RU2010148765A - СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ - Google Patents
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010148765A RU2010148765A RU2010148765/02A RU2010148765A RU2010148765A RU 2010148765 A RU2010148765 A RU 2010148765A RU 2010148765/02 A RU2010148765/02 A RU 2010148765/02A RU 2010148765 A RU2010148765 A RU 2010148765A RU 2010148765 A RU2010148765 A RU 2010148765A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- starting
- water
- reactive
- molten material
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4404—Coatings or surface treatment on the inside of the reaction chamber or on parts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/06—Metallic material
- C23C4/08—Metallic material containing only metal elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/18—After-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/18—After-treatment
- C23C4/185—Separation of the coating from the substrate
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
1. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что состав данного материала становится однородным; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии пламенного напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах. ! 2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% и добавленный Si, включая Si в виде примеси к исходному Al материалу, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что полученный расплавленный материал имеет однородный состав; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии пламенного напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах. ! 3. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен на своей поверхности реагирующей с водой Al пленкой, полученной с помощью способа, изложенного в п.1 или 2. ! 4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры, описанный в п.3, где да
Claims (4)
1. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что состав данного материала становится однородным; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии пламенного напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах.
2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, который содержит 4NAl или 5NAl в качестве исходного Al материала и добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% и добавленный Si, включая Si в виде примеси к исходному Al материалу, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на массу исходного Al материала, таким образом, что полученный расплавленный материал имеет однородный состав; термически напыляют полученный расплавленный материал на поверхность базового материала с помощью технологии пламенного напыления; и отверждают напыленный расплавленный материал путем закаливания, образуя Al пленку, в которой In равномерно диспергирован в Al кристаллических зернах.
3. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен на своей поверхности реагирующей с водой Al пленкой, полученной с помощью способа, изложенного в п.1 или 2.
4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры, описанный в п.3, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008-118857 | 2008-04-30 | ||
JP2008118857 | 2008-04-30 | ||
PCT/JP2009/058255 WO2009133836A1 (ja) | 2008-04-30 | 2009-04-27 | 水反応性Al膜の製造方法及び成膜室用構成部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2010148765A true RU2010148765A (ru) | 2012-06-10 |
RU2468116C2 RU2468116C2 (ru) | 2012-11-27 |
Family
ID=41255052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2010148765/02A RU2468116C2 (ru) | 2008-04-30 | 2009-04-27 | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110041760A1 (ru) |
EP (1) | EP2281914B1 (ru) |
JP (1) | JP5371964B2 (ru) |
KR (1) | KR20100135323A (ru) |
CN (1) | CN102016100B (ru) |
MY (1) | MY152991A (ru) |
RU (1) | RU2468116C2 (ru) |
SG (1) | SG189755A1 (ru) |
TW (1) | TWI465605B (ru) |
WO (1) | WO2009133836A1 (ru) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT391183B (de) * | 1988-09-14 | 1990-08-27 | Alois Liemberger Fa | Beleuchtungskoerper |
US8715404B2 (en) * | 2008-04-30 | 2014-05-06 | Ulvac, Inc. | Water-reactive Al composite material, water-reactive Al film, process for the production of the Al film, and constituent member for film-forming chamber |
JP5319022B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2013-10-16 | シャープ株式会社 | 蒸着装置および回収装置 |
CN103240484A (zh) * | 2012-02-01 | 2013-08-14 | 上海科秉电子科技有限公司 | 一种用于u型槽内层表面的粗糙化方法 |
ITBA20130034A1 (it) * | 2013-04-30 | 2014-10-31 | Mrs S R L | Metodo per la pulizia di superfici in apparati di deposizione di film sottili da fase vapore e per il recupero del materiale rimosso |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3974055A (en) * | 1974-12-23 | 1976-08-10 | The Dow Chemical Company | Aluminum alloy anode composition |
US3960606A (en) * | 1975-03-12 | 1976-06-01 | Southwire Company | Aluminum silicon alloy and method of preparation thereof |
JPH0637074A (ja) * | 1992-07-17 | 1994-02-10 | Fujitsu Ltd | 半導体製造装置のクリーニング方法 |
JPH1030896A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-03 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高耐食性アルミニウムチューブの製造方法および前記方法により製造された高耐食性アルミニウムチューブ |
JP2002317267A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-31 | Nec Kagoshima Ltd | 薄膜製造方法 |
RU2213802C2 (ru) * | 2001-09-28 | 2003-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" | Способ нанесения покрытий на сплавы |
RU2212473C1 (ru) * | 2002-01-24 | 2003-09-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" | Способ нанесения покрытий на сплавы |
JP4653406B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2011-03-16 | 株式会社アルバック | 水崩壊性Al複合材料、水崩壊性Al溶射膜、及び水崩壊性Al粉の製造方法、並びに成膜室用構成部材及び成膜材料の回収方法 |
JP2006002223A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 耐食性被膜 |
US7579067B2 (en) * | 2004-11-24 | 2009-08-25 | Applied Materials, Inc. | Process chamber component with layered coating and method |
WO2009133841A1 (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-05 | 株式会社アルバック | 水反応性Al膜の製造方法及び成膜室用構成部材 |
KR101502253B1 (ko) * | 2010-08-27 | 2015-03-12 | 가부시키가이샤 알박 | 수 반응성 Al 복합 재료, 수 반응성 Al 용사막, 이 Al 용사막의 제조 방법, 및 성막실용 구성 부재 |
-
2009
- 2009-04-27 US US12/989,974 patent/US20110041760A1/en not_active Abandoned
- 2009-04-27 CN CN2009801154095A patent/CN102016100B/zh active Active
- 2009-04-27 MY MYPI20104894 patent/MY152991A/en unknown
- 2009-04-27 KR KR1020107026608A patent/KR20100135323A/ko active Search and Examination
- 2009-04-27 SG SG2013025556A patent/SG189755A1/en unknown
- 2009-04-27 EP EP09738773.2A patent/EP2281914B1/en active Active
- 2009-04-27 RU RU2010148765/02A patent/RU2468116C2/ru active
- 2009-04-27 JP JP2010510106A patent/JP5371964B2/ja active Active
- 2009-04-27 WO PCT/JP2009/058255 patent/WO2009133836A1/ja active Application Filing
- 2009-04-29 TW TW098114187A patent/TWI465605B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009133836A1 (ja) | 2009-11-05 |
TW201009121A (en) | 2010-03-01 |
EP2281914A4 (en) | 2011-04-20 |
TWI465605B (zh) | 2014-12-21 |
EP2281914A1 (en) | 2011-02-09 |
CN102016100A (zh) | 2011-04-13 |
JP5371964B2 (ja) | 2013-12-18 |
EP2281914B1 (en) | 2015-02-25 |
CN102016100B (zh) | 2013-04-10 |
KR20100135323A (ko) | 2010-12-24 |
SG189755A1 (en) | 2013-05-31 |
JPWO2009133836A1 (ja) | 2011-09-01 |
RU2468116C2 (ru) | 2012-11-27 |
MY152991A (en) | 2014-12-31 |
US20110041760A1 (en) | 2011-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2010148765A (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
RU2010148780A (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
RU2010148778A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
RU2010148776A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
ATE504373T1 (de) | Verfahren zum giessen einer aluminiumlegierung mit gesteuerter erstarrung | |
WO2006124552A3 (en) | Method of forming a photoresist element | |
UA94185C2 (en) | Coffee composition | |
WO2008137689A3 (en) | Fine grained, non banded, refractory metal sputtering targets with a uniformly random crystallographic orientation, method for making such film, and thin film based devices and products made there from | |
MY150769A (en) | Bis(aminophenol) derivative, process for producing the same, polyamide resin, positive photosensitive resin composition, protective film, interlayer dielectric, semiconductor device, and display element | |
JP2011508439A5 (ru) | ||
PL1834009T3 (pl) | Elementy metalowe z powłokami ochronnymi zawierającymi krzem i sposoby wytwarzania takich powłok ochronnych | |
RU2012112941A (ru) | Способ получения кремнистой пленки и используемая в нем жидкость для обработки полисилазанового покрытия | |
MX2015012486A (es) | Sustratos termosensibles revestidos con composiciones de revestimiento a base de agua. | |
RU2016116523A (ru) | Комбинированные составы бифентрина, включающие высокоплавкие средства защиты растений, для применения с жидкими удобрениями | |
JP2013247036A5 (ru) | ||
RU2015137791A (ru) | МЕТАЛЛИЧЕСКИЙ ЛИСТ С ZnAlMg ПОКРЫТИЕМ С ОСОБОЙ МИКРОСТРУКТУРОЙ И СООТВЕТСТВУЮЩИЙ СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА | |
RU2010148774A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
TW200716697A (en) | Method for producing self-assembled construction | |
RU2010148772A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ КАМЕРЫ ДЛЯ ОБРАЗОВАНИЯ ПЛЕНКИ | |
WO2008096411A1 (ja) | 鉄系合金の半凝固スラリーの製造方法及び製造装置 | |
ATE541065T1 (de) | Verfahren zur herstellung von dünnschichten und vorrichtungen | |
ATE503575T1 (de) | Schichtverbund und seine herstellung | |
RU2015102757A (ru) | Теплозащитный материал | |
MA34089B1 (fr) | Composition herbicide et son procédé d'utilisation | |
CN108940773A (zh) | 热喷涂遮蔽防护涂层的制备方法 |