RU2010148780A - СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ - Google Patents
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010148780A RU2010148780A RU2010148780/02A RU2010148780A RU2010148780A RU 2010148780 A RU2010148780 A RU 2010148780A RU 2010148780/02 A RU2010148780/02 A RU 2010148780/02A RU 2010148780 A RU2010148780 A RU 2010148780A RU 2010148780 A RU2010148780 A RU 2010148780A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- water
- reactive
- producing
- molten material
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4404—Coatings or surface treatment on the inside of the reaction chamber or on parts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/06—Metallic material
- C23C4/067—Metallic material containing free particles of non-metal elements, e.g. carbon, silicon, boron, phosphorus or arsenic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/06—Metallic material
- C23C4/08—Metallic material containing only metal elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
- C23C4/123—Spraying molten metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
- C23C4/129—Flame spraying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
- C23C4/131—Wire arc spraying
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
1. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что состав данного материала становится однородным; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии электродугового напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах. ! 2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.%, и добавленный Si, включая Si в виде примеси исходного Al материала, в общем количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что полученный расплавленный материал имеет однородный состав; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии электродугового напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах. ! 3. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен реагирующей с водой Al пленкой, полученной по способу, по п.1 или 2. ! 4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры по п.3, где данный составляющий элемент представляет
Claims (4)
1. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что состав данного материала становится однородным; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии электродугового напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах.
2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.%, и добавленный Si, включая Si в виде примеси исходного Al материала, в общем количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что полученный расплавленный материал имеет однородный состав; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии электродугового напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах.
3. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен реагирующей с водой Al пленкой, полученной по способу, по п.1 или 2.
4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры по п.3, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008-118856 | 2008-04-30 | ||
| JP2008118856 | 2008-04-30 | ||
| PCT/JP2009/058260 WO2009133841A1 (ja) | 2008-04-30 | 2009-04-27 | 水反応性Ａｌ膜の製造方法及び成膜室用構成部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010148780A true RU2010148780A (ru) | 2012-06-10 |
| RU2468119C2 RU2468119C2 (ru) | 2012-11-27 |
Family
ID=41255057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010148780/02A RU2468119C2 (ru) | 2008-04-30 | 2009-04-27 | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8596216B2 (ru) |
| EP (1) | EP2280091B9 (ru) |
| JP (1) | JP5371966B2 (ru) |
| KR (1) | KR20100136560A (ru) |
| CN (1) | CN102016099B (ru) |
| MY (1) | MY150439A (ru) |
| RU (1) | RU2468119C2 (ru) |
| SG (1) | SG189753A1 (ru) |
| TW (1) | TWI464300B (ru) |
| WO (1) | WO2009133841A1 (ru) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102016100B (zh) * | 2008-04-30 | 2013-04-10 | 株式会社爱发科 | 水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件 |
| CN103228814B (zh) * | 2010-08-27 | 2015-04-01 | 株式会社爱发科 | 水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件 |
| US20150060263A1 (en) * | 2012-03-29 | 2015-03-05 | Toray Industries, Inc. | Vacuum film deposition device and vacuum film deposition method |
| ITBA20130034A1 (it) * | 2013-04-30 | 2014-10-31 | Mrs S R L | Metodo per la pulizia di superfici in apparati di deposizione di film sottili da fase vapore e per il recupero del materiale rimosso |
| CN106222617A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-12-14 | 武汉华星光电技术有限公司 | 用于镀膜设备的防着板结构及其制造方法、镀膜设备 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3974055A (en) | 1974-12-23 | 1976-08-10 | The Dow Chemical Company | Aluminum alloy anode composition |
| JPS58171545A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-08 | Daido Metal Kogyo Kk | アルミニウム軸受合金 |
| DE69102422T2 (de) * | 1990-01-18 | 1994-10-27 | Allied Signal Inc | Bogenspritzen von rasch abgekühlten aluminiumlegierungen. |
| US5421865A (en) * | 1993-10-29 | 1995-06-06 | United Technologies Corporation | Water based silicone coating compositions |
| JPH1030896A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-03 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高耐食性アルミニウムチューブの製造方法および前記方法により製造された高耐食性アルミニウムチューブ |
| US6132805A (en) * | 1998-10-20 | 2000-10-17 | Cvc Products, Inc. | Shutter for thin-film processing equipment |
| RU2213802C2 (ru) * | 2001-09-28 | 2003-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" | Способ нанесения покрытий на сплавы |
| RU2212473C1 (ru) * | 2002-01-24 | 2003-09-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" | Способ нанесения покрытий на сплавы |
| JP4653406B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2011-03-16 | 株式会社アルバック | 水崩壊性Ａｌ複合材料、水崩壊性Ａｌ溶射膜、及び水崩壊性Ａｌ粉の製造方法、並びに成膜室用構成部材及び成膜材料の回収方法 |
| JP2006002223A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 耐食性被膜 |
| WO2006003772A1 (ja) | 2004-07-06 | 2006-01-12 | Mitsubishi Corporation | 炭素繊維Ｔｉ－Ａｌ複合材料及びその製造方法 |
| JP4970887B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2012-07-11 | 株式会社アルバック | 装置構成部品の再生方法 |
| CN100480427C (zh) * | 2006-11-08 | 2009-04-22 | 东莞万利信新材料元件有限公司 | 一种抑制电解电容器铝箔氧化膜和水反应的处理工艺及检验方法 |
-
2009
- 2009-04-27 SG SG2013025531A patent/SG189753A1/en unknown
- 2009-04-27 KR KR1020107026607A patent/KR20100136560A/ko active Search and Examination
- 2009-04-27 US US12/990,152 patent/US8596216B2/en active Active
- 2009-04-27 EP EP09738778A patent/EP2280091B9/en not_active Not-in-force
- 2009-04-27 RU RU2010148780/02A patent/RU2468119C2/ru active
- 2009-04-27 MY MYPI20104887 patent/MY150439A/en unknown
- 2009-04-27 WO PCT/JP2009/058260 patent/WO2009133841A1/ja active Application Filing
- 2009-04-27 JP JP2010510111A patent/JP5371966B2/ja active Active
- 2009-04-27 CN CN2009801154076A patent/CN102016099B/zh active Active
- 2009-04-29 TW TW098114186A patent/TWI464300B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2280091A1 (en) | 2011-02-02 |
| RU2468119C2 (ru) | 2012-11-27 |
| TWI464300B (zh) | 2014-12-11 |
| TW201009120A (en) | 2010-03-01 |
| CN102016099B (zh) | 2012-10-10 |
| WO2009133841A1 (ja) | 2009-11-05 |
| US8596216B2 (en) | 2013-12-03 |
| EP2280091A4 (en) | 2011-04-20 |
| MY150439A (en) | 2014-01-30 |
| JPWO2009133841A1 (ja) | 2011-09-01 |
| EP2280091B1 (en) | 2012-08-08 |
| US20110041762A1 (en) | 2011-02-24 |
| SG189753A1 (en) | 2013-05-31 |
| EP2280091B9 (en) | 2013-03-27 |
| CN102016099A (zh) | 2011-04-13 |
| KR20100136560A (ko) | 2010-12-28 |
| JP5371966B2 (ja) | 2013-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2010148780A (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| RU2010148765A (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| RU2010148778A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| CN106047159B (zh) | 一种基于有机硅树脂的耐高温材料 | |
| RU2010148776A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| UA94185C2 (en) | Coffee composition | |
| MY150769A (en) | Bis(aminophenol) derivative, process for producing the same, polyamide resin, positive photosensitive resin composition, protective film, interlayer dielectric, semiconductor device, and display element | |
| MY147428A (en) | Method for retarding the setting of mortar and concrete surfaces | |
| JP5552435B2 (ja) | Ｂｓａｓ粉末 | |
| WO2014150394A3 (en) | Non-stoichiometric ceramic matrix composites and methods for producing non-stoichiometric ceramic matrix composites | |
| EA200900810A1 (ru) | Способ получения равномерно кристаллизованных гранулятов из поликонденсата | |
| MY157422A (en) | Water-reactive al-based thermally sprayed film, process for production of such al-based thermally sprayed film, and constituent member for film-forming chamber | |
| JP2015034281A5 (ru) | ||
| RU2013148634A (ru) | Композиции алюминиевых сплавов и способы их литья под давлением | |
| RU2010148774A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| CN103241953A (zh) | 一种镀膜玻璃的生产方法 | |
| TW200714722A (en) | Chalcogenide PVD components and methods of formation | |
| WO2008096411A1 (ja) | 鉄系合金の半凝固スラリーの製造方法及び製造装置 | |
| RU2010148772A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ КАМЕРЫ ДЛЯ ОБРАЗОВАНИЯ ПЛЕНКИ | |
| JP2014223795A (ja) | 部品の製造方法 | |
| CN109866484B (zh) | 带净化功能的杀菌电热膜制备方法 | |
| Wiegand et al. | Synthesis and characterization of (Na0. 5K0. 5) NbO3 (NKN) thin films formed by a diol-based sol-gel process | |
| RU2015102757A (ru) | Теплозащитный материал | |
| CN109400022A (zh) | 一种超大体积高强度低水化热混凝土 | |
| JP2021161372A (ja) | アスファルト混合物、アスファルト混合物の製造方法、舗装方法、硬化物、及び硬化物の製造方法 |