CN106222617A - 用于镀膜设备的防着板结构及其制造方法、镀膜设备 - Google Patents

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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering

Abstract

本发明公开了一种用于镀膜设备的防着板结构，其包括：防着板以及设置于所述防着板的表面上的保护膜层，所述保护膜层具有水溶性，所述保护膜层的表面被进行喷砂处理，以在所述保护膜层的表面上形成喷砂层。本发明在防着板表面喷涂一层水溶性保护膜层，烘烤处理后再在其表面进行喷砂处理。当对防着板进行除膜时，只需将其放入水中加热浸泡即可完成除膜。这样，不需采用化学除膜和物理除膜的方式对防着板进行除膜，最大限度地减少对防着板本身的伤害，进而提升防着板的使用寿命，降低设备的维护成本。

Description

用于镀膜设备的防着板结构及其制造方法、镀膜设备
技术领域
本发明涉及一种用于镀膜设备的防着板，具体地讲，涉及一种易清洗且具有长使用寿命时间的用于镀膜设备的防着板结构及其制造方法、镀膜设备。
背景技术
物理气相沉积设备(诸如磁控溅射镀膜设备)在溅镀薄膜过程中，其腔室内壁和部分部件会使用防着板进行保护，以防止靶材材料被溅射到用于沉积薄膜的基板以外的部件上，从而造成设备部件损坏。
随着防着板表面膜层厚度越来越厚，附着的膜层会有脱落的风险。这时就要对防着板进行清洗更换，将堆积靶材膜层的防着板进行清洗，除去表面附着膜层。
目前，防着板上的附着膜层的去除工艺有两种方式：一、化学除膜：使用化学药液对附着膜层进行溶解；二、物理除膜：使用高压水枪将附着膜层冲掉。然而，这两种除膜方式均会对防着板造成损伤，从而降低防着板的寿命。例如，化学除膜法会造成防着板本体尺寸变小、变薄，从而导致防着板容易变形，进而有可能造成物理气相沉积设备的腔室内异常放电；而物理除膜法由于对防着板施加一定外力，所以会造成防着板变形。
发明内容
为了解决上述的技术问题，本发明的目的在于提供一种易清洗且具有长寿命时间的用于镀膜设备的防着板结构及其制造方法、镀膜设备。
根据本发明的一方面，提供了一种用于镀膜设备的防着板结构，其包括：防着板以及设置于所述防着板的表面上的保护膜层，所述保护膜层具有水溶性，所述保护膜层的表面被进行喷砂处理，以在所述保护膜层的表面上形成喷砂层。
进一步地，所述保护膜层由成膜物质和辅助物质形成，所述成膜物质材料包括淀粉、蛋白质、聚乙烯醇中的至少一种，所述辅助物质包括表面活性剂、增塑剂、防粘剂中的至少一种。
进一步地，所述保护膜层的厚度为0.3mm。
根据本发明的另一方面，还提供了一种用于镀膜设备的防着板结构的制造方法，其包括：提供一防着板；在所述防着板的表面上形成具有水溶性的保护膜层；对所述保护膜层的表面进行喷砂处理，以在所述保护膜层的表面上形成喷砂层。
进一步地，在所述防着板的表面上形成具有水溶性的保护膜层的具体方法包括：将由成膜物质和辅助物质形成的水溶性胶涂布在所述防着板的表面上；对涂布有所述水溶性胶的所述防着板进行干燥，使所述水溶性胶中的水分达到预定含量，从而形成所述保护膜层；其中，所述成膜物质材料包括淀粉、蛋白质、聚乙烯醇中的至少一种，所述辅助物质包括表面活性剂、增塑剂、防粘剂中的至少一种。
进一步地，所述成膜物质和所述辅助物质在所述水溶性胶中的质量百分比为15wt％～20wt％。
进一步地，在所述防着板的表面上形成的所述保护膜层的厚度为0.3mm。
根据本发明的又一方面，又提供了一种镀膜设备，其包括上述的防着板结构，或者包括利用上述的制造方法制造的防着板结构。
本发明的有益效果：本发明在防着板表面喷涂一层水溶性保护膜层，烘烤处理后再在其表面进行喷砂处理。当对防着板进行除膜时，只需将其放入水中加热浸泡即可完成除膜。这样，不需采用化学除膜和物理除膜的方式对防着板进行除膜，最大限度地减少对防着板本身的伤害，进而提升防着板的使用寿命，降低设备的维护成本。
附图说明
通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：
图1是根据本发明的实施例的用于镀膜设备的防着板结构的示意图；
图2是根据本发明的实施例的用于镀膜设备的防着板结构的制造流程图。
具体实施方式
以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。
物理气相沉积设备(诸如磁控溅射镀膜设备)的腔室内壁和部分部件会使用防着板进行保护，以防止靶材材料被溅射到用于沉积薄膜的基板以外的部件上，从而造成设备部件损坏。
本发明是在防着板表面喷涂一层水溶性保护膜层，烘烤处理后再在其表面进行喷砂处理。当对防着板进行除膜时，只需将其放入水中加热浸泡即可完成除膜。具体请参考下面的实施例的描述。
图1是根据本发明的实施例的用于镀膜设备的防着板结构的示意图。
参照图1，根据本发明的实施例的用于镀膜设备的防着板结构包括：防着板100以及形成在防着板100的表面上的保护膜层200，该保护膜层200具有水溶性，该保护膜层200的表面被进行喷砂处理，从而在保护膜层200的表面形成喷砂层300。
具有水溶性的保护膜层200的制作材料包括成膜物质和辅助物质。其中，成膜物质与辅助物质相溶，且都能够溶于水中，以形成水溶性胶。
所述成膜物质可以是亲水物质，其分子结构中具有大量的亲水极性基团，诸如羧基(－COOH)、氨基(—NHn，n＝1或2)、酰氨基(－CONH－)、羟基(－OH)、酰基(－OCCH3)等。例如，所述成膜物质可以是氨基酸的衍生物和聚合物、植物多糖类物质和合成聚合物中的至少一种。在本实施例中，所述成膜物质选自淀粉、蛋白质、聚乙烯醇中的至少一种；但本发明并不限制于此。
所述辅助物质选自表面活性剂、增塑剂、防粘剂中的至少一种；但本发明并不限制于此。
保护膜层200在被烘烤固化之后，其硬度可达到4H，这样就不会影响其表面喷砂效果。本实施例的保护膜层200可适应250度环境温度。
在本实施例中，保护膜层200的厚度被设定为约0.3mm。该厚度值是本申请的发明人根据实际工艺过程中设定的，但本发明并不限制于此，例如在其他工艺环境中，可以对保护膜层200的厚度进行任意设定。
当根据本发明的实施例的防着板结构在镀膜设备中使用一段时间后，其上沉积一定厚度溅射膜层，需要对该防着板结构进行清洗。将该防着板结构从镀膜设备中取出，然后浸泡于温度为80度的水中，预计2～3小时后，厚度为0.3mm的保护膜层200完全溶于水中，溶解完成后，手动剥离即可。
图2是根据本发明的实施例的用于镀膜设备的防着板结构的制造流程图。
参照图1和图2，在步骤S210中，提供一防着板100。该防着板100为镀膜设备中常规性使用的防着板。
在步骤S220中，在防着板100的表面上形成具有水溶性的保护膜层200。
这里，形成保护膜层200的具体方法包括：首先，将由成膜物质和辅助物质形成的水溶性胶涂布在防着板100的表面上；接着，进入干燥室中，对涂布有所述水溶性胶的防着板100进行干燥，使水溶性胶中的水分达到预定含量，以在防着板100的表面上形成保护膜层200。
在本实施例中，优选地，所述成膜物质和所述辅助物质在所述水溶性胶中的质量百分比为15wt％～20wt％；但本发明并不限制于此。
在步骤S230中，对保护膜层200的表面进行喷砂处理，以形成喷砂层300。这里，可应用五金件手动喷涂设备对保护膜层200的表面进行喷砂处理。
综上所述，本发明在防着板表面喷涂一层水溶性保护膜层，烘烤处理后再在其表面进行喷砂处理。当对防着板进行除膜时，只需将其放入水中加热浸泡即可完成除膜。这样，不需采用化学除膜和物理除膜的方式对防着板进行除膜，最大限度地减少对防着板本身的伤害，进而提升防着板的使用寿命，降低设备的维护成本。
虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。

Claims (8)

1.一种用于镀膜设备的防着板结构，其特征在于，包括：防着板以及设置于所述防着板的表面上的保护膜层，所述保护膜层具有水溶性，所述保护膜层的表面被进行喷砂处理，以在所述保护膜层的表面上形成喷砂层。
2.根据权利要求1所述的防着板结构，其特征在于，所述保护膜层由成膜物质和辅助物质形成，所述成膜物质材料包括淀粉、蛋白质、聚乙烯醇中的至少一种，所述辅助物质包括表面活性剂、增塑剂、防粘剂中的至少一种。
3.根据权利要求1或2所述的防着板结构，其特征在于，所述保护膜层的厚度为0.3mm。
4.一种用于镀膜设备的防着板结构的制造方法，其特征在于，包括：
提供一防着板；
在所述防着板的表面上形成具有水溶性的保护膜层；
对所述保护膜层的表面进行喷砂处理，以形成喷砂层。
5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，在所述防着板的表面上形成具有水溶性的保护膜层的具体方法包括：
将由成膜物质和辅助物质形成的水溶性胶涂布在所述防着板的表面上；
对涂布有所述水溶性胶的所述防着板进行干燥，以形成所述保护膜层；
其中，所述成膜物质材料包括淀粉、蛋白质、聚乙烯醇中的至少一种，所述辅助物质包括表面活性剂、增塑剂、防粘剂中的至少一种。
6.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述成膜物质和所述辅助物质在所述水溶性胶中的质量百分比为15wt％～20wt％。
7.根据权利要求4或5所述的制造方法，其特征在于，在所述防着板的表面上形成的所述保护膜层的厚度为0.3mm。
8.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至3任一项所述的防着板结构，或者包括利用权利要求4至7任一项所述的制造方法制造的防着板结构。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107513683A (zh) * 2017-08-31 2017-12-26 深圳市华星光电技术有限公司 一种气相沉积防着板及其制作方法
WO2018192196A1 (zh) * 2017-04-18 2018-10-25 京东方科技集团股份有限公司 防着板及其表面处理方法、材料回收方法以及薄膜沉积设备
CN109628965A (zh) * 2019-01-30 2019-04-16 云谷（固安）科技有限公司 金属工件清洗工艺
CN112680749A (zh) * 2020-12-21 2021-04-20 江苏时代华宜电子科技有限公司 一种基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03138354A (ja) * 1989-10-24 1991-06-12 Pioneer Electron Corp 防着板を備えた薄膜形成装置
CN1393419A (zh) * 2001-05-08 2003-01-29 康宁股份有限公司 用于液晶显示器玻璃的水可除去的涂层
US20090277389A1 (en) * 2006-04-05 2009-11-12 Tokyo Electron Limited Processing apparatus
CN102617046A (zh) * 2012-04-11 2012-08-01 林嘉宏 含有保护性涂料层的玻璃
CN102016099B (zh) * 2008-04-30 2012-10-10 株式会社爱发科 水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件
CN103270187A (zh) * 2010-12-27 2013-08-28 夏普株式会社 蒸镀装置和回收装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03138354A (ja) * 1989-10-24 1991-06-12 Pioneer Electron Corp 防着板を備えた薄膜形成装置
CN1393419A (zh) * 2001-05-08 2003-01-29 康宁股份有限公司 用于液晶显示器玻璃的水可除去的涂层
US20090277389A1 (en) * 2006-04-05 2009-11-12 Tokyo Electron Limited Processing apparatus
CN102016099B (zh) * 2008-04-30 2012-10-10 株式会社爱发科 水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件
CN103270187A (zh) * 2010-12-27 2013-08-28 夏普株式会社 蒸镀装置和回收装置
CN102617046A (zh) * 2012-04-11 2012-08-01 林嘉宏 含有保护性涂料层的玻璃

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
印刷环保技术重点实验室等: "《绿色印刷技术指南》", 30 September 2011, 北京：印刷工业出版社 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018192196A1 (zh) * 2017-04-18 2018-10-25 京东方科技集团股份有限公司 防着板及其表面处理方法、材料回收方法以及薄膜沉积设备
CN107513683A (zh) * 2017-08-31 2017-12-26 深圳市华星光电技术有限公司 一种气相沉积防着板及其制作方法
CN109628965A (zh) * 2019-01-30 2019-04-16 云谷（固安）科技有限公司 金属工件清洗工艺
CN112680749A (zh) * 2020-12-21 2021-04-20 江苏时代华宜电子科技有限公司 一种基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺
CN112680749B (zh) * 2020-12-21 2021-09-28 江苏时代华宜电子科技有限公司 一种基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺

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