RU2010148778A - РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ - Google Patents

РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ Download PDF

Info

Publication number
RU2010148778A
RU2010148778A RU2010148778/02A RU2010148778A RU2010148778A RU 2010148778 A RU2010148778 A RU 2010148778A RU 2010148778/02 A RU2010148778/02 A RU 2010148778/02A RU 2010148778 A RU2010148778 A RU 2010148778A RU 2010148778 A RU2010148778 A RU 2010148778A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
film
water
reactive
amount
composite material
Prior art date
Application number
RU2010148778/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2466205C2 (ru
Inventor
Ютака КАДОВАКИ (JP)
Ютака КАДОВАКИ
Томоко САИТОУ (JP)
Томоко САИТОУ
Кэн Вэн ЛИМ (JP)
Кэн Вэн ЛИМ
Кацухико МУСИАКЕ (JP)
Кацухико МУСИАКЕ
Original Assignee
Улвак, Инк. (Jp)
Улвак, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Улвак, Инк. (Jp), Улвак, Инк. filed Critical Улвак, Инк. (Jp)
Publication of RU2010148778A publication Critical patent/RU2010148778A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2466205C2 publication Critical patent/RU2466205C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/06Metallic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C21/00Alloys based on aluminium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C21/00Alloys based on aluminium
    • C22C21/02Alloys based on aluminium with silicon as the next major constituent
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4401Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
    • C23C16/4404Coatings or surface treatment on the inside of the reaction chamber or on parts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/06Metallic material
    • C23C4/08Metallic material containing only metal elements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/18After-treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

1. Реагирующий с водой Al композитный материал, содержащий 4NAl или 5NAl, который содержит добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.%; и добавленный Si, включая Si в виде примеси к Al, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на количество Al. ! 2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, содержащий 4NAl или 5NAl, который содержит добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к Al, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на количество Al, таким образом, что полученный материал имеет однородный состав; термически напыляют расплавленный материал на поверхность базового материала; и затем отверждают его путем закаливания, образуя на нем пленку. ! 3. Реагирующая с водой Al пленка, состоящая, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала по п.1. ! 4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен на своей поверхности реагирующей с водой Al пленкой, состоящей, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала, описанного в п.1, или реагирующей с водой Al пленкой, полученной с помощью способа, описанного в п.2. ! 5. Составляющий элемент пленкообразующей камеры, описанный в п.4, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.

Claims (5)

1. Реагирующий с водой Al композитный материал, содержащий 4NAl или 5NAl, который содержит добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.%; и добавленный Si, включая Si в виде примеси к Al, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на количество Al.
2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, содержащий 4NAl или 5NAl, который содержит добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к Al, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на количество Al, таким образом, что полученный материал имеет однородный состав; термически напыляют расплавленный материал на поверхность базового материала; и затем отверждают его путем закаливания, образуя на нем пленку.
3. Реагирующая с водой Al пленка, состоящая, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала по п.1.
4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен на своей поверхности реагирующей с водой Al пленкой, состоящей, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала, описанного в п.1, или реагирующей с водой Al пленкой, полученной с помощью способа, описанного в п.2.
5. Составляющий элемент пленкообразующей камеры, описанный в п.4, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.
RU2010148778/02A 2008-04-30 2009-04-27 РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ RU2466205C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008118852 2008-04-30
JP2008-118852 2008-04-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010148778A true RU2010148778A (ru) 2012-06-10
RU2466205C2 RU2466205C2 (ru) 2012-11-10

Family

ID=41255053

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010148778/02A RU2466205C2 (ru) 2008-04-30 2009-04-27 РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ

Country Status (9)

Country Link
US (1) US8715404B2 (ru)
EP (1) EP2281915B1 (ru)
JP (1) JP5327758B2 (ru)
KR (1) KR101303386B1 (ru)
CN (1) CN102027152B (ru)
MY (1) MY152964A (ru)
RU (1) RU2466205C2 (ru)
TW (1) TWI445825B (ru)
WO (1) WO2009133837A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2468118C2 (ru) * 2008-04-30 2012-11-27 Улвак, Инк. РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
US8945296B2 (en) 2010-08-27 2015-02-03 Ulvac, Inc. Water-reactive Al-based composite material, water-reactive Al-based thermally sprayed film, process for production of such Al-based thermally sprayed film, and constituent member for film-forming chamber
WO2012090774A1 (ja) * 2010-12-27 2012-07-05 シャープ株式会社 蒸着装置および回収装置
KR101496628B1 (ko) 2013-02-19 2015-02-26 허정도 새로운 고점탄성 개질제 및 중온 개질제의 조성물과 그 제조방법 그리고 중온 개질 신규 및 재생 아스팔트콘크리트 혼합물의 조성물과 그 제조방법
ITBA20130034A1 (it) * 2013-04-30 2014-10-31 Mrs S R L Metodo per la pulizia di superfici in apparati di deposizione di film sottili da fase vapore e per il recupero del materiale rimosso
JP6890477B2 (ja) * 2017-06-14 2021-06-18 株式会社アルバック 水素発生材料製造方法、燃料電池、水素発生方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3974055A (en) * 1974-12-23 1976-08-10 The Dow Chemical Company Aluminum alloy anode composition
JPH0762198B2 (ja) * 1986-05-12 1995-07-05 三菱アルミニウム株式会社 水素生成用アルミニウム合金及びその製造方法
US5776269A (en) * 1995-08-24 1998-07-07 Kaiser Aluminum & Chemical Corporation Lead-free 6000 series aluminum alloy
AT412284B (de) * 2003-03-14 2004-12-27 Miba Gleitlager Gmbh Aluminiumknetlegierung
JP4653406B2 (ja) 2004-03-10 2011-03-16 株式会社アルバック 水崩壊性Al複合材料、水崩壊性Al溶射膜、及び水崩壊性Al粉の製造方法、並びに成膜室用構成部材及び成膜材料の回収方法
JP2006002223A (ja) * 2004-06-18 2006-01-05 Sumitomo Precision Prod Co Ltd 耐食性被膜
AT414128B (de) * 2004-08-03 2006-09-15 Miba Gleitlager Gmbh Aluminiumlegierung für tribologisch beanspruchte flächen
EP2281914B1 (en) * 2008-04-30 2015-02-25 Ulvac, Inc. PROCESS FOR PRODUCTION OF WATER-REACTIVE Al FILM AND CONSTITUENT MEMBERS FOR FILM DEPOSITION CHAMBERS

Also Published As

Publication number Publication date
US20110036267A1 (en) 2011-02-17
KR101303386B1 (ko) 2013-09-03
JP5327758B2 (ja) 2013-10-30
EP2281915A1 (en) 2011-02-09
TWI445825B (zh) 2014-07-21
CN102027152A (zh) 2011-04-20
MY152964A (en) 2014-12-15
RU2466205C2 (ru) 2012-11-10
EP2281915A4 (en) 2011-04-20
KR20100135322A (ko) 2010-12-24
CN102027152B (zh) 2012-09-12
JPWO2009133837A1 (ja) 2011-09-01
US8715404B2 (en) 2014-05-06
WO2009133837A1 (ja) 2009-11-05
TW200948982A (en) 2009-12-01
EP2281915B1 (en) 2014-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010148778A (ru) РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
RU2008143023A (ru) Способ получения порошковых покрытий на теплочувствительных субстратах
RU2015117015A (ru) Обратимые полимеры в 3d печати
PH12018550034A1 (en) Resin, composition, cured film, method for manufacturing cured film and semiconductor device
MY159204A (en) Superfine-patterned mask, method for production thereof, and method employing the same for forming superfine-pattern
MY186971A (en) Release film for ceramic green sheet production process
WO2006124552A3 (en) Method of forming a photoresist element
TW200724613A (en) Infrared cut-off and anti-reflectional hard coating, method of forming the same and multi-functional optical film thereof
RU2010148780A (ru) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
RU2010148765A (ru) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
EP2196852A4 (en) PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION OF POSITIVE TYPE, AND METHOD OF FORMING CURED FILM USING THE SAME
EP2604417A3 (en) Methods of forming an ophthalmic lens from a lens precursor
RU2010148776A (ru) РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
RU2012112941A (ru) Способ получения кремнистой пленки и используемая в нем жидкость для обработки полисилазанового покрытия
ATE491000T1 (de) Aktinische strahlenhärtbare beschichtungszusammensetzungen
ATE377054T1 (de) Härtbarer alkanolaminhaltiger epoxidpulverlack
MY157422A (en) Water-reactive al-based thermally sprayed film, process for production of such al-based thermally sprayed film, and constituent member for film-forming chamber
ATE363343T1 (de) Heissschmelzbeschichtungszusammensetzung für folienübertragung und giessprozess
RU2010148774A (ru) РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ
ATE549737T1 (de) Verfahren zur herstellung eines luftdichten behälters und bildanzeigevorrichtung
WO2010058987A3 (ko) 다층 필름 및 이의 제조방법
MY149763A (en) Light-emitting device and method for manufacturing same.
RU2010148772A (ru) РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ КАМЕРЫ ДЛЯ ОБРАЗОВАНИЯ ПЛЕНКИ
PH12021550714A1 (en) Film for coating metal sheet and resin coated metal sheet
HRP20070386T3 (en) Method for production of thermally cured coatings