RU2011118381A - НЕГАММАФАЗНЫЙ КУБИЧЕСКИЙ AlCrO - Google Patents

НЕГАММАФАЗНЫЙ КУБИЧЕСКИЙ AlCrO Download PDF

Info

Publication number
RU2011118381A
RU2011118381A RU2011118381/02A RU2011118381A RU2011118381A RU 2011118381 A RU2011118381 A RU 2011118381A RU 2011118381/02 A RU2011118381/02 A RU 2011118381/02A RU 2011118381 A RU2011118381 A RU 2011118381A RU 2011118381 A RU2011118381 A RU 2011118381A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
coated
std
cube
bodies
Prior art date
Application number
RU2011118381/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2507303C2 (ru
Inventor
Денис КУРАПОВ (CH)
Денис КУРАПОВ
Original Assignee
Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах (Ch)
Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах (Ch), Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах filed Critical Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах (Ch)
Publication of RU2011118381A publication Critical patent/RU2011118381A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2507303C2 publication Critical patent/RU2507303C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C14/00Alloys based on titanium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/16Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon
    • C22F1/18High-melting or refractory metals or alloys based thereon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0676Oxynitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/32Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C2222/00Aspects relating to chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive medium

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)

Abstract

1. Покрытие для деталей с по меньшей мере одним слоем, причем этот по меньшей мере один слой содержит металлические компоненты, представленные формулой AlxCr1-x, где x представляет собой атомную долю, удовлетворяющую 0≤x≤0,84, и содержит неметаллические компоненты, представленный формулой O1-yZy, где Z представляет собой по меньшей мере один элемент, выбранный из группы N, B, C, и 0≤y≤0,65, предпочтительно y≤0,5, отличающееся тем, что покрытие содержит по меньшей мере частично кубическую не гамма Cr- и оксидсодержащую фазу таким образом, что рентгеновская дифрактограмма показывает образование кубической фазы, которая не является кубической фазой CrN. ! 2. Покрытие для деталей по п.1, отличающееся тем, что x ≥ 0,5. ! 3. Покрытие для деталей по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что его рентгеновская дифрактограмма по существу не показывает изменений после отжига вплоть до 1000°C в течение 25 минут по сравнению с до отжига. ! 4. Покрытое тело с покрытием по одному из предшествующих пунктов. ! 5. Покрытое тело по п.4, отличающееся тем, что между покрытием и поверхностью тела предусмотрен дополнительный слой, предпочтительно слой TiN. ! 6. Покрытое тело по п.5, причем указанное покрытое тело является инструментом, предпочтительно выбранным из группы сверл, концевых фрез, вставных резцов и червячных фрез, метчиков, полотен пилы. ! 7. Способ нанесения покрытий на тела, содержащий следующие стадии: ! - обеспечение тела или тел, подлежащих нанесению покрытия; ! - введение тела или тел в установку нанесения покрытий ионным осаждением дуговым разрядом с мишенью состава AlaCr1-a, где 0≤a≤0,85. ! - выполнение ионного осаждения дуговым разрядом таким

Claims (9)

1. Покрытие для деталей с по меньшей мере одним слоем, причем этот по меньшей мере один слой содержит металлические компоненты, представленные формулой AlxCr1-x, где x представляет собой атомную долю, удовлетворяющую 0≤x≤0,84, и содержит неметаллические компоненты, представленный формулой O1-yZy, где Z представляет собой по меньшей мере один элемент, выбранный из группы N, B, C, и 0≤y≤0,65, предпочтительно y≤0,5, отличающееся тем, что покрытие содержит по меньшей мере частично кубическую не гамма Cr- и оксидсодержащую фазу таким образом, что рентгеновская дифрактограмма показывает образование кубической фазы, которая не является кубической фазой CrN.
2. Покрытие для деталей по п.1, отличающееся тем, что x ≥ 0,5.
3. Покрытие для деталей по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что его рентгеновская дифрактограмма по существу не показывает изменений после отжига вплоть до 1000°C в течение 25 минут по сравнению с до отжига.
4. Покрытое тело с покрытием по одному из предшествующих пунктов.
5. Покрытое тело по п.4, отличающееся тем, что между покрытием и поверхностью тела предусмотрен дополнительный слой, предпочтительно слой TiN.
6. Покрытое тело по п.5, причем указанное покрытое тело является инструментом, предпочтительно выбранным из группы сверл, концевых фрез, вставных резцов и червячных фрез, метчиков, полотен пилы.
7. Способ нанесения покрытий на тела, содержащий следующие стадии:
- обеспечение тела или тел, подлежащих нанесению покрытия;
- введение тела или тел в установку нанесения покрытий ионным осаждением дуговым разрядом с мишенью состава AlaCr1-a, где 0≤a≤0,85.
- выполнение ионного осаждения дуговым разрядом таким образом, что по меньшей мере одна технологическая стадия содержит поток кислорода между 50 станд. куб. см/мин и 400 станд. куб. см/мин, предпочтительно между 100 станд. куб. см/мин и 400 станд. куб. см/мин, более предпочтительно между 150 станд. куб. см/мин и 200 станд. куб. см/мин.
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что упомянутая по меньшей мере одна технологическая стадия содержит поток азота таким образом, что давление регулируют до 3,5 Па.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что в качестве технологического газа не добавляют аргон.
RU2011118381/02A 2008-10-10 2009-10-05 НЕГАММАФАЗНЫЙ КУБИЧЕСКИЙ AlCrO RU2507303C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10429308P 2008-10-10 2008-10-10
US61/104,293 2008-10-10
PCT/EP2009/007118 WO2010040494A1 (en) 2008-10-10 2009-10-05 Non gamma - phase cubic alcro

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011118381A true RU2011118381A (ru) 2012-11-20
RU2507303C2 RU2507303C2 (ru) 2014-02-20

Family

ID=41259590

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011118381/02A RU2507303C2 (ru) 2008-10-10 2009-10-05 НЕГАММАФАЗНЫЙ КУБИЧЕСКИЙ AlCrO

Country Status (10)

Country Link
US (1) US8529735B2 (ru)
EP (1) EP2340321B1 (ru)
JP (1) JP2012505308A (ru)
KR (1) KR101660995B1 (ru)
CN (1) CN102177278B (ru)
BR (1) BRPI0920405B1 (ru)
CA (1) CA2736143C (ru)
MX (1) MX2011003838A (ru)
RU (1) RU2507303C2 (ru)
WO (1) WO2010040494A1 (ru)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010011694B4 (de) * 2010-03-17 2013-09-19 Karlsruher Institut für Technologie Hexagonaler Mischkristall aus einem Al-Cr-O-N Stoffsystem
TW201135817A (en) * 2010-04-09 2011-10-16 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Colourful multi-layer film structure and the method manufacturing the same
CN102560350A (zh) * 2010-12-30 2012-07-11 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 被覆件及其制造方法
JP6093363B2 (ja) * 2011-09-30 2017-03-08 セメコン アーゲー Hipimsを用いた基材のコーティング
DE102013221102A1 (de) * 2013-10-17 2015-05-07 Mahle International Gmbh Stahlkolben für eine Brennkraftmaschine und Verfahren zu dessen Herstellung
WO2019025106A1 (en) * 2017-07-31 2019-02-07 Walter Ag COATED CUTTING TOOL AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
EP3682040B1 (en) * 2017-09-15 2024-06-05 Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon Al-cr-o-based coatings with higher thermal stability and producing method thereof
EP3728695B1 (de) * 2017-12-22 2022-08-03 Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon Korrosions- und erosionsbeständige beschichtung für turbinenschaufeln von gasturbinen
CN108504997A (zh) * 2018-03-13 2018-09-07 国宏工具系统(无锡)股份有限公司 一种高光刀电弧涂层工艺
MX2021005741A (es) 2018-11-14 2021-08-19 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon Recubrimiento para mejorar el rendimiento y vida util en aplicaciones de procesamiento de plastico.
JP7247452B2 (ja) * 2019-03-25 2023-03-29 株式会社Moldino 被覆工具

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5310607A (en) * 1991-05-16 1994-05-10 Balzers Aktiengesellschaft Hard coating; a workpiece coated by such hard coating and a method of coating such workpiece by such hard coating
JP3027502B2 (ja) * 1993-03-15 2000-04-04 健 増本 耐摩耗性非晶質硬質膜及びその製造方法
US5948541A (en) * 1996-04-04 1999-09-07 Kennametal Inc. Boron and nitrogen containing coating and method for making
RU2163942C2 (ru) * 1996-07-25 2001-03-10 Сименс Акциенгезелльшафт Металлическая подложка с оксидным слоем и улучшенным крепежным слоем
JP4502475B2 (ja) * 2000-08-04 2010-07-14 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜および耐摩耗部材並びにその製造方法
ATE355395T1 (de) * 2002-11-19 2006-03-15 Hitachi Tool Eng Hartstoffschicht und damit beschichtetes werkzeug
US6767627B2 (en) * 2002-12-18 2004-07-27 Kobe Steel, Ltd. Hard film, wear-resistant object and method of manufacturing wear-resistant object
JP4247032B2 (ja) * 2003-04-09 2009-04-02 日立ツール株式会社 被覆超硬エンドミル
US7226670B2 (en) * 2003-04-28 2007-06-05 Oc Oerlikon Balzers Ag Work piece with a hard film of AlCr-containing material, and process for its production
JP2006524748A (ja) * 2003-04-28 2006-11-02 ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト AlCr含有の硬質材料層を有する工作物および製造方法
JP2006188736A (ja) * 2005-01-07 2006-07-20 Nissin Electric Co Ltd 耐摩耗性膜被覆物品
AU2007306494B2 (en) * 2006-10-10 2012-05-31 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Layer system having at least one mixed crystal layer of a polyoxide
US7939181B2 (en) * 2006-10-11 2011-05-10 Oerlikon Trading Ag, Trubbach Layer system with at least one mixed crystal layer of a multi-oxide
US7960016B2 (en) * 2007-03-23 2011-06-14 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Wear resistant hard coating for a workpiece and method for producing the same

Also Published As

Publication number Publication date
WO2010040494A1 (en) 2010-04-15
US8529735B2 (en) 2013-09-10
EP2340321B1 (en) 2014-09-17
BRPI0920405A2 (pt) 2020-12-15
MX2011003838A (es) 2011-05-25
US20110195261A1 (en) 2011-08-11
JP2012505308A (ja) 2012-03-01
CA2736143C (en) 2017-04-25
KR20110073427A (ko) 2011-06-29
CN102177278A (zh) 2011-09-07
KR101660995B1 (ko) 2016-09-28
CA2736143A1 (en) 2010-04-15
CN102177278B (zh) 2013-10-02
EP2340321A1 (en) 2011-07-06
BRPI0920405B1 (pt) 2021-05-25
RU2507303C2 (ru) 2014-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2011118381A (ru) НЕГАММАФАЗНЫЙ КУБИЧЕСКИЙ AlCrO
EP3134561B1 (en) Alcrn-based coating providing enhanced crater wear resistance
KR101831014B1 (ko) 코팅된 절삭 공구 인서트
KR101979041B1 (ko) 고성능 공구용 나노층 코팅
KR101822810B1 (ko) 코팅된 절삭 공구
KR102436934B1 (ko) 피복 절삭 공구 및 피복 절삭 공구의 제조 방법
KR20140109857A (ko) 경질 피복층이 우수한 내치핑성과 내마모성을 발휘하는 표면 피복 절삭 공구
JP6892423B2 (ja) マクロ粒子を含む皮膜及びその皮膜を形成する陰極アークプロセス
JP2011189419A (ja) 耐摩耗性に優れた被覆工具
CN113174570B (zh) 一种高韧性TiAlNiN涂层及其制备方法和应用
JP5065756B2 (ja) 被覆切削工具
WO2006034739A3 (de) Verfahren zum vakuumbeschichten mit einer photohalbleitenden schicht und anwendung des verfahrens
JP4676780B2 (ja) 硬質皮膜、積層型硬質皮膜およびその製造方法
JP2018003046A (ja) 硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜の成膜方法
JP5038017B2 (ja) 被覆切削工具
US20170029930A1 (en) Coating comprising a mo-n-based layer in which the molybdenum nitride is provided as a delta phase
JP5065758B2 (ja) 被覆切削工具
JP5065757B2 (ja) 被覆切削工具
CN113529025B (zh) 一种硬质合金涂层刀具制备方法及涂层刀具
JP2009034811A (ja) 突切り、溝切りおよびねじ切りのための超硬合金インサート
JP2007046103A (ja) 硬質皮膜
JP2005262323A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP5179526B2 (ja) 硬質皮膜、積層型硬質皮膜およびその製造方法
Chin Stabilized by Stress
US20160053364A1 (en) ARC VAPORIZATION OF METALLIC, INTERMETALLIC, AND CERAMIC TARGET MATERIALS IN ORDER TO PRODUCE Al-Cr-N COATINGS

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201006