RU2011146074A - Устройство получения оптического изображения, имеющее оптический адаптер, и способ управления им - Google Patents
Устройство получения оптического изображения, имеющее оптический адаптер, и способ управления им Download PDFInfo
- Publication number
- RU2011146074A RU2011146074A RU2011146074/28A RU2011146074A RU2011146074A RU 2011146074 A RU2011146074 A RU 2011146074A RU 2011146074/28 A RU2011146074/28 A RU 2011146074/28A RU 2011146074 A RU2011146074 A RU 2011146074A RU 2011146074 A RU2011146074 A RU 2011146074A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- beams
- wavefront aberration
- imaging device
- optical
- optical imaging
- Prior art date
Links
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
- A61B3/10—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
- A61B3/14—Arrangements specially adapted for eye photography
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
- A61B3/10—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
- A61B3/1015—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for wavefront analysis
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
- A61B3/10—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
- A61B3/12—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for looking at the eye fundus, e.g. ophthalmoscopes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
- A61B3/10—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
- A61B3/107—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for determining the shape or measuring the curvature of the cornea
Abstract
1. Устройство формирования оптического изображения для генерации оптического изображения объекта с использованием возвратных пучков, возвращаемых при сканировании объекта множеством измерительных пучков, устройство формирования оптического изображения содержитодин или несколько детекторов аберрации волнового фронта, предназначенных для получения одной или нескольких аберраций волнового фронта в возвратных пучках, возникающих при сканировании объекта множеством измерительных пучков, иединичный корректор аберрации волнового фронта, предназначенный для коррекции аберрации волнового фронта в каждом из возвратных пучков, которые входят под разными углами, на основании аберрации волнового фронта, полученной детектором аберрации волнового фронта.2. Устройство формирования оптического изображения по п.1, отличающееся тем, чтообеспечено множество коллимационной оптики, соответствующей выходному концу каждого из множества пучков, и совокупность пучков, выходящих из выходных концов и коллимированных множеством коллимационной оптики, пересекаются друг с другом в единичной позиции, икорректор аберрации волнового фронта располагается в позиции, в которой получен выходной зрачок передаточной оптики, оптически сопряженной с единичной позицией, в которой совокупность пучков пересекаются друг с другом.3. Устройство формирования оптического изображения по п.1, отличающееся тем, чтообеспечена одна коллимационная оптика, общая для выходного конца каждого из всего множества пучков, и выходной конец каждого из множества пучков располагается в плоскости, перпендикулярной оптической оси в позиции переднего ф
Claims (12)
1. Устройство формирования оптического изображения для генерации оптического изображения объекта с использованием возвратных пучков, возвращаемых при сканировании объекта множеством измерительных пучков, устройство формирования оптического изображения содержит
один или несколько детекторов аберрации волнового фронта, предназначенных для получения одной или нескольких аберраций волнового фронта в возвратных пучках, возникающих при сканировании объекта множеством измерительных пучков, и
единичный корректор аберрации волнового фронта, предназначенный для коррекции аберрации волнового фронта в каждом из возвратных пучков, которые входят под разными углами, на основании аберрации волнового фронта, полученной детектором аберрации волнового фронта.
2. Устройство формирования оптического изображения по п.1, отличающееся тем, что
обеспечено множество коллимационной оптики, соответствующей выходному концу каждого из множества пучков, и совокупность пучков, выходящих из выходных концов и коллимированных множеством коллимационной оптики, пересекаются друг с другом в единичной позиции, и
корректор аберрации волнового фронта располагается в позиции, в которой получен выходной зрачок передаточной оптики, оптически сопряженной с единичной позицией, в которой совокупность пучков пересекаются друг с другом.
3. Устройство формирования оптического изображения по п.1, отличающееся тем, что
обеспечена одна коллимационная оптика, общая для выходного конца каждого из всего множества пучков, и выходной конец каждого из множества пучков располагается в плоскости, перпендикулярной оптической оси в позиции переднего фокуса коллимационной оптики,
выходной зрачок получен в позиции заднего фокуса коллимационной оптики через множество пучков, испускаемых из выходных концов и коллимированных коллимационной оптикой, и
корректор аберрации волнового фронта располагается в позиции выходного зрачка передаточной оптики, который получен в позиции, оптически сопряженной с выходным зрачком, полученным в позиции заднего фокуса коллимационной оптики.
4. Устройство формирования оптического изображения по п.1, отличающееся тем, что
детектор аберрации волнового фронта располагается в позиции, оптически сопряженной с позицией корректора аберрации волнового фронта, и обнаруживает аберрацию волнового фронта в, по меньшей мере, одном пучке из совокупности пучков, и
величина коррекции на основании аберрации волнового фронта в одном пучке, обнаруженная детектором аберрации волнового фронта, применяется к множеству пучков, что позволяет корректировать аберрацию волнового фронта.
5. Устройство формирования оптического изображения по п.4, отличающееся тем, что
детектор аберрации волнового фронта включает в себя, для обнаружения аберрации волнового фронта в, по меньшей мере, одном пучке из множества пучков, конфигурацию для блокировки вхождения других пучков из множества пучков.
6. Устройство формирования оптического изображения по п.4, отличающееся тем, что,
чтобы детектор аберрации волнового фронта мог обнаружить аберрацию волнового фронта в, по меньшей мере, одном пучке из множества пучков,
объект, подлежащий измерению, делится на множество малых областей, имеющих перекрывающуюся часть с соседней частью, и
при сканировании множеством пучков, по меньшей мере, один пучок из множества пучков распространяется, а другие пучки гасятся только при сканировании перекрывающейся части.
7. Устройство формирования оптического изображения по п.2, дополнительно содержащее
дефлектор, расположенный между выходными концами множества пучков и объектом, и
трансфокатор, расположенный между выходными концами множества пучков и дефлектором и предназначенный для изменения поперечного увеличения, отличающийся тем, что
только когда увеличение трансфокатора задано равным заранее определенному увеличению, коррекция аберрации волнового фронта может осуществляться корректором аберрации волнового фронта.
8. Устройство формирования оптического изображения по п.7, отличающееся тем, что
трансфокатор располагается на стороне объекта, а не детектора аберрации волнового фронта и корректора аберрации волнового фронта.
9. Устройство формирования оптического изображения по п.2, отличающееся тем, что
выходные концы совокупности пучков являются концами оптического волокна, и
с использованием интерференционного пучка между пучком, отраженным или обратно рассеянным поверхностью, подлежащей измерению, и возвращаемым к концу оптического волокна, и эталонным пучком, полученным отдельно по другому эталонному оптическому пути,
получается томографическое изображение объекта.
10. Устройство формирования оптического изображения по п.2, отличающееся тем, что
выходные концы совокупности пучков являются концами волокна и отраженные или обратнорассеянные пучки, возвращаемые к концам волокна, регистрируются детектором силы света, и
на основании зарегистрированной силы света получается двухмерное изображение.
11. Оптический адаптер в устройстве формирования оптического изображения, которое генерирует оптическое изображение объекта, в котором возвратные пучки, возвращаемые при сканировании объекта множеством измерительных пучков, корректируются, оптический адаптер содержит
один или несколько детекторов аберрации волнового фронта, предназначенных для получения одной или нескольких аберраций волнового фронта в возвратных пучках, возникающих при сканировании объекта множеством измерительных пучков, и
единичный корректор аберрации волнового фронта, предназначенный для коррекции аберрации волнового фронта в каждом из возвратных пучков, которые входят под разными углами, на основании аберрации волнового фронта, полученной детектором аберрации волнового фронта.
12. Способ управления для устройства формирования оптического изображения, в котором волновой фронт отраженных или обратно рассеянных пучков, отраженных или обратно рассеянных поверхностью, подлежащей измерению, которая является объектом, когда измерительные пучки, включающие в себя множество пучков, сканируют поверхность, корректируется, и получающего оптическое изображение объекта, отличающийся тем, что содержит этапы, на которых
проецируют измерительные пучки, включающие в себя множество пучков, на единичный корректор аберрации волнового фронта с разными углами падения, соответственно,
сканируют поверхность, подлежащую измерению, измерительными пучками, отраженными единичным корректором аберрации волнового фронта, с использованием блока сканирования,
обнаруживают аберрацию волнового фронта в измерительных пучках, отраженных или обратно рассеянных поверхностью, подлежащей измерению, с использованием детектора аберрации волнового фронта, и
регулируют коррекцию единичного корректора аберрации волнового фронта на основании обнаруженной аберрации волнового фронта.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009097375A JP5464891B2 (ja) | 2009-04-13 | 2009-04-13 | 補償光学系を備えた光画像取得装置、及び、その制御方法 |
JP2009-097375 | 2009-04-13 | ||
PCT/JP2010/056728 WO2010119915A2 (en) | 2009-04-13 | 2010-04-08 | Optical image acquisition apparatus having adaptive optics and control method for the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2011146074A true RU2011146074A (ru) | 2013-05-20 |
RU2487378C1 RU2487378C1 (ru) | 2013-07-10 |
Family
ID=42982945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011146074/28A RU2487378C1 (ru) | 2009-04-13 | 2010-04-08 | Устройство получения оптического изображения, имеющее оптический адаптер, и способ управления им |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8746884B2 (ru) |
EP (1) | EP2419001B1 (ru) |
JP (1) | JP5464891B2 (ru) |
KR (1) | KR101365081B1 (ru) |
CN (1) | CN102395912B (ru) |
BR (1) | BRPI1013926A2 (ru) |
RU (1) | RU2487378C1 (ru) |
WO (1) | WO2010119915A2 (ru) |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5676856B2 (ja) * | 2009-05-08 | 2015-02-25 | キヤノン株式会社 | 補償光学系を備えた画像取得装置 |
JP5733960B2 (ja) * | 2010-11-26 | 2015-06-10 | キヤノン株式会社 | 撮像方法および撮像装置 |
US8731272B2 (en) * | 2011-01-24 | 2014-05-20 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Computational adaptive optics for interferometric synthetic aperture microscopy and other interferometric imaging |
FR2970858B1 (fr) * | 2011-02-01 | 2013-02-08 | Imagine Eyes | Methode et dispositif d'imagerie retinienne a haute resolution |
JP5850637B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2016-02-03 | キヤノン株式会社 | 眼底撮像装置、眼底撮像装置の制御方法、およびプログラム |
JP5981722B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2016-08-31 | キヤノン株式会社 | 眼科装置 |
CN102499627A (zh) * | 2011-11-08 | 2012-06-20 | 吉林大学 | 一种客观的视力检测方法 |
JP6061305B2 (ja) | 2011-12-28 | 2017-01-18 | 王子ホールディングス株式会社 | 有機発光ダイオード、有機発光ダイオードの製造方法、画像表示装置および照明装置 |
US9200887B2 (en) | 2012-10-12 | 2015-12-01 | Thorlabs, Inc. | Compact, low dispersion, and low aberration adaptive optics scanning system |
JP2014083232A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Canon Inc | 眼科装置および眼科制御方法並びにプログラム |
JP2014095758A (ja) * | 2012-11-07 | 2014-05-22 | Canon Inc | アクチュエータ及び可変形状ミラー |
JP6008702B2 (ja) * | 2012-11-09 | 2016-10-19 | キヤノン株式会社 | 補償光学装置、補償光学装置の制御方法および眼科装置 |
CN102973241B (zh) * | 2012-12-08 | 2015-04-22 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于自适应光学的激光衍射线扫描共焦检眼镜系统 |
JP6097542B2 (ja) * | 2012-12-10 | 2017-03-15 | キヤノン株式会社 | 補償光学装置、補償光学装置の制御方法、画像取得装置およびプログラム |
TWI559895B (en) | 2013-01-08 | 2016-12-01 | Altek Biotechnology Corp | Camera device and photographing method |
CN103054550B (zh) * | 2013-01-17 | 2015-05-06 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于自适应光学的线扫描共焦检眼镜系统 |
JP2015033423A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | キヤノン株式会社 | 眼科装置 |
CN106163378A (zh) * | 2013-12-31 | 2016-11-23 | 智能视觉实验室 | 便携式波前像差仪 |
JP2016042931A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 株式会社トプコン | 眼科装置 |
JP6463047B2 (ja) | 2014-09-05 | 2019-01-30 | キヤノン株式会社 | 眼科装置及び眼科装置の作動方法 |
JP6040216B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2016-12-07 | キヤノン株式会社 | 補償光学系を備えた画像取得装置 |
CN104570385B (zh) * | 2014-12-30 | 2017-07-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 具有二级稳像功能的机上自适应光学系统 |
CN107923591B (zh) * | 2015-09-07 | 2021-02-19 | 大日本印刷株式会社 | 照明装置 |
GB2548462B (en) | 2016-01-29 | 2020-06-17 | Canon Kk | Image sensor and image capturing apparatus |
JP6756510B2 (ja) * | 2016-04-11 | 2020-09-16 | 株式会社トプコン | 眼科撮影装置 |
CN105942970A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-09-21 | 上海理工大学 | 双眼波前像差视觉光学分析系统 |
FR3060135A1 (fr) * | 2016-12-13 | 2018-06-15 | Thales Sa | Telescope compact presentant une pluralite de focales compense par des composants optiques aspheriques |
FR3060134B1 (fr) * | 2016-12-13 | 2019-05-10 | Thales | Telescope compact presentant une pluralite de focales compense par un miroir deformable |
CN111386439B (zh) * | 2017-09-18 | 2022-07-12 | 安盟生技股份有限公司 | 干涉成像设备及其应用 |
CN110448266B (zh) * | 2018-12-29 | 2022-03-04 | 中国科学院宁波工业技术研究院慈溪生物医学工程研究所 | 随机激光共聚焦线扫描三维检眼镜及成像方法 |
CN110505379B (zh) * | 2019-08-09 | 2021-06-01 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种高分辨率光场成像方法 |
JP7023314B2 (ja) * | 2020-05-08 | 2022-02-21 | 株式会社トプコン | 眼科撮影装置 |
JP7023315B2 (ja) * | 2020-05-08 | 2022-02-21 | 株式会社トプコン | 眼科撮影装置 |
KR102393855B1 (ko) * | 2020-08-19 | 2022-05-04 | 국방과학연구소 | 광선 살균 로봇 및 시스템 |
CN112043233B (zh) * | 2020-09-27 | 2023-12-22 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种可以消除人眼像差影响的人眼散射客观测量仪 |
CN112782844B (zh) * | 2021-01-12 | 2023-03-31 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种自适应光学系统稳定闭环控制方法 |
CN113311580B (zh) * | 2021-05-21 | 2022-12-30 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种基于像差测量的差异化阵列光束波前校正器制备方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3245939C2 (de) * | 1982-12-11 | 1985-12-19 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes des Augenhintergrundes |
DE3422144A1 (de) * | 1984-06-14 | 1985-12-19 | Josef Prof. Dr. 6900 Heidelberg Bille | Geraet zur darstellung flaechenhafter bereiche des menschlichen auges |
JP3965504B2 (ja) | 1999-06-11 | 2007-08-29 | 株式会社オーク製作所 | マルチビーム光学系 |
AU2001272261A1 (en) * | 2000-07-10 | 2002-01-21 | University Health Network | Method and apparatus for high resolution coherent optical imaging |
ATE508676T1 (de) * | 2001-03-15 | 2011-05-15 | Amo Wavefront Sciences Llc | Topografisches wellenfrontanalysesystem und abbildungsverfahren für ein optisches system |
JP4157839B2 (ja) * | 2001-08-30 | 2008-10-01 | ユニバーシティー オブ ロチェスター | 生体眼の網膜領域撮像方法及びそのシステム |
US6827442B2 (en) * | 2001-09-12 | 2004-12-07 | Denwood F. Ross | Ophthalmic wavefront measuring devices |
US7296895B2 (en) * | 2001-12-14 | 2007-11-20 | Bausch & Lomb Incorporated | Sequential scanning wavefront measurement and retinal topography |
US7195354B2 (en) * | 2002-10-04 | 2007-03-27 | The Regents Of The University Of California | Adaptive ophthalmologic system |
DE10360570B4 (de) * | 2003-12-22 | 2006-01-12 | Carl Zeiss | Optisches Meßsystem und optisches Meßverfahren |
JP4509591B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-07-21 | 株式会社トプコン | 収差補正機能付き画像形成装置 |
JP4364847B2 (ja) | 2004-08-26 | 2009-11-18 | 京セラ株式会社 | 撮像装置および画像変換方法 |
GB0425419D0 (en) * | 2004-11-18 | 2004-12-22 | Sira Ltd | Interference apparatus and method and probe |
JP4653577B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2011-03-16 | 株式会社ニデック | 眼科撮影装置 |
US8100530B2 (en) * | 2006-01-20 | 2012-01-24 | Clarity Medical Systems, Inc. | Optimizing vision correction procedures |
US7445335B2 (en) * | 2006-01-20 | 2008-11-04 | Clarity Medical Systems, Inc. | Sequential wavefront sensor |
US7639369B2 (en) * | 2006-04-13 | 2009-12-29 | Mette Owner-Petersen | Multi-object wavefront sensor with spatial filtering |
JP4988305B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2012-08-01 | 株式会社ニデック | 眼科測定装置 |
-
2009
- 2009-04-13 JP JP2009097375A patent/JP5464891B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-04-08 CN CN201080016622.3A patent/CN102395912B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-08 US US13/256,794 patent/US8746884B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-08 EP EP10715367.8A patent/EP2419001B1/en not_active Not-in-force
- 2010-04-08 RU RU2011146074/28A patent/RU2487378C1/ru not_active IP Right Cessation
- 2010-04-08 WO PCT/JP2010/056728 patent/WO2010119915A2/en active Application Filing
- 2010-04-08 KR KR1020117026567A patent/KR101365081B1/ko active IP Right Grant
- 2010-04-08 BR BRPI1013926A patent/BRPI1013926A2/pt active Search and Examination
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010119915A3 (en) | 2011-01-20 |
EP2419001B1 (en) | 2015-06-10 |
CN102395912A (zh) | 2012-03-28 |
US20120002165A1 (en) | 2012-01-05 |
JP2010246653A (ja) | 2010-11-04 |
RU2487378C1 (ru) | 2013-07-10 |
JP5464891B2 (ja) | 2014-04-09 |
EP2419001A2 (en) | 2012-02-22 |
KR20120022890A (ko) | 2012-03-12 |
CN102395912B (zh) | 2014-08-13 |
WO2010119915A2 (en) | 2010-10-21 |
KR101365081B1 (ko) | 2014-02-19 |
US8746884B2 (en) | 2014-06-10 |
BRPI1013926A2 (pt) | 2016-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2011146074A (ru) | Устройство получения оптического изображения, имеющее оптический адаптер, и способ управления им | |
KR102571474B1 (ko) | 작업편의 제어되는 기계가공을 위한 방법 및 장치 | |
KR101496357B1 (ko) | 안과장치, 안과장치의 제어 방법, 및 기억매체 | |
US7633053B2 (en) | Microscope, particularly a laser scanning microscope with adaptive optical arrangement | |
US10245683B2 (en) | Apparatus and method for beam diagnosis on laser processing optics | |
EP3165872B1 (en) | Compensation of light intensity across a line of light providing improved measuring quality | |
JP6678233B2 (ja) | スポットの2dアレイによる斜め入射走査のシステムおよび方法 | |
CN110186653B (zh) | 非成像系统的光轴一致性校准和裂像定焦装调装置及方法 | |
EP3032312B1 (en) | Confocal scanner and confocal microscope | |
US20140150953A1 (en) | Device and method for performing and monitoring a plastic laser transmission welding process | |
KR101594941B1 (ko) | 안저 촬상장치, 안저 촬상장치의 제어 방법 및 기억매체 | |
TW201205114A (en) | Linear chromatic confocal microscope system | |
KR101609029B1 (ko) | 광 전달 매질의 투과 특성을 측정하는 방법 및 이를 이용한 이미지 획득 장치 | |
JP2014513307A (ja) | マルチスポット収集光学系 | |
JP6376780B2 (ja) | 光学検査装置及び光学検査システム | |
JP2008032668A (ja) | 走査型形状計測機 | |
JP6547514B2 (ja) | 計測装置 | |
JP6260391B2 (ja) | 共焦点顕微鏡装置及び共焦点観察方法 | |
JP2019178923A (ja) | 測距ユニット及び光照射装置 | |
JP2022032193A5 (ru) | ||
JP2023509081A (ja) | 共焦点距離測定によるワークピースの制御された機械加工方法及び装置 | |
CN218213640U (zh) | 照明装置以及检测设备 | |
JP2001165625A (ja) | 高さ測定装置、焦点検出装置、焦点検出ユニット、および、合焦機能を備えた光学装置 | |
JP2020534549A (ja) | 干渉撮像装置およびその用途 | |
TWI788231B (zh) | 共軛光學模組、空間轉換光學模組以及其共軛光學之彩色共焦量測系統 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200409 |