RU2005121271A - Плазменный синтез нанопорошка оксида металла и устройство для его осуществления - Google Patents

Плазменный синтез нанопорошка оксида металла и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2005121271A
RU2005121271A RU2005121271/15A RU2005121271A RU2005121271A RU 2005121271 A RU2005121271 A RU 2005121271A RU 2005121271/15 A RU2005121271/15 A RU 2005121271/15A RU 2005121271 A RU2005121271 A RU 2005121271A RU 2005121271 A RU2005121271 A RU 2005121271A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
metal oxide
chamber
nanopowder
working gas
vapors
Prior art date
Application number
RU2005121271/15A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2351535C2 (ru
Inventor
Махер И. БОУЛОС (CA)
Махер И. БОУЛОС
Ежи В. ЮРЕВИЧ (CA)
Ежи В. ЮРЕВИЧ
Кристин А. Абдель Мессих НЕССИМ (CA)
Кристин А. Абдель Мессих НЕССИМ
Original Assignee
Текна Плазма Системз Инк. (Ca)
Текна Плазма Системз Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Текна Плазма Системз Инк. (Ca), Текна Плазма Системз Инк. filed Critical Текна Плазма Системз Инк. (Ca)
Publication of RU2005121271A publication Critical patent/RU2005121271A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2351535C2 publication Critical patent/RU2351535C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
    • C01B13/14—Methods for preparing oxides or hydroxides in general
    • C01B13/20—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state
    • C01B13/22—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state of halides or oxyhalides
    • C01B13/28—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state of halides or oxyhalides using a plasma or an electric discharge
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
    • B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
    • B01J19/122—Incoherent waves
    • B01J19/129—Radiofrequency
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
    • C01B13/14—Methods for preparing oxides or hydroxides in general
    • C01B13/20—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state
    • C01B13/22—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state of halides or oxyhalides
    • C01B13/30—Removal and cooling of the oxide-containing suspension
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G23/00—Compounds of titanium
    • C01G23/04—Oxides; Hydroxides
    • C01G23/047—Titanium dioxide
    • C01G23/07—Producing by vapour phase processes, e.g. halide oxidation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G23/00—Compounds of titanium
    • C01G23/04—Oxides; Hydroxides
    • C01G23/047—Titanium dioxide
    • C01G23/07—Producing by vapour phase processes, e.g. halide oxidation
    • C01G23/075—Evacuation and cooling of the gaseous suspension containing the oxide; Desacidification and elimination of gases occluded in the separated oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C1/00—Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
    • C09C1/36—Compounds of titanium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C1/00—Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
    • C09C1/36—Compounds of titanium
    • C09C1/3607—Titanium dioxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C1/00—Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
    • C09C1/36—Compounds of titanium
    • C09C1/3607—Titanium dioxide
    • C09C1/3669—Treatment with low-molecular organic compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
    • C22B4/00—Electrothermal treatment of ores or metallurgical products for obtaining metals or alloys
    • C22B4/005—Electrothermal treatment of ores or metallurgical products for obtaining metals or alloys using plasma jets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
    • C22B4/00—Electrothermal treatment of ores or metallurgical products for obtaining metals or alloys
    • C22B4/08—Apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/0871—Heating or cooling of the reactor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/0873—Materials to be treated
    • B01J2219/0875—Gas
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/0873—Materials to be treated
    • B01J2219/0879—Solid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/0894—Processes carried out in the presence of a plasma
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/50—Solid solutions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/50—Solid solutions
    • C01P2002/52—Solid solutions containing elements as dopants
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
    • C01P2002/72—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by d-values or two theta-values, e.g. as X-ray diagram
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/60—Particles characterised by their size
    • C01P2004/64—Nanometer sized, i.e. from 1-100 nanometer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/12—Surface area
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
    • C22B34/00—Obtaining refractory metals
    • C22B34/10—Obtaining titanium, zirconium or hafnium
    • C22B34/12—Obtaining titanium or titanium compounds from ores or scrap by metallurgical processing; preparation of titanium compounds from other titanium compounds see C01G23/00 - C01G23/08
    • C22B34/129—Obtaining titanium or titanium compounds from ores or scrap by metallurgical processing; preparation of titanium compounds from other titanium compounds see C01G23/00 - C01G23/08 obtaining metallic titanium from titanium compounds by dissociation, e.g. thermic dissociation of titanium tetraiodide, or by electrolysis or with the use of an electric arc

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Claims (44)

1. Способ синтеза нанопорошка оксида металла из паров соединения металла, заключающийся в том, что генерируют струю индукционной плазмы путем пропускания рабочего газа через высокочастотное электромагнитное поле; вводят упомянутые пары соединения металла и упомянутую струю индукционной плазмы через первый осевой конец реактора, причем под воздействием упомянутой струи плазмы пары соединения металла достигают температуры реакции и реагируют с упомянутым рабочим газом с получением наноразмерных частиц оксида металла; быстро охлаждают упомянутые наноразмерные частицы оксида металла в зоне быстрого охлаждения упомянутого реактора, расположенной ниже по потоку относительно упомянутого первого осевого конца, тем самым останавливая процесс роста упомянутых наноразмерных частиц оксида металла, с получением нанопорошка оксида металла; и собирают упомянутый нанопорошок оксида металла ниже по потоку относительно упомянутой зоны быстрого охлаждения; причем комбинация а) реагирования соединения оксида металла с упомянутой индукционной плазмой, обеспечивающей разряд достаточно большого объема и достаточно длительное время пребывания в упомянутом реакторе, и б) упомянутого быстрого охлаждения полученных наноразмерных частиц в зоне быстрого охлаждения; позволяет регулировать размеры упомянутых частиц оксида металла.
2. Способ по п.1, в котором упомянутые наноразмерные частицы оксида металла быстро охлаждают со скоростью охлаждения порядка 106°С/с.
3. Способ по п.1, в котором упомянутая температура реакции находится в пределах диапазона от 1500 до 3000°С, а температура упомянутого наноразмерного оксида металла после быстрого охлаждения находится в диапазоне от 100 до 500°С.
4. Способ по п.1, в котором упомянутое высокочастотное электромагнитное магнитное поле представляет собой поле высокой радиочастоты.
5. Способ по п.1, в котором упомянутое высокочастотное электромагнитное поле создают путем подачи минимального уровня мощности на индукционную катушку для самоподдержания разряда индукционной плазмы, при этом упомянутый минимальный уровень мощности определяют в соответствии с упомянутым рабочим газом, давлением и частотой упомянутого высокочастотного электромагнитного поля.
6. Способ по п.5, в котором упомянутый минимальный уровень мощности составляет по меньшей мере 30 кВт.
7. Способ по п.5, в котором упомянутая высокая частота составляет примерно 3 МГц.
8. Способ по п.1, в котором упомянутая зона быстрого охлаждения вызывает турбулентность высокой интенсивности.
9. Способ по п.1, в котором упомянутая зона быстрого охлаждения вызывает турбулентность, составляющую по меньшей мере 20-30%.
10. Способ по п.1, в котором упомянутую зону быстрого охлаждения создают путем инжектирования интенсивных потоков сжатого охлаждающего газа в упомянутую струю индукционной плазмы.
11. Способ по п.10, в котором упомянутые потоки сжатого охлаждающего газа инжектируют со скоростью свыше 100 м/с.
12. Способ по п.10, в котором упомянутый сжатый охлаждающий газ выбирают из группы, состоящей из воздуха, кислорода и азота.
13. Способ по п.10, в котором упомянутый охлаждающий газ вводят в плазму вдоль направлений, имеющих как радиальные, так и тангенциальные составляющие по отношению к упомянутой струе индукционной плазмы, тем самым создавая турбулентный поток охлаждающего газа.
14. Способ по п.1, в котором упомянутый рабочий газ подбирают таким образом, чтобы он ионизировался под воздействием упомянутого высокочастотного электромагнитного поля и оставался инертным в присутствии упомянутого соединения оксида металла.
15. Способ по п.1, в котором упомянутый рабочий газ представляет собой легко ионизируемый рабочий газ.
16. Способ по п.1, в котором упомянутые пары соединения металла вводят по оси через упомянутый первый осевой конец упомянутого реактора.
17. Способ по п.1, в котором упомянутые пары соединения металла смешивают с упомянутой струей индукционной плазмы в камере смешения перед введением упомянутых паров соединения металла и упомянутой струи индукционной плазмы через первый осевой конец реактора.
18. Способ по п.17, дополнительно включающий в себя смешивание присадки с парами соединения металла перед введением паров соединения металла в упомянутую струю индукционной плазмы, посредством чего соединение металла и упомянутая присадка одновременно реагируют с упомянутым рабочим газом при упомянутой температуре реакции, тем самым модифицируя свойства полученных наноразмерных частиц оксида металла.
19. Способ по п.18, в котором упомянутые свойства полученных наноразмерных частиц оксида металла выбирают из группы, состоящей из объемных, поверхностных как объемных, так и поверхностных свойств.
20. Способ по п.18, в котором упомянутую присадку выбирают из группы, состоящей из тетрахлорида кремния и хлорида цинка.
21. Способ по п.17, дополнительно включающий в себя введение присадки в упомянутый реактор после того, как пары соединения металла прореагировали с упомянутым рабочим газом, посредством чего упомянутая присадка реагирует при упомянутой температуре реакции с упомянутым рабочим газом, тем самым модифицируя свойства полученных наноразмерных частиц оксида металла.
22. Способ по п.21, в котором упомянутые свойства полученных наноразмерных частиц оксида металла выбирают из группы, состоящей из объемных, поверхностных и как объемных, так и поверхностных свойств.
23. Способ по п.21, в котором упомянутую присадку выбирают из группы, состоящей из тетрахлорида кремния и хлорида цинка.
24. Способ по п.1, в котором реакция, происходящая между упомянутым рабочим газом и парами соединения при температуре реакции, представляет собой окисление.
25. Способ по п.1, дополнительно включающий в себя нанесение на упомянутый нанопорошок оксида металла покрытия с использованием присадки перед сбором упомянутого нанопорошка оксида металла.
26. Способ по п.25, в котором упомянутую присадку выбирают из группы, состоящей из метилметилакрилата, мономера "Тефлона"™, диэтилцинка, хлорфторуглеродов и паров металлов.
27. Способ по п.1, в котором давление в упомянутом реакторе находится в пределах диапазона примерно от 400 до 500 Торр.
28. Способ синтеза нанопорошка TiO2 из паров TiCl4, заключающийся в том, что создают струю индукционной плазмы путем пропускания рабочего газа через высокочастотное электромагнитное поле; вводят упомянутые пары TiCl4 и упомянутую струю индукционной плазмы через первый осевой конец реактора, причем под воздействием упомянутой струи плазмы пары TiCl4 достигают температуры реакции и реагируют с упомянутым рабочим газом, с получением наноразмерных частицы TiO2; быстро охлаждают упомянутые наноразмерные частицы TiO2 в зоне быстрого охлаждения упомянутого реактора, расположенной ниже по потоку упомянутого первого осевого конца, тем самым останавливая процесс роста упомянутых наноразмерных частиц TiO2 с получением нанопорошка TiO2; и собирают упомянутый нанопорошок TiO2 ниже по потоку относительно упомянутой зоны быстрого охлаждения; при этом полученный нанопорошок TiO2 находится преимущественно в его анатазной фазе.
29. Способ по п.28, в котором упомянутый рабочий газ выбирают из группы, состоящей из гелия, аргона, монооксида углерода, кислорода, воздуха, и их смеси.
30. Способ по п.28, дополнительно включающий в себя нанесение на упомянутый нанопорошок TiO2 покрытия с использованием присадки перед сбором упомянутого нанопорошка TiO2.
31. Способ по п.30, в котором упомянутую присадку выбирают из группы, состоящей из метилметилакрилата, мономера "Тефлона"™, диэтилцинка, хлорфторуглеродов и паров металла.
32. Способ по п.28, в котором упомянутая температура реакции находится в диапазоне от 1500 до 3000К в зависимости от скорости подачи паров TiCl4 и от мощности струи индукционной плазмы, при этом температура наноразмерных частиц TiO2 после охлаждения находится в диапазоне от 100 до 500°С.
33. Устройство для синтезирования нанопорошка оксида металла из паров соединения металла, содержащее реакционную камеру, имеющую вертикально расположенную в целом трубчатую секцию камеры и конусообразную секцию камеры, установленную на нижнем конце упомянутой вертикально расположенной в целом трубчатой секции камеры и предназначенную для сбора синтезированного нанопорошка оксида металла; узел генерирования индукционной плазмы, содержащий камеру смешения реагентов, установленную на верхнем конце упомянутой вертикально расположенной в целом трубчатой секции камеры таким образом, чтобы находиться в сообщении текучей средой с упомянутой реакционной камерой, при этом узел генерирования индукционной плазмы дополнительно содержит индукционную катушку, окружающую упомянутую камеру смешения реагентов, и предназначенную для генерирования высокочастотного магнитного поля в упомянутой камере смешения реагентов, первый вход для приема первого рабочего газа и второй вход для приема паров соединения металла, причем упомянутые первый и второй входы соединены с упомянутой в целом трубчатой камерой смешения реагентов; и множество сопел охлаждающего газа, присоединенных к периферии упомянутой вертикально расположенной в целом трубчатой секции камеры ниже верхнего ее конца и предназначенных для создания зоны быстрого охлаждения в упомянутой реакционной камере; при этом, в ходе работы при пропускании рабочего газа через упомянутое высокочастотное электромагнитное поле в упомянутой камере смешения реагентов создается струя индукционной плазмы; упомянутая струя индукционной плазмы и пары соединения металла вводятся в упомянутую реакционную камеру; под воздействием упомянутой струи плазмы пары соединения металла достигают температуры реакции и реагируют с упомянутым рабочим газом с получением наноразмерных частиц оксида металла; упомянутые наноразмерные частицы оксида металла быстро охлаждаются в упомянутой зоне быстрого охлаждения упомянутого реактора, в результате чего останавливается процесс роста упомянутых наноразмерных частиц оксида металла, с получением нанопорошка оксида металла.
34. Устройство по п.33, в котором упомянутое множество сопел охлаждающего газа является по существу компаланарным.
35. Устройство по п.33, в котором упомянутое множество сопел охлаждающего газа расположено ниже упомянутого верхнего конца на расстоянии, составляющем от примерно 5 до примерно 30 см.
36. Устройство по п.33, в котором упомянутый узел генерирования индукционной плазмы дополнительно содержит третий вход для приема второго рабочего газа.
37. Устройство по п.33, в котором упомянутая камера смешения реагентов является в целом трубчатой.
38. Устройство по п.37, в котором упомянутый второй вход соединен с упомянутой камерой смешения реагентов таким образом, чтобы обеспечить соосное введение упомянутых паров соединения металла внутрь упомянутой камеры смешения реагентов.
39. Устройство по п.37, в котором упомянутый второй вход соединен с упомянутой камерой смешения реагентов таким образом, чтобы обеспечить радиальное введение упомянутых паров соединения металла внутрь упомянутой камеры смешения реагентов.
40. Устройство по п.33, в котором упомянутое множество сопел охлаждающего газа присоединено к периферии упомянутой вертикально расположенной трубчатой секции камеры таким образом, что они отделены друг от друга одинаковым расстоянием.
41. Устройство по п.33, в котором каждое из упомянутого множества сопел охлаждающего газа ориентировано под одинаковым углом относительно нормали к упомянутой периферии упомянутой вертикально расположенной в целом трубчатой секции камеры.
42. Устройство по п.41, в котором каждое из упомянутого множества сопел охлаждающего газа присоединены к упомянутой вертикально расположенной в целом трубчатой секцией камеры таким образом, что упомянутый угол является регулируемым.
43. Устройство по п.33, дополнительно содержащее фильтрующий блок, установленный на нижнем конце упомянутой конусообразной секции камеры через трубопровод и предназначенный для улавливания синтезированного нанопорошка оксида металла, поступающего из упомянутой в целом трубчатой секции камеры, и для удаления отходящих газов из упомянутой реакционной камеры.
44. Устройство по п.43, дополнительно содержащее четвертый вход, присоединенный к упомянутому трубопроводу и предназначенный для введения в упомянутый трубопровод присадки, подходящей для нанесения покрытия на упомянутый нанопорошок оксида металла.
RU2005121271/15A 2002-12-06 2003-12-01 Плазменный синтез нанопорошка оксида металла и устройство для его осуществления RU2351535C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/313,506 2002-12-06
US10/313,506 US6994837B2 (en) 2001-04-24 2002-12-06 Plasma synthesis of metal oxide nanopowder and apparatus therefor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005121271A true RU2005121271A (ru) 2006-01-20
RU2351535C2 RU2351535C2 (ru) 2009-04-10

Family

ID=32505837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005121271/15A RU2351535C2 (ru) 2002-12-06 2003-12-01 Плазменный синтез нанопорошка оксида металла и устройство для его осуществления

Country Status (9)

Country Link
US (2) US6994837B2 (ru)
EP (1) EP1567449B1 (ru)
JP (1) JP4654037B2 (ru)
KR (1) KR100991259B1 (ru)
CN (1) CN100377993C (ru)
AU (1) AU2003287813A1 (ru)
CA (1) CA2507992C (ru)
RU (1) RU2351535C2 (ru)
WO (1) WO2004052778A2 (ru)

Families Citing this family (81)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2584508A1 (en) 2002-05-09 2003-11-09 Institut National De La Recherche Scientifique Method for producing single-wall carbon nanotubes
US7182929B1 (en) * 2003-08-18 2007-02-27 Nei, Inc. Nanostructured multi-component and doped oxide powders and method of making same
US7217407B2 (en) * 2003-09-11 2007-05-15 E. I. Du Pont De Nemours And Company Plasma synthesis of metal oxide nanoparticles
US20050119398A1 (en) * 2003-09-11 2005-06-02 Lu Zhang Plasma synthesis of metal oxide nanoparticles
US7012214B2 (en) * 2003-09-24 2006-03-14 Nanotechnologies, Inc. Nanopowder synthesis using pulsed arc discharge and applied magnetic field
TWI233321B (en) * 2004-02-20 2005-05-21 Ind Tech Res Inst Method for producing nano oxide powder using D.C. plasma thermo-reaction
US20050195966A1 (en) * 2004-03-03 2005-09-08 Sigma Dynamics, Inc. Method and apparatus for optimizing the results produced by a prediction model
US20050201927A1 (en) * 2004-03-12 2005-09-15 Flynn Harry E. Process for improving raw pigment grindability
JP2005263606A (ja) * 2004-03-22 2005-09-29 Japan Pionics Co Ltd 酸化物粉末の製造装置及び製造方法
US20050233380A1 (en) * 2004-04-19 2005-10-20 Sdc Materials, Llc. High throughput discovery of materials through vapor phase synthesis
US20050258149A1 (en) * 2004-05-24 2005-11-24 Yuri Glukhoy Method and apparatus for manufacture of nanoparticles
CA2512317A1 (en) * 2004-07-20 2006-01-20 E.I. Dupont De Nemours And Company Process for making metal oxide nanoparticles
CA2512313A1 (en) * 2004-07-20 2006-01-20 E.I. Dupont De Nemours And Company Apparatus for making metal oxide nanopowder
CA2583486C (en) * 2004-10-08 2016-02-09 Sdc Materials, Llc An apparatus for and method of sampling and collecting powders flowing in a gas stream
EP1843834B1 (en) * 2005-01-28 2011-05-18 Tekna Plasma Systems, Inc. Induction plasma synthesis of nanopowders
CA2500766A1 (en) * 2005-03-14 2006-09-14 National Research Council Of Canada Method and apparatus for the continuous production and functionalization of single-walled carbon nanotubes using a high frequency induction plasma torch
JP4575444B2 (ja) * 2005-05-31 2010-11-04 帝人株式会社 セラミック繊維及びその製造方法
CN100528332C (zh) * 2005-09-22 2009-08-19 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 纳米粉体合成装置及方法
JP5541763B2 (ja) * 2005-09-27 2014-07-09 エーテーハー チューリヒ 基材粒子にナノ粒子を付着させる方法
CN1958518B (zh) * 2005-10-17 2012-07-04 日清制粉集团本社股份有限公司 超微颗粒的制造方法
US8859931B2 (en) * 2006-03-08 2014-10-14 Tekna Plasma Systems Inc. Plasma synthesis of nanopowders
US20100176524A1 (en) * 2006-03-29 2010-07-15 Northwest Mettech Corporation Method and apparatus for nanopowder and micropowder production using axial injection plasma spray
CN100460332C (zh) * 2006-03-31 2009-02-11 北京化工大学 杂环化合物修饰二氧化钛薄膜的方法
FR2901714B1 (fr) * 2006-05-30 2008-09-05 Commissariat Energie Atomique Procede en phase gazeuse pour la production de particules nanometriques
EP1867386A1 (en) * 2006-06-02 2007-12-19 Thomas Wendling Method for the production of nanoparticles
US8609060B1 (en) * 2006-08-15 2013-12-17 U.S. Department Of Energy Method of producing carbon coated nano- and micron-scale particles
US20100314788A1 (en) * 2006-08-18 2010-12-16 Cheng-Hung Hung Production of Ultrafine Particles in a Plasma System Having Controlled Pressure Zones
US20080075649A1 (en) * 2006-09-22 2008-03-27 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods and apparatus for the production of ultrafine particles
US20080083411A1 (en) * 2006-10-06 2008-04-10 Steven Lyon Guth Self-Sterilizing Particulate Respirator Facepiece and Method for Using Same
US8748785B2 (en) * 2007-01-18 2014-06-10 Amastan Llc Microwave plasma apparatus and method for materials processing
WO2008112710A1 (en) * 2007-03-12 2008-09-18 Nitto Denko Corporation Nanoscale phosphor particles with high quantum efficiency and method for synthesizing the same
US8142619B2 (en) 2007-05-11 2012-03-27 Sdc Materials Inc. Shape of cone and air input annulus
US8530000B2 (en) 2007-09-19 2013-09-10 Micron Technology, Inc. Methods of forming charge-trapping regions
US9630162B1 (en) * 2007-10-09 2017-04-25 University Of Louisville Research Foundation, Inc. Reactor and method for production of nanostructures
US8507401B1 (en) 2007-10-15 2013-08-13 SDCmaterials, Inc. Method and system for forming plug and play metal catalysts
US8357426B2 (en) 2008-01-11 2013-01-22 Nanomateriales S.A. De C.V. Single step milling and surface coating process for preparing stable nanodispersions
EP2107862B1 (de) 2008-04-03 2015-09-02 Maicom Quarz GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Dispersionsmaterialien
USD627900S1 (en) 2008-05-07 2010-11-23 SDCmaterials, Inc. Glove box
US20110237421A1 (en) * 2008-05-29 2011-09-29 Northwest Mettech Corp. Method and system for producing coatings from liquid feedstock using axial feed
US8029595B2 (en) * 2008-06-02 2011-10-04 Nitto Denko Corporation Method and apparatus of producing nanoparticles using nebulized droplet
US7601324B1 (en) 2008-07-11 2009-10-13 King Fahd University Of Petroleum And Minerals Method for synthesizing metal oxide
CN101733405B (zh) * 2008-11-18 2012-01-11 广东兴发铝业有限公司 纳米粉末材料的射频辉光放电感应耦合等离子体制备方法
EP2382063A1 (en) * 2008-12-24 2011-11-02 Intrinsiq Materials Limited Fine particles
US8647793B2 (en) * 2008-12-26 2014-02-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Solid proton conductor for fuel cell and fuel cell using the same
WO2010141291A1 (en) * 2009-06-01 2010-12-09 Nitto Denko Corporation Luminescent ceramic and light-emitting device using the same
JP5566662B2 (ja) * 2009-11-04 2014-08-06 古河電気工業株式会社 シリカナノ粒子、シリカナノ粒子分散コロイド液、およびそれらの製造方法。
FI20096162A0 (fi) * 2009-11-10 2009-11-10 Valtion Teknillinen Menetelmä valmistaa nanohiukkasia
US9039916B1 (en) 2009-12-15 2015-05-26 SDCmaterials, Inc. In situ oxide removal, dispersal and drying for copper copper-oxide
US8557727B2 (en) * 2009-12-15 2013-10-15 SDCmaterials, Inc. Method of forming a catalyst with inhibited mobility of nano-active material
US8652992B2 (en) * 2009-12-15 2014-02-18 SDCmaterials, Inc. Pinning and affixing nano-active material
US9149797B2 (en) * 2009-12-15 2015-10-06 SDCmaterials, Inc. Catalyst production method and system
EP2512656A4 (en) * 2009-12-15 2014-05-28 Sdcmaterails Inc IMPROVED CATALYSTS FOR FINE CHEMISTRY AND PHARMACEUTICAL APPLICATIONS
US9126191B2 (en) 2009-12-15 2015-09-08 SDCmaterials, Inc. Advanced catalysts for automotive applications
US8470112B1 (en) 2009-12-15 2013-06-25 SDCmaterials, Inc. Workflow for novel composite materials
US8803025B2 (en) 2009-12-15 2014-08-12 SDCmaterials, Inc. Non-plugging D.C. plasma gun
US8545652B1 (en) 2009-12-15 2013-10-01 SDCmaterials, Inc. Impact resistant material
DE102011050112A1 (de) 2010-05-05 2011-11-10 Industrieanlagen-Betriebsgesellschaft Mbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung beschichteter Partikel
US8669202B2 (en) 2011-02-23 2014-03-11 SDCmaterials, Inc. Wet chemical and plasma methods of forming stable PtPd catalysts
WO2012135872A1 (ru) * 2011-03-30 2012-10-04 Kolesnik Viktor Grigorjevich Способ восстановления кремния и титана путем генерации электромагнитных взаимодействий частиц sio2, fetio3 и магнитных волн
DE102011075974A1 (de) * 2011-05-17 2012-11-22 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur Herstellung von Trisilylamin in der Gasphase
CN102320654B (zh) * 2011-06-22 2013-04-10 哈尔滨工业大学 表面接枝聚(N-异丙基丙烯酰胺)的TiO2纳米粒子的制备方法
US8679433B2 (en) 2011-08-19 2014-03-25 SDCmaterials, Inc. Coated substrates for use in catalysis and catalytic converters and methods of coating substrates with washcoat compositions
US10477665B2 (en) * 2012-04-13 2019-11-12 Amastan Technologies Inc. Microwave plasma torch generating laminar flow for materials processing
RU2505949C1 (ru) * 2012-08-03 2014-01-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН) Трансформаторный плазматрон низкого давления для ионно-плазменной обработки поверхности материалов
US9511352B2 (en) 2012-11-21 2016-12-06 SDCmaterials, Inc. Three-way catalytic converter using nanoparticles
US9156025B2 (en) 2012-11-21 2015-10-13 SDCmaterials, Inc. Three-way catalytic converter using nanoparticles
US20140263181A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Jaeyoung Park Method and apparatus for generating highly repetitive pulsed plasmas
RU2547490C2 (ru) * 2013-07-16 2015-04-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича Сибирского отделения Российской академии наук (ИТПМ СО РАН) Способ синтеза наноразмерных частиц порошка диоксида титана
WO2015013545A1 (en) 2013-07-25 2015-01-29 SDCmaterials, Inc. Washcoats and coated substrates for catalytic converters
KR101456939B1 (ko) * 2013-09-16 2014-11-03 대진대학교 산학협력단 코어-쉘 구조를 갖는 나노 입자의 인시튜 제조시스템 및 그 방법
WO2015061477A1 (en) 2013-10-22 2015-04-30 SDCmaterials, Inc. Catalyst design for heavy-duty diesel combustion engines
MX2016004759A (es) 2013-10-22 2016-07-26 Sdcmaterials Inc Composiciones para trampas de oxidos de nitrogeno (nox) pobres.
CN106470752A (zh) 2014-03-21 2017-03-01 Sdc材料公司 用于被动nox吸附(pna)系统的组合物
KR101755664B1 (ko) * 2014-07-29 2017-07-11 주식회사 정화나노엔지니어링 코팅 가스 주입을 통한 나노입자 제조 설비
CN109843451B (zh) 2016-09-07 2022-02-22 艾伦·W·伯吉斯 用于喷涂内表面的高速喷涂喷枪
JP7155137B2 (ja) 2017-03-03 2022-10-18 ハイドロ－ケベック 不動態層で被覆されたコアを備えるナノ粒子、その製造のためのプロセスおよびその使用
JP7282691B2 (ja) * 2018-01-26 2023-05-29 日清エンジニアリング株式会社 微粒子の製造方法
KR102224285B1 (ko) * 2019-07-09 2021-03-09 국민대학교산학협력단 이산화티타늄 나노입자 제조장치
RU2759314C1 (ru) * 2021-01-26 2021-11-11 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский политехнический университет» Устройство для получения нанокристаллического диоксида титана со структурой анатаза
CN114639797B (zh) * 2021-06-26 2023-12-29 宁德时代新能源科技股份有限公司 负极极片的处理方法、钠金属负极极片及制备装置
CN114538507B (zh) * 2022-01-24 2024-04-16 龙佰禄丰钛业有限公司 一种控制氯化钛白半成品粒径的方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB981183A (en) 1960-03-09 1965-01-20 Pittsburgh Plate Glass Co Production of metal oxides
CH477904A (de) 1964-01-04 1969-09-15 Bayer Ag Verfahren zur Durchführung von Reaktionen unter Beteiligung einer Gasphase
US3642442A (en) 1964-03-25 1972-02-15 Ppg Industries Inc Process for preparing pigmentary metal oxide
GB1088924A (en) 1964-06-26 1967-10-25 Du Pont Production of titanium dioxide
GB1085450A (en) 1965-09-16 1967-10-04 British Titan Products Ltd Chlorine plasmas
US3449072A (en) 1967-07-27 1969-06-10 American Cyanamid Co Synthesis of finely divided oxide powders
US3663283A (en) 1969-10-02 1972-05-16 Richard A Hebert Process and apparatus for the production of finely-divided metal oxides
DE2005011A1 (de) 1970-02-04 1971-08-12 Bayer Ag Verfahren zur Abkühlung von heißen Gas Feststoff Suspensionen
IT1055884B (it) * 1976-02-17 1982-01-11 Montedison Spa Procedimento ad arco plasma di prodotti ceramici metallici e simili
US4891339A (en) 1987-10-23 1990-01-02 Aerochem Research Laboratories, Inc. Process and apparatus for the flame preparation of ceramic powders
JPH05221615A (ja) 1991-03-15 1993-08-31 Osaka Titanium Co Ltd 超微粒金属酸化物粉末の製造方法
DE4137606C1 (ru) 1991-11-15 1992-07-30 Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De
US5958361A (en) 1993-03-19 1999-09-28 Regents Of The University Of Michigan Ultrafine metal oxide powders by flame spray pyrolysis
US5514350A (en) 1994-04-22 1996-05-07 Rutgers, The State University Of New Jersey Apparatus for making nanostructured ceramic powders and whiskers
US5498446A (en) 1994-05-25 1996-03-12 Washington University Method and apparatus for producing high purity and unagglomerated submicron particles
US5749937A (en) 1995-03-14 1998-05-12 Lockheed Idaho Technologies Company Fast quench reactor and method
JP4047382B2 (ja) * 1995-08-04 2008-02-13 マイクロコーティング テクノロジーズ 超臨界付近および超臨界の流体溶液の溶射を用いた化学蒸着および粉体形成
US5876683A (en) 1995-11-02 1999-03-02 Glumac; Nicholas Combustion flame synthesis of nanophase materials
IT1281338B1 (it) 1995-11-24 1998-02-18 Cise Spa Processo per produrre polveri nanometriche di ossidi metallici da cloruri metallici
CA2259691A1 (en) 1996-07-11 1998-01-22 The University Of Cincinnati Electrically assisted synthesis of particles and films with precisely controlled characteristics
US5840112A (en) 1996-07-25 1998-11-24 Kerr Mcgee Chemical Corporation Method and apparatus for producing titanium dioxide
US5728205A (en) 1996-12-11 1998-03-17 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for the addition of boron in a TiO2 manufacturing process
US6110544A (en) 1997-06-26 2000-08-29 General Electric Company Protective coating by high rate arc plasma deposition
JPH11278844A (ja) * 1998-03-25 1999-10-12 C I Kasei Co Ltd 二酸化チタン超微粒子の非水性分散体およびその製造方法
CN1075791C (zh) 1999-08-27 2001-12-05 华东理工大学 一种纳米二氧化钛的制备方法
US20020155059A1 (en) * 2001-04-24 2002-10-24 Tekna Plasma Systems Inc. Plasma synthesis of titanium dioxide nanopowder and powder doping and surface modification process

Also Published As

Publication number Publication date
US6994837B2 (en) 2006-02-07
US20050217421A1 (en) 2005-10-06
JP4654037B2 (ja) 2011-03-16
AU2003287813A1 (en) 2004-06-30
AU2003287813A8 (en) 2004-06-30
CN1745034A (zh) 2006-03-08
EP1567449B1 (en) 2018-05-02
CN100377993C (zh) 2008-04-02
CA2507992C (en) 2010-05-11
WO2004052778A3 (en) 2004-11-18
RU2351535C2 (ru) 2009-04-10
JP2006508885A (ja) 2006-03-16
US20030143153A1 (en) 2003-07-31
KR20050089027A (ko) 2005-09-07
CA2507992A1 (en) 2004-06-24
WO2004052778A2 (en) 2004-06-24
EP1567449A2 (en) 2005-08-31
US7501599B2 (en) 2009-03-10
KR100991259B1 (ko) 2010-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2005121271A (ru) Плазменный синтез нанопорошка оксида металла и устройство для его осуществления
US6409851B1 (en) Microwave plasma chemical synthesis of ultrafine powders
JP5944487B2 (ja) ガスを処理する方法およびその方法を実施するための装置
EP1523755B1 (de) Plasmareaktor zur durchführung von gasreaktionen und verfahren zur plasmagestützten umsetzung von gasen
US7771666B2 (en) Method of producing nanoparticles using a evaporation-condensation process with a reaction chamber plasma reactor system
EP1797746B1 (en) Microwave plasma apparatus with vorticular gas flow
AU2013243039B2 (en) Method and device for production of acetylene using plasma technology
CA2445169A1 (en) Plasma synthesis of titanium dioxide nanopowder and powder doping and surface modification process
WO2005079124A1 (ja) プラズマ発生装置
AU2005203123A1 (en) Process for making metal oxide nanoparticles
WO2015082936A1 (en) Process and apparatus for the production of carbon nanotubes
RU2001125668A (ru) Способ и аппарат для газофазной полимеризации альфа-олефинов
WO1994012273A1 (en) Apparatus and process for the treatment of powder particles for modifying the surface properties of the individual particles
US8388814B2 (en) Method and apparatus for the treatment of dispersed material
RU2414993C2 (ru) Способ получения нанопорошка с использованием индукционного разряда трансформаторного типа низкого давления и установка для его осуществления
RU2321543C1 (ru) Способ синтеза нанодиоксида титана
JPH03224625A (ja) 超微粉合成装置
RU2799318C1 (ru) Устройство для проведения химических реакций в холодной плазме
RU2727436C1 (ru) Способ синтеза порошков со структурой ядро-оболочка
RU104001U1 (ru) Плазмохимическая установка для синтеза наночастиц
RU2133145C1 (ru) Способ получения тугоплавких тонкодисперсных порошков
JPS63198299A (ja) 高周波誘導プラズマ発生装置
SE429614B (sv) Uhf-plasmatronanleggning for framstellning av finfordelade pulver

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20181202