RU2010148778A - РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ - Google Patents
РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010148778A RU2010148778A RU2010148778/02A RU2010148778A RU2010148778A RU 2010148778 A RU2010148778 A RU 2010148778A RU 2010148778/02 A RU2010148778/02 A RU 2010148778/02A RU 2010148778 A RU2010148778 A RU 2010148778A RU 2010148778 A RU2010148778 A RU 2010148778A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- water
- reactive
- amount
- composite material
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/06—Metallic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
- C22C21/02—Alloys based on aluminium with silicon as the next major constituent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4404—Coatings or surface treatment on the inside of the reaction chamber or on parts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/06—Metallic material
- C23C4/08—Metallic material containing only metal elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/18—After-treatment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
1. Реагирующий с водой Al композитный материал, содержащий 4NAl или 5NAl, который содержит добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.%; и добавленный Si, включая Si в виде примеси к Al, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на количество Al. ! 2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, содержащий 4NAl или 5NAl, который содержит добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к Al, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на количество Al, таким образом, что полученный материал имеет однородный состав; термически напыляют расплавленный материал на поверхность базового материала; и затем отверждают его путем закаливания, образуя на нем пленку. ! 3. Реагирующая с водой Al пленка, состоящая, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала по п.1. ! 4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен на своей поверхности реагирующей с водой Al пленкой, состоящей, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала, описанного в п.1, или реагирующей с водой Al пленкой, полученной с помощью способа, описанного в п.2. ! 5. Составляющий элемент пленкообразующей камеры, описанный в п.4, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.
Claims (5)
1. Реагирующий с водой Al композитный материал, содержащий 4NAl или 5NAl, который содержит добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.%; и добавленный Si, включая Si в виде примеси к Al, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на количество Al.
2. Способ получения реагирующей с водой Al пленки, включающий этапы, на которых расплавляют материал, содержащий 4NAl или 5NAl, который содержит добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к Al, в полном количестве в диапазоне от 0,04 до 0,6 мас.% в расчете на количество Al, таким образом, что полученный материал имеет однородный состав; термически напыляют расплавленный материал на поверхность базового материала; и затем отверждают его путем закаливания, образуя на нем пленку.
3. Реагирующая с водой Al пленка, состоящая, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала по п.1.
4. Составляющий элемент пленкообразующей камеры устройства для образования пленки, отличающийся тем, что он снабжен на своей поверхности реагирующей с водой Al пленкой, состоящей, по существу, из реагирующего с водой Al композитного материала, описанного в п.1, или реагирующей с водой Al пленкой, полученной с помощью способа, описанного в п.2.
5. Составляющий элемент пленкообразующей камеры, описанный в п.4, где данный составляющий элемент представляет собой предотвращающую адгезию пластину, заслонку или маску.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008118852 | 2008-04-30 | ||
JP2008-118852 | 2008-04-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2010148778A true RU2010148778A (ru) | 2012-06-10 |
RU2466205C2 RU2466205C2 (ru) | 2012-11-10 |
Family
ID=41255053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2010148778/02A RU2466205C2 (ru) | 2008-04-30 | 2009-04-27 | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8715404B2 (ru) |
EP (1) | EP2281915B1 (ru) |
JP (1) | JP5327758B2 (ru) |
KR (1) | KR101303386B1 (ru) |
CN (1) | CN102027152B (ru) |
MY (1) | MY152964A (ru) |
RU (1) | RU2466205C2 (ru) |
TW (1) | TWI445825B (ru) |
WO (1) | WO2009133837A1 (ru) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2468118C2 (ru) * | 2008-04-30 | 2012-11-27 | Улвак, Инк. | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ |
US8945296B2 (en) | 2010-08-27 | 2015-02-03 | Ulvac, Inc. | Water-reactive Al-based composite material, water-reactive Al-based thermally sprayed film, process for production of such Al-based thermally sprayed film, and constituent member for film-forming chamber |
WO2012090774A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-05 | シャープ株式会社 | 蒸着装置および回収装置 |
KR101496628B1 (ko) | 2013-02-19 | 2015-02-26 | 허정도 | 새로운 고점탄성 개질제 및 중온 개질제의 조성물과 그 제조방법 그리고 중온 개질 신규 및 재생 아스팔트콘크리트 혼합물의 조성물과 그 제조방법 |
ITBA20130034A1 (it) * | 2013-04-30 | 2014-10-31 | Mrs S R L | Metodo per la pulizia di superfici in apparati di deposizione di film sottili da fase vapore e per il recupero del materiale rimosso |
JP6890477B2 (ja) * | 2017-06-14 | 2021-06-18 | 株式会社アルバック | 水素発生材料製造方法、燃料電池、水素発生方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3974055A (en) * | 1974-12-23 | 1976-08-10 | The Dow Chemical Company | Aluminum alloy anode composition |
JPH0762198B2 (ja) * | 1986-05-12 | 1995-07-05 | 三菱アルミニウム株式会社 | 水素生成用アルミニウム合金及びその製造方法 |
US5776269A (en) * | 1995-08-24 | 1998-07-07 | Kaiser Aluminum & Chemical Corporation | Lead-free 6000 series aluminum alloy |
AT412284B (de) * | 2003-03-14 | 2004-12-27 | Miba Gleitlager Gmbh | Aluminiumknetlegierung |
JP4653406B2 (ja) | 2004-03-10 | 2011-03-16 | 株式会社アルバック | 水崩壊性Al複合材料、水崩壊性Al溶射膜、及び水崩壊性Al粉の製造方法、並びに成膜室用構成部材及び成膜材料の回収方法 |
JP2006002223A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 耐食性被膜 |
AT414128B (de) * | 2004-08-03 | 2006-09-15 | Miba Gleitlager Gmbh | Aluminiumlegierung für tribologisch beanspruchte flächen |
EP2281914B1 (en) * | 2008-04-30 | 2015-02-25 | Ulvac, Inc. | PROCESS FOR PRODUCTION OF WATER-REACTIVE Al FILM AND CONSTITUENT MEMBERS FOR FILM DEPOSITION CHAMBERS |
-
2009
- 2009-04-27 CN CN2009801154080A patent/CN102027152B/zh active Active
- 2009-04-27 WO PCT/JP2009/058256 patent/WO2009133837A1/ja active Application Filing
- 2009-04-27 RU RU2010148778/02A patent/RU2466205C2/ru active
- 2009-04-27 JP JP2010510107A patent/JP5327758B2/ja active Active
- 2009-04-27 EP EP09738774.0A patent/EP2281915B1/en active Active
- 2009-04-27 US US12/990,141 patent/US8715404B2/en active Active
- 2009-04-27 MY MYPI20104886 patent/MY152964A/en unknown
- 2009-04-27 KR KR1020107026603A patent/KR101303386B1/ko active IP Right Grant
- 2009-04-29 TW TW098114182A patent/TWI445825B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110036267A1 (en) | 2011-02-17 |
KR101303386B1 (ko) | 2013-09-03 |
JP5327758B2 (ja) | 2013-10-30 |
EP2281915A1 (en) | 2011-02-09 |
TWI445825B (zh) | 2014-07-21 |
CN102027152A (zh) | 2011-04-20 |
MY152964A (en) | 2014-12-15 |
RU2466205C2 (ru) | 2012-11-10 |
EP2281915A4 (en) | 2011-04-20 |
KR20100135322A (ko) | 2010-12-24 |
CN102027152B (zh) | 2012-09-12 |
JPWO2009133837A1 (ja) | 2011-09-01 |
US8715404B2 (en) | 2014-05-06 |
WO2009133837A1 (ja) | 2009-11-05 |
TW200948982A (en) | 2009-12-01 |
EP2281915B1 (en) | 2014-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2010148778A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
RU2008143023A (ru) | Способ получения порошковых покрытий на теплочувствительных субстратах | |
RU2015117015A (ru) | Обратимые полимеры в 3d печати | |
PH12018550034A1 (en) | Resin, composition, cured film, method for manufacturing cured film and semiconductor device | |
MY159204A (en) | Superfine-patterned mask, method for production thereof, and method employing the same for forming superfine-pattern | |
MY186971A (en) | Release film for ceramic green sheet production process | |
WO2006124552A3 (en) | Method of forming a photoresist element | |
TW200724613A (en) | Infrared cut-off and anti-reflectional hard coating, method of forming the same and multi-functional optical film thereof | |
RU2010148780A (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
RU2010148765A (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕАГИРУЮЩЕЙ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
EP2196852A4 (en) | PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION OF POSITIVE TYPE, AND METHOD OF FORMING CURED FILM USING THE SAME | |
EP2604417A3 (en) | Methods of forming an ophthalmic lens from a lens precursor | |
RU2010148776A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
RU2012112941A (ru) | Способ получения кремнистой пленки и используемая в нем жидкость для обработки полисилазанового покрытия | |
ATE491000T1 (de) | Aktinische strahlenhärtbare beschichtungszusammensetzungen | |
ATE377054T1 (de) | Härtbarer alkanolaminhaltiger epoxidpulverlack | |
MY157422A (en) | Water-reactive al-based thermally sprayed film, process for production of such al-based thermally sprayed film, and constituent member for film-forming chamber | |
ATE363343T1 (de) | Heissschmelzbeschichtungszusammensetzung für folienübertragung und giessprozess | |
RU2010148774A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩЕЙ КАМЕРЫ | |
ATE549737T1 (de) | Verfahren zur herstellung eines luftdichten behälters und bildanzeigevorrichtung | |
WO2010058987A3 (ko) | 다층 필름 및 이의 제조방법 | |
MY149763A (en) | Light-emitting device and method for manufacturing same. | |
RU2010148772A (ru) | РЕАГИРУЮЩИЙ С ВОДОЙ Al КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ, РЕАГИРУЮЩАЯ С ВОДОЙ Al ПЛЕНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДАННОЙ Al ПЛЕНКИ И СОСТАВЛЯЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ КАМЕРЫ ДЛЯ ОБРАЗОВАНИЯ ПЛЕНКИ | |
PH12021550714A1 (en) | Film for coating metal sheet and resin coated metal sheet | |
HRP20070386T3 (en) | Method for production of thermally cured coatings |