RU2010148780A - СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ - Google Patents

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ Download PDF

Info

Publication number
RU2010148780A
RU2010148780A RU2010148780/02A RU2010148780A RU2010148780A RU 2010148780 A RU2010148780 A RU 2010148780A RU 2010148780/02 A RU2010148780/02 A RU 2010148780/02A RU 2010148780 A RU2010148780 A RU 2010148780A RU 2010148780 A RU2010148780 A RU 2010148780A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
film
water
reactive
producing
molten material
Prior art date
Application number
RU2010148780/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2468119C2 (ru
Inventor
Ютака КАДОВАКИ (JP)
Ютака КАДОВАКИ
Томоко САИТОУ (JP)
Томоко САИТОУ
Кэн Вэн ЛИМ (JP)
Кэн Вэн ЛИМ
Кацухико МУСИАКЕ (JP)
Кацухико МУСИАКЕ
Original Assignee
Улвак, Инк. (Jp)
Улвак, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Улвак, Инк. (Jp), Улвак, Инк. filed Critical Улвак, Инк. (Jp)
Publication of RU2010148780A publication Critical patent/RU2010148780A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2468119C2 publication Critical patent/RU2468119C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4401Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
    • C23C16/4404Coatings or surface treatment on the inside of the reaction chamber or on parts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C21/00Alloys based on aluminium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/06Metallic material
    • C23C4/067Metallic material containing free particles of non-metal elements, e.g. carbon, silicon, boron, phosphorus or arsenic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/06Metallic material
    • C23C4/08Metallic material containing only metal elements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/123Spraying molten metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/129Flame spraying
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/131Wire arc spraying

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Abstract

1. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что состав данного материала становится однородным; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии электродугового напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах. ! 2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.%, и добавленный Si, включая Si в виде примеси исходного Al материала, в общем количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что полученный расплавленный материал имеет однородный состав; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии электродугового напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах. ! 3. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен реагирующей с водой Al пленкой, полученной по способу, по п.1 или 2. ! 4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры по п.3, где данный составляющий элемент представляет

Claims (4)

1. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что состав данного материала становится однородным; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии электродугового напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах.
2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.%, и добавленный Si, включая Si в виде примеси исходного Al материала, в общем количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что полученный расплавленный материал имеет однородный состав; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии электродугового напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах.
3. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен реагирующей с водой Al пленкой, полученной по способу, по п.1 или 2.
4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры по п.3, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.
RU2010148780/02A 2008-04-30 2009-04-27 СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ RU2468119C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008-118856 2008-04-30
JP2008118856 2008-04-30
PCT/JP2009/058260 WO2009133841A1 (ja) 2008-04-30 2009-04-27 水反応性Al膜の製造方法及び成膜室用構成部材

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010148780A true RU2010148780A (ru) 2012-06-10
RU2468119C2 RU2468119C2 (ru) 2012-11-27

Family

ID=41255057

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010148780/02A RU2468119C2 (ru) 2008-04-30 2009-04-27 СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ

Country Status (10)

Country Link
US (1) US8596216B2 (ru)
EP (1) EP2280091B9 (ru)
JP (1) JP5371966B2 (ru)
KR (1) KR20100136560A (ru)
CN (1) CN102016099B (ru)
MY (1) MY150439A (ru)
RU (1) RU2468119C2 (ru)
SG (1) SG189753A1 (ru)
TW (1) TWI464300B (ru)
WO (1) WO2009133841A1 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG189755A1 (en) * 2008-04-30 2013-05-31 Ulvac Inc Method for the production of water-reactive al film and constituent member for film-forming chamber
SG188239A1 (en) * 2010-08-27 2013-04-30 Ulvac Inc Water-reactive al-based composite material, water-reactive al-based thermally sprayed film, process for production of such al-based thermally sprayed film, and constituent member for film-forming chamber
CN104204270A (zh) * 2012-03-29 2014-12-10 东丽株式会社 真空成膜装置及真空成膜方法
ITBA20130034A1 (it) * 2013-04-30 2014-10-31 Mrs S R L Metodo per la pulizia di superfici in apparati di deposizione di film sottili da fase vapore e per il recupero del materiale rimosso
CN106222617A (zh) * 2016-08-26 2016-12-14 武汉华星光电技术有限公司 用于镀膜设备的防着板结构及其制造方法、镀膜设备

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3974055A (en) * 1974-12-23 1976-08-10 The Dow Chemical Company Aluminum alloy anode composition
JPS58171545A (ja) * 1982-03-31 1983-10-08 Daido Metal Kogyo Kk アルミニウム軸受合金
EP0513238B1 (en) * 1990-01-18 1994-06-08 AlliedSignal Inc. Arc spraying of rapidly solidified aluminum base alloys
US5421865A (en) * 1993-10-29 1995-06-06 United Technologies Corporation Water based silicone coating compositions
JPH1030896A (ja) * 1996-07-17 1998-02-03 Furukawa Electric Co Ltd:The 高耐食性アルミニウムチューブの製造方法および前記方法により製造された高耐食性アルミニウムチューブ
US6132805A (en) * 1998-10-20 2000-10-17 Cvc Products, Inc. Shutter for thin-film processing equipment
RU2213802C2 (ru) * 2001-09-28 2003-10-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" Способ нанесения покрытий на сплавы
RU2212473C1 (ru) * 2002-01-24 2003-09-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" Способ нанесения покрытий на сплавы
JP4653406B2 (ja) * 2004-03-10 2011-03-16 株式会社アルバック 水崩壊性Al複合材料、水崩壊性Al溶射膜、及び水崩壊性Al粉の製造方法、並びに成膜室用構成部材及び成膜材料の回収方法
JP2006002223A (ja) * 2004-06-18 2006-01-05 Sumitomo Precision Prod Co Ltd 耐食性被膜
WO2006003772A1 (ja) 2004-07-06 2006-01-12 Mitsubishi Corporation 炭素繊維Ti-Al複合材料及びその製造方法
JP4970887B2 (ja) * 2006-10-06 2012-07-11 株式会社アルバック 装置構成部品の再生方法
CN100480427C (zh) * 2006-11-08 2009-04-22 东莞万利信新材料元件有限公司 一种抑制电解电容器铝箔氧化膜和水反应的处理工艺及检验方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2280091A4 (en) 2011-04-20
CN102016099A (zh) 2011-04-13
WO2009133841A1 (ja) 2009-11-05
SG189753A1 (en) 2013-05-31
CN102016099B (zh) 2012-10-10
JP5371966B2 (ja) 2013-12-18
EP2280091B9 (en) 2013-03-27
MY150439A (en) 2014-01-30
EP2280091A1 (en) 2011-02-02
KR20100136560A (ko) 2010-12-28
US20110041762A1 (en) 2011-02-24
JPWO2009133841A1 (ja) 2011-09-01
EP2280091B1 (en) 2012-08-08
US8596216B2 (en) 2013-12-03
TW201009120A (en) 2010-03-01
RU2468119C2 (ru) 2012-11-27
TWI464300B (zh) 2014-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010148780A (ru) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
RU2010148765A (ru) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
RU2010148778A (ru) РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
JP2010535692A5 (ru)
RU2010148776A (ru) РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
UA94185C2 (en) Coffee composition
ATE476398T1 (de) Yttrium-basierte hochschmelzende zusammensetzung
CN101851083A (zh) 一种人造建筑石材及其制备方法
WO2014150394A3 (en) Non-stoichiometric ceramic matrix composites and methods for producing non-stoichiometric ceramic matrix composites
EA200900810A1 (ru) Способ получения равномерно кристаллизованных гранулятов из поликонденсата
MY157422A (en) Water-reactive al-based thermally sprayed film, process for production of such al-based thermally sprayed film, and constituent member for film-forming chamber
RU2010148774A (ru) РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
TW200714722A (en) Chalcogenide PVD components and methods of formation
RU2010148772A (ru) РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ КАМЕРЫ ДЛЯ ОБРАЗОВАНИЯ ПЛЕНКИ
JP2010138059A (ja) ラスター釉およびそのラスター釉を用いた窯業製品
RU2009111872A (ru) Тонкая литая полоса с контролируемым содержанием магния и низким содержанием кислорода и способ ее применения
CN109866484B (zh) 带净化功能的杀菌电热膜制备方法
EA202190692A1 (ru) Способ подготовки сыпучей огнеупорной композиции для применения в производстве литейных форм и стержней, соответствующие применение и переработанная смесь для термообработки
CN109400022A (zh) 一种超大体积高强度低水化热混凝土
TW200740939A (en) Composition for forming silica coating and silica coating
JP2021161372A (ja) アスファルト混合物、アスファルト混合物の製造方法、舗装方法、硬化物、及び硬化物の製造方法
CN105752950A (zh) 一种具有高温负热膨胀性能的金属间化合物材料及其合成方法
RU2003114952A (ru) Эпоксидная композиция и способ ее получения
KR101436871B1 (ko) 방열판용 코팅제의 제조 방법
CN108940773A (zh) 热喷涂遮蔽防护涂层的制备方法