RU2010148776A - РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ - Google Patents
РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010148776A RU2010148776A RU2010148776/02A RU2010148776A RU2010148776A RU 2010148776 A RU2010148776 A RU 2010148776A RU 2010148776/02 A RU2010148776/02 A RU 2010148776/02A RU 2010148776 A RU2010148776 A RU 2010148776A RU 2010148776 A RU2010148776 A RU 2010148776A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- water
- reactive
- amount
- composite material
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/06—Metallic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4404—Coatings or surface treatment on the inside of the reaction chamber or on parts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4407—Cleaning of reactor or reactor parts by using wet or mechanical methods
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/06—Metallic material
- C23C4/08—Metallic material containing only metal elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/18—After-treatment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
1. Реагирующий с водой Al композитный материал, содержащий 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, который содержит, в расчете на количество Al, добавленный Bi в количестве в диапазоне от 0,8 до 1,4 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к исходному Al материалу, в полном количестве в диапазоне от 0,25 до 0,7 мас.%. ! 2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, содержащий 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, который содержит, в расчете на количество исходного Al материала, добавленный Bi в количестве в диапазоне от 0,8 до 1,4 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к исходному Al материалу, в полном количестве в диапазоне от 0,25 до 0,7 мас.%, таким образом, что полученный материал имеет однородный состав; термически напыляют расплавленный материал на поверхность базового материала; и затем отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя на нем пленку. ! 3. Реагирующая с водой Al пленка, состоящая, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала по п.1. ! 4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен на своей поверхности реагирующей с водой Al пленкой, состоящей, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала, описанного в п.1, или реагирующей с водой Al пленкой, полученной способом, описанным в п.2. ! 5. Составляющий элемент пленкообразующей камеры по п.4, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.
Claims (5)
1. Реагирующий с водой Al композитный материал, содержащий 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, который содержит, в расчете на количество Al, добавленный Bi в количестве в диапазоне от 0,8 до 1,4 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к исходному Al материалу, в полном количестве в диапазоне от 0,25 до 0,7 мас.%.
2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, содержащий 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала, который содержит, в расчете на количество исходного Al материала, добавленный Bi в количестве в диапазоне от 0,8 до 1,4 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к исходному Al материалу, в полном количестве в диапазоне от 0,25 до 0,7 мас.%, таким образом, что полученный материал имеет однородный состав; термически напыляют расплавленный материал на поверхность базового материала; и затем отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя на нем пленку.
3. Реагирующая с водой Al пленка, состоящая, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала по п.1.
4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен на своей поверхности реагирующей с водой Al пленкой, состоящей, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала, описанного в п.1, или реагирующей с водой Al пленкой, полученной способом, описанным в п.2.
5. Составляющий элемент пленкообразующей камеры по п.4, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008118853 | 2008-04-30 | ||
| JP2008-118853 | 2008-04-30 | ||
| PCT/JP2009/058257 WO2009133838A1 (ja) | 2008-04-30 | 2009-04-27 | 水反応性Ａｌ複合材料、水反応性Ａｌ膜、このＡｌ膜の製造方法、及び成膜室用構成部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010148776A true RU2010148776A (ru) | 2012-06-10 |
| RU2468118C2 RU2468118C2 (ru) | 2012-11-27 |
Family
ID=41255054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010148776/02A RU2468118C2 (ru) | 2008-04-30 | 2009-04-27 | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8808619B2 (ru) |
| EP (1) | EP2287354B1 (ru) |
| JP (1) | JP5327759B2 (ru) |
| KR (1) | KR101249590B1 (ru) |
| CN (1) | CN102016101B (ru) |
| MY (1) | MY152957A (ru) |
| RU (1) | RU2468118C2 (ru) |
| TW (1) | TWI450980B (ru) |
| WO (1) | WO2009133838A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103270187A (zh) * | 2010-12-27 | 2013-08-28 | 夏普株式会社 | 蒸镀装置和回收装置 |
| ITBA20130034A1 (it) * | 2013-04-30 | 2014-10-31 | Mrs S R L | Metodo per la pulizia di superfici in apparati di deposizione di film sottili da fase vapore e per il recupero del materiale rimosso |
| JP5899387B1 (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-06 | 株式会社アルバック | 水反応性Ａｌ複合材料、水反応性Ａｌ合金溶射膜、このＡｌ合金溶射膜の製造方法、及び成膜室用構成部材 |
| JP6418854B2 (ja) * | 2014-09-05 | 2018-11-07 | 株式会社アルバック | 水反応性Ａｌ合金溶射膜の製造方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3974055A (en) * | 1974-12-23 | 1976-08-10 | The Dow Chemical Company | Aluminum alloy anode composition |
| JPS6280287A (ja) * | 1985-10-03 | 1987-04-13 | Mitsubishi Alum Co Ltd | Ａｌ合金製犠牲陽極材 |
| JPH0762198B2 (ja) * | 1986-05-12 | 1995-07-05 | 三菱アルミニウム株式会社 | 水素生成用アルミニウム合金及びその製造方法 |
| US5776269A (en) * | 1995-08-24 | 1998-07-07 | Kaiser Aluminum & Chemical Corporation | Lead-free 6000 series aluminum alloy |
| JPH1030896A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-03 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高耐食性アルミニウムチューブの製造方法および前記方法により製造された高耐食性アルミニウムチューブ |
| RU2213802C2 (ru) * | 2001-09-28 | 2003-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" | Способ нанесения покрытий на сплавы |
| RU2212473C1 (ru) * | 2002-01-24 | 2003-09-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" | Способ нанесения покрытий на сплавы |
| JP4653406B2 (ja) | 2004-03-10 | 2011-03-16 | 株式会社アルバック | 水崩壊性Ａｌ複合材料、水崩壊性Ａｌ溶射膜、及び水崩壊性Ａｌ粉の製造方法、並びに成膜室用構成部材及び成膜材料の回収方法 |
| JP2006002223A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 耐食性被膜 |
| JP4002294B2 (ja) | 2004-07-06 | 2007-10-31 | 三菱商事株式会社 | 炭素繊維Ｔｉ−Ａｌ複合材料及びその製造方法。 |
| MY152964A (en) * | 2008-04-30 | 2014-12-15 | Ulvac Inc | Water-reactive al composite material for thermal spray, water-reactive thermally sprayed al film, process for the production of the thermally sprayed al film, and constituent member for film-forming chamber |
-
2009
- 2009-04-27 RU RU2010148776/02A patent/RU2468118C2/ru active
- 2009-04-27 JP JP2010510108A patent/JP5327759B2/ja active Active
- 2009-04-27 EP EP09738775.7A patent/EP2287354B1/en active Active
- 2009-04-27 CN CN2009801154165A patent/CN102016101B/zh active Active
- 2009-04-27 KR KR1020107026604A patent/KR101249590B1/ko active IP Right Grant
- 2009-04-27 WO PCT/JP2009/058257 patent/WO2009133838A1/ja active Application Filing
- 2009-04-27 US US12/990,176 patent/US8808619B2/en active Active
- 2009-04-27 MY MYPI20104874 patent/MY152957A/en unknown
- 2009-04-29 TW TW098114183A patent/TWI450980B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102016101B (zh) | 2012-09-05 |
| MY152957A (en) | 2014-12-15 |
| TW201005103A (en) | 2010-02-01 |
| CN102016101A (zh) | 2011-04-13 |
| EP2287354A4 (en) | 2011-04-20 |
| WO2009133838A1 (ja) | 2009-11-05 |
| TWI450980B (zh) | 2014-09-01 |
| RU2468118C2 (ru) | 2012-11-27 |
| EP2287354A1 (en) | 2011-02-23 |
| JPWO2009133838A1 (ja) | 2011-09-01 |
| US8808619B2 (en) | 2014-08-19 |
| EP2287354B1 (en) | 2014-11-05 |
| US20110041763A1 (en) | 2011-02-24 |
| KR101249590B1 (ko) | 2013-04-01 |
| KR20100137012A (ko) | 2010-12-29 |
| JP5327759B2 (ja) | 2013-10-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2010148778A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| RU2010148765A (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| RU2010148776A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| WO2006124552A3 (en) | Method of forming a photoresist element | |
| RU2010148780A (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| TW200722922A (en) | Film-forming composition, and pattern forming method and three-dimensional mold using the same | |
| GB2440483A (en) | Method for luminescent layer an ogranic electroluminescent device | |
| MY157422A (en) | Water-reactive al-based thermally sprayed film, process for production of such al-based thermally sprayed film, and constituent member for film-forming chamber | |
| DK1890698T3 (da) | Fremgangsmåde til fremstilling af et nikotinafgivelses-produkt | |
| JP2013247036A5 (ru) | ||
| EP3643815A3 (en) | Method for preparing seed crystal including protective film, method for producing ingot using seed crystal, seed crystal including protective film, and method for attaching seed crystal | |
| JP2015034281A5 (ru) | ||
| EA200900810A1 (ru) | Способ получения равномерно кристаллизованных гранулятов из поликонденсата | |
| RU2010148774A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
| WO2009020430A8 (en) | Method of forming a cadmium containing nanocrystal | |
| RU2009141598A (ru) | Литье полосы из несмешивающихся металлов | |
| RU2012115918A (ru) | Способ изготовления пленочного композита и применение пленочного композита, изготовленного этим способом | |
| ATE549738T1 (de) | Verfahren zur herstellung eines luftdichten behälters und bildanzeigevorrichtung | |
| ATE549737T1 (de) | Verfahren zur herstellung eines luftdichten behälters und bildanzeigevorrichtung | |
| RU2010148772A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ КАМЕРЫ ДЛЯ ОБРАЗОВАНИЯ ПЛЕНКИ | |
| JP2014223795A (ja) | 部品の製造方法 | |
| WO2009041398A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体における中間層膜製造用Ｎｉ－Ｗ－Ｂ系スパッタリングターゲット材およびこれを用いて製造した薄膜 | |
| RU2014117675A (ru) | Способ изготовления и декодирования прозрачного компонента часов | |
| TW200740939A (en) | Composition for forming silica coating and silica coating | |
| WO2009016984A1 (ja) | 化合物及びその製造方法 |