JP3872519B2 - 圧電・ステッピング・モータ - Google Patents
圧電・ステッピング・モータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3872519B2 JP3872519B2 JP50046798A JP50046798A JP3872519B2 JP 3872519 B2 JP3872519 B2 JP 3872519B2 JP 50046798 A JP50046798 A JP 50046798A JP 50046798 A JP50046798 A JP 50046798A JP 3872519 B2 JP3872519 B2 JP 3872519B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- cell
- displacement
- fixed
- applying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 50
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
Description
本発明は、電気モータの分野に関し、特に、圧電ステッピング・モータに関する。
発明の背景
ステータが圧電中空円筒を有し円筒形ロータを受け入れ、このロータが摩擦によってステータと相互作用する圧電モータは業界において公知である(ソビエト連邦審査済登録特許SU,A,573828)。
しかし、このモータは、円筒形ロータを線形に変位させることは不可能である。
また、それに固着されている固定ユニットを持つハウジングと、作動部材を持つ可動部分とを有する圧電リニア・ステッピング・モータも業界において公知である(ソビエト連邦審査済登録特許SU,A,720576)。
しかし、この圧電モータは、設計が複雑で、その可動部分が線形変位しかせず、この可動部分が回転することはできない。
発明の要旨
本発明の基本的な目的は、その実施態様の構造によって設計および製造技術を簡単化すること、それが回転、線形変位およびこの組み合わせ(回転と線形変位を同時に行う)の運動をしているときに、モータの力と位置決めの精度を高めることができる圧電ステッピング・モータを創り出すことである。
この目的は、その中に固着されている固定ユニットを持つハウジングと、可動部分とを有する圧電リニア・ステッピング・モータを提供することによって達成されるが、本発明に従えば、このモータにおいては、固定ユニットが、縦方向の平面に並んで配設されている少なくとも2つの回転・変位・固定圧電ユニットを有しており、各圧電ユニットが回転圧電セルと、固定圧電セルと、絶縁体で分離されている摩擦要素とを有し、あるいは、その固定ユニットが横断方向の平面で並んで配設されていて、複数のセクタの形をしている少なくとも2つの回転・変位・固定圧電ユニットを有している。
ハウジングは移動できるようにしてもよく、圧電ユニットを静止ロータに締結することができる。
圧電セルは、電極を交互に並列に接続した圧電リング、またはそれらのセクタをセットにした形にすることもでき、この場合は、連続するそれぞれの圧電リング、あるいはセクタの分極方向は、その前のものの方向の反対にする。
圧電ユニット間の隙間は、弾性絶縁材料で埋めるのが好ましい。
特許請求しているこのモータがこのような実施態様の構造になっていることによって、モータの力と、位置決めの精度を高めることができるようにしている。
【図面の簡単な説明】
本発明を実施例と添付の下記図面を使って更に説明するが、
図1は、特許請求している圧電ステッピング・モータ(第1実施態様)の正面図であり、
図2は、図1に示しているモータの縦方向断面図であり、
図3は、第2実施態様のモータの正面図であり、
図4は、図3に示しているモータの縦方向断面図であり、
図5は、第3実施態様のモータの正面図であり、
図6は、図5に示しているモータの縦方向断面図であり、
図7は、第4実施態様のモータの正面図であり、
図8は、図7に示しているモータの縦方向断面図であり、
図9−14は、可動部分が線形変位をする圧電ステッピング・モータの動作期間段階であって、縦方向断面図であり、
図15は、このモータの可動部分が回転する間の2つの圧電ユニットの断面図であり、
図16−20は、可動部分が回転する間の圧電ステップ・モータの別の動作期間段階を示している。
本発明の最適実施態様
本発明の第1の実施態様による圧電ステッピング・モータは、円筒形ハウジング1(図1)と、2つの圧電ユニット2(図2)および3の形になった固定装置と、そして円筒形ロッドの形をした可動部分4とを有している。圧電ユニット2および3は回転・変位・固定ユニットである。各圧電ユニット2および3は、回転圧電セル5a,5b、変位圧電セル6a,6b、固定圧電セル7a,7b、絶縁体8および摩擦要素9の、相互接続されて(例えば、装着されて)いる要素から成っている。
回転圧電セル5a,5bは、可動部分4をその軸の回りに回転させ、その初期の分極ベクトルは、このモータの縦軸に対してある角度を持った方向を向いている。
変位圧電セル6a,6bは、その初期の分極ベクトルがこのモータの縦軸に対してある角度を持っており、その可動部分4をこのモータの縦軸に沿って変位させる。
固定圧電セル7a,7bは可動部分4を固定し、その初期の分極ベクトルは、このモータの縦軸に対して直角(半径方向に)に向いている。
摩擦要素9は分割リングの形に作ってあり、以て、圧電ユニット2および3の固定圧電セル7a,7bによって可動部分4をきつく締め付けるようにしてある。
各圧電セルは電線に接続されている電極を持っている(図示していない)。
圧電ユニット2および3の間の隙間は、弾性絶縁材料10で埋めてある。
別の圧電ステッピング・モータの実施態様も可能である。
図3および4に示しているこのモータの第2の実施態様においては、圧電ユニット2および3は1つの横断方向平面に設けてあり、複数のセクタの形にして作ってある。
このモータの第3の実施態様は、可動部分4(図5および6)が静止しており、逆に、円筒形ハウジング11が移動することができ、圧電ユニット2および3が円筒形ロッド4(静止ロータ)に締結されているというところが第1の実施態様と異なっている。
第4の実施態様においては、可動部分4(図7および8)がこれまた静止しており、逆に、円筒形ハウジング11が回転しその軸に沿って移動ができるが、この場合、圧電ユニット2および3は、1つの横断方向平面に設けられていて、円筒形ロッドに締結されている。
本発明によるモータは次のように動作する。
回転圧電セル5a,5bの電極に正の電圧が印加されると、逆圧電効果によって、リングの内側部分が直径方向の線A1A2に対して反時計方向に角度αだけ回り、反対に、負の電圧が印加されると、そのリングの内側部分が直径方向の線A1A2に対して時計方向に角度αだけ回る。変位圧電セル6a,6bの電極に正の電圧が印加されると、逆圧電効果によって、その内側部分がリングの外側部分に対して左方向に変位し、反対に、負の電圧が印加されると、その内側部分がリングの外側部分に対して右方向に変位する。固定圧電セル7a,7bの電極に正の電圧が印加されると、これは可動部分4を挟みつけ、それに負の電圧が印加されると、それは可動部分4から離れる。
この圧電ステッピング・モータは、可動部分の線形変位、回転運動、線形と回転を組み合わせた運動、これらの運動のいろいろな組み合わせといった様々なタイプの運動をすることができる。
動作サイクルは6つの期間段階から成っている。
可動部分4が線形変位をする期間のモータの動作を図9−14に示している。
この場合、圧電ユニット2および3の変位圧電セル6a,6bと、同じユニットの固定圧電セル7a,7bとがこの動作に参加する。第1期間段階は、図9に示している圧電ユニット2および3の圧電セル6a,6bおよび7a,7bの位置に対応している。圧電ユニット2の圧電セル6a,6bおよび7a,7bと、圧電ユニット3の圧電セル7bとに正の電圧が印加され、また、圧電ユニット3の圧電セル6bには負の電圧が印加されているが、この場合は、圧電ユニット2の電圧セル6aが左方向へ変位させられ、圧電ユニット3の圧電セル6bが右方向へ変位させられる。圧電ユニット2および3の固定圧電セル7a,7bは可動部分4を挟みつける。回転圧電セル5は、この線形変位には何ら参加せず、この線形変位モードにあるモータの動作期間中、変化しない位置ならばどのような位置にあってもよい。
第2期間段階において、固定圧電セル7b(図10)に負の電圧が印加されると、これは可動部分4から離される。
第3期間段階において、圧電ユニット2の変位圧電セル6a(図11)に負の電圧が印加されると、このセルは右方向に移動し、固定圧電セル7aと可動部分4とを右方向に1ステップだけ変位させる。同時に、正の電圧が圧電ユニット3の変位圧電セル6bに印加され、これは、圧電セル7bとともに左方向へ変位させられる。
第4期間段階において、圧電ユニット3の固定圧電セル7b(図12)に正の電圧が印加されると、これは可動部分4を挟みつける。
第5期間段階において、圧電ユニット2の固定圧電セル7(図13)に負の電圧が印加されると、これは可動部分4から離される。
第6期間段階において、圧電ユニット2と3は離れる、即ち、圧電ユニット2の変位圧電セル6a(図14)の電極に正の電圧が印加されて、これが左方向へ移動し、同時に、圧電ユニット3の変位圧電セル6bに負の電圧が印加されて、これが固定圧電セル7bと可動部分4とともに右方向へ移動する。可動部分4はもう1ステップ変位させられたのである。このようにして1つの動作サイクルが終了すると、可動部分は2ステップ変位させられることになるのである。
そして、線形変位のプロセスは同じ順序で続くのである。
可動部分4の回転では、モータの動作は図15−20に示しているように行われる。
図15に第1期間段階に対応した位置を示している。圧電ユニット2および3の回転圧電セル5a,5bと固定圧電セル7a,7bとがこの動作に参加する。圧電セル6は動作せず、この動作のプロセスで変化しない位置ならばどのような位置にあってもよい。圧電ユニット2の圧電セル5aおよび7aに正の電圧が印加され、この場合、回転電圧セル5aが固定圧電セル7aを反時計方向に角度αだけ変位させ、圧電セル7aは可動部分4を挟みつける。圧電ユニット3の回転圧電セル5bに負の電圧が印加されると、この圧電セルは固定圧電セル7bを時計方向に角度αだけ変位させ、同時に、固定圧電セル7bは可動部分4を挟みつける。
第2期間段階において、負の電圧が圧電ユニット3の固定圧電セル(図16)に印加されると、このセルは可動部分4から離される。
第3期間段階において、負の電圧が圧電ユニット2の回転圧電セル5a(図17)に印加されると、このセルは、固定圧電セル7aと可動部分4の両方を時計方向に角度2αだけ回転させる。同様に、正の電圧が圧電ユニット3の回転圧電セル5bに印加されると、固定圧電セル7bは反時計方向に角度2αだけ回転させられる。
第4期間段階において、圧電ユニット3の固定圧電セル7b(図18)に正の電圧が印加されると、これは可動部分4を挟みつける。
第5期間段階において、圧電ユニット2の固定圧電セル7a(図19)に負の電圧が印加されると、これは可動部分4から離される。
第6期間段階において、圧電ユニット2の回転圧電セル5a(図20)に正の電圧が印加されると、これは反時計方向に角度2αだけ回される。圧電ユニット3の回転圧電セル5bに負の電圧が印加されると、このセルは可動部分4を時計方向に角度2αだけ回す。
可動部分4は、1作動サイクル毎に角度4αだけ回されるのである。そして、サイクルが繰り返されると、可動部分4は時計方向に回転するのである。
逆の運動は、固定圧電セルへの印加電圧の極性を変えることによって行える。特許請求している圧電ステッピング・モータは、設計および製造技術が簡単で、寸法および質量が小さく、可動部分の力が大きく、そして線形変位と回転とを組み合わせて可動部分が動くことができるようにするのである。
本発明の実施態様の説明においては、よりよく理解されるように限定的な狭義の用語を使用した。しかし、本発明は受け取られた用語に限定されるものではなく、これら総ての用語は、同様な方法で動作するユニットに対する、また同様の技術課題を解決するのに使用される総ての同義語を含んでいるということに留意されたい。
本発明を、その好適なタイプの実現物に関連付けて説明したが、本発明の着想と範囲から外れなければ変更や修正をすることができるということは明らかで、このことは当業者であれば容易に理解できよう。
これらの変更と修正は、本発明および添付請求の範囲を越えないと考えられる。
産業上の利用分野
本発明は、電気工学、遠隔操作、無線工学、およびオートメーションにおけるスレーブ機構として使用することが可能である。
Claims (7)
- 固定ユニットをその中に固着されているハウジングと、可動部分とを有する圧電ステッピング・モータであって、この固定ユニットが、ハウジングの中で縦方向平面に並んで設けて、回転圧電セルと、変位圧電セルと、固定圧電セルとを別途に含む少なくとも2つの回転・変位・固定圧電ユニットを有しており、各回転・変位・固定圧電ユニットは、絶縁体で分離されている摩擦要素及び内部に締め付けられた固定装置及び可動部を備えるハウジングから構成され、印加される電圧が正の電圧である場合に、前記可動部を把持する前記固定圧電セルが、当該回転・変位・固定圧電ユニットの変位圧電セルにそれぞれ接続され、前記変位圧電セルが、当該回転・変位・固定圧電ユニットの回転圧電セルにそれぞれ接続されて、前記回転圧電セルの回転運動及び前記変位圧電セルの直線運動に従って、前記固定圧電セルが前記可動部を回転運動又は直線運動を行わせることを特徴とする圧電ステッピング・モータ。
- 前記固定ユニットが、横断方向平面に設けてあって複数のセクタの形をしている少なくとも2つの回転・変位・固定圧電ユニットを有していることを特徴とする、請求項1記載の圧電ステッピング・モータ。
- 請求項1または請求項2に記載の圧電ステッピング・モータであって、ハウジングが動くことができ、圧電ユニットが静止ロータに固着されていることを特徴とする圧電ステッピング・モータ。
- 請求項1、または請求項2、または請求項3に記載の圧電ステッピング・モータであって、圧電セルが、圧電リングあるいはそれらのセクタをセットにされその電極が交互に並列に接続された形になされ、連続するそれぞれの圧電リング、あるいはセクタの分極方向がその前のものの方向の反対になっていることを特徴とする圧電ステッピング・モータ。
- 圧電ユニットの間の隙間が弾性絶縁材料で埋められていることを特徴とする請求項1、または請求項2、または請求項3、または請求項4に記載の圧電ステッピング・モータ。
- 回転圧電セル、変位圧電セル、及び固定圧電セルをそれぞれ備え、前記固定圧電セルが該当回転・変位・固定圧電装置の変位圧電セルに接続され、前記変位圧電セルは、該当回転・変位・固定圧電装置の回転圧電セルに接続される少なくとも2つの回転・変位・固定圧電装置を含む圧電ステッピングモータにおいて、可動体を直線運動させる直線運動方法であって、
第1の回転・変位・固定圧電装置に含まれた第1の変位圧電セル及び第1の固定圧電セル、そして、第2の回転・変位・固定圧電装置に含まれた第2の固定圧電セルに正の電圧を印加し、前記第2の回転・変位・固定圧電装置に含まれた第2の変位圧電セルに負の電圧を印加する第1のステップと、
前記第2の固定圧電セルに負の電圧を印加する第2のステップと、
前記第1の変位圧電セルに負の電圧を印加し、前記第2の変位電圧セルに正の電圧を印加する第3のステップと、
前記第2の固定圧電セルに正の電圧を印加する第4のステップと、
前記第1の固定圧電セルに負の電圧を印加する第5のステップと、
前記第1の変位圧電セルに正の電圧を印加し、前記第2の変位圧電セルに負の電圧を印加する第6のステップと、
を含むことを特徴とする直線運動方法。 - 回転圧電セル、変位圧電セル、及び固定圧電セルをそれぞれ備え、前記固定圧電セルが該当回転・変位・固定圧電装置の変位圧電セルに接続され、前記変位圧電セルは、該当回転・変位・固定圧電装置の回転圧電セルに接続される少なくとも2つの回転・変位・固定圧電装置を含む圧電ステッピングモータにおいて、可動体を回転運動させる回転運動方法であって、
前記第1の回転・変位・固定圧電装置に含まれた第1の回転圧電セルに正の電圧を印加した後、前記第1の回転・変位・固定圧電装置に含まれた第1の固定圧電セルに正の電圧を印加し、第2の回転・変位・固定圧電装置に含まれた第2の回転圧電セルに負の電圧を印加した後、前記第2の回転・変位・固定圧電装置に含まれた第2の固定圧電セルに正の電圧を印加する第1のステップと、
前記第2の固定圧電セルに負の電圧を印加する第2のステップと、
前記第1の回転圧電セルに負の電圧を印加し、前記第2の回転圧電セルに正の電圧を印加する第3のステップと、
前記第2の固定圧電セルに正の電圧を印加する第4のステップと、
前記第1の固定圧電セルに負の電圧を印加する第5のステップと、
前記第2の回転圧電セルに負の電圧を印加し、前記第1の回転圧電セルに正の電圧を印加する第6のステップと、
を含むことを特徴とする回転運動方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96111313/28A RU2161364C2 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Пьезоэлектрический шаговый двигатель |
RU96111313 | 1996-06-05 | ||
PCT/RU1997/000175 WO1997047072A1 (fr) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Moteur piezo-electrique pas-a-pas |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11511952A JPH11511952A (ja) | 1999-10-12 |
JP3872519B2 true JP3872519B2 (ja) | 2007-01-24 |
Family
ID=20181540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50046798A Expired - Lifetime JP3872519B2 (ja) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | 圧電・ステッピング・モータ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6211605B1 (ja) |
JP (1) | JP3872519B2 (ja) |
KR (1) | KR100353456B1 (ja) |
AU (1) | AU3196297A (ja) |
RU (1) | RU2161364C2 (ja) |
WO (1) | WO1997047072A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE0002885D0 (sv) * | 2000-08-11 | 2000-08-11 | Piezomotor Uppsala Ab | Fine walking actuator |
DE10148267B4 (de) * | 2001-06-08 | 2005-11-24 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren sowie Verfahren zum Betreiben eines solchen Antriebes |
JP3832338B2 (ja) * | 2001-12-25 | 2006-10-11 | 松下電工株式会社 | 電歪ポリマーアクチュエータ |
US7309946B2 (en) * | 2003-03-19 | 2007-12-18 | Academia Sinica | Motion actuator |
FR2854284B1 (fr) * | 2003-04-28 | 2005-06-03 | Centre Nat Rech Scient | Moteur piezoelectrique permettant au moins deux degres de liberte, en rotation et en deplacement lineaire |
US6977461B2 (en) * | 2003-12-15 | 2005-12-20 | Asml Netherlands B.V. | System and method for moving an object employing piezo actuators |
DE102006015493B4 (de) * | 2006-04-03 | 2010-12-23 | Atlas Elektronik Gmbh | Elektroakustischer Wandler |
DE102006039821A1 (de) | 2006-08-25 | 2008-03-13 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches System, insbesondere ein Projektionsobjektiv oder ein Beleuchtungssystem |
CN104578901B (zh) * | 2015-01-15 | 2018-05-04 | 合肥工业大学 | 一种行走式压电旋转马达 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU573828A1 (ru) * | 1976-06-08 | 1977-09-25 | Киевский Ордена Ленина Политехнический Институт Имени 50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции | Пьезоэлектрический двигатель |
SU738016A1 (ru) * | 1977-05-13 | 1980-05-30 | За витель I 1| йа-:-:|(«/;;г - -...,Г .,.Kf iilil 4.,-, - - ; | Шаговый двигатель |
JPS5976184A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-05-01 | Hitachi Ltd | アクチユエ−タ |
JPS602081A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転駆動アクチユエ−タ |
JPS6082072A (ja) * | 1983-10-12 | 1985-05-10 | Jeol Ltd | ステツピングモ−タ |
JP2651172B2 (ja) * | 1987-12-28 | 1997-09-10 | 東陶機器株式会社 | アクチュエータ |
US4928030A (en) * | 1988-09-30 | 1990-05-22 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
US5043621A (en) * | 1988-09-30 | 1991-08-27 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
EP0424609A1 (en) * | 1989-09-28 | 1991-05-02 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
DE69109164T2 (de) * | 1990-03-23 | 1996-01-04 | Rockwell International Corp | Piezoelektrischer Motor. |
CA2039546A1 (en) * | 1990-04-27 | 1991-10-28 | Gordon Walter Culp | Robotic articulation |
US5068566A (en) * | 1990-06-04 | 1991-11-26 | Rockwell International Corporation | Electric traction motor |
DE4023311A1 (de) * | 1990-07-21 | 1992-01-23 | Omicron Vakuumphysik | Verstellvorrichtung fuer mikrobewegungen |
JPH05316757A (ja) * | 1991-03-20 | 1993-11-26 | Nec Corp | 移動機構 |
CA2066084A1 (en) * | 1991-05-31 | 1992-12-01 | Gordon Walter Culp | Twisting actuators |
US5182484A (en) * | 1991-06-10 | 1993-01-26 | Rockwell International Corporation | Releasing linear actuator |
JPH05199775A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-08-06 | Honda Electron Co Ltd | 圧電ステッピングモータ |
JPH08192798A (ja) * | 1991-12-10 | 1996-07-30 | Susumu Sato | 水上飛行船 |
JPH05236765A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Okuma Mach Works Ltd | ローテータブル・リニア・アクチュエータ |
-
1996
- 1996-06-05 RU RU96111313/28A patent/RU2161364C2/ru not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-06-05 KR KR1019980700789A patent/KR100353456B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-06-05 WO PCT/RU1997/000175 patent/WO1997047072A1/ru active IP Right Grant
- 1997-06-05 AU AU31962/97A patent/AU3196297A/en not_active Abandoned
- 1997-06-05 US US09/000,376 patent/US6211605B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-05 JP JP50046798A patent/JP3872519B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19990036121A (ko) | 1999-05-25 |
KR100353456B1 (ko) | 2002-12-31 |
RU2161364C2 (ru) | 2000-12-27 |
US6211605B1 (en) | 2001-04-03 |
AU3196297A (en) | 1998-01-05 |
JPH11511952A (ja) | 1999-10-12 |
WO1997047072A1 (fr) | 1997-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5747915A (en) | Bent shaft motor | |
JPS61258679A (ja) | 回転角制御装置 | |
JP3872519B2 (ja) | 圧電・ステッピング・モータ | |
JPH0124033B2 (ja) | ||
KR100353459B1 (ko) | 압전선형스텝모터 | |
JP3872522B2 (ja) | 圧電ステップ・モータ | |
JP3872521B2 (ja) | 圧電ステッピング・モータ | |
US3414742A (en) | Electrostatic energy converter | |
JP3872520B2 (ja) | 圧電ステップ・モータ | |
KR100353455B1 (ko) | 압전형리니어스텝모터 | |
JP3872518B2 (ja) | 圧電ステッピング・モータ | |
US4888515A (en) | Rotary power unit | |
JPH05199775A (ja) | 圧電ステッピングモータ | |
JPH09121565A (ja) | 精密送り装置 | |
JPH04285482A (ja) | 反動電動機及びその駆動方法 | |
JP2693510B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
JPH0336971A (ja) | 超音波モーター | |
JPH03251086A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JPS62296781A (ja) | エレクトレツト・パルスモ−タ− | |
JPH04200283A (ja) | 超音波モータ | |
JPH05308785A (ja) | 超音波モーター | |
JPH0570380B2 (ja) | ||
JPH03251085A (ja) | 超音波モータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060131 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20060501 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20060619 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060731 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061020 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101027 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131027 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |