RU2018130600A - Рассеивающий материал из синтезированного кварцевого стекла и способ получения формованного изделия, полностью или частично состоящего из него - Google Patents

Рассеивающий материал из синтезированного кварцевого стекла и способ получения формованного изделия, полностью или частично состоящего из него Download PDF

Info

Publication number
RU2018130600A
RU2018130600A RU2018130600A RU2018130600A RU2018130600A RU 2018130600 A RU2018130600 A RU 2018130600A RU 2018130600 A RU2018130600 A RU 2018130600A RU 2018130600 A RU2018130600 A RU 2018130600A RU 2018130600 A RU2018130600 A RU 2018130600A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
paragraphs
scattering material
sio
quartz glass
synthesized
Prior art date
Application number
RU2018130600A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2018130600A3 (ru
RU2720729C2 (ru
Inventor
Геррит ШАЙХ
Франк НЮРНБЕРГ
Андреас ГЕТЦЕНДОРФЕР
Надин ЧОЛИЧ
Бернхард ФРАНЦ
Урсула КЛЕТТ
Мэттью ДОНЕЛОН
Original Assignee
Хераеус Кварцглас Гмбх Унд Ко.Кг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Хераеус Кварцглас Гмбх Унд Ко.Кг filed Critical Хераеус Кварцглас Гмбх Унд Ко.Кг
Publication of RU2018130600A3 publication Critical patent/RU2018130600A3/ru
Publication of RU2018130600A publication Critical patent/RU2018130600A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2720729C2 publication Critical patent/RU2720729C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/06Other methods of shaping glass by sintering, e.g. by cold isostatic pressing of powders and subsequent sintering, by hot pressing of powders, by sintering slurries or dispersions not undergoing a liquid phase reaction
    • C03B19/066Other methods of shaping glass by sintering, e.g. by cold isostatic pressing of powders and subsequent sintering, by hot pressing of powders, by sintering slurries or dispersions not undergoing a liquid phase reaction for the production of quartz or fused silica articles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/14Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B20/00Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C11/00Multi-cellular glass ; Porous or hollow glass or glass particles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/06Glass compositions containing silica with more than 90% silica by weight, e.g. quartz
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C4/00Compositions for glass with special properties
    • C03C4/005Compositions for glass with special properties for opaline glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/12Other methods of shaping glass by liquid-phase reaction processes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/07Impurity concentration specified
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/20Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine
    • C03B2201/21Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine doped with molecular hydrogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/20Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine
    • C03B2201/23Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine doped with hydroxyl groups
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2201/00Glass compositions
    • C03C2201/06Doped silica-based glasses
    • C03C2201/20Doped silica-based glasses containing non-metals other than boron or halide
    • C03C2201/21Doped silica-based glasses containing non-metals other than boron or halide containing molecular hydrogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2201/00Glass compositions
    • C03C2201/06Doped silica-based glasses
    • C03C2201/20Doped silica-based glasses containing non-metals other than boron or halide
    • C03C2201/23Doped silica-based glasses containing non-metals other than boron or halide containing hydroxyl groups
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2201/00Glass compositions
    • C03C2201/80Glass compositions containing bubbles or microbubbles, e.g. opaque quartz glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2203/00Production processes
    • C03C2203/50After-treatment
    • C03C2203/52Heat-treatment
    • C03C2203/54Heat-treatment in a dopant containing atmosphere

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Claims (18)

1. Рассеивающий материал из синтезированного кварцевого стекла, содержащего поры, имеющего химическую чистоту по SiO2 по меньшей мере 99,9%, содержание кристобалита не более 1% и плотность в диапазоне от 2,0 до 2,18 г/см3, отличающийся тем, что кварцевое стекло имеет содержание гидроксильных групп не ниже 200 в.ч./млн, и тем, что по меньшей мере 80% пор имеет максимальный размер поры менее 20 мкм.
2. Рассеивающий материал по п. 1, отличающийся тем, что объем пор составляет от 0,9% до 5%, предпочтительно превышает 2,5%.
3. Рассеивающий материал по п. 1 или 2, отличающийся тем, что по меньшей мере 80% пор имеют максимальный размер пор менее 10 мкм.
4. Рассеивающий материал по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что распределение плотности является однородным в том смысле, что пять образцов для измерения плотности, которые однородно распределены на длине измерения 5 см и каждый из которых имеет объем 1 см3, имеют диапазон отклонений удельной плотности менее 0,01 г/см3.
5. Рассеивающий материал по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что поры содержат неон.
6. Рассеивающий материал по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что кварцевое стекло имеет содержание гидроксильных групп 450±50 в.ч./млн.
7. Рассеивающий материал по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что кварцевое стекло содержит водород в диапазоне концентраций от 1017 молекул/см3 до 1019 молекул/см3.
8. Способ получения формованного изделия, состоящего, по меньшей мере частью, из синтезированного рассеивающего материала по любому из пп. 1-7, отличающийся тем, что неспеченное изделие получают из суспензии, содержащей дисперсионную жидкость и пылевидные частицы синтезированного SiO2 с чистотой по SiO2 по меньшей мере 99,9%, и неспеченное изделие обрабатывают спеканием с получением рассеивающего материала, причем способ включает следующие стадии:
измельчение исходного материала из синтезированного прозрачного кварцевого стекла с содержанием гидроксильных групп по меньшей мере 200 в.ч./млн с получением зерен SiO2,
мокрый размол зерен SiO2 в дисперсионной жидкости, чтобы образовать суспензию дисперсионной жидкости и пылевидных частиц SiO2, большинство из которых имеет размер менее 10 мкм, и
формование суспензии с получением неспеченного изделия из пылевидных частиц SiO2.
9. Способ по п. 8, отличающийся тем, что в суспензию добавляют компоненты, разлагающиеся при спекании.
10. Способ по любому из пп. 8 или 9, отличающийся тем, что температура спекания ниже 1400°C.
11. Способ по любому из пп. 8-10, отличающийся тем, что спекание проводится в атмосфере, содержащей неон.
12. Способ по любому из пп. 8-11, отличающийся тем, что синтезированное кварцевое стекло получают как исходный материал способом синтеза, который включает пламенный гидролиз кремнийсодержащего исходного соединения.
13. Способ по любому из пп. 8-12, отличающийся тем, что исходный материал на длине волны 1064 нм имеет коэффициент поглощения 10 ppm/см или меньше, а на длине волны 946 нм коэффициент поглощения 2000 ppm/см или меньше, и/или тем, что исходный материал на длине волны 200 нм имеет коэффициент экстинкции k200 менее 5×10-3 см-1.
14. Способ по любому из пп. 8-13, отличающийся тем, что рассеивающий материал для наполнения водородом обрабатывают при давлении по меньшей мере 1 бар и при температуре ниже 500°C в водородсодержащей атмосфере.
15. Формованное изделие, состоящее из рассеивающего материала по любому из пп. 1-7 для применения в качестве диффузора в спектроскопии и в области космонавтики, в качестве денситометрического стандарта, для целей дистанционного зондирования, для лазерных резонаторов и лазерных рефлекторов, в фотометрических шарах или в качестве облицовочного материала для источников света.
RU2018130600A 2016-02-12 2017-02-13 Рассеивающий материал из синтезированного кварцевого стекла и способ получения формованного изделия, полностью или частично состоящего из него RU2720729C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP16155505 2016-02-12
EP16155505.7 2016-02-12
EP16157577.4 2016-02-26
EP16157577.4A EP3205630B1 (de) 2016-02-12 2016-02-26 Diffusormaterial aus synthetisch erzeugtem quarzglas sowie verfahren zur herstellung eines vollständig oder teilweise daraus bestehenden formkörpers
PCT/EP2017/053126 WO2017137618A1 (en) 2016-02-12 2017-02-13 Diffuser material of synthetically produced quartz glass and method for the manufacture of a molded body consisting fully or in part thereof

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2018130600A3 RU2018130600A3 (ru) 2020-03-12
RU2018130600A true RU2018130600A (ru) 2020-03-12
RU2720729C2 RU2720729C2 (ru) 2020-05-13

Family

ID=55701688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018130600A RU2720729C2 (ru) 2016-02-12 2017-02-13 Рассеивающий материал из синтезированного кварцевого стекла и способ получения формованного изделия, полностью или частично состоящего из него

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11390556B2 (ru)
EP (1) EP3205630B1 (ru)
JP (1) JP6840765B2 (ru)
KR (1) KR102295377B1 (ru)
CN (1) CN108698908B (ru)
RU (1) RU2720729C2 (ru)
WO (1) WO2017137618A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110082349B (zh) * 2019-02-01 2021-11-02 南京师范大学 一种基于olci的内陆富营养化湖泊水体蓝藻生物量比例遥感估算方法
DE112020001821T5 (de) * 2019-04-08 2021-12-23 Ams Ag Optischer sensor mit integriertem diffusor
CN111393022B (zh) * 2020-03-23 2022-11-01 黄冈师范学院 一种高纯度、低羟基石英玻璃原料的制备方法
RU2753600C1 (ru) * 2020-08-20 2021-08-18 Акционерное общество "ЭКОС-1" Способ получения особо чистого порошкообразного кристобалита из диоксида кремния
EP4108641A1 (de) 2021-06-24 2022-12-28 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Formkörper aus opakem quarzglas sowie verfahren zur herstellung desselben
CN113415978B (zh) * 2021-07-03 2022-06-24 四川神光石英科技有限公司 一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4257798A (en) * 1979-07-26 1981-03-24 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method for introduction of gases into microspheres
JPS61126502A (ja) * 1984-11-24 1986-06-14 Komatsugawa Kakoki Kk 光学的拡散部材
JPH0667765B2 (ja) * 1985-09-06 1994-08-31 日本電信電話株式会社 石英ガラスの製造方法および製造装置
US5462705A (en) 1988-10-27 1995-10-31 Labsphere, Inc. Method of forming diffusely reflecting sintered fluorinated long-chain addition polymers doped with pigments for color standard use
EP0546196B1 (en) * 1991-06-29 1997-05-02 Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. Synthetic quartz glass optical member for excimer laser and production thereof
JP3007510B2 (ja) * 1993-04-27 2000-02-07 信越化学工業株式会社 合成石英ガラス部材の製造方法
US5674792A (en) * 1993-11-12 1997-10-07 Heraeus Quarzglas Gmbh Shaped body having a high silicon dioxide content and a process for producing such shaped bodies
JP2980094B2 (ja) 1997-05-16 1999-11-22 住友電気工業株式会社 石英ガラス物品及びその製造方法
JP3715163B2 (ja) * 1999-12-24 2005-11-09 東芝セラミックス株式会社 高出力ArFエキシマレーザー用合成石英ガラス部材およびその製造方法
JP2001270731A (ja) 2000-03-28 2001-10-02 Nikon Corp 合成石英ガラス部材及びこれを用いた光リソグラフィー装置
JP4191935B2 (ja) * 2001-02-15 2008-12-03 信越石英株式会社 エキシマレーザー用合成石英ガラス部材の製造方法
EP1233005B2 (en) * 2001-02-15 2013-01-16 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Method for producing synthetic quartz glass members for excimer lasers and synthetic quartz glass members for excimer laser optics produced by the same
JP4549008B2 (ja) * 2002-05-17 2010-09-22 信越石英株式会社 水素ドープシリカ粉及びそれを用いたシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ
DE10243953B4 (de) 2002-09-21 2005-11-17 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren für die Herstellung eines Bauteils aus opakem Quarzglas
DE102004009577B3 (de) * 2004-02-25 2005-03-03 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils
DE102004017031B4 (de) * 2004-04-02 2008-10-23 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Optisches Bauteil aus Quarzglas, Verfahren zur Herstellung des Bauteils und Verwendung desselben
DE102004018887B4 (de) 2004-04-15 2009-04-16 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren für die Herstellung eines Bauteils aus Quarzglas zum Einsatz mit einer UV-Strahlenquelle und Verfahren für die Eignungsdiagnose eines derartigen Quarzglas-Bauteils
DE102006046619A1 (de) 2006-09-29 2008-04-03 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Streichfähiger SiO2-Schlicker für die Herstellung von Quarzglas, Verfahren zur Herstellung von Quarzglas unter Einsatz des Schlickers
WO2008069194A1 (ja) * 2006-12-05 2008-06-12 Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. 合成不透明石英ガラス及びその製造方法
DE102006062166B4 (de) * 2006-12-22 2009-05-14 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Quarzglas-Bauteil mit Reflektorschicht sowie Verfahren zur Herstellung desselben
JP4969632B2 (ja) * 2009-10-14 2012-07-04 信越石英株式会社 シリカ粉及びシリカ容器並びにそれらの製造方法
JPWO2011132786A1 (ja) * 2010-04-23 2013-07-18 旭硝子株式会社 紫外線透過型近赤外線カットフィルタガラス
DE202010018292U1 (de) * 2010-06-02 2015-07-14 Thomas Kreuzberger Quarzglaskörper und Gelbkörper zur Herstellung eines Quarzglaskörpers
DE102011012363A1 (de) * 2011-02-24 2012-08-30 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarot-Flächenstrahler mit hoher Strahlungsleistung und Verfahren für seine Herstellung
JP2014091634A (ja) * 2012-10-31 2014-05-19 Tosoh Corp 不透明石英ガラスおよびその製造方法
DE102013101687B3 (de) 2013-02-20 2014-05-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Optisches Bauteil aus Quarzglas zur Verwendung in der ArF-Excimerlaser-Lithographie sowie Verfahren zur Herstellung des Bauteils
US8926143B2 (en) 2013-03-13 2015-01-06 Corning Incorporated Light-diffusing elements
US9957431B2 (en) 2013-11-11 2018-05-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Composite material, heat-absorbing component, and method for producing the composite material
EP2982780B1 (de) * 2014-08-04 2019-12-11 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung eines siliziumblocks, zur verfahrensdurchführung geeignete kokille aus quarzglas oder quarzgut sowie verfahren für deren herstellung

Also Published As

Publication number Publication date
EP3205630B1 (de) 2020-01-01
RU2018130600A3 (ru) 2020-03-12
JP6840765B2 (ja) 2021-03-10
KR20180110101A (ko) 2018-10-08
US11390556B2 (en) 2022-07-19
KR102295377B1 (ko) 2021-09-01
EP3205630A1 (de) 2017-08-16
JP2019511985A (ja) 2019-05-09
RU2720729C2 (ru) 2020-05-13
WO2017137618A1 (en) 2017-08-17
US20190031555A1 (en) 2019-01-31
CN108698908A (zh) 2018-10-23
CN108698908B (zh) 2021-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2018130600A (ru) Рассеивающий материал из синтезированного кварцевого стекла и способ получения формованного изделия, полностью или частично состоящего из него
TWI728018B (zh) 自二氧化矽粉末製備石英玻璃體
US20130085056A1 (en) Quartz glass body and a method and gel body for producing a quartz glass body
JP6129263B2 (ja) SiO2造粒体の合成石英ガラスの製造方法及び該製造方法に適したSiO2造粒体
Krol et al. The densification of monolithic gels
TWI794149B (zh) 石英玻璃粉粒、不透明成型體及彼等之製備方法
Li et al. Spectroscopic studies of sol-gel-derived organically modified silicates
TWI764879B (zh) 降低二氧化矽顆粒之碳含量及石英玻璃體之製備
KR101313647B1 (ko) 실리카 용기 및 그 제조방법
JP4922355B2 (ja) シリカ容器及びその製造方法
CA2827899A1 (en) High-purity silicon dioxide granules for quartz glass applications and method for producing said granules
Manevich et al. Diatomite—siliceous material for the glass industry
TW201733929A (zh) 不透明石英玻璃體的製備
TW201544480A (zh) 不透明石英玻璃及其製造方法
TW583150B (en) Quartz glass blank for an optical component, and manufacturing procedure and use thereof
Brito et al. Photoluminescence of silica monoliths prepared from cold sintering of nanometric aerosil precursors under high pressure
JP2004035368A (ja) メソポーラスシリケート及びその製造方法
Sakka et al. Sol-gel synthesis of silica gel disc as applied to supports of organic molecules with optical functions
Shen et al. Photoluminescence sites on MCM-48
JP6869168B2 (ja) 不透明な石英ガラスを製造する方法および該石英ガラスのブランク材
CN116724006A (zh) 石英玻璃体
Bykov et al. IR spectroscopy of bidistilled and deuterium water under conditions of geometric limitation in glass nanopores
JP3394323B2 (ja) 高純度シリカガラス質発泡体の製造方法
JP5262055B2 (ja) 球状シリカ系多孔体及びその製造方法、並びに球状カーボン系多孔体
JP2016020487A (ja) 多孔質シリカに内包された炭素粒子蛍光体、炭素粒子蛍光体、多孔質シリカに内包された炭素粒子蛍光体の製造方法および炭素粒子蛍光体の製造方法