JP2018003046A - 硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜の成膜方法 - Google Patents
硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜の成膜方法 Download PDFInfo
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- Al1−yCry(0.05≦y≦0.20:yはCrの原子比率を示す。)から成るター
ゲットを内部に備えるカソードアーク方式イオンプレーティング装置を用いた硬質皮膜の
成膜方法であって、前記カソードアーク方式イオンプレーティング装置内に設置する基板
に対して印加するバイアス電圧を−100V〜−170Vの範囲とし、前記基板の温度を
330℃〜370℃の範囲として前記硬質皮膜を成膜することを特徴とする硬質皮膜の成
膜方法。 - Al1−xCrxN(0.05≦x≦0.25:xはCrの原子比率を示す。)から成る組成の硬質皮膜であって、前記硬質皮膜の表面をX線回折(2θ)した際における30°≦2θ≦90°の測定範囲において、Cu―Kα線の最も高いピークが2θ=37.8°±1°の範囲に存在し、かつ前記ピークの半値幅が1°未満であることを特徴とする硬質皮膜。
- 前記Crの一部を、原子比率0.05以下のTi、V、Zr、もしくはNbで置き換えた組成であることを特徴とする請求項2に記載の硬質皮膜。
- 厚さが0.1μm〜20μmの範囲であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の硬質皮膜。
- 請求項2ないし4のいずれか1項に記載の硬質皮膜が、超硬合金製または高速度工具鋼製の工具の表面に被覆されていることを特徴とする硬質皮膜被覆工具。
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