатель RU2161364C2 (ru)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96111313/28A RU2161364C2 (ru) 1996-06-05 1996-06-05 Пьезоэлектрический шаговый двигатель
AU31962/97A AU3196297A (en) 1996-06-05 1997-06-05 Piezoelectric step motor
JP50046798A JP3872519B2 (ja) 1996-06-05 1997-06-05 圧電・ステッピング・モータ
KR1019980700789A KR100353456B1 (ko) 1996-06-05 1997-06-05 압전형스텝모터
PCT/RU1997/000175 WO1997047072A1 (fr) 1996-06-05 1997-06-05 Moteur piezo-electrique pas-a-pas
US09/000,376 US6211605B1 (en) 1996-06-05 1997-06-05 Piezoelectric step motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96111313/28A RU2161364C2 (ru) 1996-06-05 1996-06-05 Пьезоэлектрический шаговый двигатель

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU96111313A RU96111313A (ru) 1998-09-27
RU2161364C2 true RU2161364C2 (ru) 2000-12-27

Family

ID=20181540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96111313/28A RU2161364C2 (ru) 1996-06-05 1996-06-05 Пьезоэлектрический шаговый двигатель

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6211605B1 (ru)
JP (1) JP3872519B2 (ru)
KR (1) KR100353456B1 (ru)
AU (1) AU3196297A (ru)
RU (1) RU2161364C2 (ru)
WO (1) WO1997047072A1 (ru)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE0002885D0 (sv) * 2000-08-11 2000-08-11 Piezomotor Uppsala Ab Fine walking actuator
DE10148267B4 (de) * 2001-06-08 2005-11-24 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren sowie Verfahren zum Betreiben eines solchen Antriebes
JP3832338B2 (ja) * 2001-12-25 2006-10-11 松下電工株式会社 電歪ポリマーアクチュエータ
US7309946B2 (en) * 2003-03-19 2007-12-18 Academia Sinica Motion actuator
FR2854284B1 (fr) * 2003-04-28 2005-06-03 Centre Nat Rech Scient Moteur piezoelectrique permettant au moins deux degres de liberte, en rotation et en deplacement lineaire
US6977461B2 (en) * 2003-12-15 2005-12-20 Asml Netherlands B.V. System and method for moving an object employing piezo actuators
DE102006015493B4 (de) * 2006-04-03 2010-12-23 Atlas Elektronik Gmbh Elektroakustischer Wandler
DE102006039821A1 (de) 2006-08-25 2008-03-13 Carl Zeiss Smt Ag Optisches System, insbesondere ein Projektionsobjektiv oder ein Beleuchtungssystem
CN104578901B (zh) * 2015-01-15 2018-05-04 合肥工业大学 一种行走式压电旋转马达

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU573828A1 (ru) * 1976-06-08 1977-09-25 Киевский Ордена Ленина Политехнический Институт Имени 50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции Пьезоэлектрический двигатель
SU738016A1 (ru) * 1977-05-13 1980-05-30 За витель I 1| йа-:-:|(«/;;г - -...,Г .,.Kf iilil 4.,-, - - ; Шаговый двигатель
JPS5976184A (ja) * 1982-10-22 1984-05-01 Hitachi Ltd アクチユエ−タ
JPS602081A (ja) * 1983-06-16 1985-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 回転駆動アクチユエ−タ
JPS6082072A (ja) * 1983-10-12 1985-05-10 Jeol Ltd ステツピングモ−タ
JP2651172B2 (ja) * 1987-12-28 1997-09-10 東陶機器株式会社 アクチュエータ
US4928030A (en) * 1988-09-30 1990-05-22 Rockwell International Corporation Piezoelectric actuator
US5043621A (en) * 1988-09-30 1991-08-27 Rockwell International Corporation Piezoelectric actuator
EP0424609A1 (en) * 1989-09-28 1991-05-02 Rockwell International Corporation Piezoelectric actuator
ES2074185T3 (es) * 1990-03-23 1995-09-01 Rockwell International Corp Motor piezoelectrico.
ES2071146T3 (es) * 1990-04-27 1995-06-16 Rockwell International Corp Articulacion robotica.
US5068566A (en) * 1990-06-04 1991-11-26 Rockwell International Corporation Electric traction motor
DE4023311A1 (de) * 1990-07-21 1992-01-23 Omicron Vakuumphysik Verstellvorrichtung fuer mikrobewegungen
JPH05316757A (ja) * 1991-03-20 1993-11-26 Nec Corp 移動機構
CA2066084A1 (en) * 1991-05-31 1992-12-01 Gordon Walter Culp Twisting actuators
US5182484A (en) * 1991-06-10 1993-01-26 Rockwell International Corporation Releasing linear actuator
JPH05199775A (ja) * 1991-08-05 1993-08-06 Honda Electron Co Ltd 圧電ステッピングモータ
JPH08192798A (ja) * 1991-12-10 1996-07-30 Susumu Sato 水上飛行船
JPH05236765A (ja) * 1992-02-20 1993-09-10 Okuma Mach Works Ltd ローテータブル・リニア・アクチュエータ

Also Published As

Publication number Publication date
KR100353456B1 (ko) 2002-12-31
JP3872519B2 (ja) 2007-01-24
JPH11511952A (ja) 1999-10-12
AU3196297A (en) 1998-01-05
WO1997047072A1 (fr) 1997-12-11
KR19990036121A (ko) 1999-05-25
US6211605B1 (en) 2001-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4504760A (en) Piezoelectrically driven vibration wave motor
US3902085A (en) Electromechanical translation apparatus
RU2161364C2 (ru) Пьезоэлектрический шаговый двигатель
US6150750A (en) Piezoelectric linear step motor
RU2167487C2 (ru) Пьезоэлектрический шаговый двигатель
RU2167489C2 (ru) Пьезоэлектрический шаговый двигатель
RU2167486C2 (ru) Пьезоэлектрический шаговый двигатель
KR100353455B1 (ko) 압전형리니어스텝모터
RU2153219C2 (ru) Пьезоэлектрический шаговый двигатель
CN110661445B (zh) 一种并联式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
RU2181522C2 (ru) Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель
SU502426A1 (ru) Ультразвуковой линейный шаговый двигатель
JP4335660B2 (ja) 静電アクチュエータ
JPS62100179A (ja) 圧電モ−タ
SU699619A1 (ru) Шаговй двигатель
SU441975A1 (ru) Устройство дл получени вращательного движени
SU1653036A1 (ru) Электромеханический волноводный переключатель
JP2002325418A (ja) 電動モータ
CN109450291A (zh) 并联可双向选择旋转式驻波型直线超声波电机
JPS63220777A (ja) 超音波モ−タ
JPH02151282A (ja) 超音波モータ
JPH04299082A (ja) 超音波アクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20040606