JP2007138286A - アークイオンプレーティング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空チャンバー1と、基材を真空チャンバー内でその高さ方向に対して垂直方向に移動させる回転テーブル2と、前記基材の表面を金属イオンでクリーニングするボンバード用蒸発源9Aと、金属イオンを前記基材の表面に成膜する複数の成膜用蒸発源7Aを備える。前記ボンバード用蒸発源9Aは、その蒸発面の縦幅あるいは蒸発面面積が前記成膜用蒸発源7Aよりも大きく形成される。
【選択図】図1
Description
前記真空チャンバー1の側壁内面側には、真空チャンバー1の高さ方向にほぼ一定間隔で並べて配置された3台の蒸発源7Aからなる成膜用蒸発源群7が設けられており、前記蒸発源7Aは、それぞれアーク電源8の負極に接続され、正極は真空チャンバー1に接続される。なお、図10(B)中、21は真空チャンバー内面に開口した排気ポート、22は窒素、酸素等の成膜用ガスを供給するガス供給管であり(同図(A)では記載省略)、23は真空チャンバーの開閉扉である。
ボンバード終了後、蒸発源7Aから金属イオンの蒸気を発生させ、基材に照射すると共に、基材に印加する電圧を0〜−300V程度に設定することにより、成膜を開始する。通常AIP法で形成する皮膜は、TiN,TiCN,CrN,TiAlN,TiC,CrON等の金属と窒素、炭素、酸素等の化合物であるので、成膜中に真空チャンバー1内に窒素、酸素、炭化水素等の成膜用ガスを単独あるいは混合して導入する。例えば、Tiを蒸発させながら窒素を導入することによりTiN(窒化チタン)が成膜される。
前記ボンバード、皮膜の成膜の際、基材ホルダー5に搭載された基材は、回転テーブル2の回転により、公転と自転とを行うので、基材全体に均一なイオン照射が行われる。
成膜後、冷却して、真空チャンバー1を解放して、成膜された基材を基材ホルダー5ごと取り出し、成膜済みの基材を回収する。
また、通常、蒸発源は、平面的には直径50〜180mm程度、代表的には直径100〜150mm程度の比較的小形の蒸発面を備えたものが複数用いられる場合が多い。多数の蒸発源を一斉に動作させると、大容量のバイアス電源が必要となる上、多量の金属イオンが一気に照射されるため、基材の過昇温の問題に加えて、基材で異常放電が多発するという問題がある。異常放電が発生するとバイアス電源は一時的に出力を止めるため、短時間のボンバード中に異常放電が多発すると、正確なボンバードプロセスが実行できなくなる。
本発明はかかる問題に鑑みなされたもので、ボンバードの際に、基材に過昇温や異常放電が生じ難く、ひいてはプロセス制御性の良好なAIP装置を提供することを目的とする。
また、本発明のAIP装置は、真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に設けられ、前記真空チャンバー内で基材を真空チャンバーの高さ方向に対して垂直方向に移動させる移動部材と、アーク放電により蒸発した金属イオンを前記基材の表面に衝突させてクリーニングする少なくとも1つのボンバード用蒸発源と、アーク放電により蒸発した金属イオンを前記基材の表面に成膜する複数の成膜用蒸発源とを備える。前記ボンバード用蒸発源は、その蒸発面の真空チャンバーの高さ方向の縦幅が前記複数の成膜用蒸発源の蒸発面の縦幅のうち最大の縦幅よりも大きく形成される。あるいは、前記ボンバード用蒸発源は、ボンバード用蒸発源の蒸発面面積が前記複数の成膜用蒸発源の蒸発面面積のうち最大の蒸発面面積よりも大きく形成される。
図1は第1実施形態に係るAIP装置を示しており、図10に示した従来のAIP装置と同部材は同符号が付されている。
このAIP装置は、真空チャンバー1を備え、真空チャンバー1の底部にテーブル上面が水平に配置された回転テーブル2(本発明の「移動部材」に対応)が設けられている。この回転テーブル2は、真空チャンバー1の高さ方向(「縦方向」という場合がある。)に沿ってその中心軸が配置された回転軸3によって回転されると共に回転テーブル2内に設けられた遊星歯車機構によって回転テーブル2の上面の突出した遊星軸4が自転するようになっている。前記遊星軸4の各々には、基材を保持する基材ホルダー5が着脱自在に取り付けられている。このため、回転テーブル2の回転によって各基材ホルダー5は、縦方向対して垂直方向(「横方向」という場合がある。)に回転軸3を中心として円周方向に水平移動すると共に自転する。このため、前記基材ホルダー5に保持された基材は、回転テーブル2の回転によって公転しながら、自転する。前記回転テーブル2は、バイアス電源(図示省略)によって負の電圧が印加され、この負電圧は、基材ホルダー5を介してこれに搭載された基材に印加される。また、真空チャンバー1の側壁内面側には、後述する成膜用蒸発源群7と干渉しない部位に輻射ヒーター(図示省略)が設けられている。なお、前記回転テーブル2は、遊星歯車機構を備えず、基材ホルダーを自転しないようにすることができる。
ここで、(アーク電流)×(蒸発源の台数)×(バイアス電圧)÷(照射幅)
を瞬間的な入熱量と考えると、この値の成膜時の最大値(150A×3台×300V/500mm)がボンバードの際に等しくなるようにボンバードの照射幅を計算すると370mmとなる。すなわち、ボンバードの処理領域幅をこの照射幅以上に広げると過熱の危険が下がることになり、大まかな検討であるが、前記の経験的な知見と合致する。
このAIP装置は、第1実施形態に係るAIP装置に対して、上下方向に並設した3台の蒸発源7Aからなる第1成膜用蒸発源群71と、同構成の第2成膜用蒸発源群72を備え、これら2列の成膜用蒸発源群71,72が真空チャンバー1の周方向に90°を隔てて並列に設けられている。この実施形態では、成膜の際には、2列の成膜用蒸発源群71,72で成膜を行なうので、成膜用蒸発源7Aの蒸発材料が同じものであれば、第1実施形態の装置に比べて2倍の成膜速度が実現できる。もっとも、ボンバードは第1実施形態と同様、1台の長方形蒸発源9Aで行なうため、ボンバード工程での過熱等の問題は発生しない。また、成膜用蒸発源群71の蒸発源7Aの蒸発材料と成膜用蒸発源群72の蒸発源7Aの蒸発材料を異種材料とすることにより、2種類の皮膜からなる多層構造膜の成膜を行なうことができる。
(1) 真空チャンバー内を真空に排気し、真空チャンバー内に設置した輻射ヒータ(図示省略)により基材温度を400℃にまで加熱した。
(2) 各成膜用蒸発源を、アーク電流100Aで動作させ、バイアス電圧−1000Vで5分間メタルボンバード処理を実施した。
(3) ボンバード処理後、各成膜用蒸発源をアーク電流150Aで動作させ、バイアス電圧−50V、窒素ガスを3.9Paの圧力で導入しながら約3μmのTiN膜を形成した後、30分間冷却して処理済みの基材を取出した。
上記従来例では、3μmのTiNの成膜所要時間は90分間で、真空引き開始から取出しまでのトータルサイクルタイムは、3時間15分であった。
(1) 従来例の(1) と同様。
(2) ボンバード用蒸発源をアーク電流100Aで動作させ、バイアス電圧−1000で15分間メタルボンバード処理を実施した。
(3) ボンバード処理後、ボンバード用蒸発源をアーク電流150Aで動作させ、バイアス電圧−50V、窒素ガスを3.9Paの圧力で導入しながら約3μmのTiN膜を形成したのち、30分間冷却して取出した。
上記比較例では、3μmのTiNの成膜所要時間は約5時間で、真空引き開始から取出しまでのトータルサイクルタイムは、7時間であった。
(1) 従来例の(1) と同様。
(2) ボンバード用蒸発源をアーク電流100Aで動作させ、バイアス電圧−1000Vで15分間メタルボンバード処理を実施した。
(3) ボンバード処理後、各成膜用蒸発源をアーク電流150Aで動作させ、バイアス電圧−50V、窒素ガスを3.9Paの圧力で導入しながら、約3μmのTiN膜を形成したのち、30分間冷却して取出した。
上記実施例では、3μmのTiNの成膜所要時間は90分間で、真空引き開始から取出しまでのトータルサイクルタイムは、3時間25分であった。
また、明らかに生産性に劣る比較例を除き、従来例と実施例の成膜について、表1の各項目について評価を行なった。その結果を表1に併せて示す。
また、バイアス電流は当然実施例では減少しており、より小さな容量のバイアス電源でボンバード処理が可能となった。特に、バイアス電源が感知する異常放電について、従来例ではボンバード処理(全処理時間5分)の前段3分間に渡り異常放電が発生し、異常放電無しで電圧が印加できたのは後段の2分間のみであった。バイアス電源は異常放電を感知すると一旦出力を遮断、休止後に再度印加するため、異常放電の発生期間中は正規のバイアス電圧が印加されていない状態となる。一方、実施例の場合は、異常放電の回数が減少傾向にあることに加えて、ボンバードの処理時間が約3倍となっているため、相対的に正常な電圧が印加された時間が伸びており、成膜プロセスの再現性がより高まった。
さらに、テストピース上の皮膜を顕微鏡で観察した所、皮膜に混入したマクロパーティクルが実施例では減少していた。これはボンバード用の蒸発源の面積が拡大したことにより、単位面積あたりの熱負荷が減少したため、ボンバード中に発生するマクロパーティクル量が減少したものと考えられる。
2 回転テーブル(移動部材)
7,71,72 成膜用蒸発源群
7A 成膜用蒸発源
9 ボンバード用蒸発源群
9A ボンバード用蒸発源
T ターゲット
C 電磁コイル
Claims (8)
- 真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に設けられ、前記真空チャンバー内で基材を真空チャンバーの高さ方向に対して垂直方向に移動させる移動部材と、アーク放電により蒸発した金属イオンを前記基材の表面に衝突させてクリーニングするボンバード用蒸発源群と、アーク放電により蒸発した金属イオンを前記基材の表面に成膜する成膜用蒸発源群とを備えたアークイオンプレーティング装置であって、
前記成膜用蒸発源群は、前記移動部材に設置した基材に対向し、前記真空チャンバーの高さ方向に重なり合うことなく配置された複数の成膜用蒸発源で構成され、前記ボンバード用蒸発源群は、前記基材に対向し、前記真空チャンバーの高さ方向に重なり合うことなく配置された一又は複数のボンバード用蒸発源で構成され、前記高さ方向における前記ボンバード用蒸発源の縦幅が前記成膜用蒸発源の縦幅よりも長く形成された、アークイオンプレーティング装置。 - 真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に設けられ、前記真空チャンバー内で基材を真空チャンバーの高さ方向に対して垂直方向に移動させる移動部材と、アーク放電により蒸発した金属イオンを前記基材の表面に衝突させてクリーニングする少なくとも1つのボンバード用蒸発源と、アーク放電により蒸発した金属イオンを前記基材の表面に成膜する複数の成膜用蒸発源とを備えたアークイオンプレーティング装置であって、
前記ボンバード用蒸発源は、その蒸発面の真空チャンバーの高さ方向の縦幅が前記複数の成膜用蒸発源の蒸発面の縦幅のうち最大の縦幅よりも大きく形成された、アークイオンプレーティング装置。 - 真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に設けられ、前記真空チャンバー内で基材を真空チャンバーの高さ方向に対して垂直方向に移動させる移動部材と、アーク放電により蒸発した金属イオンを前記基材の表面に衝突させてクリーニングする少なくとも1つのボンバード用蒸発源と、アーク放電により蒸発した金属イオンを前記基材の表面に成膜する複数の成膜用蒸発源とを備えたアークイオンプレーティング装置であって、
前記ボンバード用蒸発源は、ボンバード用蒸発源の蒸発面面積が前記複数の成膜用蒸発源の蒸発面面積のうち最大の蒸発面面積よりも大きく形成された、アークイオンプレーティング装置。 - 前記ボンバード用蒸発源は、真空チャンバーの高さ方向に重なり合うことなく配置された、請求項2又は3に記載されたアークイオンプレーティング装置。
- 前記ボンバード用蒸発源はそれぞれ略同等の寸法を有し、前記成膜用蒸発源はそれぞれ略同等の寸法を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載されたアークイオンプレーティング装置。
- 前記ボンバード用蒸発源は、その蒸発面の縦幅が0.5〜2.0mとされた、請求項1から5のいずれか1項に記載されたアークイオンプレーティング装置。
- 前記ボンバード用蒸発源は、蒸発材料で形成されたターゲットを有し、前記ターゲットの裏面に縦幅方向に長く形成された電磁コイルが付設された、請求項1から6のいずれか1項に記載されたアークイオンプレーティング装置。
- 複数の成膜用蒸発源が真空チャンバーの高さ方向に重なり合うことなく設けられた成膜用蒸発源群を複数備え、当該複数の成膜用蒸発源群が前記真空チャンバー内に並列に設けられた、請求項1から7のいずれか1項に記載されたアークイオンプレーティング装置。
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