JP6892423B2 - マクロ粒子を含む皮膜及びその皮膜を形成する陰極アークプロセス - Google Patents
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Description
・第1の皮膜
・陰極材料は3箇所
・アルミニウム(Al)を2箇所に
・チタンアルミ合金(TiAl)を一箇所に
・チャンバーには窒素ガス(N2)を供給
・陰極材料は2箇所
・アルミニウム(Al)を2箇所に
・チャンバーには窒素ガス(N2)とアルゴンガス(Ar)を供給
2 陰極線装置
3 陰極材料のストリーム
4 ターンーテーブル
5 陰極材料のストリーム
6 チャンバー
7 陰極材料のストリーム
8 ワーク片
9 ガス
32 皮膜
34 マクロ粒子
36 マクロ粒子
40 マクロ粒子
Claims (24)
- ワーク片を陰極アーク装置中に挿入して、
陰極材料にアークを照射して、上記装置の内部空間に上記陰極材料の原子イオン群が生じるように、少なくとも一種類の上記陰極材料を蒸発させて、上記ワーク片上に上記原子による皮膜を形成し、
上記皮膜の内部または表面にマクロ粒子が供給されるように上記アークの照射パラメータを調整して、液体、半固体もしくは固体の状態の上記陰極材料のマクロ粒子を形成するものであって、
上記マクロ粒子の構造及び組成のうちの少なくとも一方を選択して、上記皮膜に対して、潤滑性、疎水性、親水性、犠牲層性、耐腐食性、自己修復性、電気抵抗性のうち、少なくとも一種類の特性を与えることを特徴とする、ワーク片上に皮膜を形成する方法。 - 請求項1に記載の方法において、上記マクロ粒子が球形の状態で供給されるように上記陰極材料が選択され、もしくはアークのパラメータが調整されることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項2に記載の方法において、上記陰極材料及び上記マクロ粒子がチタンを含むことを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項1に記載の方法において、上記マクロ粒子がレンズ形の状態で供給されるように上記陰極材料が選択され、もしくは上記アークのパラメータが調整されることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項4に記載の方法において、上記陰極材料及び上記マクロ粒子がアルミニウムを含むことを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項1に記載の方法において、上記ワーク片が航空機の翼であることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項1に記載の方法において、上記皮膜が複数層設けられていることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項1に記載の方法において、上記マクロ粒子が少なくとも二硫化モリブデン、バナジウム、もしくは窒化バナジウムのうちの一種を含むことを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- ワーク片を陰極アーク装置中に挿入して、
陰極材料にアークを照射して、上記装置の内部空間に上記陰極材料の原子イオン群が生じるように、少なくとも一種類の上記陰極材料を蒸発させて、上記ワーク片上に上記原子による皮膜を形成し、
上記皮膜の内部または表面にマクロ粒子が供給されるように上記アークの照射パラメータを調整して、液体、半固体もしくは固体の状態の上記陰極材料のマクロ粒子を形成するものであって、
上記マクロ粒子の構造及び組成のうちの少なくとも一方を選択して、上記皮膜に対して、潤滑性、疎水性、親水性、犠牲層性、耐食性、耐腐食性、自己修復性、電気抵抗性のうち、少なくとも一種類の特性を与え、
上記ワーク片よりも劣る犠牲材料を上記皮膜に供給するために、上記マクロ粒子は少なくとも70原子パーセントのアルミニウムを含んでいることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。 - ワーク片を陰極アーク装置中に挿入して、
陰極材料にアークを照射して、上記装置の内部空間に上記陰極材料の原子イオン群が生じるように、少なくとも一種類の上記陰極材料を蒸発させて、上記ワーク片上に上記原子による皮膜を形成し、
上記皮膜の内部または表面にマクロ粒子が供給されるように上記アークの照射パラメータを調整して、液体、半固体もしくは固体の状態の上記陰極材料のマクロ粒子を形成するものであって、
上記マクロ粒子の構造及び組成のうちの少なくとも一方を選択して、上記皮膜に対して、潤滑性、疎水性、親水性、犠牲層性、耐食性、耐腐食性、自己修復性、電気抵抗性のうち、少なくとも一種類の特性を与え、
上記ワーク片よりも劣る犠牲材料を上記皮膜に供給するために、上記マクロ粒子は少なくとも90原子パーセントのアルミニウムを含んでいることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。 - 請求項1に記載の方法において、上記陰極材料が金属及び反応ガスのうちの少なくとも一方と反応して、窒化物、炭化物、酸化物もしくはこれらの混合物を形成するものであることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項1に記載の方法において、上記陰極材料は、クロム、アルミニウム、チタンとそれ以外の、周期律表における第4属、5属そして6属の遷移金属群中の、少なくとも一種の材料からなることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- ワーク片を陰極アーク装置中に挿入して、
第1の陰極材料に第1のアークを照射して、上記装置の内部空間に上記第1の陰極材料の原子イオン群が生じるように、上記第1の陰極材料を蒸発させて、上記ワーク片上に上記原子による皮膜を形成し、
第2のアークの照射パラメータを、第2のマクロ粒子が上記皮膜の内部または表面に固定されるように調整して、液体、半固体もしくは固体の状態の第2の陰極材料の上記第2のマクロ粒子を形成して、上記皮膜に対して、潤滑性、疎水性、親水性、犠牲層性、耐腐食性、自己修復性、電気抵抗性のうち、少なくとも一種類の特性を与えるように、上記第2のマクロ粒子の構造及び組成のうちの少なくとも一方を選択することを特徴とする、ワーク片上に皮膜を形成する方法。 - 請求項13に記載の方法において、上記第2のマクロ粒子が球形の状態で供給されるように第2の陰極材料が選択され、もしくは第2のアークのパラメータが調整されることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項14に記載の方法において、上記第2の陰極材料及び上記第2のマクロ粒子がチタンを含むことを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項13に記載の方法において、上記第2のマクロ粒子がレンズ形の状態で供給されるように上記第2の陰極材料が選択され、もしくは上記第2のアークのパラメータが調整されることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項16に記載の方法において、上記第2の陰極材料及び上記第2のマクロ粒子がアルミニウムを含むことを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項13に記載の方法において、上記第2の陰極材料は、潤滑材料もしくは、少なくとも一種類の他の要素と結合したときに潤滑性を有する材料からなり、上記皮膜に対して潤滑性を付与するような潤滑性を有する上記第2のマクロ粒子を形成するためのものであることを特徴とする、ワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項18に記載の方法において、上記潤滑材料は、少なくとも二硫化モリブデン、バナジウム、もしくは窒化バナジウムのうちの一種を含むことを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項18に記載の方法において、上記ワーク片が航空機の翼であることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- ワーク片を陰極アーク装置中に挿入して、
第1の陰極材料に第1のアークを照射して、上記装置の内部空間に上記第1の陰極材料の原子イオン群が生じるように、上記第1の陰極材料を蒸発させて、上記ワーク片上に上記原子による皮膜を形成し、
第2のアークの照射パラメータを、第2のマクロ粒子が上記皮膜の内部または表面に固定されるように調整して、液体、半固体もしくは固体の状態の第2の陰極材料の上記第2のマクロ粒子を形成して、上記皮膜に対して、潤滑性、疎水性、親水性、犠牲層性、耐食性、耐腐食性、自己修復性、電気抵抗性のうち、少なくとも一種類の特性を与えるように、上記第2のマクロ粒子の構造及び組成のうちの少なくとも一方を選択し、
上記ワーク片よりも劣る犠牲材料を皮膜に供給するために、上記マクロ粒子は少なくとも70原子パーセントのアルミニウムを含んでいることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。 - ワーク片を陰極アーク装置中に挿入して、
第1の陰極材料に第1のアークを照射して、上記装置の内部空間に上記第1の陰極材料の原子イオン群が生じるように、上記第1の陰極材料を蒸発させて、上記ワーク片上に上記第1の原子による皮膜を形成し、
第2のアークの照射パラメータを、第2のマクロ粒子が上記皮膜の内部または表面に固定されるように調整して、液体、半固体もしくは固体の状態の第2の陰極材料の上記第2のマクロ粒子を形成して、上記皮膜に対して、潤滑性、疎水性、親水性、犠牲層性、耐食性、耐腐食性、自己修復性、電気抵抗性のうち、少なくとも一種類の特性を与えるように、上記第2のマクロ粒子の構造及び組成のうちの少なくとも一方を選択し、
上記ワーク片よりも劣る犠牲材料を皮膜に供給するために、上記マクロ粒子は少なくとも90原子パーセントのアルミニウムを含んでいることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。 - 請求項13に記載の方法において、上記陰極材料が金属及び反応ガスのうちの少なくとも一方と反応して、窒化物、炭化物、酸化物もしくはこれらの混合物を形成することを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
- 請求項13に記載の方法において、上記陰極材料は、クロム、アルミニウム、チタンとそれ以外の、周期律表における第4属、5属そして6属の遷移金属群中の、少なくとも一種の材料からなることを特徴とするワーク片上に皮膜を形成する方法。
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