RU2010154517A - Микрофлюидальная тонкопленочная структура для дозирования текучих сред - Google Patents

Микрофлюидальная тонкопленочная структура для дозирования текучих сред Download PDF

Info

Publication number
RU2010154517A
RU2010154517A RU2010154517/05A RU2010154517A RU2010154517A RU 2010154517 A RU2010154517 A RU 2010154517A RU 2010154517/05 A RU2010154517/05 A RU 2010154517/05A RU 2010154517 A RU2010154517 A RU 2010154517A RU 2010154517 A RU2010154517 A RU 2010154517A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
film
chamber
channel
region
Prior art date
Application number
RU2010154517/05A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2515287C2 (ru
Inventor
Дирк КУРОВСКИ (DE)
Дирк КУРОВСКИ
Марио ХЕМПЕЛЬ (DE)
Марио ХЕМПЕЛЬ
Герт БЛАНКЕНШТАЙН (DE)
Герт БЛАНКЕНШТАЙН
Тобиас РОДЕНФЕЛЬС (DE)
Тобиас РОДЕНФЕЛЬС
Original Assignee
Бёрингер Ингельхайм Майкропартс Гмбх (De)
Бёрингер Ингельхайм Майкропартс Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=39884358&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2010154517(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Бёрингер Ингельхайм Майкропартс Гмбх (De), Бёрингер Ингельхайм Майкропартс Гмбх filed Critical Бёрингер Ингельхайм Майкропартс Гмбх (De)
Publication of RU2010154517A publication Critical patent/RU2010154517A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2515287C2 publication Critical patent/RU2515287C2/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502738—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by integrated valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/02—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
    • B29C65/18—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure using heated tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/01—General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
    • B29C66/05—Particular design of joint configurations
    • B29C66/10—Particular design of joint configurations particular design of the joint cross-sections
    • B29C66/11—Joint cross-sections comprising a single joint-segment, i.e. one of the parts to be joined comprising a single joint-segment in the joint cross-section
    • B29C66/112—Single lapped joints
    • B29C66/1122—Single lap to lap joints, i.e. overlap joints
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/01—General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
    • B29C66/32—Measures for keeping the burr form under control; Avoiding burr formation; Shaping the burr
    • B29C66/328—Leaving the burrs unchanged for providing particular properties to the joint, e.g. as decorative effect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/50—General aspects of joining tubular articles; General aspects of joining long products, i.e. bars or profiled elements; General aspects of joining single elements to tubular articles, hollow articles or bars; General aspects of joining several hollow-preforms to form hollow or tubular articles
    • B29C66/51—Joining tubular articles, profiled elements or bars; Joining single elements to tubular articles, hollow articles or bars; Joining several hollow-preforms to form hollow or tubular articles
    • B29C66/53—Joining single elements to tubular articles, hollow articles or bars
    • B29C66/534—Joining single elements to open ends of tubular or hollow articles or to the ends of bars
    • B29C66/5346—Joining single elements to open ends of tubular or hollow articles or to the ends of bars said single elements being substantially flat
    • B29C66/53461—Joining single elements to open ends of tubular or hollow articles or to the ends of bars said single elements being substantially flat joining substantially flat covers and/or substantially flat bottoms to open ends of container bodies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/70—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material
    • B29C66/72—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the structure of the material of the parts to be joined
    • B29C66/723—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the structure of the material of the parts to be joined being multi-layered
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06—Fluid handling related problems
    • B01L2200/0689—Sealing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0887—Laminated structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
    • B01L2400/0406—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces capillary forces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
    • B01L2400/0442—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces thermal energy, e.g. vaporisation, bubble jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/06—Valves, specific forms thereof
    • B01L2400/0633—Valves, specific forms thereof with moving parts
    • B01L2400/0638—Valves, specific forms thereof with moving parts membrane valves, flap valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/06—Valves, specific forms thereof
    • B01L2400/0688—Valves, specific forms thereof surface tension valves, capillary stop, capillary break
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/08—Regulating or influencing the flow resistance
    • B01L2400/082—Active control of flow resistance, e.g. flow controllers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/50273—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means or forces applied to move the fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502746—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means for controlling flow resistance, e.g. flow controllers, baffles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/70—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material
    • B29C66/71—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the composition of the plastics material of the parts to be joined
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/81—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps
    • B29C66/814—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps
    • B29C66/8141—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the surface geometry of the part of the pressing elements, e.g. welding jaws or clamps, coming into contact with the parts to be joined
    • B29C66/81411—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the surface geometry of the part of the pressing elements, e.g. welding jaws or clamps, coming into contact with the parts to be joined characterised by its cross-section, e.g. transversal or longitudinal, being non-flat
    • B29C66/81415—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the surface geometry of the part of the pressing elements, e.g. welding jaws or clamps, coming into contact with the parts to be joined characterised by its cross-section, e.g. transversal or longitudinal, being non-flat being bevelled
    • B29C66/81419—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the surface geometry of the part of the pressing elements, e.g. welding jaws or clamps, coming into contact with the parts to be joined characterised by its cross-section, e.g. transversal or longitudinal, being non-flat being bevelled and flat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/81—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps
    • B29C66/814—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps
    • B29C66/8141—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the surface geometry of the part of the pressing elements, e.g. welding jaws or clamps, coming into contact with the parts to be joined
    • B29C66/81411—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the surface geometry of the part of the pressing elements, e.g. welding jaws or clamps, coming into contact with the parts to be joined characterised by its cross-section, e.g. transversal or longitudinal, being non-flat
    • B29C66/81421—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the surface geometry of the part of the pressing elements, e.g. welding jaws or clamps, coming into contact with the parts to be joined characterised by its cross-section, e.g. transversal or longitudinal, being non-flat being convex or concave
    • B29C66/81422—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the design of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps characterised by the surface geometry of the part of the pressing elements, e.g. welding jaws or clamps, coming into contact with the parts to be joined characterised by its cross-section, e.g. transversal or longitudinal, being non-flat being convex or concave being convex
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/81—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps
    • B29C66/818—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the cooling constructional aspects, or by the thermal or electrical insulating or conducting constructional aspects of the welding jaws or of the clamps ; comprising means for compensating for the thermal expansion of the welding jaws or of the clamps
    • B29C66/8181—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the cooling constructional aspects, or by the thermal or electrical insulating or conducting constructional aspects of the welding jaws or of the clamps ; comprising means for compensating for the thermal expansion of the welding jaws or of the clamps characterised by the cooling constructional aspects
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/83—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof characterised by the movement of the joining or pressing tools
    • B29C66/832—Reciprocating joining or pressing tools
    • B29C66/8322—Joining or pressing tools reciprocating along one axis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2031/00—Other particular articles
    • B29L2031/756—Microarticles, nanoarticles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)

Abstract

1. Микрофлюидальная структура, включающая подложку (1) и пленку (2), прикрепленную по плоскости к подложке (1) с неприкрепленными частями (25) так, что над плоскостью (21) подложки в неприкрепленной части (25) сформированы камера (6) или канал (5), отличающаяся тем, что пленка (2) является многослойной пленкой, в частности двухслойной пленкой, включающей герметизирующий слой (4), расположенный на подложке, и покрывающий слой (3), расположенный над ним, причем температура плавления и/или размягчения герметизирующего слоя (4) ниже, чем у покрывающего слоя (3), а в области кромки между неприкрепленной частью (25) и прикрепленной частью (24) за счет вязкого течения материала пленки в процессе прикрепления пленки (2) к подожке (1) сформирован клин материала (11), образующий переход между стенкой камеры и подложкой (1) и поднимающий стенку камеры от плоскости (21) подложки. ! 2. Микрофлюидальная структура по п.1, отличающаяся тем, что температура размягчения герметизирующего слоя (4) составляет от 60°C до 200°C, в частности от 85°C до 110°C, а температура размягчения покрывающего слоя (3) составляет от 150°C до 350°C, в частности от 200°C до 300°C. ! 3. Микрофлюидальная структура по п.1, отличающаяся тем, что камерой (6) и (или) каналами (5) над плоскостью подложки формируется микрофлюидальная цепь. ! 4. Микрофлюидальная структура по п.1, отличающаяся тем, что в подложке (1) сформированы углубления (22) в форме каналов (5), и камера (6) или канал (5) в пленке прикрывают один конец отрезка (5) канала в подложке, а стенки отрезка канала в подложке (1) образуют уступ перед камерой (6) или перед каналом (5) в пленке (2). ! 5. Микрофлюидальная структура по одному из пп.3 или 4, отличающаяся тем, что кам�

Claims (15)

1. Микрофлюидальная структура, включающая подложку (1) и пленку (2), прикрепленную по плоскости к подложке (1) с неприкрепленными частями (25) так, что над плоскостью (21) подложки в неприкрепленной части (25) сформированы камера (6) или канал (5), отличающаяся тем, что пленка (2) является многослойной пленкой, в частности двухслойной пленкой, включающей герметизирующий слой (4), расположенный на подложке, и покрывающий слой (3), расположенный над ним, причем температура плавления и/или размягчения герметизирующего слоя (4) ниже, чем у покрывающего слоя (3), а в области кромки между неприкрепленной частью (25) и прикрепленной частью (24) за счет вязкого течения материала пленки в процессе прикрепления пленки (2) к подожке (1) сформирован клин материала (11), образующий переход между стенкой камеры и подложкой (1) и поднимающий стенку камеры от плоскости (21) подложки.
2. Микрофлюидальная структура по п.1, отличающаяся тем, что температура размягчения герметизирующего слоя (4) составляет от 60°C до 200°C, в частности от 85°C до 110°C, а температура размягчения покрывающего слоя (3) составляет от 150°C до 350°C, в частности от 200°C до 300°C.
3. Микрофлюидальная структура по п.1, отличающаяся тем, что камерой (6) и (или) каналами (5) над плоскостью подложки формируется микрофлюидальная цепь.
4. Микрофлюидальная структура по п.1, отличающаяся тем, что в подложке (1) сформированы углубления (22) в форме каналов (5), и камера (6) или канал (5) в пленке прикрывают один конец отрезка (5) канала в подложке, а стенки отрезка канала в подложке (1) образуют уступ перед камерой (6) или перед каналом (5) в пленке (2).
5. Микрофлюидальная структура по одному из пп.3 или 4, отличающаяся тем, что камера (6) или канал (5) прикрывают сквозное окно (8), в частности поперечное отверстие (8) в подложке (1), и наружная кромка камеры (6) расположена над поперечным отверстием (8) так, что между стенкой камеры и кромкой (12) уступа образуется капиллярный зазор от 1 до 20 мкм, в частности от 3 до 10 мкм, и (или) канал (5) открывается в поперечное отверстие (8) сверху и снизу, и (или) пленки (2) расположены сверху и снизу подложки.
6. Микрофлюидальная структура по п.1, отличающаяся тем, что камера (6) и (или) канал (5) имеют дискообразное поперечное сечение, в частности, в форме сегмента сферы, причем ширина сечения по меньшей мере в 20 раз больше высоты сечения, а угол, сформированный между стенкой камеры в области кромки поперечного сечения и плоскостью подложки (21), составляет от 1° до 20°, в частности от 5° до 12°.
7. Микрофлюидальная структура по п.6, отличающаяся тем, что высота камеры составляет от 10 до 15 мкм в первой области поперечного сечения в наивысшей точке (13) камеры, 5-10 мкм во второй области поперечного сечения между наивысшей точкой (13) и кромкой и от 0,1 до 5 мкм в третьей области кромки так, что в результате изменяющейся высоты поперечного сечения частицы жидкой крови различных размеров распределяются по различным областям потока, благодаря чему красные кровяные тельца протекают преимущественно в первой области, тромбоциты протекают преимущественно во второй области, а плазма крови протекает преимущественно в третьей области.
8. Микрофлюидальная структура по п.6, отличающаяся тем, что центр (13) свода или купола относительно плоскости (21) подложки понижен относительно наружной области так, что расстояние плоскости (21) подложки от центра купола меньше половины максимального вертикального расстояния между стенкой купола и плоскостью (21) подложки, а сквозное окно (8), в частности поперечное отверстие (8), расположено под куполом (13) камеры так, что опущенный центр купола действует как точка создания капилляра.
9. Микрофлюидальная структура по п.4, отличающаяся тем, что кромка (12) уступа формирует капиллярный барьер, в то время как активизацией гибкой стенки камеры зазор между стенкой камеры и краем уступа может быть изменен так, что зазор смачивается.
10. Микрофлюидальная структура по п.6, отличающаяся тем, что по меньшей мере два конца канала, сформированные в подложке, покрыты куполообразной камерой, и подложка (1) имеет углубление (22) в области под неприкрепленной пленкой, в частности, снизу подложки, удаленное от пленки и имеющее форму клина, или сферы, или полусферы, или прямоугольную.
11. Микрофлюидальная структура по п.10, отличающаяся тем, что подложка (1) обладает гибкостью, в частности, может быть подвергнута напряжениям изгиба, в частности, может быть упруго изогнута в противоположные стороны в клиновой области, и подложка (1) включает средства для механического зажима, которые являются направляющими и контактными точками (23).
12. Микрофлюидальная структура по п.1, отличающаяся тем, что материал подложки обладает эластичностью, причем толщина подложки уменьшена вдоль части протяженности камеры и (или) канала так, что эта область деформируется при уменьшенной изгибающей силе, в частности, вызывает изменение поперечного сечения камеры или канала для текучей среды в пленке, и под подложкой (1) расположен опорный элемент (26), в частности упор для поддерживания подложки с уменьшенной толщиной так, чтобы в канале для текучей среды формировалось сужение, которое может регулироваться изгибом структуры.
13. Способ изготовления микрофлюидальной структуры, имеющей конструкцию, в частности, в соответствии с предыдущими пунктами, в которой плоская планарная пленка (2) ламинирована на плоскую листообразную подложку (1), отличающийся тем, что для ламинирования прижимают шаблон (31), имеющий по меньшей мере одно углубление (22) или отверстие, на пленку (2) на подложке под давлением и (или) под действием тепла, благодаря чему пленку доводят до по меньшей мере температуры, при которой происходит вязкое течение пленки и (или) среды подложки в область углубления или окна так, что образуется клин материала (11), и пленка вспучивается в области углубления, формируя камеру.
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что на подложку ламинируется по меньшей мере двухслойная пленка (2), причем слой пленки, прилегающий к подложке, в частности герметизирующий слой (4), имеет более низкую температуру размягчения и (или) температуру плавления, чем наружная закрывающая пленка (3), и при ламинировании устанавливают температуру, близкую к температуре плавления и (или) размягчения герметизирующей пленки (4), при этом температура ламинирования составляет от 70°C до 350°C, в частности от 120°C до 150°C.
15. Способ по любому из пп.13 или 14, отличающийся тем, что пленку (2) ламинируют на подложку (1) с использованием шаблона в форме роликовой волоки и (или) пластинчатого шаблона (31) и (или) пленки ламинируют на подложку посредством шаблона в форме матричного пресса для ламинирования.
RU2010154517/05A 2008-06-02 2009-06-02 Микрофлюидаоьная тонкопленочная структура для дозирования текучих сред RU2515287C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP20080010082 EP2138233B1 (de) 2008-06-02 2008-06-02 Mikrofluidische Folienstruktur zum Dosierren von Flüssigkeiten
EP08010082.9 2008-06-02
PCT/EP2009/003908 WO2009156045A2 (en) 2008-06-02 2009-06-02 Microfluidic foil structure for metering of fluids

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010154517A true RU2010154517A (ru) 2012-07-20
RU2515287C2 RU2515287C2 (ru) 2014-05-10

Family

ID=39884358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010154517/05A RU2515287C2 (ru) 2008-06-02 2009-06-02 Микрофлюидаоьная тонкопленочная структура для дозирования текучих сред

Country Status (19)

Country Link
US (1) US8580209B2 (ru)
EP (1) EP2138233B1 (ru)
JP (1) JP5436550B2 (ru)
KR (1) KR101566182B1 (ru)
CN (1) CN102112229B (ru)
AT (1) ATE485101T1 (ru)
AU (1) AU2009262555B2 (ru)
BR (1) BRPI0913340B1 (ru)
CA (1) CA2726219C (ru)
CL (1) CL2010001328A1 (ru)
DE (1) DE502008001596D1 (ru)
DK (1) DK2138233T3 (ru)
ES (1) ES2352581T3 (ru)
IL (1) IL209405A (ru)
MX (1) MX2010013204A (ru)
NZ (1) NZ589466A (ru)
RU (1) RU2515287C2 (ru)
WO (1) WO2009156045A2 (ru)
ZA (1) ZA201008267B (ru)

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5582049B2 (ja) * 2010-05-31 2014-09-03 横河電機株式会社 化学処理用カートリッジシステム
US20110312746A1 (en) 2010-06-17 2011-12-22 Geneasys Pty Ltd Microfluidic device with chemical lysis section
WO2012004423A1 (es) * 2010-07-07 2012-01-12 Ikerlan, S.Coop Método de fabricación de dispositivos microfluidicos.
US9522520B2 (en) * 2010-09-01 2016-12-20 Boehringer Ingelheim Microparts Gmbh Process for producing a microfluidic apparatus and related laminating devices
US20130327672A1 (en) * 2010-11-10 2013-12-12 Boehringer Ingelheim Microparts Gmbh Blister packaging for liquid and use thereof and method for supplying a liquid to a fluidic assembly
DE102010061909A1 (de) 2010-11-24 2012-05-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Fluidischer Aktor mit verformbarer Verschlussanordnung und langer Lagerfähigkeit
DE102011003856B4 (de) 2011-02-09 2020-06-18 Robert Bosch Gmbh Mikrosystem für fluidische Anwendungen sowie Herstellungsverfahren und Benutzungsverfahren für ein Mikrosystem für fluidische Anwendungen
AU2012214157A1 (en) * 2011-02-11 2013-08-29 Code Footwear, Llc Reconfigurable apparel manufacture and business processes
US9901924B2 (en) * 2011-07-14 2018-02-27 Enplas Corporation Fluid handling device, fluid handling method, and fluid handling system
US20130090633A1 (en) * 2011-10-07 2013-04-11 University Of Southern California Osmotic patch pump
CN103127971B (zh) * 2011-12-02 2016-04-20 国家纳米科学中心 一种微流控管道及其制备方法
EP2802417B1 (en) * 2012-01-09 2019-05-15 Micronics, Inc. Microfluidic reactor system
EP2626133A1 (en) * 2012-02-10 2013-08-14 Chemtrix B.V. Micro-fluidic system
TWI481446B (zh) * 2012-09-17 2015-04-21 Univ Nat Taiwan 數位微流體操控裝置及操控方法
KR101402730B1 (ko) * 2012-09-28 2014-06-11 연세대학교 산학협력단 미세 유체 소자, 이의 제조방법, 및 이를 포함하는 바이오 분석 플랫폼
US20140322706A1 (en) 2012-10-24 2014-10-30 Jon Faiz Kayyem Integrated multipelx target analysis
JP6466336B2 (ja) 2012-10-24 2019-02-06 ジェンマーク ダイアグノスティクス， インコーポレイテッド 一体型多重標的分析
JP6363093B2 (ja) * 2012-12-13 2018-07-25 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． 流体ストップを備える流体システム
US9453613B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Genmark Diagnostics, Inc. Apparatus, devices, and methods for manipulating deformable fluid vessels
DE102013207683A1 (de) 2013-04-26 2014-11-13 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer mikrofluidischen Analysekartusche
US9498778B2 (en) 2014-11-11 2016-11-22 Genmark Diagnostics, Inc. Instrument for processing cartridge for performing assays in a closed sample preparation and reaction system
USD881409S1 (en) 2013-10-24 2020-04-14 Genmark Diagnostics, Inc. Biochip cartridge
EP3071329B1 (en) * 2013-11-22 2019-11-06 Rheonix, Inc. Channel-less pump, methods, and applications thereof
GB2548943B8 (en) * 2014-06-05 2021-02-03 Hitachi High Tech Corp Device for storing biochemical reagents, and biochemical analyzer
WO2015191406A1 (en) * 2014-06-13 2015-12-17 Mcneely Michael Ryan Capillary pressure re-set mechanism and applications
US11305236B2 (en) 2014-06-13 2022-04-19 Gattaco Inc. Surface tension driven filtration
DE102014216391A1 (de) 2014-08-19 2016-02-25 Robert Bosch Gmbh Reagenzienvorlagerung mit definierter Entnahme
DE102015101425B4 (de) * 2014-10-31 2018-02-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung eines Bauelements auf Basis eines strukturierbaren Substrats mit dreidimensionaler, Poren im nm-Bereich aufweisender Membranstruktur
US10005080B2 (en) 2014-11-11 2018-06-26 Genmark Diagnostics, Inc. Instrument and cartridge for performing assays in a closed sample preparation and reaction system employing electrowetting fluid manipulation
US9598722B2 (en) 2014-11-11 2017-03-21 Genmark Diagnostics, Inc. Cartridge for performing assays in a closed sample preparation and reaction system
US9931632B2 (en) * 2014-12-02 2018-04-03 Koninklijke Philips N.V. Dispersion and accumulation of magnetic particles in a microfluidic system
US10758900B2 (en) 2015-03-06 2020-09-01 David James Saul Method and device for preparing and extracting a biomolecule
US9914116B2 (en) * 2015-09-10 2018-03-13 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Microelement
CN108139419B (zh) * 2015-10-23 2021-03-19 国立研究开发法人科学技术振兴机构 纳米流体设备以及化学分析装置
FR3051195B1 (fr) * 2016-05-11 2018-05-18 Universite Grenoble Alpes Puce de co-culture cellulaire et son procede de fabrication
EP3263215B1 (de) * 2016-06-30 2021-04-28 ThinXXS Microtechnology AG Vorrichtung mit einer flusszelle mit reagenzspeicher
JP6981762B2 (ja) * 2016-08-08 2021-12-17 株式会社エンプラス 流体取扱装置および流体取扱方法
EP3523028B1 (en) * 2016-10-07 2020-08-19 Boehringer Ingelheim Vetmedica GmbH Cartridge for testing an in particular biological sample
CN106434282B (zh) * 2016-10-27 2018-12-07 杭州安誉科技有限公司 微型流体液泡挤压机构
DE102017010071A1 (de) 2016-11-02 2018-05-03 Mann+Hummel Gmbh Einheit zum Regeln oder Steuern eines Fluiddrucks
DE102016013010A1 (de) * 2016-11-02 2018-05-03 Mann + Hummel Gmbh Einheit zum Regeln oder Steuern eines Fluiddrucks
DE102017010018A1 (de) * 2016-11-02 2018-05-03 Mann + Hummel Gmbh Einheit zum Regeln oder Steuern eines Fluiddrucks
CN106949629A (zh) * 2017-04-28 2017-07-14 陈钦诚 即时水流加热体的导流板结构
NL2019044B1 (en) 2017-05-11 2018-11-15 Illumina Inc Protective surface coatings for flow cells
US10448183B2 (en) * 2017-07-27 2019-10-15 Bose Corporation Method of fabricating a miniature device having an acoustic diaphragm
CA3091580A1 (en) * 2018-03-02 2019-09-06 National Research Council Of Canada Polymeric microfluidic valve
CN110240112B (zh) * 2018-03-09 2022-08-19 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 薄膜驱动结构、薄膜驱动结构的制造方法及喷墨装置
DE102018204633A1 (de) * 2018-03-27 2019-10-02 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidische Vorrichtung und Verfahren zum Prozessieren einer Flüssigkeit
CN109695747B (zh) * 2019-01-25 2021-01-26 京东方科技集团股份有限公司 数字逻辑执行器、数字逻辑执行方法及喷墨打印设备
JP2020138283A (ja) * 2019-02-28 2020-09-03 株式会社エンプラス 流体取扱装置の製造方法
CN109781954B (zh) * 2019-03-06 2021-07-20 山东清风环境检测有限公司 一种自动化污水水质检测仪
TW202128281A (zh) * 2019-12-30 2021-08-01 美商伊路米納有限公司 與流動池一同使用之致動系統及方法
CA3165851A1 (en) * 2020-01-14 2021-07-22 miDiagnostics NV Microfluidic arrangement for capillary driven fluidic connection
US11221285B2 (en) * 2020-01-31 2022-01-11 The Boeing Company System and method for inspecting secondary bonds in laminated parts
JP2022049382A (ja) * 2020-09-16 2022-03-29 株式会社エンプラス 流体取扱装置および流体取扱装置の製造方法
CN112452365B (zh) * 2020-11-23 2021-12-07 无锡市夸克微智造科技有限责任公司 微加工流体装置
WO2023170153A1 (de) * 2022-03-09 2023-09-14 Hnp Mikrosysteme Gmbh Fluidisches system und verfahren zum betreiben eines fluidischen systems

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU975056A1 (ru) * 1981-03-18 1982-11-23 Предприятие П/Я М-5534 Автоматическа бюретка-дозатор
FI844320A (fi) * 1984-11-02 1986-05-03 Labsystems Oy Utspaedningsdoseringsanordning.
EP0418836A3 (en) * 1989-09-22 1991-11-21 Hercules Incorporated Multilayer oriented film containing polypropylene and co-polyester
TW313588B (ru) * 1992-10-23 1997-08-21 Eastman Kodak Co
DK24493D0 (ru) 1993-03-05 1993-03-05 Novo Nordisk As
WO1997010435A2 (de) * 1995-09-15 1997-03-20 Institut Für Mikro- Und Informationstechnik Hahn-Schickard-Gesellschaft Rückschlagventillose fluidpumpe
US5753429A (en) * 1996-08-09 1998-05-19 Lifescan, Inc. Analyte concentration measurement using a hollow frustum
US6293012B1 (en) 1997-07-21 2001-09-25 Ysi Incorporated Method of making a fluid flow module
US5932799A (en) * 1997-07-21 1999-08-03 Ysi Incorporated Microfluidic analyzer module
FR2795476B1 (fr) * 1999-06-22 2001-07-27 Biomerieux Sa Vanne permettant de diriger un fluide dans une carte d'analyse
US6428901B1 (en) * 1999-12-20 2002-08-06 Exxonmobil Chemical Patents Inc. Films formed from blends of polyethylene and polypropylene
US6734401B2 (en) * 2000-06-28 2004-05-11 3M Innovative Properties Company Enhanced sample processing devices, systems and methods
AU2002253781A1 (en) * 2000-11-06 2002-07-24 Nanostream Inc. Microfluidic flow control devices
JP4248238B2 (ja) * 2001-01-08 2009-04-02 プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ マイクロ流体システム用の弁およびポンプならびにマイクロ流体システムを作製するための方法
JP3949056B2 (ja) 2001-04-03 2007-07-25 マイクロニクス， インコーポレイテッド スプリット集中サイトメーター
JP3777112B2 (ja) * 2001-11-02 2006-05-24 財団法人川村理化学研究所 マイクロ流体デバイス及びその製造方法
GB0128350D0 (en) * 2001-11-27 2002-01-16 Lab901 Ltd Non-rigid apparatus for microfluidic applications
GB0303920D0 (en) * 2003-02-21 2003-03-26 Sophion Bioscience As Capillary stop
US7832429B2 (en) 2004-10-13 2010-11-16 Rheonix, Inc. Microfluidic pump and valve structures and fabrication methods
US20080280112A1 (en) * 2005-09-09 2008-11-13 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Method fo Manufacturing a Microsystem, Such a Microsystem, a Stack of Foils Comprising Such a Microsystem, an Electronic Device Comprising Such a Microsystem and Use of the Electronic Device
GB2445738A (en) * 2007-01-16 2008-07-23 Lab901 Ltd Microfluidic device
JP2008284626A (ja) * 2007-05-16 2008-11-27 Miraial Kk マイクロ流路デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
CN102112229B (zh) 2014-08-06
EP2138233A1 (de) 2009-12-30
ATE485101T1 (de) 2010-11-15
WO2009156045A3 (en) 2010-03-18
WO2009156045A2 (en) 2009-12-30
KR101566182B1 (ko) 2015-11-05
CA2726219A1 (en) 2009-12-30
RU2515287C2 (ru) 2014-05-10
US20110135546A1 (en) 2011-06-09
DK2138233T3 (da) 2011-01-31
CN102112229A (zh) 2011-06-29
CA2726219C (en) 2016-03-15
ES2352581T3 (es) 2011-02-21
NZ589466A (en) 2013-08-30
JP5436550B2 (ja) 2014-03-05
ZA201008267B (en) 2011-07-27
BRPI0913340A2 (pt) 2015-11-24
MX2010013204A (es) 2011-02-25
JP2011524815A (ja) 2011-09-08
EP2138233B1 (de) 2010-10-20
KR20110021999A (ko) 2011-03-04
CL2010001328A1 (es) 2011-06-10
WO2009156045A4 (en) 2010-05-20
IL209405A (en) 2016-07-31
IL209405A0 (en) 2011-01-31
DE502008001596D1 (de) 2010-12-02
BRPI0913340B1 (pt) 2019-06-25
AU2009262555B2 (en) 2015-05-07
AU2009262555A1 (en) 2009-12-30
US8580209B2 (en) 2013-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010154517A (ru) Микрофлюидальная тонкопленочная структура для дозирования текучих сред
CN101356441B (zh) 流通池及其制造方法
US10898893B2 (en) Devices for and methods of forming microchannels or microfluidic reservoirs
US9522520B2 (en) Process for producing a microfluidic apparatus and related laminating devices
EP2014366A3 (en) Microfluidic chip and method of fabricating the same
US9233369B2 (en) Fluidic devices and fabrication methods for microfluidics
KR102615349B1 (ko) 핀치 흐름 조정기
DE602008000830D1 (de) Herstellungsverfahren einer Mikrofluid-Komponente, die mindestens einen mit Nanostrukturen gefüllten Mikrokanal umfasst
FR2998564B1 (fr) Substrat muni d'un empilement a couche metallique partielle, vitrage, utilisation et procede.
CN105728070A (zh) 一种用于微流控芯片的载体
WO2006061026A3 (en) A micro fluidic device and methods for producing a micro fluidic device
US9295989B2 (en) Channel device
CN108534574A (zh) 散热装置的中间件及其散热装置
TW200722702A (en) Heat pipe and method for manufacturing the same
US20150253274A1 (en) Hydrophilic film, method of manufacturing thereof, and biosensor having the hydrophilic film
TWI344863B (en) Slit nozzle
US8691367B2 (en) Micro channel structure body and method of manufacturing micro channel structure body
JP4943776B2 (ja) マイクロチッププレート
JP6810993B2 (ja) 埋め込み機能構造を有する金属複合材料の製造方法および対応する金属複合材料
KR100791363B1 (ko) 미세유로 형성물 및 미세유체소자 제조방법
RU2019106227A (ru) Плоское устройство с гибридным уплотнением, содержащее по меньшей мере один высокотемпературный электрохимический элемент и гибридное уплотнение
TWI642892B (zh) 散熱單元之直通結構
WO2016190939A3 (en) Fluidic device for quantifying the dynamic permeability and hydraulic conductivity of living tissue layers
US20190062691A1 (en) Filter device for capturing target cell and target cell collecting method using the same
JP2001284603A5 (ru)