RU2012148385A - Твердое углеродное покрытие и способ его формирования - Google Patents
Твердое углеродное покрытие и способ его формирования Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012148385A RU2012148385A RU2012148385/02A RU2012148385A RU2012148385A RU 2012148385 A RU2012148385 A RU 2012148385A RU 2012148385/02 A RU2012148385/02 A RU 2012148385/02A RU 2012148385 A RU2012148385 A RU 2012148385A RU 2012148385 A RU2012148385 A RU 2012148385A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- layers
- layer
- solid carbon
- coating
- coated product
- Prior art date
Links
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract 25
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract 20
- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims abstract 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract 15
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract 15
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract 97
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract 6
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract 6
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract 6
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims abstract 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract 4
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims abstract 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract 4
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims abstract 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 229910021385 hard carbon Inorganic materials 0.000 abstract 5
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
- C23C28/321—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer with at least one metal alloy layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
- C23C28/322—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer only coatings of metal elements only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
- C23C28/341—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one carbide layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
- C23C28/347—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with layers adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
Abstract
1. Покрытое изделие, содержащее покрытие и подложку, причем покрытие содержит по меньшей мере один промежуточный слой и по меньшей мере один твердый углеродный слой; при этом:твердый углеродный слой содержит алмаз или DLC и образует наиболее внешний слой покрытия;промежуточный слой содержит сформированный методом PVD слой, имеющий состав SiCNM(где 0,4≤x≤0,6, 0≤y≤0,1, и 0≤z≤0,2), причем Si и C представляют собой существенные компоненты, а M представляет собой один или более элементов, выбранных из группы, состоящей из: Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Y, B, Al и Ru; иширина на полувысоте пика SiC, наблюдаемого при угле дифракции от 34° до 36°, когда рентгенофазовый анализ (РФА) осуществляют, используя излучение CuKα, составляет 3° или менее.2. Покрытое изделие по п. 1, при этом покрытие содержит наслоенную последовательность, содержащую чередующиеся слои промежуточного слоя и твердого углеродного слоя, причем наслоенная последовательность включает множество промежуточных слоев и множество твердых углеродных слоев.3. Покрытое изделие по п. 2, при этом:все слои из множества промежуточных слоев составляют от 10 нм до 10 мкм; ивсе слои из множества твердых углеродных слоев составляют от 0,1 мкм до 50 мкм.4. Покрытое изделие по п. 2, при этом:по меньшей мере два слоя из множества промежуточных слоев имеют различные составы; и/илипо меньшей мере два слоя из множества твердых углеродных слоев имеют различные составы.5. Покрытое изделие по п. 1, при этом покрытие дополнительно содержит по меньшей мере один первый слой, содержащий один или более металлов, выбранных из группы, состоящей из: Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W; при этом наиболее внутренний слой покрытия представляет собой пе�
Claims (21)
1. Покрытое изделие, содержащее покрытие и подложку, причем покрытие содержит по меньшей мере один промежуточный слой и по меньшей мере один твердый углеродный слой; при этом:
твердый углеродный слой содержит алмаз или DLC и образует наиболее внешний слой покрытия;
промежуточный слой содержит сформированный методом PVD слой, имеющий состав SixC1-x-y-zNyMz (где 0,4≤x≤0,6, 0≤y≤0,1, и 0≤z≤0,2), причем Si и C представляют собой существенные компоненты, а M представляет собой один или более элементов, выбранных из группы, состоящей из: Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Y, B, Al и Ru; и
ширина на полувысоте пика SiC, наблюдаемого при угле дифракции от 34° до 36°, когда рентгенофазовый анализ (РФА) осуществляют, используя излучение CuKα, составляет 3° или менее.
2. Покрытое изделие по п. 1, при этом покрытие содержит наслоенную последовательность, содержащую чередующиеся слои промежуточного слоя и твердого углеродного слоя, причем наслоенная последовательность включает множество промежуточных слоев и множество твердых углеродных слоев.
3. Покрытое изделие по п. 2, при этом:
все слои из множества промежуточных слоев составляют от 10 нм до 10 мкм; и
все слои из множества твердых углеродных слоев составляют от 0,1 мкм до 50 мкм.
4. Покрытое изделие по п. 2, при этом:
по меньшей мере два слоя из множества промежуточных слоев имеют различные составы; и/или
по меньшей мере два слоя из множества твердых углеродных слоев имеют различные составы.
5. Покрытое изделие по п. 1, при этом покрытие дополнительно содержит по меньшей мере один первый слой, содержащий один или более металлов, выбранных из группы, состоящей из: Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W; при этом наиболее внутренний слой покрытия представляет собой первый слой, и при этом толщина первого слоя составляет от 5 нм до 10 мкм.
6. Покрытое изделие по п. 5, при этом упомянутый по меньшей мере один первый слой дополнительно содержит один или более элементов, выбранных из группы, состоящей из: Si, Al, Y, B, N и C.
7. Покрытое изделие по п. 5, при этом:
покрытие содержит многослойную структуру, содержащую чередующиеся слои первого слоя и промежуточного слоя, причем многослойная структура включает множество первых слоев и множество промежуточных слоев; и
наиболее внешний слой многослойной структуры представляет собой один из упомянутых промежуточных слоев.
8. Покрытое изделие по п. 7, при этом:
по меньшей мере два слоя из множества первых слоев имеют различные составы; и/или
по меньшей мере два слоя из множества промежуточных слоев имеют различные составы.
9. Покрытое изделие по п. 7, при этом все слои из множества первых слоев составляют от 5 нм до 10 мкм.
10. Покрытое изделие по п. 7, при этом:
покрытие содержит наслоенную последовательность, содержащую чередующиеся слои промежуточного слоя и твердого углеродного слоя, причем наслоенная последовательность включает множество промежуточных слоев и множество твердых углеродных слоев;
наслоенную последовательность находится над многослойной структурой; и
наиболее внешний слой наслоенной последовательности представляет собой один из упомянутых твердых углеродных слоев и также является наиболее внешним слоем покрытия.
11. Покрытое изделие по п. 7, при этом:
наиболее внутренний слой наслоенной последовательности представляет собой один из упомянутых твердых углеродных слоев.
12. Покрытое изделие по п. 5, при этом один или более слоев из упомянутого по меньшей мере одного первого слоя содержит два или более подслоев.
13. Покрытое изделие по п. 1, при этом изделие выбрано из группы, состоящей из зажимов, изнашивающихся деталей и фрикционных элементов.
14. Покрытое изделие по п. 1, при этом изделие представляет собой режущий инструмент.
15. Покрытое изделие, содержащее покрытие и подложку, причем покрытие содержит:
многослойную структуру поверх подложки, причем многослойная структура содержит чередующиеся слои первого слоя и промежуточного слоя и включает множество первых слоев и множество промежуточных слоев; и
наслоенную структуру поверх многослойной структуры, причем наслоенная структура содержит чередующиеся слои промежуточного слоя и твердого углеродного слоя и включает множество промежуточных слоев и множество твердых углеродных слоев; при этом:
каждый из первых слоев содержит один или более металлов, выбранных из группы, состоящей из: Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, причем толщина каждого из первых слоев составляет от 5 нм до 10 мкм;
каждый из промежуточных слоев содержит сформированный методом PVD слой, имеющий состав SixC1-x-y-zNyMz (где 0,4≤x≤0,6, 0≤y≤0,1, и 0≤z≤0,2), причем Si и C представляют собой существенные компоненты, а M представляет собой один или более элементов, выбранных из группы, состоящей из: Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Y, B, Al и Ru; и при этом ширина на полувысоте пика SiC, наблюдаемого при угле дифракции от 34° до 36°, когда рентгенофазовый анализ (РФА) осуществляют, используя излучение CuKα, составляет 3° или менее;
каждый из твердых углеродных слоев содержит алмаз или DLC;
наиболее внутренний слой покрытия представляет собой один из упомянутых первых слоев; и
наиболее внешний слой покрытия представляет собой один из упомянутых твердых углеродных слоев.
16. Способ изготовления покрытого изделия, содержащего подложку и покрытие, включающий следующие стадии:
(a) осаждение методом PVD промежуточного слоя поверх подложки, причем промежуточный слой имеет состав SixC1-x-y-zNyMz (где 0,4≤x≤0,6, 0≤y≤0,1, и 0≤z≤0,2), где M представляет собой один или более элементов, выбранных из группы, состоящей из: Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Y, B, Al и Ru, таким образом, что ширина на полувысоте пика SiC, наблюдаемого при угле дифракции от 34° до 36°, когда рентгенофазовый анализ (РФА) осуществляют, используя излучение CuKα, составляет 3° или менее;
при этом во время PVD-осаждения подложку поддерживают при заданной температуре между 400°C и 800°C и прикладывают к подложке заданное напряжение смещения от -30 В до -300 В; и
(b) осаждение твердого углеродного слоя на промежуточный слой, причем твердый углеродный слой содержит алмаз или DLC.
17. Способ по п. 16, включающий осаждение промежуточного слоя PVD-методом магнетронного распыления.
18. Способ по п. 16, дополнительно включающий:
перед осуществлением стадии (a) осаждение первого слоя поверх подложки, при этом первый слой содержит один или более металлов, выбранных из группы, состоящей из Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W; и при этом толщина первого слоя составляет от 5 нм до 10 мкм.
19. Способ по п. 18, при этом упомянутый по меньшей мере один первый слой дополнительно содержит один или более элементов, выбранных из группы, состоящей из Si, Al, Y, B, N и C.
20. Способ по п. 18, дополнительно включающий:
после стадии (a) и перед стадией (b) поочередное осаждение дополнительных первых слоев и промежуточных слоев.
21. Способ по п. 20, дополнительно включающий:
после стадии (b) поочередное осаждение дополнительных промежуточных слоев и твердых углеродных слоев, при этом последний осажденный слой представляет собой твердый углеродный слой.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IL205090A IL205090A0 (en) | 2010-04-14 | 2010-04-14 | Hard carbon coating and method of forming the same |
| IL205090 | 2010-04-14 | ||
| PCT/IL2011/000264 WO2011128889A1 (en) | 2010-04-14 | 2011-03-20 | Hard carbon coating and method of forming the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012148385A true RU2012148385A (ru) | 2014-05-20 |
Family
ID=43570496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012148385/02A RU2012148385A (ru) | 2010-04-14 | 2011-03-20 | Твердое углеродное покрытие и способ его формирования |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20110256371A1 (ru) |
| EP (1) | EP2558610B1 (ru) |
| JP (1) | JP2013527316A (ru) |
| KR (1) | KR20130079336A (ru) |
| CN (1) | CN102918176A (ru) |
| BR (1) | BR112012023279A2 (ru) |
| CA (1) | CA2795879A1 (ru) |
| IL (1) | IL205090A0 (ru) |
| RU (1) | RU2012148385A (ru) |
| WO (1) | WO2011128889A1 (ru) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT511605B1 (de) * | 2011-12-12 | 2013-01-15 | High Tech Coatings Gmbh | Kohlenstoffbasierende beschichtung |
| CN103071819B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-06-17 | 四川大学 | 一种刀具表面Ti/TiN/MaN复合涂层及其制备方法 |
| CN103129023B (zh) * | 2013-02-27 | 2015-08-19 | 武汉大学 | 一种管道内壁防腐蚀耐磨Si/Si/Si-DLC/DLC自润滑涂层及其制备方法 |
| CN103739311B (zh) * | 2013-09-11 | 2015-05-06 | 太仓派欧技术咨询服务有限公司 | 一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法 |
| JP5918326B2 (ja) * | 2014-09-16 | 2016-05-18 | 株式会社リケン | 被覆摺動部材 |
| DE102014016983A1 (de) * | 2014-11-18 | 2016-05-19 | Athanassios Alexiou | Klingenmaterial |
| JP6533286B2 (ja) * | 2015-04-27 | 2019-06-19 | 京セラ株式会社 | 被覆部材 |
| US11311850B2 (en) * | 2015-08-26 | 2022-04-26 | Sandvik Intellectual Property Ab | Diamond composites by lithography-based manufacturing |
| RU2620521C2 (ru) * | 2015-10-06 | 2017-05-26 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет" (НИУ "БелГУ") | Износостойкое покрытие для режущего инструмента |
| WO2019079800A1 (en) * | 2017-10-20 | 2019-04-25 | Research Foundation Of The City University Of New York | ULTRA-DURABLE CARBON FILM FROM EPITAXIAL BILOUTH GRAPHENE |
| CN109182997B (zh) * | 2018-09-19 | 2020-06-16 | 西安交通大学 | 一种掺Si的类金刚石涂层的制备方法 |
| RU2715472C1 (ru) * | 2019-06-11 | 2020-02-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-технический центр "Новые технологии" | Изделие, содержащее основу из кремния и покрывающий слой в виде нанопленки углерода с кристаллической решеткой алмазного типа, и способ изготовления этого изделия |
| CN110588096A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-12-20 | 哈尔滨工程大学 | 一种连续金属Mo丝增强Ti/Al3Ti层状复合材料及制备方法 |
| RU2727557C1 (ru) * | 2019-12-17 | 2020-07-22 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-технический центр "Новые технологии" | Способ изготовления функционального элемента полупроводникового прибора |
| RU2730402C1 (ru) * | 2020-02-03 | 2020-08-21 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" | Функциональный элемент полупроводникового прибора |
| KR20250067135A (ko) | 2022-09-05 | 2025-05-14 | 카본콤피텐스 게엠베하 | 중간 층 및 다이아몬드 층으로 코팅된 기판을 제조하는 방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2061944C (en) * | 1991-03-08 | 1999-01-26 | Naoya Omori | A diamond and/or diamond-like carbon-coated hard material |
| ES2256110T3 (es) * | 2000-05-09 | 2006-07-16 | Kabushiki Kaisha Riken | Pelicula de carbono amorfo que contiene oxido. |
| JP2005213613A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Nachi Fujikoshi Corp | 高機能カーボン被覆膜 |
| CN1919568A (zh) * | 2005-08-26 | 2007-02-28 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 成型模具及其制造方法 |
| JP4388582B2 (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜層及びその形成方法 |
-
2010
- 2010-04-14 IL IL205090A patent/IL205090A0/en unknown
-
2011
- 2011-03-20 RU RU2012148385/02A patent/RU2012148385A/ru not_active Application Discontinuation
- 2011-03-20 EP EP11721375.1A patent/EP2558610B1/en not_active Not-in-force
- 2011-03-20 CN CN2011800190424A patent/CN102918176A/zh active Pending
- 2011-03-20 CA CA2795879A patent/CA2795879A1/en not_active Abandoned
- 2011-03-20 WO PCT/IL2011/000264 patent/WO2011128889A1/en not_active Ceased
- 2011-03-20 KR KR1020127026682A patent/KR20130079336A/ko not_active Withdrawn
- 2011-03-20 JP JP2013504385A patent/JP2013527316A/ja not_active Withdrawn
- 2011-03-20 BR BR112012023279A patent/BR112012023279A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2011-04-11 US US13/084,193 patent/US20110256371A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IL205090A0 (en) | 2010-11-30 |
| CN102918176A (zh) | 2013-02-06 |
| US20110256371A1 (en) | 2011-10-20 |
| EP2558610A1 (en) | 2013-02-20 |
| BR112012023279A2 (pt) | 2016-05-17 |
| JP2013527316A (ja) | 2013-06-27 |
| EP2558610B1 (en) | 2014-12-10 |
| KR20130079336A (ko) | 2013-07-10 |
| WO2011128889A1 (en) | 2011-10-20 |
| CA2795879A1 (en) | 2011-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012148385A (ru) | Твердое углеродное покрытие и способ его формирования | |
| JP7480098B2 (ja) | 改善された熱安定性を示すチタン－アルミニウム－タンタルベースの被覆物 | |
| KR101979041B1 (ko) | 고성능 공구용 나노층 코팅 | |
| RU2009139089A (ru) | Износостойкое твердое покрытие для заготовки и способ его получения | |
| CN108977808B (zh) | 多层氮化物硬涂层 | |
| JP5714879B2 (ja) | 多層被覆切削工具 | |
| RU2012134434A (ru) | Режущий инструмент с покрытием | |
| RU2016131091A (ru) | Покрытый оксидом алюминия режущий инструмент | |
| JP2013516331A5 (ru) | ||
| JP2012528732A (ja) | ナノ積層コーティングされた切削工具 | |
| RU2014137156A (ru) | Режущий инструмент с износостойким покрытием и способ его изготовления | |
| JP6842233B2 (ja) | コーティングされた切削工具、及びコーティングされた切削工具の製造方法 | |
| JP2006026891A5 (ru) | ||
| JP2010523351A5 (ru) | ||
| JP2006021316A5 (ru) | ||
| JP2008534297A5 (ru) | ||
| JP2009154287A5 (ru) | ||
| RU2013124399A (ru) | Слои монооксида молибдена и их получение с помощью pvd | |
| JP5138892B2 (ja) | 硬質皮膜 | |
| JP2014530772A5 (ru) | ||
| JP2018517059A5 (ru) | ||
| CN112930417A (zh) | 用钛和/或硅微合金化的钒铝氮化物(VAlN) | |
| WO2013002385A1 (ja) | 表面被覆部材 | |
| JP2017505856A (ja) | コートされた基材への入熱を減少させるための硬質材料層 | |
| JP5416813B2 (ja) | 硬質皮膜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20140321 |